JP4194920B2 - インダクタ - Google Patents
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L=μμ0n2Sl … (1)
ここで、μは比透磁率、μ0は真空中の透磁率、nは単位長当たりの巻線数、Sはコイルの断面積、lはコイルの長さである。
一方向に延在する所定長のメタル配線を有する中心導体と、この中心導体のメタル配線の上層の少なくとも一層、同層、および下層の少なくとも一層を含む、所定長の各層のメタル配線を有し、この各層のメタル配線が、前記中心導体のメタル配線の周囲を囲むように、前記中心導体のメタル配線と平行に、かつ同一方向に延在する外部導体とを備え、
前記中心導体のメタル配線の一方の端部と前記外部導体の各層のメタル配線の一方の端部とが、ビアホールおよびメタル配線の少なくとも一方を介して互いに接続されていることを特徴とするインダクタを提供するものである。
以上、本発明のインダクタについて詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。
12 中心導体
14 外部導体
16 接続部
22,24,26,28,30,36,38,42,44,46,48,50,52,54,56,58,60,62,64,66,74,76,114 メタル配線
32,34,68,70,72,78,80,82,84,86,88,90,92,94,96,98,100 ビア
110 ソレノイドコイル
112 半導体基板
Claims (2)
- 半導体チップ上に実装されるインダクタであって、
一方向に延在する所定長のメタル配線を有する中心導体と、この中心導体のメタル配線の上層の少なくとも一層、同層、および下層の少なくとも一層を含む、所定長の各層のメタル配線を有し、この各層のメタル配線が、前記中心導体のメタル配線の周囲を囲むように、前記中心導体のメタル配線と平行に、かつ同一方向に延在する外部導体とを備え、
前記中心導体のメタル配線の一方の端部と前記外部導体の各層のメタル配線の一方の端部とが、ビアおよびメタル配線の少なくとも一方を介して互いに接続されていることを特徴とするインダクタ。 - 前記外部導体の各層のメタル配線は、ビアおよびメタル配線の少なくとも一方を介して互いに接続されている請求項1に記載のインダクタ。
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