JP4187401B2 - フェイル解析装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体メモリの記憶セルのフェイル分布状態の測定結果を表示するフェイル解析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体試験装置は、被試験デバイス（ＤＵＴ）としての半導体メモリ（以下、単に「メモリ」と称する）内の各記憶セルに対してデータの読み書きを行うことにより、各記憶セルの不良を解析する。一般に、半導体試験装置は、ＤＵＴから読み出されたデータと所定の期待値データとを比較してパス・フェイルの判定を行い、この結果をフェイルメモリに格納する。このようにしてフェイルメモリに格納されたフェイル情報を、ワークステーション等によって構成されるフェイル解析装置によって収集してその内容を調べることにより、このＤＵＴに対する各種の不良解析が行われる。
【０００３】
例えば、フェイル解析装置は、所定のメモリデバイス評価ツールを用いることにより、大容量のＤＲＡＭのフェイル分布状態をフィジカルマップあるいはロジカルマップとして表示することができる。フィジカルマップは、物理アドレスＸ、Ｙを座標として用いる２次元のフェイルビットマップであり、メモリの不良記憶セルの物理的配置を確認するために用いられる。また、ロジカルマップは、論理アドレスＸ、ＹとＩ／Ｏ番号とを座標として用いる３次元のフェイルビットマップであり、論理アドレスＺを用いる場合には４次元になることもある。上述したフェイルメモリから読み出されるフェイル情報に基づいてこのロジカルマップが生成される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来のフェイル解析装置では、半導体試験装置内のフェイルメモリから読み出したフェイル情報に基づいて、あるいはこのフェイル情報を用いてフィジカル変換処理を行うことにより、詳細なロジカルマップやフィジカルマップを表示しているため、表示対象となるロジカルマップやフィジカルマップの範囲を移動したり拡大したりする場合には、再度フェイル情報を半導体試験装置内のフェイルメモリから読み出す必要があった。このため、表示範囲の変更を指示してから実際に表示範囲が変更されるまでに時間がかかるという問題があった。
【０００５】
また、従来のフェイル解析装置では、表示範囲の変更指示の操作が容易ではなく、操作性が悪いという問題があった。例えば、ＤＵＴ全体に対応するフェイルビットマップを１画面内に収めた縮小表示画面と、ＤＵＴの一部に対応する詳細なフェイルビットマップを含む詳細表示画面とを選択的に切り替え表示可能である場合には、縮小表示画面によってどの部分の詳細なフェイルフェイルビットマップを見たいかを確認した後に、この詳細なフェイルビットマップの画面に切り替えることになる。この場合には、他の部分の詳細なフェイルビットマップを見ようとすると、再度縮小表示画面に切り替える必要があり、何度も画面を切り替える必要があって操作が煩雑になる。また、詳細表示画面の表示内容をスクロールして、見たい部分の詳細なフェイルビットマップを表示させることは可能であるが、縮小表示画面と詳細表示画面を交互に表示させて内容確認を行っているわけではないため、スクロール操作によって次に見たいフェイル箇所を探すことが容易ではなく、ある程度適当にスクロール操作を繰り返すことになる。
【０００６】
本発明は、このような点に鑑みて創作されたものであり、その目的は、試験結果の表示範囲の変更に要する時間を短縮することができるフェイル解析装置を提供することにある。また、本発明の他の目的は、試験結果の表示範囲の変更を指示する際の操作性を向上させることができるフェイル解析装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、本発明のフェイル解析装置は、半導体試験装置によって半導体メモリを試験した結果を表示する場合に、第１の範囲のフェイルビットマップが作成可能な半導体メモリの試験結果を取得する試験結果取得手段と、試験結果取得手段によって取得された試験結果の一部を用いて第１の範囲よりも狭い第２の範囲のフェイルビットマップの画像を作成するフェイルビットマップ作成手段と、フェイルビットマップ作成手段によって作成された画像を表示する表示手段と、フェイルビットマップの表示範囲を指示する操作手段と、操作手段によって第１の範囲内で表示範囲の変更が指示されたときに、試験結果取得手段によって取得された試験結果を用いて、表示範囲を変更する表示範囲変更手段とを備えている。試験結果を取得する範囲を、表示範囲である第２の範囲よりも広い第１の範囲としているため、この表示範囲を第１の範囲内で変更する際に、試験結果を再度取得する必要がない。したがって、表示範囲の変更を指示してから実際に表示範囲が変更されるまでに要する時間を短縮することができる。
【０００８】
また、上述した操作手段によって指示された表示範囲の大きさに応じて、第１の範囲の大きさを可変に設定する取得範囲設定手段を備えることが望ましい。表示範囲が大きい場合には試験結果の取得範囲も大きく、反対に表示範囲が小さい場合には試験結果の所得範囲も小さく設定されるため、表示にほとんど必要がないような範囲についてまで試験結果を取得する無駄を省くことができ、処理能力等を考慮した表示動作が可能になる。
【０００９】
また、上述した試験結果取得手段は、操作手段によって第１の範囲を超えて表示範囲の変更が指示されたときに、半導体メモリの試験結果の再取得を行うことが望ましい。これにより、試験結果を取得する回数を最小にすることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を適用した一実施形態のフェイル解析装置について、図面を参照しながら説明する。
図１は、本実施形態のフェイル解析装置が接続される半導体試験装置の構成を示す図である。図１に示すように、半導体試験装置１００は、タイミング発生器１１０、パターン発生器１１２、波形整形器１１４、論理比較器１１６、ＡＦＭ（アドレスフェイルメモリ）１１８、ＣＦＭ（コンパクトフェイルメモリ）１２０、テスタ処理部１２２、通信制御部１２４、フィジカル変換部１２６を含んで構成されている。
【００１４】
パターン発生器１１２によって発生したアドレスとデータが波形整形器１１４により波形整形されてＤＵＴ１３０に入力される。論理比較器１１６は、ＤＵＴ１３０から読み出されたデータと、パターン発生器１１２から出力される期待値とを比較して、パス・フェイルの判定を行う。
【００１５】
ＡＦＭ１１８は、論理比較器１１６より出力されるフェイル信号と、パターン発生器１１２より出力されるアドレス信号により、各アドレス毎のフェイル情報を格納する。これらの一連の動作は全てタイミング発生器１１０から各部に入力されるシステムクロックに同期して行われる。このＡＦＭ１１８に格納されるフェイル情報は、論理フェイルビットマップデータであり、各Ｉ／Ｏ番号毎にＸアドレスとＹアドレスによって特定される各記憶セルについてパスかフェイルかを示すビットデータ（例えば、パスが“０”に、フェイルが“１”に対応する）が格納されている。
【００１６】
また、ＣＦＭ１２０は、ＡＦＭ１１８の内容を縮小したフェイル情報を格納する。例えば、各Ｉ／Ｏ番号毎に、Ｘアドレスがｎ分割、Ｙアドレスがｍ分割され、各分割領域に対応する１ビットデータが得られる。具体的には、この１ビットデータの値は、Ｘアドレスの該当分割領域およびＹアドレスの該当分割領域に対応するＡＦＭ１１８の複数のビットデータの論理和を演算することにより求められる。すなわち、各分割領域で特定される複数のビットデータの中に１つでもフェイルを示す“１”が含まれる場合には、ＣＦＭ１２０内の対応するビットデータがフェイルを示す“１”に設定され、各分割領域で特定される複数のビットデータの全てがパスを示す“０”である場合には、ＣＦＭ１２０内の対応するビットデータがパスを示す“０”に設定される。なお、以下の説明では、ＡＦＭ１１８から読み出されるデータを「ＡＦＭデータ」あるいは「詳細ロジカルデータ」、ＣＦＭ１２０から読み出されるデータを「ＣＦＭデータ」あるいは「縮小ロジカルデータ」と称して説明を行うものとする。
【００１７】
フィジカル変換部１２６は、ＡＦＭ１１８に格納されている詳細ロジカルデータに基づいてフィジカル変換処理を行うことにより、フィジカルフェイルビットマップデータ（以後、「詳細フィジカルデータ」と称する）を生成する。このフィジカル変換部１２６は、専用のハードウエアによって構成されており、フィジカル変換処理を高速に実行することができる。
【００１８】
また、テスタ処理部１２２は、オペレーティングシステム（ＯＳ）によってテストプログラムを実行して所定の試験を実施するために半導体試験装置１００の全体を制御する。例えば、ＡＦＭデータに基づいてＣＦＭデータを生成する処理はこのテスタ処理部１２２によって行われる。通信制御部１２４は、半導体試験装置１００に接続されたフェイル解析装置１０との間で各種データの送受信を行う。
【００１９】
図２は、本実施形態のフェイル解析装置１０の詳細構成を示す図である。図２に示すように、フェイル解析装置１０は、通信制御部１２、ロジカルマップ格納部１４、フィジカル変換部１６、フィジカルマップ格納部１８、縮小処理部２０、詳細データ取得部３０、取得範囲設定部３２、縮小データ取得部４０、メインビューア作成部８０、ロジカルビューア作成部８２、フィジカルビューア作成部８４、表示範囲変更部８６、表示制御部９０、表示装置９４、操作部９６、ＧＵＩ処理部９８を備えている。
【００２０】
通信制御部１２は、半導体試験装置１００との間で各種データの送受信を行う。ロジカルマップ格納部１４は、ＤＵＴ１３０に対する試験によって得られた詳細ロジカルデータおよび縮小ロジカルデータを格納する。
フィジカル変換部１６は、詳細ロジカルデータに基づいてフィジカル変換処理を行うことにより、フィジカルフェイルビットマップデータ（以後、「詳細フィジカルデータ」と称する）を生成する。フィジカルマップ格納部１８は、フィジカル変換部１６によるフィジカル変換処理によって得られた詳細フィジカルデータを格納する。縮小処理部２０は、詳細フィジカルデータの内容を縮小したビットマップデータ（以後、「縮小フィジカルデータ」と称する）を生成する縮小処理を行う。この縮小処理は、上述した半導体試験装置１００においてＡＦＭデータからＣＦＭデータを生成する場合の処理と同じである。
【００２１】
詳細データ取得部３０は、詳細ロジカルデータと詳細フィジカルデータを取得する。本実施形態のフェイル解析装置１０は、半導体試験装置１００から直接詳細ロジカルデータや縮小ロジカルデータを取得しながら各種の解析を行う「テスタモード」と、一旦保存した詳細ロジカルデータ等に基づいて各種の解析を行う「ファイルモード」の２種類の解析モードを有する。
【００２２】
具体的には、詳細ロジカルデータは、テスタモード時には半導体メモリ１００内のＡＦＭ１１８からＡＦＭデータを読み出すことによって取得され、ファイルモード時にはロジカルマップ格納部１４から該当するデータを読み出すことにより取得される。また、詳細フィジカルデータは、テスタモード時には半導体試験装置１００内のＡＦＭ１１８に格納されている詳細ロジカルデータに基づいてフィジカル変換部１２６によるフィジカル変換処理を行った結果を読み込むことにより取得され、ファイルモード時にはフィジカルマップ格納部１８から該当するデータを読み出すことにより取得される。
【００２３】
取得範囲設定部３２は、詳細ロジカルデータ、詳細フィジカルデータの取得範囲を設定する。本実施形態のフェイル解析装置１０では、詳細なロジカルマップあるいはフィジカルマップの表示範囲とは別に、これよりも広い詳細ロジカルデータ、詳細フィジカルデータの取得範囲（読み取り範囲）を設定することができる。具体的な設定方法については後述する。
【００２４】
また、縮小データ取得部４０は、縮小ロジカルデータと縮小フィジカルデータを取得する。具体的には、縮小ロジカルデータは、テスタモード時には半導体試験装置１００内のＣＦＭ１２０からＣＦＭデータを読み出すことにより取得され、ファイルモード時にはロジカルマップ格納部１４から該当するデータを読み出すことにより行われる。また、縮小フィジカルデータは、テスタモード時にはフィジカル変換処理によって得られた詳細フィジカルデータに基づいて縮小処理部２０による縮小処理を行うことにより取得され、ファイルモード時にはフィジカルマップ格納部１８から読み出した詳細フィジカルデータに基づいて縮小処理部２０による縮小処理を行うことにより取得される。
【００２５】
メインビューア作成部８０は、表示装置９４にメインビューア・ウインドウを表示するために必要な描画データを作成する。このメインビューア・ウインドウには、試験対象となった複数個のＤＵＴ１３０の試験結果が一覧形式で含まれている。
【００２６】
ロジカルビューア作成部８２は、表示装置９４にロジカルビューア・ウインドウを表示するために必要な描画データを作成する。このロジカルビューア・ウインドウには、特定のＤＵＴ１３０およびＩ／Ｏ番号が指定されたときのロジカルフェイルビットマップが含まれる。
【００２７】
また、フィジカルビューア作成部８４は、表示装置９４にフィジカルビューア・ウインドウを表示するために必要な描画データを作成する。このフィジカルビューア・ウインドウには、特定のＤＵＴ１３０が指定されたときのフィジカルフェイルビットマップが含まれる。上述したメインビューア・ウインドウ、ロジカルビューア・ウインドウ、フィジカルビューア・ウインドウの具体例については後述する。
【００２８】
表示範囲変更部８６は、表示範囲の変更が指示されたときに、その時点で表示されているフェイルビットマップの表示範囲の変更を行う。この表示範囲変更部８６は、移動処理部８７とズーム処理部８８を備えている。
移動処理部８７は、表示範囲の移動が指示されたときに、この移動指示にしたがって表示範囲を移動する。具体的には、移動処理部８７は、表示範囲の移動方向や移動量を決定して、移動後の新たなロジカルマップあるいはフィジカルマップを含むウインドウを作成する旨を、その時点で表示されているウインドウに対応するロジカルビューア作成部８２あるいはフィジカルビューア作成部８４に指示する。
【００２９】
ズーム処理部８８は、表示範囲のズームが指示されたときに、このズーム指示にしたがって表示範囲を拡大（ズームアウト）あるいは縮小（ズームイン）する。具体的には、ズーム処理部８８は、新たな表示範囲を決定して、この範囲に含まれる新たなロジカルマップあるいはフィジカルマップを含むウインドウを作成する旨を、その時点で表示されているウインドウに対応するロジカルビューア作成部８２あるいはフィジカルビューア作成部８４に指示する。
【００３０】
表示制御部９０は、メインビューア作成部８０、ロジカルビューア作成部８２、フィジカルビューア作成部８４のそれぞれによって作成された描画データに基づいて、表示装置９４に出力する映像信号を生成する。この表示制御部９０にはＶＲＡＭ（ビデオＲＡＭ）９２が備わっており、画面上で一番上に表示したいウインドウの描画データが格納される。
【００３１】
操作部９６は、利用者が各種の指示入力を行うためのものであり、表示装置９４の表示画面の任意位置を指定するポインティングデバイスとしてのマウスや、テンキーやアルファベットキーあるいは各種の記号キーからなるキーボードが含まれている。ポインティングデバイスは、マウス以外のデバイス、例えば入力タブレットやタッチパネル等を用いるようにしてもよい。ＧＵＩ（グラフィカル・ユーザ・インタフェース）処理部９８は、操作部９６の操作状態に対応するＧＵＩ処理を実現するためのものである。例えば、メインビューア・ウインドウ等に含まれる各種のコマンドやボタンがマウスを用いてクリックされたときに、対応する処理を判定し、この処理の依頼を行う。
【００３２】
上述した詳細データ取得部３０が試験結果取得手段に、取得範囲設定部３２が取得範囲設定手段に、ロジカルビューア作成部８２、フィジカルビューア作成部８４がフェイルビットマップ作成手段に、表示制御部９０、表示装置９４が表示手段に、操作部９６、ＧＵＩ処理部９８が操作手段に、表示範囲変更部８６が表示範囲変更手段にそれぞれ対応する。
【００３３】
本実施形態のフェイル解析装置１０はこのような構成を有しており、次にその動作を説明する。
図３は、フェイル解析装置の動作手順を示す流れ図であり、主に、詳細データ所得部３０によって詳細ロジカルデータあるいは詳細フィジカルデータを取得する範囲を可変に設定するとともに、ロジカルビューア・ウインドウあるいはフィジカルビューア・ウインドウを表示中に表示範囲の変更が指示された場合の動作手順が示されている。
【００３４】
フェイル解析装置１０が起動されると、まず、メインビューア作成部８０は、メインビューア・ウインドウの画面を作成して表示装置９４に表示する（ステップ１００）。
図４は、メインビューア・ウインドウの具体例を示す図である。以下、メインビューア・ウインドウ内の主な表示内容について説明する。
【００３５】
ＤＵＴデータ表示領域（ａ７）
試験対象となった複数のＤＵＴ１３０のそれぞれの試験結果を示す結果画像を表示するために用いられる。矩形で示されたそれぞれの結果画像に含まれる数字がＤＵＴ番号を示しており、このＤＵＴ番号によって特定されたＤＵＴ１３０がパスなのかフェイルなのかがこの矩形内の色によって表現されている。例えば、パスの場合（このＤＵＴ番号に対応する縮小ロジカルデータが全てパスである場合）には矩形の内部が緑色に着色され、フェイルの場合（このＤＵＴ番号に対応する縮小ロジカルデータに一つでもフェイルがある場合）には矩形の内部が赤色に着色される。なお、図４に示したＤＵＴデータ表示領域ａ７には、１〜１２８のＤＵＴ番号を示したが、半導体試験装置１００に実際に実装されたＤＵＴ１３０の数が１２８より少ない場合には、対応するＤＵＴ１３０が存在しない矩形内の数字が非表示あるいはシャドウ表示される。このＤＵＴ１３０の数や次に示すＩ／Ｏ番号は、例えば、半導体試験装置１００からフェイル解析装置１０に通知（Notify）が送られてきたときに、これらの数に関する情報が読み込まれて更新される。また、半導体試験装置１００に実際に実装されたＤＵＴ１３０の数が１２８を超える場合には、１２８個のＤＵＴ１３０の結果画像が含まれるページを切り替えて表示する。
【００３６】
Ｉ／Ｏデータ表示領域（ａ８）
ＤＵＴ番号が指定された特定のＤＵＴ１３０について、各Ｉ／Ｏ番号毎の試験結果を示す結果画像を表示するために用いられる。矩形で示されたそれぞれの結果画像に含まれる数字がＩ／Ｏ番号を示しており、このＩ／Ｏ番号によって指定されるロジカルフェイルビットマップがパスなのかフェイルなのかがこの矩形内の色によって表現されている。例えば、パスの場合（このＩ／Ｏ番号に対応する縮小ロジカルデータが全てパスである場合）には矩形の内部が緑色に着色され、フェイルの場合（このＩ／Ｏ番号に対応する縮小ロジカルデータに一つでもフェイルがある場合）には矩形の内部が赤色に着色される。なお、図４に示したＩ／Ｏデータ表示領域ａ８には、０〜１４３のＩ／Ｏ番号を示したが、半導体試験装置１００に実際に実装されたＤＵＴ１３０のＩ／Ｏ番号の最大値が１４３より小さい場合には、対応するＩ／Ｏ番号が存在しない矩形内の数字が非表示あるいはシャドウ表示される。また、ＤＵＴ番号の最大値が１４３を超える場合には、ページを切り替えて表示する。
【００３７】
表示切替オプションメニュー（ａ９）
上述したＤＵＴデータ表示領域ａ７あるいはＩ／Ｏデータ表示領域ａ８における表示内容を切り替えるために用いられる。ＤＵＴデータ表示領域ａ７について、「Ｐａｓｓ／Ｆａｉｌ」、「ＣＦＭ（Ａｌｌ）」、「ＣＦＭ（１６ＤＵＴ）」、「ＣＦＭ（３２ＤＵＴ）」の各表示オプションが用意されている。また、Ｉ／Ｏデータ表示領域ａ８について、「Ｐａｓｓ／Ｆａｉｌ」、「ＣＦＭ（Ａｌｌ）」、「ＣＦＭ（１６ｏｒ１８Ｉ／Ｏ）」、「ＣＦＭ（３２ｏｒ３６Ｉ／Ｏ）」の各表示オプションが用意されている。
【００３８】
「Ｐａｓｓ／Ｆａｉｌ」は、試験結果がパスかフェイルかを示す上述した結果画像を表示するためのオプションである。図４に示したメインビューア・ウインドウの画面では、起動時のデフォルトとしてこの表示オプションが選択された状態が示されている。
【００３９】
また、「ＣＦＭ（Ａｌｌ）」、「ＣＦＭ（１６ＤＵＴ）」、「ＣＦＭ（３２ＤＵＴ）」、「ＣＦＭ（１６ｏｒ１８Ｉ／Ｏ）」、「ＣＦＭ（３２ｏｒ３６Ｉ／Ｏ）」のそれぞれは、縮小ロジカルデータに対応するロジカルフェイルビットマップ（以後、「縮小ロジカルマップ」と称する）を示す縮小画像を括弧内の数だけ表示するためのオプションである。縮小画像の具体的な表示例については後述する。
【００４０】
「Ｐｈｙｓｉｃａｌ」ボタン（ａ１０）
ＤＵＴ番号が指定された特定のＤＵＴ１３０に対応するフィジカルビューア・ウインドウの表示を指示するために用いられる。
図５は、縮小ロジカルマップを示す縮小画像の一覧が含まれるメインビューア・ウインドウの具体例を示す図である。例えば、ＤＵＴデータ表示領域ａ７に対応する表示オプションとして「ＣＦＭ（１６ＤＵＴ）」が、Ｉ／Ｏデータ表示領域ａ８に対応する表示オプションとして「ＣＦＭ（１６ｏｒ１８Ｉ／Ｏ）」がそれぞれ選択された状態が示されている。
【００４１】
ＤＵＴデータ表示領域ａ７内において、数字が含まれる矩形領域は、表示オプションとして「Ｐａｓｓ／Ｆａｉｌ」が選択された場合と同じ内容であり、この番号で指定されるＤＵＴ１３０がパスなのかフェイルなのかを示す結果画像に対応する。その上部に位置する矩形領域は、ＤＵＴ１３０毎の縮小ロジカルマップの内容を示す縮小画像を示している。半導体試験装置１００内のＣＦＭ１２０からは、Ｉ／Ｏ番号毎のＣＦＭデータ（縮小ロジカルデータ）が読み出されるため、メインビューア作成部８０は、各ＤＵＴ１３０毎に全Ｉ／Ｏ番号の縮小ロジカルデータの各ビットの論理和を求めてこの縮小画像を生成する。
【００４２】
また、Ｉ／Ｏデータ表示領域ａ８内において、数字が含まれる矩形領域は、表示オプションとして「Ｐａｓｓ／Ｆａｉｌ」が選択された場合と同じ内容であり、このＩ／Ｏ番号の縮小ロジカルデータがパスなのかフェイルなのかを示す結果画像に対応する。その上部に位置する矩形領域は、Ｉ／Ｏ番号毎の縮小ロジカルマップの内容を示す縮小画像を示している。
【００４３】
なお、図５に示した例では、ＤＵＴデータ表示領域ａ７とＩ／Ｏデータ表示領域ａ８の両方が表示されているが、いずれか一方を非表示状態にして他方の表示可能数を増やすこともできる。
図４に示したメインビューア・ウインドウを表示した状態で、次に、ＧＵＩ処理部９８は、ページサイズメニューの表示指示があったか否かを判定する（ステップ１０１）。ここで、ページサイズとは、取得範囲設定部３２によって設定される詳細データ取得部３０におけるデータの取得範囲を示している。例えば、メインビューア・ウインドウの上部に表示されたメニューバーの中の「Ｖｉｅｗ」に対応するプルダウンメニューに項目「Ｐａｇｅ Ｓｉｚｅ」が含まれているものとする。ＧＵＩ処理部９８は、この項目「Ｐａｇｅ Ｓｉｚｅ」がマウスによってクリックされたりキーボードを使って指し示されたか否かを監視することにより、上述したステップ１０１の判定を行う。
【００４４】
ページサイズメニューの表示が指示された場合にはステップ１０１の判定で肯定判断が行われ、次に、取得範囲設定部３２は、この指示にしたがって表示されたページサイズメニューを用いたページサイズの設定を行う（ステップ１０２）。
【００４５】
図６は、ページサイズメニューの具体例を示す図である。ページサイズメニューには、詳細データ取得部３０によって１回の読み込み動作によって取得可能なフェイルビットマップのサイズが一覧表示されている。具体的には、図６に示すように、ページサイズメニューＰには、１２８（Ｘアドレス）×１２８（Ｙアドレス）、２５６×２５６、…、８１９２×８１９２の７種類のサイズと、表示範囲の大きさに応じてページサイズを自動的に設定、変更する「Ａｕｔｏ」の合計１１種類の選択肢が含まれている。「Ａｕｔｏ」が選択された場合には、表示範囲の長い方のアドレスの大きさを越える最小の２のべき乗の長さの正方形の大きさがページサイズとして設定される。
【００４６】
次に、ＧＵＩ処理部９８は、ロジカルビューア・ウインドウあるいはフィジカルビューア・ウインドウの表示が指示されたか否かを判定する（ステップ１０３）。
メインビューア・ウインドウが表示された状態で、Ｉ／Ｏデータ表示領域ａ８に含まれるいずれかのＩ／Ｏ番号が指定されると、これはロジカルビューア・ウインドウの表示が指示されたことになる。この場合にはステップ１０３の判定で肯定判断が行われ、次に、詳細データ取得部３０は、ステップ１０２において取得範囲設定部３２によって設定されたページサイズ分の詳細ロジカルデータを取得する（ステップ１０４）。ロジカルビューア作成部８２は、詳細データ取得部３０によって取得された詳細ロジカルデータ等に基づいて、指定されたＩ／Ｏ番号に対応するロジカルビューア・ウインドウの画面を作成して表示装置９４に表示する（ステップ１０５）。
【００４７】
図７は、ロジカルビューア・ウインドウの具体例を示す図である。このウインドウには、縮小ロジカルマップａ１１とその一部あるいは全部に対応するロジカルフェイルビットマップａ１２が含まれている。このロジカルフェイルビットマップａ１２は、詳細データ取得部３０によって取得された詳細ロジカルデータに基づいて作成される。
【００４８】
また、メインビューア・ウインドウが表示された状態で、「Ｐｈｙｓｉｃａｌ」ボタンａ１０が選択されると、これはフィジカルビューア・ウインドウの表示が指示されたことになる。この場合にもステップ１０３の判定で肯定判断が行われ、次に、詳細データ取得部３０は、ステップ１０２において取得範囲設定部３２によって設定されたページサイズ分の詳細フィジカルデータを取得する（ステップ１０４）。フィジカルビューア作成部８４は、詳細データ取得部３０によって取得された詳細フィジカルデータ等に基づいて、そのとき指定されているＤＵＴ番号に対応するフィジカルビューア・ウインドウの画面を作成して表示装置９４に表示する（ステップ１０５）。
【００４９】
図８は、フィジカルビューア・ウインドウの具体例を示す図である。このウインドウには、縮小フィジカルマップａ１３とその一部あるいは全部に対応するフィジカルフェイルビットマップａ１４が含まれている。このフィジカルフェイルビットマップａ１４は、詳細データ取得部３０によって取得された詳細ロジカルデータに基づいて作成される。
【００５０】
次に、ＧＵＩ処理部９８は、表示中のフェイルビットマップの表示範囲の移動やズームが指示されたか否かを判定する（ステップ１０６）。ロジカルビューア・ウインドウやフィジカルビューア・ウインドウが表示された状態で、操作部９６のマウスを使って表示範囲の移動やズームが指示された場合にはステップ１０６の判定で肯定判断が行われる。例えば、ロジカルビューア・ウインドウに含まれる縮小ロジカルマップａ１１上においてマウスの左ボタンを押しながらドラッグすることにより、そのドラッグした範囲に対するズーム処理が指示される。あるいは、縮小ロジカルマップａ１１上においてマウスの中央ボタンを押しながらドラッグすることにより、表示倍率を変えずにそのドラッグした方向に表示範囲をの移動が指示される。フィジカルビューア・ウインドウが表示された状態で表示範囲の移動やズームを指示する場合も同様である。
【００５１】
次に、取得範囲設定部３２は、変更後の表示範囲が詳細データ取得部３０によるデータの取得範囲に含まれているか否かを判定する（ステップ１０７）。含まれていない場合には否定判断が行われ、次に、詳細データ取得部３０は、表示対象となっているウインドウに対応するデータの再取得を行う（ステップ１０８）。例えば、ロジカルビューア・ウインドウが表示されているときに移動やズームが指示された場合には詳細ロジカルデータの取得が行われる。また、フィジカルビューア・ウインドウが表示されているときに移動やズームが指示された場合には詳細フィジカルデータの取得が行われる。
【００５２】
変更後の表示範囲がデータの取得範囲内であってステップ１０６の判定で肯定判断が行われると、あるいはステップ１０８においてデータの再取得が行われた後、表示範囲変更部８６内の移動処理部８７あるいはズーム処理部８８は、ロジカルビューア作成部８２あるいはフィジカルビューア作成部８４に指示を送って現在の表示範囲の設定を行う。これにより、表示内容が変更される（ステップ１０９）。その後、ステップ１０６に戻って処理が繰り返される。
【００５３】
図９は、表示範囲とデータの取得範囲との関係を示す図である。例えばロジカルビューア・ウインドウ内に含まれる縮小ロジカルマップａ１１と詳細なロジカルフェイルビットマップａ１２との対応関係が示されている。なお、フィジカルビューア・ウインドウを用いた場合についても同様であり、以下の説明ではロジカルビューア・ウインドウを用いた操作指示の具体例について説明する。
【００５４】
図９に示すように、ロジカルビューア・ウインドウ内の縮小ロジカルマップａ１１の画像には、その時点におけるデータの取得範囲を示す取得枠ｃと、その時点における表示範囲であるロジカルフェイルビットマップａ１１の描画範囲を示す表示枠ｂ１が含まれている。本実施形態のフェイル解析装置１０では、表示枠ｂ１よりも広い取得枠ｃが設定されている。また、表示範囲の移動やズームの指示は、表示枠ｂ１や取得枠ｃが表示された縮小ロジカルマップａ１１を用いて行われる。
【００５５】
図１０は、縮小ロジカルマップａ１１を用いた移動指示の具体例を示す図である。図１０に示すように、マウスを操作して表示枠ｂ１内の任意位置ｄ１を指定し、この状態でマウスの中央ボタンを押しながら、矢印ｅ１で示す向きおよび位置にドラッグを行う。これにより、操作前の表示範囲ｂ１を操作後の表示範囲ｂ２に移動させることができる。また、この移動操作に伴って、ロジカルビューア・ウインドウ内のロジカルフェイルビットマップａ１２の表示内容が連続的に変化する。
【００５６】
図１１は、縮小ロジカルマップａ１１を用いたズーム指示の具体例を示す図である。図１１に示すように、マウスを操作して表示枠ｂ１内の任意位置ｄ２を指定し、この状態でマウスの左ボタンを押しながら、矢印ｅ２で示す向きおよび位置にドラッグを行う。これにより、操作前の表示範囲ｂ１を操作後の表示範囲ｂ３に変更するズームアップ処理を行うことができる。なお、操作前の表示範囲ｂ１よりも操作後の表示範囲ｂ２の方が小さい場合にはズームイン処理となる。
【００５７】
このように、本実施形態のフェイル解析装置では、試験結果としての詳細ロジカルマップデータや詳細フィジカルマップデータを取得する範囲を、詳細なロジカルマップやフィジカルマップの表示範囲よりも広くしているため、詳細ロジカルマップや詳細フィジカルマップの表示範囲の移動やズームを行う際に、データの取得範囲でこれらの移動やズームを行う場合にはデータの再取得を行う必要がない。したがって、表示範囲の変更を指示してから実際に表示範囲が変更されるまでに要する時間を短縮することができる。
【００５８】
また、データの取得範囲であるページサイズを「Ａｕｔｏ」に設定した場合には、詳細ロジカルマップ等の表示範囲が大きい場合にはデータの取得範囲も大きく、反対に表示範囲が小さい場合にはデータの所得範囲も小さく設定されるため、表示にほとんど必要がないような範囲についてまでデータを取得する無駄を省くことができ、フェイル解析装置の処理能力等を考慮した最適な処理が可能になる。
【００５９】
また、表示範囲を移動あるいはズームした場合に、データの取得範囲を超える場合にのみデータの再取得を行えばよいため、この再取得回数を最小にすることができる。
また、ロジカルビューア・ウインドウに縮小ロジカルマップａ１１と詳細なロジカルフェイルビットマップａ１２を含ませておいて、この縮小ロジカルマップａ１１を用いて表示範囲の移動やズームの指示操作を行うことができるため、従来のように縮小表示画面で概略的な内容の確認を行った後に詳細表示画面に切り替える必要がなく、切替指示を行う際の操作性を向上させることができる。フィジカルビューア・ウインドウを用いた場合についても同様である。
【００６０】
特に、縮小ロジカルマップａ１１や縮小フィジカルマップａ１３内の２点をマウス等のポインティングデバイスを用いて指定しその間をドラッグすることにより、新たな表示範囲の指定を行うことができるため、ズームインあるいはズームアウトの範囲指定を、簡単にしかも同じ操作手順で行うことなうことができる。また、縮小ロジカルマップａ１１や縮小フィジカルマップａ１３内の任意の１点と移動方向、移動量を指定することにより、新たな表示範囲の指定を行うことができるため、表示範囲の移動指示を簡単に行うことができる。
【００６１】
また、移動やズームの操作指示を行う縮小ロジカルマップａ１１等の画像に表示枠ｂ１と取得枠ｃを含ませておくことにより、データの取得範囲を確認しながら表示範囲の移動やズーム指示を行うことができるため、データの取得範囲内でこれらの指示を行うことが可能になる。
【００６２】
【発明の効果】
上述したように、本発明によれば、試験結果を取得する範囲を、表示範囲である第２の範囲よりも広い第１の範囲としているため、この表示範囲を第１の範囲内で変更する際に、試験結果を再度取得する必要がない。したがって、表示範囲の変更を指示してから実際に表示範囲が変更されるまでに要する時間を短縮することができる。
【００６３】
また、同一画面内に縮小画像と詳細画像を含ませておいて、この縮小画像を用いて表示範囲の変更を指示することができるため、従来のように縮小表示画面で概略的な内容の確認を行った後に詳細表示画面に切り替える必要がなく、切替指示を行う際の操作性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】一実施形態のフェイル解析装置が接続される半導体試験装置の構成を示す図である。
【図２】本実施形態のフェイル解析装置の詳細構成を示す図である。
【図３】フェイル解析装置の動作手順を示す流れ図である。
【図４】フェイル解析装置が起動された後に表示されるメインビューア・ウインドウの具体例を示す図である。
【図５】縮小ロジカルマップを示す縮小画像の一覧が含まれるメインビューア・ウインドウの具体例を示す図である。
【図６】ページサイズメニューの具体例を示す図である。
【図７】ロジカルビューア・ウインドウの具体例を示す図である。
【図８】フィジカルビューア・ウインドウの具体例を示す図である。
【図９】表示範囲とデータの取得範囲との関係を示す図である。
【図１０】縮小ロジカルマップを用いた移動指示の具体例を示す図である。
【図１１】縮小ロジカルマップを用いたズーム指示の具体例を示す図である。
【符号の説明】
１０ フェイル解析装置
１４ ロジカルマップ格納部
１６ フィジカル変換部
１８ フィジカルマップ格納部
２０ 縮小処理部
３０ 詳細データ取得部
３２ 取得範囲設定部
４０ 縮小データ取得部
８０ メインビューア作成部
８２ ロジカルビューア作成部
８４ フィジカルビューア作成部
８６ 表示範囲変更部
８７ 移動処理部
８８ ズーム処理部
８８ 画像合成部
９０ 表示制御部
９４ 表示装置
９６ 操作部
９８ ＧＵＩ処理部
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体メモリの記憶セルのフェイル分布状態の測定結果を表示するフェイル解析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体試験装置は、被試験デバイス（ＤＵＴ）としての半導体メモリ（以下、単に「メモリ」と称する）内の各記憶セルに対してデータの読み書きを行うことにより、各記憶セルの不良を解析する。一般に、半導体試験装置は、ＤＵＴから読み出されたデータと所定の期待値データとを比較してパス・フェイルの判定を行い、この結果をフェイルメモリに格納する。このようにしてフェイルメモリに格納されたフェイル情報を、ワークステーション等によって構成されるフェイル解析装置によって収集してその内容を調べることにより、このＤＵＴに対する各種の不良解析が行われる。
【０００３】
例えば、フェイル解析装置は、所定のメモリデバイス評価ツールを用いることにより、大容量のＤＲＡＭのフェイル分布状態をフィジカルマップあるいはロジカルマップとして表示することができる。フィジカルマップは、物理アドレスＸ、Ｙを座標として用いる２次元のフェイルビットマップであり、メモリの不良記憶セルの物理的配置を確認するために用いられる。また、ロジカルマップは、論理アドレスＸ、ＹとＩ／Ｏ番号とを座標として用いる３次元のフェイルビットマップであり、論理アドレスＺを用いる場合には４次元になることもある。上述したフェイルメモリから読み出されるフェイル情報に基づいてこのロジカルマップが生成される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来のフェイル解析装置では、半導体試験装置内のフェイルメモリから読み出したフェイル情報に基づいて、あるいはこのフェイル情報を用いてフィジカル変換処理を行うことにより、詳細なロジカルマップやフィジカルマップを表示しているため、表示対象となるロジカルマップやフィジカルマップの範囲を移動したり拡大したりする場合には、再度フェイル情報を半導体試験装置内のフェイルメモリから読み出す必要があった。このため、表示範囲の変更を指示してから実際に表示範囲が変更されるまでに時間がかかるという問題があった。
【０００５】
また、従来のフェイル解析装置では、表示範囲の変更指示の操作が容易ではなく、操作性が悪いという問題があった。例えば、ＤＵＴ全体に対応するフェイルビットマップを１画面内に収めた縮小表示画面と、ＤＵＴの一部に対応する詳細なフェイルビットマップを含む詳細表示画面とを選択的に切り替え表示可能である場合には、縮小表示画面によってどの部分の詳細なフェイルフェイルビットマップを見たいかを確認した後に、この詳細なフェイルビットマップの画面に切り替えることになる。この場合には、他の部分の詳細なフェイルビットマップを見ようとすると、再度縮小表示画面に切り替える必要があり、何度も画面を切り替える必要があって操作が煩雑になる。また、詳細表示画面の表示内容をスクロールして、見たい部分の詳細なフェイルビットマップを表示させることは可能であるが、縮小表示画面と詳細表示画面を交互に表示させて内容確認を行っているわけではないため、スクロール操作によって次に見たいフェイル箇所を探すことが容易ではなく、ある程度適当にスクロール操作を繰り返すことになる。
【０００６】
本発明は、このような点に鑑みて創作されたものであり、その目的は、試験結果の表示範囲の変更に要する時間を短縮することができるフェイル解析装置を提供することにある。また、本発明の他の目的は、試験結果の表示範囲の変更を指示する際の操作性を向上させることができるフェイル解析装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、本発明のフェイル解析装置は、半導体試験装置によって半導体メモリを試験した結果を表示する場合に、第１の範囲のフェイルビットマップが作成可能な半導体メモリの試験結果を取得する試験結果取得手段と、試験結果取得手段によって取得された試験結果の一部を用いて第１の範囲よりも狭い第２の範囲のフェイルビットマップの画像を作成するフェイルビットマップ作成手段と、フェイルビットマップ作成手段によって作成された画像を表示する表示手段と、フェイルビットマップの表示範囲を指示する操作手段と、操作手段によって第１の範囲内で表示範囲の変更が指示されたときに、試験結果取得手段によって取得された試験結果を用いて、表示範囲を変更する表示範囲変更手段とを備えている。試験結果を取得する範囲を、表示範囲である第２の範囲よりも広い第１の範囲としているため、この表示範囲を第１の範囲内で変更する際に、試験結果を再度取得する必要がない。したがって、表示範囲の変更を指示してから実際に表示範囲が変更されるまでに要する時間を短縮することができる。
【０００８】
また、上述した操作手段によって指示された表示範囲の大きさに応じて、第１の範囲の大きさを可変に設定する取得範囲設定手段を備えることが望ましい。表示範囲が大きい場合には試験結果の取得範囲も大きく、反対に表示範囲が小さい場合には試験結果の所得範囲も小さく設定されるため、表示にほとんど必要がないような範囲についてまで試験結果を取得する無駄を省くことができ、処理能力等を考慮した表示動作が可能になる。
【０００９】
また、上述した試験結果取得手段は、操作手段によって第１の範囲を超えて表示範囲の変更が指示されたときに、半導体メモリの試験結果の再取得を行うことが望ましい。これにより、試験結果を取得する回数を最小にすることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を適用した一実施形態のフェイル解析装置について、図面を参照しながら説明する。
図１は、本実施形態のフェイル解析装置が接続される半導体試験装置の構成を示す図である。図１に示すように、半導体試験装置１００は、タイミング発生器１１０、パターン発生器１１２、波形整形器１１４、論理比較器１１６、ＡＦＭ（アドレスフェイルメモリ）１１８、ＣＦＭ（コンパクトフェイルメモリ）１２０、テスタ処理部１２２、通信制御部１２４、フィジカル変換部１２６を含んで構成されている。
【００１４】
パターン発生器１１２によって発生したアドレスとデータが波形整形器１１４により波形整形されてＤＵＴ１３０に入力される。論理比較器１１６は、ＤＵＴ１３０から読み出されたデータと、パターン発生器１１２から出力される期待値とを比較して、パス・フェイルの判定を行う。
【００１５】
ＡＦＭ１１８は、論理比較器１１６より出力されるフェイル信号と、パターン発生器１１２より出力されるアドレス信号により、各アドレス毎のフェイル情報を格納する。これらの一連の動作は全てタイミング発生器１１０から各部に入力されるシステムクロックに同期して行われる。このＡＦＭ１１８に格納されるフェイル情報は、論理フェイルビットマップデータであり、各Ｉ／Ｏ番号毎にＸアドレスとＹアドレスによって特定される各記憶セルについてパスかフェイルかを示すビットデータ（例えば、パスが“０”に、フェイルが“１”に対応する）が格納されている。
【００１６】
また、ＣＦＭ１２０は、ＡＦＭ１１８の内容を縮小したフェイル情報を格納する。例えば、各Ｉ／Ｏ番号毎に、Ｘアドレスがｎ分割、Ｙアドレスがｍ分割され、各分割領域に対応する１ビットデータが得られる。具体的には、この１ビットデータの値は、Ｘアドレスの該当分割領域およびＹアドレスの該当分割領域に対応するＡＦＭ１１８の複数のビットデータの論理和を演算することにより求められる。すなわち、各分割領域で特定される複数のビットデータの中に１つでもフェイルを示す“１”が含まれる場合には、ＣＦＭ１２０内の対応するビットデータがフェイルを示す“１”に設定され、各分割領域で特定される複数のビットデータの全てがパスを示す“０”である場合には、ＣＦＭ１２０内の対応するビットデータがパスを示す“０”に設定される。なお、以下の説明では、ＡＦＭ１１８から読み出されるデータを「ＡＦＭデータ」あるいは「詳細ロジカルデータ」、ＣＦＭ１２０から読み出されるデータを「ＣＦＭデータ」あるいは「縮小ロジカルデータ」と称して説明を行うものとする。
【００１７】
フィジカル変換部１２６は、ＡＦＭ１１８に格納されている詳細ロジカルデータに基づいてフィジカル変換処理を行うことにより、フィジカルフェイルビットマップデータ（以後、「詳細フィジカルデータ」と称する）を生成する。このフィジカル変換部１２６は、専用のハードウエアによって構成されており、フィジカル変換処理を高速に実行することができる。
【００１８】
また、テスタ処理部１２２は、オペレーティングシステム（ＯＳ）によってテストプログラムを実行して所定の試験を実施するために半導体試験装置１００の全体を制御する。例えば、ＡＦＭデータに基づいてＣＦＭデータを生成する処理はこのテスタ処理部１２２によって行われる。通信制御部１２４は、半導体試験装置１００に接続されたフェイル解析装置１０との間で各種データの送受信を行う。
【００１９】
図２は、本実施形態のフェイル解析装置１０の詳細構成を示す図である。図２に示すように、フェイル解析装置１０は、通信制御部１２、ロジカルマップ格納部１４、フィジカル変換部１６、フィジカルマップ格納部１８、縮小処理部２０、詳細データ取得部３０、取得範囲設定部３２、縮小データ取得部４０、メインビューア作成部８０、ロジカルビューア作成部８２、フィジカルビューア作成部８４、表示範囲変更部８６、表示制御部９０、表示装置９４、操作部９６、ＧＵＩ処理部９８を備えている。
【００２０】
通信制御部１２は、半導体試験装置１００との間で各種データの送受信を行う。ロジカルマップ格納部１４は、ＤＵＴ１３０に対する試験によって得られた詳細ロジカルデータおよび縮小ロジカルデータを格納する。
フィジカル変換部１６は、詳細ロジカルデータに基づいてフィジカル変換処理を行うことにより、フィジカルフェイルビットマップデータ（以後、「詳細フィジカルデータ」と称する）を生成する。フィジカルマップ格納部１８は、フィジカル変換部１６によるフィジカル変換処理によって得られた詳細フィジカルデータを格納する。縮小処理部２０は、詳細フィジカルデータの内容を縮小したビットマップデータ（以後、「縮小フィジカルデータ」と称する）を生成する縮小処理を行う。この縮小処理は、上述した半導体試験装置１００においてＡＦＭデータからＣＦＭデータを生成する場合の処理と同じである。
【００２１】
詳細データ取得部３０は、詳細ロジカルデータと詳細フィジカルデータを取得する。本実施形態のフェイル解析装置１０は、半導体試験装置１００から直接詳細ロジカルデータや縮小ロジカルデータを取得しながら各種の解析を行う「テスタモード」と、一旦保存した詳細ロジカルデータ等に基づいて各種の解析を行う「ファイルモード」の２種類の解析モードを有する。
【００２２】
具体的には、詳細ロジカルデータは、テスタモード時には半導体メモリ１００内のＡＦＭ１１８からＡＦＭデータを読み出すことによって取得され、ファイルモード時にはロジカルマップ格納部１４から該当するデータを読み出すことにより取得される。また、詳細フィジカルデータは、テスタモード時には半導体試験装置１００内のＡＦＭ１１８に格納されている詳細ロジカルデータに基づいてフィジカル変換部１２６によるフィジカル変換処理を行った結果を読み込むことにより取得され、ファイルモード時にはフィジカルマップ格納部１８から該当するデータを読み出すことにより取得される。
【００２３】
取得範囲設定部３２は、詳細ロジカルデータ、詳細フィジカルデータの取得範囲を設定する。本実施形態のフェイル解析装置１０では、詳細なロジカルマップあるいはフィジカルマップの表示範囲とは別に、これよりも広い詳細ロジカルデータ、詳細フィジカルデータの取得範囲（読み取り範囲）を設定することができる。具体的な設定方法については後述する。
【００２４】
また、縮小データ取得部４０は、縮小ロジカルデータと縮小フィジカルデータを取得する。具体的には、縮小ロジカルデータは、テスタモード時には半導体試験装置１００内のＣＦＭ１２０からＣＦＭデータを読み出すことにより取得され、ファイルモード時にはロジカルマップ格納部１４から該当するデータを読み出すことにより行われる。また、縮小フィジカルデータは、テスタモード時にはフィジカル変換処理によって得られた詳細フィジカルデータに基づいて縮小処理部２０による縮小処理を行うことにより取得され、ファイルモード時にはフィジカルマップ格納部１８から読み出した詳細フィジカルデータに基づいて縮小処理部２０による縮小処理を行うことにより取得される。
【００２５】
メインビューア作成部８０は、表示装置９４にメインビューア・ウインドウを表示するために必要な描画データを作成する。このメインビューア・ウインドウには、試験対象となった複数個のＤＵＴ１３０の試験結果が一覧形式で含まれている。
【００２６】
ロジカルビューア作成部８２は、表示装置９４にロジカルビューア・ウインドウを表示するために必要な描画データを作成する。このロジカルビューア・ウインドウには、特定のＤＵＴ１３０およびＩ／Ｏ番号が指定されたときのロジカルフェイルビットマップが含まれる。
【００２７】
また、フィジカルビューア作成部８４は、表示装置９４にフィジカルビューア・ウインドウを表示するために必要な描画データを作成する。このフィジカルビューア・ウインドウには、特定のＤＵＴ１３０が指定されたときのフィジカルフェイルビットマップが含まれる。上述したメインビューア・ウインドウ、ロジカルビューア・ウインドウ、フィジカルビューア・ウインドウの具体例については後述する。
【００２８】
表示範囲変更部８６は、表示範囲の変更が指示されたときに、その時点で表示されているフェイルビットマップの表示範囲の変更を行う。この表示範囲変更部８６は、移動処理部８７とズーム処理部８８を備えている。
移動処理部８７は、表示範囲の移動が指示されたときに、この移動指示にしたがって表示範囲を移動する。具体的には、移動処理部８７は、表示範囲の移動方向や移動量を決定して、移動後の新たなロジカルマップあるいはフィジカルマップを含むウインドウを作成する旨を、その時点で表示されているウインドウに対応するロジカルビューア作成部８２あるいはフィジカルビューア作成部８４に指示する。
【００２９】
ズーム処理部８８は、表示範囲のズームが指示されたときに、このズーム指示にしたがって表示範囲を拡大（ズームアウト）あるいは縮小（ズームイン）する。具体的には、ズーム処理部８８は、新たな表示範囲を決定して、この範囲に含まれる新たなロジカルマップあるいはフィジカルマップを含むウインドウを作成する旨を、その時点で表示されているウインドウに対応するロジカルビューア作成部８２あるいはフィジカルビューア作成部８４に指示する。
【００３０】
表示制御部９０は、メインビューア作成部８０、ロジカルビューア作成部８２、フィジカルビューア作成部８４のそれぞれによって作成された描画データに基づいて、表示装置９４に出力する映像信号を生成する。この表示制御部９０にはＶＲＡＭ（ビデオＲＡＭ）９２が備わっており、画面上で一番上に表示したいウインドウの描画データが格納される。
【００３１】
操作部９６は、利用者が各種の指示入力を行うためのものであり、表示装置９４の表示画面の任意位置を指定するポインティングデバイスとしてのマウスや、テンキーやアルファベットキーあるいは各種の記号キーからなるキーボードが含まれている。ポインティングデバイスは、マウス以外のデバイス、例えば入力タブレットやタッチパネル等を用いるようにしてもよい。ＧＵＩ（グラフィカル・ユーザ・インタフェース）処理部９８は、操作部９６の操作状態に対応するＧＵＩ処理を実現するためのものである。例えば、メインビューア・ウインドウ等に含まれる各種のコマンドやボタンがマウスを用いてクリックされたときに、対応する処理を判定し、この処理の依頼を行う。
【００３２】
上述した詳細データ取得部３０が試験結果取得手段に、取得範囲設定部３２が取得範囲設定手段に、ロジカルビューア作成部８２、フィジカルビューア作成部８４がフェイルビットマップ作成手段に、表示制御部９０、表示装置９４が表示手段に、操作部９６、ＧＵＩ処理部９８が操作手段に、表示範囲変更部８６が表示範囲変更手段にそれぞれ対応する。
【００３３】
本実施形態のフェイル解析装置１０はこのような構成を有しており、次にその動作を説明する。
図３は、フェイル解析装置の動作手順を示す流れ図であり、主に、詳細データ所得部３０によって詳細ロジカルデータあるいは詳細フィジカルデータを取得する範囲を可変に設定するとともに、ロジカルビューア・ウインドウあるいはフィジカルビューア・ウインドウを表示中に表示範囲の変更が指示された場合の動作手順が示されている。
【００３４】
フェイル解析装置１０が起動されると、まず、メインビューア作成部８０は、メインビューア・ウインドウの画面を作成して表示装置９４に表示する（ステップ１００）。
図４は、メインビューア・ウインドウの具体例を示す図である。以下、メインビューア・ウインドウ内の主な表示内容について説明する。
【００３５】
ＤＵＴデータ表示領域（ａ７）
試験対象となった複数のＤＵＴ１３０のそれぞれの試験結果を示す結果画像を表示するために用いられる。矩形で示されたそれぞれの結果画像に含まれる数字がＤＵＴ番号を示しており、このＤＵＴ番号によって特定されたＤＵＴ１３０がパスなのかフェイルなのかがこの矩形内の色によって表現されている。例えば、パスの場合（このＤＵＴ番号に対応する縮小ロジカルデータが全てパスである場合）には矩形の内部が緑色に着色され、フェイルの場合（このＤＵＴ番号に対応する縮小ロジカルデータに一つでもフェイルがある場合）には矩形の内部が赤色に着色される。なお、図４に示したＤＵＴデータ表示領域ａ７には、１〜１２８のＤＵＴ番号を示したが、半導体試験装置１００に実際に実装されたＤＵＴ１３０の数が１２８より少ない場合には、対応するＤＵＴ１３０が存在しない矩形内の数字が非表示あるいはシャドウ表示される。このＤＵＴ１３０の数や次に示すＩ／Ｏ番号は、例えば、半導体試験装置１００からフェイル解析装置１０に通知（Notify）が送られてきたときに、これらの数に関する情報が読み込まれて更新される。また、半導体試験装置１００に実際に実装されたＤＵＴ１３０の数が１２８を超える場合には、１２８個のＤＵＴ１３０の結果画像が含まれるページを切り替えて表示する。
【００３６】
Ｉ／Ｏデータ表示領域（ａ８）
ＤＵＴ番号が指定された特定のＤＵＴ１３０について、各Ｉ／Ｏ番号毎の試験結果を示す結果画像を表示するために用いられる。矩形で示されたそれぞれの結果画像に含まれる数字がＩ／Ｏ番号を示しており、このＩ／Ｏ番号によって指定されるロジカルフェイルビットマップがパスなのかフェイルなのかがこの矩形内の色によって表現されている。例えば、パスの場合（このＩ／Ｏ番号に対応する縮小ロジカルデータが全てパスである場合）には矩形の内部が緑色に着色され、フェイルの場合（このＩ／Ｏ番号に対応する縮小ロジカルデータに一つでもフェイルがある場合）には矩形の内部が赤色に着色される。なお、図４に示したＩ／Ｏデータ表示領域ａ８には、０〜１４３のＩ／Ｏ番号を示したが、半導体試験装置１００に実際に実装されたＤＵＴ１３０のＩ／Ｏ番号の最大値が１４３より小さい場合には、対応するＩ／Ｏ番号が存在しない矩形内の数字が非表示あるいはシャドウ表示される。また、ＤＵＴ番号の最大値が１４３を超える場合には、ページを切り替えて表示する。
【００３７】
表示切替オプションメニュー（ａ９）
上述したＤＵＴデータ表示領域ａ７あるいはＩ／Ｏデータ表示領域ａ８における表示内容を切り替えるために用いられる。ＤＵＴデータ表示領域ａ７について、「Ｐａｓｓ／Ｆａｉｌ」、「ＣＦＭ（Ａｌｌ）」、「ＣＦＭ（１６ＤＵＴ）」、「ＣＦＭ（３２ＤＵＴ）」の各表示オプションが用意されている。また、Ｉ／Ｏデータ表示領域ａ８について、「Ｐａｓｓ／Ｆａｉｌ」、「ＣＦＭ（Ａｌｌ）」、「ＣＦＭ（１６ｏｒ１８Ｉ／Ｏ）」、「ＣＦＭ（３２ｏｒ３６Ｉ／Ｏ）」の各表示オプションが用意されている。
【００３８】
「Ｐａｓｓ／Ｆａｉｌ」は、試験結果がパスかフェイルかを示す上述した結果画像を表示するためのオプションである。図４に示したメインビューア・ウインドウの画面では、起動時のデフォルトとしてこの表示オプションが選択された状態が示されている。
【００３９】
また、「ＣＦＭ（Ａｌｌ）」、「ＣＦＭ（１６ＤＵＴ）」、「ＣＦＭ（３２ＤＵＴ）」、「ＣＦＭ（１６ｏｒ１８Ｉ／Ｏ）」、「ＣＦＭ（３２ｏｒ３６Ｉ／Ｏ）」のそれぞれは、縮小ロジカルデータに対応するロジカルフェイルビットマップ（以後、「縮小ロジカルマップ」と称する）を示す縮小画像を括弧内の数だけ表示するためのオプションである。縮小画像の具体的な表示例については後述する。
【００４０】
「Ｐｈｙｓｉｃａｌ」ボタン（ａ１０）
ＤＵＴ番号が指定された特定のＤＵＴ１３０に対応するフィジカルビューア・ウインドウの表示を指示するために用いられる。
図５は、縮小ロジカルマップを示す縮小画像の一覧が含まれるメインビューア・ウインドウの具体例を示す図である。例えば、ＤＵＴデータ表示領域ａ７に対応する表示オプションとして「ＣＦＭ（１６ＤＵＴ）」が、Ｉ／Ｏデータ表示領域ａ８に対応する表示オプションとして「ＣＦＭ（１６ｏｒ１８Ｉ／Ｏ）」がそれぞれ選択された状態が示されている。
【００４１】
ＤＵＴデータ表示領域ａ７内において、数字が含まれる矩形領域は、表示オプションとして「Ｐａｓｓ／Ｆａｉｌ」が選択された場合と同じ内容であり、この番号で指定されるＤＵＴ１３０がパスなのかフェイルなのかを示す結果画像に対応する。その上部に位置する矩形領域は、ＤＵＴ１３０毎の縮小ロジカルマップの内容を示す縮小画像を示している。半導体試験装置１００内のＣＦＭ１２０からは、Ｉ／Ｏ番号毎のＣＦＭデータ（縮小ロジカルデータ）が読み出されるため、メインビューア作成部８０は、各ＤＵＴ１３０毎に全Ｉ／Ｏ番号の縮小ロジカルデータの各ビットの論理和を求めてこの縮小画像を生成する。
【００４２】
また、Ｉ／Ｏデータ表示領域ａ８内において、数字が含まれる矩形領域は、表示オプションとして「Ｐａｓｓ／Ｆａｉｌ」が選択された場合と同じ内容であり、このＩ／Ｏ番号の縮小ロジカルデータがパスなのかフェイルなのかを示す結果画像に対応する。その上部に位置する矩形領域は、Ｉ／Ｏ番号毎の縮小ロジカルマップの内容を示す縮小画像を示している。
【００４３】
なお、図５に示した例では、ＤＵＴデータ表示領域ａ７とＩ／Ｏデータ表示領域ａ８の両方が表示されているが、いずれか一方を非表示状態にして他方の表示可能数を増やすこともできる。
図４に示したメインビューア・ウインドウを表示した状態で、次に、ＧＵＩ処理部９８は、ページサイズメニューの表示指示があったか否かを判定する（ステップ１０１）。ここで、ページサイズとは、取得範囲設定部３２によって設定される詳細データ取得部３０におけるデータの取得範囲を示している。例えば、メインビューア・ウインドウの上部に表示されたメニューバーの中の「Ｖｉｅｗ」に対応するプルダウンメニューに項目「Ｐａｇｅ Ｓｉｚｅ」が含まれているものとする。ＧＵＩ処理部９８は、この項目「Ｐａｇｅ Ｓｉｚｅ」がマウスによってクリックされたりキーボードを使って指し示されたか否かを監視することにより、上述したステップ１０１の判定を行う。
【００４４】
ページサイズメニューの表示が指示された場合にはステップ１０１の判定で肯定判断が行われ、次に、取得範囲設定部３２は、この指示にしたがって表示されたページサイズメニューを用いたページサイズの設定を行う（ステップ１０２）。
【００４５】
図６は、ページサイズメニューの具体例を示す図である。ページサイズメニューには、詳細データ取得部３０によって１回の読み込み動作によって取得可能なフェイルビットマップのサイズが一覧表示されている。具体的には、図６に示すように、ページサイズメニューＰには、１２８（Ｘアドレス）×１２８（Ｙアドレス）、２５６×２５６、…、８１９２×８１９２の７種類のサイズと、表示範囲の大きさに応じてページサイズを自動的に設定、変更する「Ａｕｔｏ」の合計１１種類の選択肢が含まれている。「Ａｕｔｏ」が選択された場合には、表示範囲の長い方のアドレスの大きさを越える最小の２のべき乗の長さの正方形の大きさがページサイズとして設定される。
【００４６】
次に、ＧＵＩ処理部９８は、ロジカルビューア・ウインドウあるいはフィジカルビューア・ウインドウの表示が指示されたか否かを判定する（ステップ１０３）。
メインビューア・ウインドウが表示された状態で、Ｉ／Ｏデータ表示領域ａ８に含まれるいずれかのＩ／Ｏ番号が指定されると、これはロジカルビューア・ウインドウの表示が指示されたことになる。この場合にはステップ１０３の判定で肯定判断が行われ、次に、詳細データ取得部３０は、ステップ１０２において取得範囲設定部３２によって設定されたページサイズ分の詳細ロジカルデータを取得する（ステップ１０４）。ロジカルビューア作成部８２は、詳細データ取得部３０によって取得された詳細ロジカルデータ等に基づいて、指定されたＩ／Ｏ番号に対応するロジカルビューア・ウインドウの画面を作成して表示装置９４に表示する（ステップ１０５）。
【００４７】
図７は、ロジカルビューア・ウインドウの具体例を示す図である。このウインドウには、縮小ロジカルマップａ１１とその一部あるいは全部に対応するロジカルフェイルビットマップａ１２が含まれている。このロジカルフェイルビットマップａ１２は、詳細データ取得部３０によって取得された詳細ロジカルデータに基づいて作成される。
【００４８】
また、メインビューア・ウインドウが表示された状態で、「Ｐｈｙｓｉｃａｌ」ボタンａ１０が選択されると、これはフィジカルビューア・ウインドウの表示が指示されたことになる。この場合にもステップ１０３の判定で肯定判断が行われ、次に、詳細データ取得部３０は、ステップ１０２において取得範囲設定部３２によって設定されたページサイズ分の詳細フィジカルデータを取得する（ステップ１０４）。フィジカルビューア作成部８４は、詳細データ取得部３０によって取得された詳細フィジカルデータ等に基づいて、そのとき指定されているＤＵＴ番号に対応するフィジカルビューア・ウインドウの画面を作成して表示装置９４に表示する（ステップ１０５）。
【００４９】
図８は、フィジカルビューア・ウインドウの具体例を示す図である。このウインドウには、縮小フィジカルマップａ１３とその一部あるいは全部に対応するフィジカルフェイルビットマップａ１４が含まれている。このフィジカルフェイルビットマップａ１４は、詳細データ取得部３０によって取得された詳細ロジカルデータに基づいて作成される。
【００５０】
次に、ＧＵＩ処理部９８は、表示中のフェイルビットマップの表示範囲の移動やズームが指示されたか否かを判定する（ステップ１０６）。ロジカルビューア・ウインドウやフィジカルビューア・ウインドウが表示された状態で、操作部９６のマウスを使って表示範囲の移動やズームが指示された場合にはステップ１０６の判定で肯定判断が行われる。例えば、ロジカルビューア・ウインドウに含まれる縮小ロジカルマップａ１１上においてマウスの左ボタンを押しながらドラッグすることにより、そのドラッグした範囲に対するズーム処理が指示される。あるいは、縮小ロジカルマップａ１１上においてマウスの中央ボタンを押しながらドラッグすることにより、表示倍率を変えずにそのドラッグした方向に表示範囲をの移動が指示される。フィジカルビューア・ウインドウが表示された状態で表示範囲の移動やズームを指示する場合も同様である。
【００５１】
次に、取得範囲設定部３２は、変更後の表示範囲が詳細データ取得部３０によるデータの取得範囲に含まれているか否かを判定する（ステップ１０７）。含まれていない場合には否定判断が行われ、次に、詳細データ取得部３０は、表示対象となっているウインドウに対応するデータの再取得を行う（ステップ１０８）。例えば、ロジカルビューア・ウインドウが表示されているときに移動やズームが指示された場合には詳細ロジカルデータの取得が行われる。また、フィジカルビューア・ウインドウが表示されているときに移動やズームが指示された場合には詳細フィジカルデータの取得が行われる。
【００５２】
変更後の表示範囲がデータの取得範囲内であってステップ１０６の判定で肯定判断が行われると、あるいはステップ１０８においてデータの再取得が行われた後、表示範囲変更部８６内の移動処理部８７あるいはズーム処理部８８は、ロジカルビューア作成部８２あるいはフィジカルビューア作成部８４に指示を送って現在の表示範囲の設定を行う。これにより、表示内容が変更される（ステップ１０９）。その後、ステップ１０６に戻って処理が繰り返される。
【００５３】
図９は、表示範囲とデータの取得範囲との関係を示す図である。例えばロジカルビューア・ウインドウ内に含まれる縮小ロジカルマップａ１１と詳細なロジカルフェイルビットマップａ１２との対応関係が示されている。なお、フィジカルビューア・ウインドウを用いた場合についても同様であり、以下の説明ではロジカルビューア・ウインドウを用いた操作指示の具体例について説明する。
【００５４】
図９に示すように、ロジカルビューア・ウインドウ内の縮小ロジカルマップａ１１の画像には、その時点におけるデータの取得範囲を示す取得枠ｃと、その時点における表示範囲であるロジカルフェイルビットマップａ１１の描画範囲を示す表示枠ｂ１が含まれている。本実施形態のフェイル解析装置１０では、表示枠ｂ１よりも広い取得枠ｃが設定されている。また、表示範囲の移動やズームの指示は、表示枠ｂ１や取得枠ｃが表示された縮小ロジカルマップａ１１を用いて行われる。
【００５５】
図１０は、縮小ロジカルマップａ１１を用いた移動指示の具体例を示す図である。図１０に示すように、マウスを操作して表示枠ｂ１内の任意位置ｄ１を指定し、この状態でマウスの中央ボタンを押しながら、矢印ｅ１で示す向きおよび位置にドラッグを行う。これにより、操作前の表示範囲ｂ１を操作後の表示範囲ｂ２に移動させることができる。また、この移動操作に伴って、ロジカルビューア・ウインドウ内のロジカルフェイルビットマップａ１２の表示内容が連続的に変化する。
【００５６】
図１１は、縮小ロジカルマップａ１１を用いたズーム指示の具体例を示す図である。図１１に示すように、マウスを操作して表示枠ｂ１内の任意位置ｄ２を指定し、この状態でマウスの左ボタンを押しながら、矢印ｅ２で示す向きおよび位置にドラッグを行う。これにより、操作前の表示範囲ｂ１を操作後の表示範囲ｂ３に変更するズームアップ処理を行うことができる。なお、操作前の表示範囲ｂ１よりも操作後の表示範囲ｂ２の方が小さい場合にはズームイン処理となる。
【００５７】
このように、本実施形態のフェイル解析装置では、試験結果としての詳細ロジカルマップデータや詳細フィジカルマップデータを取得する範囲を、詳細なロジカルマップやフィジカルマップの表示範囲よりも広くしているため、詳細ロジカルマップや詳細フィジカルマップの表示範囲の移動やズームを行う際に、データの取得範囲でこれらの移動やズームを行う場合にはデータの再取得を行う必要がない。したがって、表示範囲の変更を指示してから実際に表示範囲が変更されるまでに要する時間を短縮することができる。
【００５８】
また、データの取得範囲であるページサイズを「Ａｕｔｏ」に設定した場合には、詳細ロジカルマップ等の表示範囲が大きい場合にはデータの取得範囲も大きく、反対に表示範囲が小さい場合にはデータの所得範囲も小さく設定されるため、表示にほとんど必要がないような範囲についてまでデータを取得する無駄を省くことができ、フェイル解析装置の処理能力等を考慮した最適な処理が可能になる。
【００５９】
また、表示範囲を移動あるいはズームした場合に、データの取得範囲を超える場合にのみデータの再取得を行えばよいため、この再取得回数を最小にすることができる。
また、ロジカルビューア・ウインドウに縮小ロジカルマップａ１１と詳細なロジカルフェイルビットマップａ１２を含ませておいて、この縮小ロジカルマップａ１１を用いて表示範囲の移動やズームの指示操作を行うことができるため、従来のように縮小表示画面で概略的な内容の確認を行った後に詳細表示画面に切り替える必要がなく、切替指示を行う際の操作性を向上させることができる。フィジカルビューア・ウインドウを用いた場合についても同様である。
【００６０】
特に、縮小ロジカルマップａ１１や縮小フィジカルマップａ１３内の２点をマウス等のポインティングデバイスを用いて指定しその間をドラッグすることにより、新たな表示範囲の指定を行うことができるため、ズームインあるいはズームアウトの範囲指定を、簡単にしかも同じ操作手順で行うことなうことができる。また、縮小ロジカルマップａ１１や縮小フィジカルマップａ１３内の任意の１点と移動方向、移動量を指定することにより、新たな表示範囲の指定を行うことができるため、表示範囲の移動指示を簡単に行うことができる。
【００６１】
また、移動やズームの操作指示を行う縮小ロジカルマップａ１１等の画像に表示枠ｂ１と取得枠ｃを含ませておくことにより、データの取得範囲を確認しながら表示範囲の移動やズーム指示を行うことができるため、データの取得範囲内でこれらの指示を行うことが可能になる。
【００６２】
【発明の効果】
上述したように、本発明によれば、試験結果を取得する範囲を、表示範囲である第２の範囲よりも広い第１の範囲としているため、この表示範囲を第１の範囲内で変更する際に、試験結果を再度取得する必要がない。したがって、表示範囲の変更を指示してから実際に表示範囲が変更されるまでに要する時間を短縮することができる。
【００６３】
また、同一画面内に縮小画像と詳細画像を含ませておいて、この縮小画像を用いて表示範囲の変更を指示することができるため、従来のように縮小表示画面で概略的な内容の確認を行った後に詳細表示画面に切り替える必要がなく、切替指示を行う際の操作性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】一実施形態のフェイル解析装置が接続される半導体試験装置の構成を示す図である。
【図２】本実施形態のフェイル解析装置の詳細構成を示す図である。
【図３】フェイル解析装置の動作手順を示す流れ図である。
【図４】フェイル解析装置が起動された後に表示されるメインビューア・ウインドウの具体例を示す図である。
【図５】縮小ロジカルマップを示す縮小画像の一覧が含まれるメインビューア・ウインドウの具体例を示す図である。
【図６】ページサイズメニューの具体例を示す図である。
【図７】ロジカルビューア・ウインドウの具体例を示す図である。
【図８】フィジカルビューア・ウインドウの具体例を示す図である。
【図９】表示範囲とデータの取得範囲との関係を示す図である。
【図１０】縮小ロジカルマップを用いた移動指示の具体例を示す図である。
【図１１】縮小ロジカルマップを用いたズーム指示の具体例を示す図である。
【符号の説明】
１０ フェイル解析装置
１４ ロジカルマップ格納部
１６ フィジカル変換部
１８ フィジカルマップ格納部
２０ 縮小処理部
３０ 詳細データ取得部
３２ 取得範囲設定部
４０ 縮小データ取得部
８０ メインビューア作成部
８２ ロジカルビューア作成部
８４ フィジカルビューア作成部
８６ 表示範囲変更部
８７ 移動処理部
８８ ズーム処理部
８８ 画像合成部
９０ 表示制御部
９４ 表示装置
９６ 操作部
９８ ＧＵＩ処理部
Claims (2)
- 半導体試験装置によって半導体メモリを試験した結果を表示するフェイル解析装置であって、
第１の範囲のフェイルビットマップが作成可能な前記半導体メモリの試験結果を取得する試験結果取得手段と、
前記試験結果取得手段によって取得された前記試験結果の一部を用いて、前記第１の範囲よりも狭い第２の範囲のフェイルビットマップの画像を作成するフェイルビットマップ作成手段と、
前記フェイルビットマップ作成手段によって作成された前記画像を表示する表示手段と、
前記フェイルビットマップの表示範囲を指示する操作手段と、
前記操作手段によって前記第１の範囲内で前記表示範囲の変更が指示されたときに、前記試験結果取得手段によって取得された前記試験結果を用いて、前記表示範囲を変更する表示範囲変更手段と、
前記操作手段によって指示された前記表示範囲の大きさに応じて、前記第１の範囲の大きさを可変に設定する取得範囲設定手段と、
を備えることを特徴とするフェイル解析装置。 - 請求項１において、
前記試験結果取得手段は、前記操作手段によって前記第１の範囲を超えて前記表示範囲の変更が指示されたときに、前記半導体メモリの試験結果の再取得を行うことを特徴とするフェイル解析装置。
Priority Applications (7)
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| CNB018222730A CN100437832C (zh) | 2000-11-28 | 2001-11-16 | 故障分析装置 |
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