JP4181089B2 - Appearance inspection equipment - Google Patents

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本発明は、検査対象物の外観を検査するための外観検査用装置に関する。   The present invention relates to an appearance inspection apparatus for inspecting the appearance of an inspection object.

従来、このような分野の技術として、特開2000−35322号公報がある。この公報には、検査対象物であり円環形状をなすワークの上面を検査するための外観検査装置と、ワークの外周面を検査するための外観検査装置と、ワークの内周面を検査するための外観検査装置とが開示されている。   Conventionally, there is JP-A-2000-35322 as a technology in such a field. In this publication, an appearance inspection apparatus for inspecting an upper surface of a work that is an inspection object and has an annular shape, an appearance inspection apparatus for inspecting an outer peripheral surface of the work, and an inner peripheral surface of the work are inspected. An external appearance inspection apparatus is disclosed.

ワークの上面を検査する外観検査装置は、ワークをその外周面で保持するホルダーを備え、円環状の照明器によってワークの上面を照明し、ワークの上面をカメラに撮像する構成となっている。   An appearance inspection apparatus that inspects the upper surface of a workpiece includes a holder that holds the workpiece on its outer peripheral surface, and is configured to illuminate the upper surface of the workpiece with an annular illuminator and to image the upper surface of the workpiece with a camera.

また、ワークの外周面を検査するための外観検査装置は、ワークの内孔でワークを保持するホルダーと、ワークの側方に配置され、内向き円錐状に反射面が形成された反射体とを備えている。この反射体は、ワークの外周面から離間されて配置されている。さらに、この反射体の上方には、円環状の照明器が配置されており、照明器から照射された光を、一旦反射体に反射させて、ワークの外周面を照明している。   In addition, an appearance inspection apparatus for inspecting the outer peripheral surface of a work includes a holder that holds the work in an inner hole of the work, a reflector that is disposed on the side of the work, and has a reflective surface formed in an inward conical shape. It has. The reflector is disposed away from the outer peripheral surface of the workpiece. Further, an annular illuminator is disposed above the reflector, and the light emitted from the illuminator is once reflected by the reflector to illuminate the outer peripheral surface of the workpiece.

また、円環形状のワークの内周面を検査するための外観検査装置は、ワークをその外周面で保持するホルダーを備え、ワークの下方に照明器を配置して、ワークの下方から内周面に向けて照明し、ワークの上方からワークの内周面をカメラによって撮像する構成となっている。
特開2000−35322号公報
In addition, an appearance inspection apparatus for inspecting the inner peripheral surface of a ring-shaped workpiece includes a holder for holding the workpiece on its outer peripheral surface, and an illuminator is disposed below the workpiece, so that The light is directed toward the surface, and the inner peripheral surface of the work is imaged by the camera from above the work.
JP 2000-35322 A

しかしながら、上記の外観検査装置では、ワークの上面と外周面と内周面とを検査するためには、検査する面に対応した外観検査装置を用いなければならない。したがって、ワークを各外観検査装置間で搬送させる必要があり、装置全体として複雑化する。   However, in the above appearance inspection apparatus, in order to inspect the upper surface, the outer peripheral surface, and the inner peripheral surface of the workpiece, an appearance inspection device corresponding to the surface to be inspected must be used. Therefore, it is necessary to transport the work between the respective appearance inspection apparatuses, which complicates the entire apparatus.

また、上記のワークの外周面を検査するため外観検査装置においては、ワークの外周面を照明する円環状の照明器は、照射した光を一旦の反射体に反射させて、ワークの外周面を照明している。そのため、ワークの外周面を照明する照度は低下してしまう。また、反射体の反射面は、ワークの外周面から離間されて配置されているため、反射面に写るワークの外周面の像はぼやけてしまい、確実な検査ができないおそれがある。   In addition, in the appearance inspection apparatus for inspecting the outer peripheral surface of the workpiece, the annular illuminator that illuminates the outer peripheral surface of the workpiece reflects the irradiated light to a single reflector so that the outer peripheral surface of the workpiece is Illuminated. For this reason, the illuminance for illuminating the outer peripheral surface of the workpiece decreases. Further, since the reflecting surface of the reflector is arranged away from the outer peripheral surface of the workpiece, the image of the outer peripheral surface of the workpiece reflected on the reflecting surface is blurred, and there is a possibility that a reliable inspection cannot be performed.

また、上記の円環形状のワークの内周面を検査する外観検査装置においては、ワークの上方からカメラによってワークの内周面を撮像しているが、これでは、ワークの内周面の側方からワークの内周面を撮像していることになり、確実にワークの内周面を検査することはできない。   In addition, in the appearance inspection apparatus for inspecting the inner peripheral surface of the annular workpiece, the inner peripheral surface of the workpiece is imaged by the camera from above the workpiece. The inner peripheral surface of the work is imaged from the side, and the inner peripheral surface of the work cannot be reliably inspected.

そこで、本発明は検査対象物の外観を確実に検査することができる外観検査用装置を提供することを目的とする。   Then, an object of this invention is to provide the apparatus for external appearance inspection which can test | inspect the external appearance of a test object reliably.

本発明に係る外観検査用装置は、円柱面状とされた外周面を有する検査対象物の外観検査を行うための外観検査用装置であって、一方端から他方端にかけて内径が小さくなる円錐台面が形成された基台と、上記一方端側で基台に対向するように配置された円環状の照明器と、を備え、照明器は、円錐台面の内側で且つ円錐台面と同心軸状に配置された検査対象物の照明器に対向する主面と外周面とを直接照明し、円錐台面に検査対象物の外周面を写影させることを特徴とする。   An appearance inspection apparatus according to the present invention is an appearance inspection apparatus for performing an appearance inspection of an inspection object having an outer peripheral surface that has a cylindrical surface shape, and has a truncated cone surface whose inner diameter decreases from one end to the other end. And an annular illuminator arranged to face the pedestal on the one end side, the illuminator being inside the frustoconical surface and concentrically with the frustoconical surface. The main surface and the outer peripheral surface facing the illuminator of the inspection object arranged are directly illuminated, and the outer peripheral surface of the inspection object is projected onto the truncated cone surface.

この外観検査用装置によれば、円柱面状とされた外周面を有する検査対象物の外観検査を行う際、円錐台面の内側において、検査対象物を円錐台面と同心軸状に配置すれば、円錐台面に検査対象物の外周面が写影されると共に、照明器によって検査対象物の主面及び外周面が直接照明される。したがって、照明器側から検査対象物を観察すれば、検査対象物の主面は、照明器によって直接照明されているため、その主面の外観を鮮明度よく検査することができる。さらに、検査対象物の外周面も照明器によって直接照明されているため、間接的に照明されている場合と比べて照度の低減も殆どない。そのため、照明器側から観察すれば、円錐台面に写影された検査対象物の外周面を鮮明度よく検査することができる。このように、検査対象物の主面及び外周面を確実に検査することができる。   According to this appearance inspection device, when performing an appearance inspection of an inspection object having an outer peripheral surface that is formed into a cylindrical surface, if the inspection object is arranged concentrically with the truncated cone surface inside the truncated cone surface, The outer peripheral surface of the inspection object is projected onto the truncated cone surface, and the main surface and outer peripheral surface of the inspection object are directly illuminated by the illuminator. Therefore, if the inspection object is observed from the illuminator side, the main surface of the inspection object is directly illuminated by the illuminator, so that the appearance of the main surface can be inspected with high definition. Furthermore, since the outer peripheral surface of the inspection object is also directly illuminated by the illuminator, there is almost no reduction in illuminance compared to the case where it is indirectly illuminated. Therefore, if observed from the illuminator side, the outer peripheral surface of the inspection object projected onto the truncated cone surface can be inspected with high definition. In this way, the main surface and the outer peripheral surface of the inspection object can be reliably inspected.

さらに、上記の外観検査用装置において、照明器は、一方の端縁全周が円錐台面に当接して配置された検査対象物の照明器に対向する主面と外周面とを直接照明すると好ましい。このような構成を採用すれば、検査対象物の一方の端縁全周が円錐台面に当接するように検査対象物を配置することにより、検査対象物の主面及び外周面は、照明器によって直接照明される。したがって、照明器側から検査対象物を観察すれば、検査対象物の主面の外観を鮮明度よく検査することができる。さらに、検査対象物の外周面と円錐台面とは近距離になるために、円錐台面に検査対象物の外周面が鮮明に写影される。そのため、検査対象物の外周面が照明器によって直接照明されていることと相まって、円錐台面に写影された検査対象物の外周面を鮮明度よく検査することができる。また、照明器側からは、検査対象物の主面と外周面とが連なって観察されるため、外観検査を行い易い。   Furthermore, in the above-described visual inspection apparatus, it is preferable that the illuminator directly illuminates the main surface and the outer peripheral surface facing the illuminator of the object to be inspected arranged with the entire circumference of one end in contact with the truncated cone surface. . If such a configuration is adopted, the main surface and the outer peripheral surface of the inspection object are arranged by the illuminator by arranging the inspection object so that the entire circumference of one edge of the inspection object contacts the truncated cone surface. Directly illuminated. Therefore, if the inspection object is observed from the illuminator side, the appearance of the main surface of the inspection object can be inspected with high definition. Further, since the outer peripheral surface of the inspection object and the truncated cone surface are close to each other, the outer peripheral surface of the inspection object is clearly projected onto the truncated cone surface. Therefore, coupled with the fact that the outer peripheral surface of the inspection object is directly illuminated by the illuminator, the outer peripheral surface of the inspection object projected onto the truncated cone surface can be inspected with high definition. Further, from the illuminator side, the main surface and the outer peripheral surface of the object to be inspected are observed in a row, so that it is easy to perform an appearance inspection.

また、本発明に係る外観検査用装置は、円柱面状とされた内周面を有する検査対象物の外観検査を行うための外観検査用装置であって、一方端から他方端にかけて外径が大きくなる円錐台面が形成された基台を備え、基台の円錐台面が形成された部分に、内周面により構成される内孔を挿入して配置された検査対象物の内周面を円錐台面に写影させることを特徴とする。   An appearance inspection apparatus according to the present invention is an appearance inspection apparatus for performing an appearance inspection of an inspection object having an inner peripheral surface formed into a cylindrical surface, and has an outer diameter from one end to the other end. A base having a truncated cone surface formed thereon is provided, and the inner peripheral surface of the object to be inspected arranged by inserting an inner hole formed by the inner peripheral surface into the portion of the base where the truncated cone surface is formed is a cone. It is characterized by being projected onto the surface of the table.

この外観検査装置によれば、円錐台面が形成された部分に、検査対象物の内孔の内周面が写影されるため、その円錐台面に写影された検査対象物の内周面を観察することができ、その内周面を確実に検査することができる。   According to this appearance inspection apparatus, since the inner peripheral surface of the inner hole of the inspection object is projected onto the portion where the truncated cone surface is formed, the inner peripheral surface of the inspection object projected onto the truncated cone surface is It can be observed, and its inner peripheral surface can be reliably inspected.

また、この外観検査用装置において、円錐台面は、検査対象物の一方の内端縁全周によって当接されると好適である。この構成を採用することにより、検査対象物の内周面と円錐台面とは近距離になるために、円錐台面に検査対象物の内周面がより鮮明に写影される。したがって、検査対象物の内周面を鮮明度よく検査することができる。   In this appearance inspection apparatus, it is preferable that the frustoconical surface is brought into contact with the entire inner end edge of the inspection object. By adopting this configuration, the inner peripheral surface of the object to be inspected and the frustoconical surface are close to each other, so that the inner peripheral surface of the object to be inspected is more clearly projected on the frustoconical surface. Therefore, the inner peripheral surface of the inspection object can be inspected with high definition.

また、本発明に係る外観検査用装置は、円柱面状とされた外周面及び内周面を有する検査対象物の外観検査を行うための外観検査用装置であって、一方端から他方端にかけて内径が小さくなる第1の円錐台面が形成され、第1の円錐台面の中心軸線に沿って孔が形成された第1の基台と、第1の基台の孔において、第1の円錐台面と同心軸状であって、一方端から他方端にかけて外径が大きくなる第2の円錐台面が形成された第2の基台を備え、第1の円錐台面及び第2の円錐台面は、中心軸線上において同じ方向を向いていることを特徴とする。   Further, an appearance inspection apparatus according to the present invention is an appearance inspection apparatus for performing an appearance inspection of an inspection object having an outer peripheral surface and an inner peripheral surface that are formed in a cylindrical surface shape, from one end to the other end. A first truncated cone surface is formed in a first base in which a first truncated cone surface having a smaller inner diameter is formed and a hole is formed along the central axis of the first truncated cone surface, and in the first base hole. And a second base with a second truncated cone surface having an outer diameter increasing from one end to the other end, the first truncated cone surface and the second truncated cone surface being a center It is characterized by facing in the same direction on the axis.

この外観検査用装置によれば、検査対象物を検査するにあたって、検査対象物を第1及び第2の円錐台面に対し同心軸状になるように、検査対象物の内周面によって形成される内孔を第2の円錐台面に差し込み、検査対象物が第1の円錐台面の内側方に位置するように配置する。そのことにより、第1の円錐台面には、検査対象物の外周面が写影され、第2の円錐台面には、検査対象物の内周面が写影される。したがって、第1及び第2の円錐台面が向いている側から検査対象物を観察すれば、第1及び第2の円錐台面と同じ側を向いている主面を検査することができるとともに、第1の円錐台面を観察することによって、検査対象物の外周面を検査することができ、さらに、第2の円錐台面を観察することによって、検査対象物の内周面を検査することができる。このように、検査対象物の主面、外周面、及び内周面を確実に検査することができる。   According to this appearance inspection apparatus, when inspecting the inspection object, the inspection object is formed by the inner peripheral surface of the inspection object so as to be concentric with the first and second truncated cone surfaces. The inner hole is inserted into the second truncated cone surface so that the inspection object is located on the inner side of the first truncated cone surface. As a result, the outer peripheral surface of the inspection object is projected onto the first truncated cone surface, and the inner peripheral surface of the inspection object is projected onto the second truncated cone surface. Therefore, if the object to be inspected is observed from the side where the first and second truncated cone surfaces are directed, the main surface facing the same side as the first and second truncated cone surfaces can be inspected, and the first The outer peripheral surface of the inspection object can be inspected by observing the first truncated cone surface, and the inner peripheral surface of the inspection object can be inspected by observing the second frustoconical surface. In this way, the main surface, outer peripheral surface, and inner peripheral surface of the inspection object can be reliably inspected.

このような外観検査装置において、第1の基台と第2の基台とを、中心軸線に沿って相対的に移動させる基台移動手段をさらに備えると好適である。この構成を採用することにより、検査対象物ごとに外径や内径等の大きさが異なっても、基台移動手段によって、第1の基台と第2の基台とを、中心軸線に沿って相対的に移動させることにより、その検査対象物の外周面を第1の円錐台面に写影させ、検査対象物の内周面を第2の円錐台面に写影させることができる。   In such an appearance inspection apparatus, it is preferable to further include a base moving means for relatively moving the first base and the second base along the central axis. By adopting this configuration, the first base and the second base are moved along the central axis by the base moving means even when the outer diameter and the inner diameter are different for each inspection object. By moving the inspection object relatively, the outer peripheral surface of the inspection object can be projected onto the first truncated cone surface, and the inner peripheral surface of the inspection object can be projected onto the second truncated cone surface.

また、この外観検査装置において、第1の円錐台面及び第2の円錐台面はともに上方を向いており、基台移動手段は、第2の基台を第1の基台に対して上下させて、検査対象物を第1の円錐台面上に位置決めすると好適である。このような構成にすれば、検査対象物を第1の円錐台面に対して同心軸状に配置させようとしたときに、偏心した状態で検査対象物が第1の円錐台面に載置された場合、検査対象物の姿勢を修正し、検査対象物を第1の円錐台面に対して同心軸状に配置させる必要がある。そこで、第2の円錐台面は上方を向いているため、基台移動手段によって、第2の基台を第1の基台に対して上方に移動させることにより、検査対象物の内孔に第2の円錐台面を挿入させて、第2の円錐台面により検査対象物を支持することができる。このとき、偏心した姿勢であった検査対象物は、第2の基台に支持される際、その姿勢が修正されて、第2の円錐台面に対して同心軸状となる。その状態で、基台移動手段によって、第2の基台を第1の基台に対して下方に移動させることにより、検査対象物は、第1の基台に対して同心軸状に配置され、位置決めされることとなる。この場合、基台移動手段により第2の基台を一度相対移動させただけでは、修正しきれなかった場合、基台移動手段による第2の基台の相対移動を繰り返し行うことにより、検査対象物は修正されて位置決めされる。   In this appearance inspection apparatus, both the first truncated cone surface and the second truncated cone surface face upward, and the base moving means moves the second base up and down relative to the first base. The inspection object is preferably positioned on the first truncated cone surface. With such a configuration, when the inspection object is arranged concentrically with respect to the first truncated cone surface, the inspection object is placed on the first truncated cone surface in an eccentric state. In this case, it is necessary to correct the posture of the inspection object and arrange the inspection object concentrically with respect to the first truncated cone surface. Therefore, since the second truncated cone surface is directed upward, the second moving base is moved upward with respect to the first base by the base moving means, so that the second hole is formed in the inner hole of the inspection object. By inserting the two truncated cone surfaces, the inspection object can be supported by the second truncated cone surfaces. At this time, when the inspection object having an eccentric posture is supported by the second base, the posture is corrected to be concentric with the second truncated cone surface. In this state, the object to be inspected is arranged concentrically with respect to the first base by moving the second base downward with respect to the first base by the base moving means. Will be positioned. In this case, if the correction cannot be made by simply moving the second base once by the base moving means, the relative movement of the second base by the base moving means is repeatedly performed, so that the object to be inspected can be obtained. The object is modified and positioned.

さらに、この外観検査用装置において、第1の基台に対向するように配置され、第1及び第2の円錐台面と同心軸状となるように配置された円環状の照明器と、照明器の姿勢を維持させつつ、第1及び第2の基台と照明器とを相対的に移動させる照明器移動手段とをさらに備えると好適である。この構成により、照明器移動手段によって、照明器の姿勢を維持させつつ、第1及び第2の基台と照明器とを相対的に移動させることによって、検査対象物における照明器側の主面や外周面、内周面のうち、照明する面を変えることができる。   Further, in this visual inspection apparatus, an annular illuminator disposed so as to face the first base and concentric with the first and second truncated cone surfaces, and the illuminator It is preferable to further include an illuminator moving means for relatively moving the first and second bases and the illuminator while maintaining the above posture. With this configuration, the main surface on the illuminator side of the inspection object is obtained by relatively moving the first and second bases and the illuminator while maintaining the posture of the illuminator by the illuminator moving means. Of the outer peripheral surface and the inner peripheral surface, the surface to be illuminated can be changed.

また、上記の外観検査用装置においては、複数の第1の基台が円周上に配列されて構成された第1のテーブル板と、第1のテーブル板の下方に配置され、複数の第2の基台が、円周上に配列されて固定された第2のテーブル板とを備え、第1のテーブル板と第2のテーブル板とは同心軸状に配置され、且つ、複数の第1の円錐台面が配列された円周と複数の第2の円錐台面が配列された円周は同じ大きさであり、さらに、第1のテーブル板を第2のテーブル板に対して相対的に回転させる回転手段を備え、基台移動手段は、第2のテーブル板を第1のテーブル板に対して相対的に上下させると良い。この構成を採用すれば、回転手段によって、第1のテーブル板を第2のテーブル板に対して相対的に回転させることにより、第1の円錐台面に配置された検査対象物を移動させることができ、さらに、基台移動手段によって、第2のテーブル板を第1のテーブル板に対して相対的に上下させることにより、第1の円錐台面に配置された検査対象物の位置決めができ、検査対象物における照明器側の主面及び外周面を検査することができる。また、検査対象物の内周面により形成される内孔に第2の円錐台面を挿入した状態とすれば、検査対象物の内周面も検査することができる。   Further, in the above-described visual inspection apparatus, a plurality of first bases are arranged on the circumference, arranged below the first table plate, and a plurality of first base plates are arranged. A second table plate arranged and fixed on the circumference, the first table plate and the second table plate are arranged concentrically, and a plurality of second table plates The circumference in which one frustoconical surface is arranged and the circumference in which a plurality of second frustoconical surfaces are arranged have the same size, and the first table plate is relatively relative to the second table plate. Rotating means for rotating is provided, and the base moving means may move the second table plate up and down relatively with respect to the first table plate. If this configuration is adopted, the inspection object arranged on the first truncated cone surface can be moved by rotating the first table plate relative to the second table plate by the rotating means. Further, by moving the second table plate up and down relative to the first table plate by the base moving means, the inspection object placed on the first truncated cone surface can be positioned, and the inspection can be performed. The main surface and the outer peripheral surface on the illuminator side of the object can be inspected. Further, if the second truncated cone surface is inserted into the inner hole formed by the inner peripheral surface of the inspection object, the inner peripheral surface of the inspection object can also be inspected.

また、本発明に係る外観検査装置は、円柱面状とされた外周面及び内周面を有する検査対象物の外観検査を行うための外観検査用装置であって、一方端から他方端にかけて内径が小さくなっており、検査対象物の一方の外端縁全周を当接するための第1の円錐台面が形成され、第1の円錐台面の中心軸線に沿って孔が形成された第1の基台と、第1の基台の孔において第1の円錐台面と同心軸状に配置され、検査対象物の一方の内端縁全周を当接するため、一方端から他方端にかけて外径が大きくなる第2の円錐台面が形成された第2の基台と、を備え、第1及び第2の円錐台面は、中心軸線上において同じ方向を向いていることを特徴とする。   Further, an appearance inspection apparatus according to the present invention is an appearance inspection apparatus for performing an appearance inspection of an inspection object having a cylindrical outer peripheral surface and an inner peripheral surface, and has an inner diameter from one end to the other end. The first frustoconical surface for abutting the entire circumference of one outer edge of the object to be inspected is formed, and a hole is formed along the central axis of the first frustoconical surface. In the hole of the base and the first base, it is arranged concentrically with the first frustoconical surface, and contacts the entire circumference of one inner end edge of the object to be inspected, so that the outer diameter is from one end to the other end. And a second base on which a second truncated cone surface is formed, wherein the first and second truncated cone surfaces are oriented in the same direction on the central axis.

この外観検査用装置によれば、検査対象物の一方の外端縁全周を第1の円錐台面に当接させ、検査対象物の一方の内端縁全周を第2の円錐台面に当接させるように、検査対象物を配置すれば、検査対象物の外周面は、第1の円錐台面に近接しているため、第1の円錐台面に鮮明に写影される。また、検査対象物の内周面は、第2の円錐台面に近接しているため、第2の円錐台面に鮮明に写影される。したがって、第1の円錐台面の一方端側から観察すれば、検査対象物における第1の円錐台面の一方端側の主面、外周面、及び内周面を確実に検査することができる。また、第2の円錐台面に写影された内周面と、主面、第1の円錐台面に写影された外周面とは連なっているので、検査し易い。   According to this appearance inspection apparatus, the entire outer edge of one inspection object is brought into contact with the first truncated cone surface, and the entire inner edge of the inspection object is applied to the second truncated cone surface. If the inspection object is arranged so as to be in contact, the outer peripheral surface of the inspection object is close to the first truncated cone surface, so that it is clearly projected on the first truncated cone surface. Moreover, since the inner peripheral surface of the inspection object is close to the second truncated cone surface, it is clearly projected on the second truncated cone surface. Therefore, if observed from the one end side of the first truncated cone surface, the main surface, the outer circumferential surface, and the inner circumferential surface on the one end side of the first truncated cone surface in the inspection object can be reliably inspected. Moreover, since the inner peripheral surface projected on the second truncated cone surface and the outer peripheral surface projected on the main surface and the first truncated cone surface are continuous, it is easy to inspect.

本発明によれば、検査対象物の外観を確実に検査することができる。   According to the present invention, the appearance of an inspection object can be reliably inspected.

以下、図面を参照しつつ本発明に係る外観検査用装置の好適な実施形態について詳細に説明する。   Hereinafter, preferred embodiments of an appearance inspection apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1は、外観検査用装置1の概略構成図である。図1に示すように、外観検査用装置1は、検査対象物撮像部2、画像処理装置3、及びモニター4を備える。そして、検査対象物撮像部2にあるカメラ6A,6Bによって撮像された検査対象物7の画像信号が画像処理装置3に出力され、画像処理装置3によって処理された画像信号がモニター4に表示される。カメラ6A,6Bは、フォーカス調整機能を有している。モニター4に表示された検査対象物7を観察することにより、検査対象物7の外観を検査することができる。この検査対象物7は、円柱面状とされた外周面及び内周面を有する円環形状をしており、例えば、リングバリスタ等の電子部品である。   FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an appearance inspection apparatus 1. As shown in FIG. 1, the appearance inspection device 1 includes an inspection object imaging unit 2, an image processing device 3, and a monitor 4. Then, the image signal of the inspection object 7 imaged by the cameras 6A and 6B in the inspection object imaging unit 2 is output to the image processing device 3, and the image signal processed by the image processing device 3 is displayed on the monitor 4. The The cameras 6A and 6B have a focus adjustment function. By observing the inspection object 7 displayed on the monitor 4, the appearance of the inspection object 7 can be inspected. This inspection object 7 has an annular shape having a cylindrical outer peripheral surface and an inner peripheral surface, and is, for example, an electronic component such as a ring varistor.

また、検査対象物撮像部2には、第1のテーブル板8と第2のテーブル板9とが、水平且つ同心軸状で上下に配置されている。第1のテーブル板8は、検査対象物7の外周面を写影するための第1の基台11が複数箇所、等間隔で円周上に配列されるように構成されている。また、第2のテーブル板9には、検査対象物7の内周面を写影するための第2の基台12が複数個、等間隔で立設されて固定されている。この第2の基台12も第2のテーブル板9上に円周上に配列されている。そして、第1の基台11の形成個数と、第2の基台12の個数とは同数であり、配列されている円周の大きさも同じである。したがって、第1の基台11の位置と第2の基台12の位置とを上下に合わせることができる。   In the inspection object imaging unit 2, a first table plate 8 and a second table plate 9 are arranged horizontally and concentrically up and down. The 1st table board 8 is comprised so that the 1st base 11 for projecting the outer peripheral surface of the test target object 7 may be arranged on the circumference by multiple places at equal intervals. Further, a plurality of second bases 12 for projecting the inner peripheral surface of the inspection object 7 are erected and fixed on the second table plate 9 at equal intervals. The second base 12 is also arranged on the second table plate 9 on the circumference. The number of the first bases 11 formed and the number of the second bases 12 are the same, and the sizes of the arranged circumferences are also the same. Therefore, the position of the 1st base 11 and the position of the 2nd base 12 can be matched up and down.

また、第1のテーブル板8は、その中央において鉛直に延在する回転シャフト13によって保持されており、回転手段(図示せず)によって回転シャフト13が矢印P方向(右回り)に回転することにより、第1のテーブル板8は、同じ方向の矢印Q(右回り)に回転する。さらに、第2のテーブル板9は、複数本の支持部14によって保持されており、基台移動手段(図示せず)によって、支持部14が上下に移動可能となっている。これにより、第1の基台11に対して第2の基台12を相対的に移動させることができる。   Moreover, the 1st table board 8 is hold | maintained by the rotating shaft 13 extended perpendicularly | vertically in the center, and the rotating shaft 13 rotates to the arrow P direction (clockwise) by a rotation means (not shown). As a result, the first table plate 8 rotates in the arrow Q (clockwise) in the same direction. Further, the second table plate 9 is held by a plurality of support portions 14, and the support portion 14 can be moved up and down by a base moving means (not shown). As a result, the second base 12 can be moved relative to the first base 11.

また、カメラ6A,6Bと第1のテーブル板8との間には、円環状の照明器16A,16Bがそれぞれ配置されている。この円環状の照明器16の中央に抜けた空間を通して、カメラ6は、検査対象物7を撮像する。この照明器16A,16Bは、照明器移動手段(図示せず)によって、照明器16A,16Bの姿勢を維持したまま、上下に移動させることができる。   In addition, annular illuminators 16A and 16B are arranged between the cameras 6A and 6B and the first table plate 8, respectively. The camera 6 captures an image of the inspection object 7 through a space that passes through the center of the annular illuminator 16. The illuminators 16A and 16B can be moved up and down by illuminator moving means (not shown) while maintaining the posture of the illuminators 16A and 16B.

図2は、検査対象物7の上面(主面)7a及び外周面7bを検査している様子を示す第1の基台11の断面図である。図2に示すように、第1の基台11は、上方の一方端から下方の他方端にかけて内径が小さくなる第1の円錐台面17を有している。この第1の円錐台面17は、鏡面状に加工されている。なお、円錐状面に反射膜を塗布することで、第1の円錐台面17を形成しても良い。さらに、第1の基台11には、第1の円錐台面17の中心軸線に沿って、円筒状の孔18が形成されている。このような第1の円錐台面17上において、円環状の検査対象物7は、第1の円錐台面17と同心軸状に配置されている。このとき、検査対象物7における外周の下方の端縁は、全周にわたって、第1の円錐台面17に当接している。   FIG. 2 is a cross-sectional view of the first base 11 showing a state in which the upper surface (main surface) 7a and the outer peripheral surface 7b of the inspection object 7 are being inspected. As shown in FIG. 2, the first base 11 has a first truncated cone surface 17 whose inner diameter decreases from one upper end to the other lower end. The first truncated cone surface 17 is processed into a mirror surface. The first truncated cone surface 17 may be formed by applying a reflective film on the conical surface. Furthermore, a cylindrical hole 18 is formed in the first base 11 along the central axis of the first truncated cone surface 17. On the first truncated cone surface 17, the annular inspection object 7 is arranged concentrically with the first truncated cone surface 17. At this time, the lower edge of the outer periphery of the inspection object 7 is in contact with the first truncated cone surface 17 over the entire periphery.

照明器16は、第1の基台11と対向するように配置され、この照明器16には、指向性を以て光を照射する複数の光源19が円周上に配列されている。光源19として、LEDが採用されている。そして、照明器16は、この光源19によって、第1の円錐台面17の円錐角と略同じ円錐角を以て、第1の円錐台面17に沿うように照明する。そのため、照明器16は、検査対象物7の上面7a及び外周面7bに対して、直接光を照射している。このことにより、照度が減じられることなく、検査対象物7の上面7a及び外周面7bは照明される。   The illuminator 16 is disposed so as to face the first base 11, and a plurality of light sources 19 that irradiate light with directivity are arranged on the circumference of the illuminator 16. An LED is employed as the light source 19. The illuminator 16 illuminates the light source 19 along the first truncated cone surface 17 with a cone angle substantially the same as the cone angle of the first truncated cone surface 17. Therefore, the illuminator 16 directly irradiates the upper surface 7a and the outer peripheral surface 7b of the inspection object 7 with light. Thus, the upper surface 7a and the outer peripheral surface 7b of the inspection object 7 are illuminated without reducing the illuminance.

また、検査対象物7における外周の一報の端縁は、全周にわたって第1の円錐台面17に当接しているため、検査対象物7の外周面7bと第1の円錐台面17とは、近距離になるために、第1の円錐台面17に、検査対象物7の外周面7bが鮮明に写影される。そのため、検査対象物7の上面7a及び外周面7bが照明器16によって直接照明されていることと相まって、第1の円錐台面17の開口側、すなわち照明器側に設置されたカメラ6によって、検査対象物7の上面7a、及び第1の円錐台面17に写影された検査対象物7の外周面7bをコントラストよく鮮明に撮像することができる。そのため、検査対象物7の上面7a及び外周面7bの外観を確実に検査することができる。また、検査対象物7の上面7aと外周面7bとは連なって撮像されるため、外観検査を行い易い。   In addition, since the reported edge of the outer periphery of the inspection object 7 is in contact with the first truncated cone surface 17 over the entire circumference, the outer peripheral surface 7b of the inspection object 7 and the first truncated cone surface 17 are close to each other. In order to reach the distance, the outer peripheral surface 7 b of the inspection object 7 is clearly projected onto the first truncated cone surface 17. Therefore, coupled with the fact that the upper surface 7a and the outer peripheral surface 7b of the inspection object 7 are directly illuminated by the illuminator 16, the inspection is performed by the camera 6 installed on the opening side of the first truncated cone surface 17, that is, the illuminator side. The upper surface 7a of the object 7 and the outer peripheral surface 7b of the inspection object 7 projected onto the first frustoconical surface 17 can be clearly imaged with good contrast. Therefore, the appearance of the upper surface 7a and the outer peripheral surface 7b of the inspection object 7 can be reliably inspected. Moreover, since the upper surface 7a and the outer peripheral surface 7b of the inspection object 7 are continuously imaged, it is easy to perform an appearance inspection.

図3は、検査対象物7の上面7a及び内周面7cを検査している様子を示す第1の基台11の断面図である。図3に示すように、第2の基台12が、孔18に挿入されている。これは、基台移動手段によって、支持部14が上方に移動されたことによって、第2のテーブル板9が上昇し、第2の基台12が上昇したことによる。このとき、第2の基台12は、孔18において、第1の円錐台面17と同心軸状に位置される。なお、基台移動手段は、検査対象物7の外径、内径等のサイズに対応して、第1の基台11に対する第2の基台12の位置を調整することができると共に、第2の基台12の上下移動速度も調整することができる。   FIG. 3 is a cross-sectional view of the first base 11 showing a state in which the upper surface 7a and the inner peripheral surface 7c of the inspection object 7 are being inspected. As shown in FIG. 3, the second base 12 is inserted into the hole 18. This is because the second table plate 9 is raised and the second base 12 is raised due to the support 14 being moved upward by the base moving means. At this time, the second base 12 is positioned concentrically with the first truncated cone surface 17 in the hole 18. The base moving means can adjust the position of the second base 12 relative to the first base 11 according to the size of the inspection object 7 such as the outer diameter and the inner diameter, and the second The vertical movement speed of the base 12 can also be adjusted.

また、第2の基台12の先端部は、上方の一方端から下方の他方端にかけて外径が大きくなる円錐台形状をなす第2の円錐台面21を有している。この第2の円錐台面21も、鏡面状に加工されている。なお、この円錐状面に反射膜を塗布することで、第2の円錐台面21を形成しても良い。また、第2の円錐台面21の円錐角は、第1の円錐台面17の円錐角と略同じ角度である。この第2の円錐台面21は、その中心軸上において、第1の円錐台面17と同じ上方を向いている。そして、検査対象物7は、下方における内周側端縁の全周にわたって第2の円錐台面21に当接され、下方における外周側端縁の全周にわたって第1の円錐台面17に当接されて、配置されている。   Further, the distal end portion of the second base 12 has a second truncated cone surface 21 having a truncated cone shape whose outer diameter increases from one upper end to the other lower end. The second truncated cone surface 21 is also processed into a mirror surface. In addition, you may form the 2nd truncated cone surface 21 by apply | coating a reflective film to this conical surface. The cone angle of the second truncated cone surface 21 is substantially the same as the cone angle of the first truncated cone surface 17. The second truncated cone surface 21 faces the same upper side as the first truncated cone surface 17 on its central axis. The inspection object 7 is in contact with the second truncated cone surface 21 over the entire circumference of the lower inner peripheral edge and is in contact with the first truncated cone surface 17 over the entire outer peripheral edge of the lower part. Arranged.

照明器16は、照明器移動手段によって、照明器16の姿勢を維持した状態で、上昇されている。そのことにより、検査対象物7の上面7a及び内周面7cは、照明器16によって、直接照明されている。したがって、検査対象物7の上面7a及び内周面7cは、照度が減じられることなく、鮮明に照明されている。   The illuminator 16 is raised by the illuminator moving means while maintaining the posture of the illuminator 16. Thereby, the upper surface 7 a and the inner peripheral surface 7 c of the inspection object 7 are directly illuminated by the illuminator 16. Therefore, the upper surface 7a and the inner peripheral surface 7c of the inspection object 7 are clearly illuminated without reducing the illuminance.

また、検査対象物7の内周側の端縁は、全周にわたって、第2の円錐台面21に当接しているため、検査対象物7の内周面7cと第2の円錐台面21とは、近距離になるために、第2の円錐台面21に、検査対象物7の内周面7cが鮮明に写影される。そのため、検査対象物7の上面7a及び内周面7cが照明器16によって直接照明されていることと相まって、カメラ6によって、検査対象物7の上面7a、及び第2の円錐台面21に写影された検査対象物7の内周面7cをコントラストよく鮮明に撮像することができる。そのため、検査対象物7の上面7a及び内周面7cの外観を確実に検査することができる。また、検査対象物7の上面7aと内周面7cとは連なって撮像されるため、外観検査を行い易い。さらに、検査対象物7の外周面7bも第1の円錐台面に写影されるため、あわせて外周面7bも検査することができる。図2の検査対象物7と図3の検査対象物7はともに円環形状であるが、サイズが若干異なっている。しかしながら、同じサイズの検査対象物7を図2及ぶ図3に示す状態で検査することができるのは言うまでもない。   Moreover, since the edge of the inner peripheral side of the inspection object 7 is in contact with the second truncated cone surface 21 over the entire circumference, the inner peripheral surface 7c and the second truncated cone surface 21 of the inspection object 7 are different from each other. In order to become a short distance, the inner peripheral surface 7 c of the inspection object 7 is clearly projected on the second truncated cone surface 21. Therefore, combined with the fact that the upper surface 7a and the inner peripheral surface 7c of the inspection object 7 are directly illuminated by the illuminator 16, the image is projected onto the upper surface 7a of the inspection object 7 and the second truncated cone surface 21 by the camera 6. The inner peripheral surface 7c of the inspection object 7 thus obtained can be imaged clearly with a good contrast. Therefore, the appearance of the upper surface 7a and the inner peripheral surface 7c of the inspection object 7 can be reliably inspected. Moreover, since the upper surface 7a and the inner peripheral surface 7c of the inspection object 7 are continuously imaged, it is easy to perform an appearance inspection. Furthermore, since the outer peripheral surface 7b of the inspection object 7 is also projected onto the first truncated cone surface, the outer peripheral surface 7b can also be inspected. The inspection object 7 in FIG. 2 and the inspection object 7 in FIG. 3 are both in an annular shape, but are slightly different in size. However, it goes without saying that the inspection object 7 having the same size can be inspected in the state shown in FIGS.

次に、図4を参照して、検査対象物7の位置決めについて説明する。   Next, positioning of the inspection object 7 will be described with reference to FIG.

図4(a)は、検査対象物7を第1の円錐台面17に対して同心軸状に配置させようとしたときに、偏心した状態で検査対象物7が第1の円錐台面17に載置された状態を示している。この場合、検査対象物7の姿勢を修正し、検査対象物7を第1の円錐台面17に対して同心軸状に配置させる必要がある。そこで、図4(b)に示すように、基台移動手段によって、第2の基台12を上方に移動させて、検査対象物7の内孔22に第2の円錐台面21を挿入させて、第2の基台12により検査対象物7を持ち上げて支持させる。すると、偏心した姿勢であった検査対象物7は、第2の基台12に支持される際、その姿勢が修正されて、第2の円錐台面21に対して同心軸状となる。その状態で、図4(c)に示すように、基台移動手段によって、第2の基台12を下方に移動させることにより、検査対象物7は、第1の基台11に対して同心軸状に配置され、位置決めされることとなる。この場合、基台移動手段による第2の基台12の上下移動を一度行っただけでは修正しきれなかった場合、基台移動手段による第2の基台12の上下移動を繰り返し行うことにより、検査対象物7の姿勢を修正して位置決めすることができる。   4A shows that when the inspection object 7 is arranged concentrically with respect to the first truncated cone surface 17, the inspection object 7 is placed on the first truncated cone surface 17 in an eccentric state. It shows the placed state. In this case, it is necessary to correct the posture of the inspection object 7 and arrange the inspection object 7 concentrically with respect to the first truncated cone surface 17. Therefore, as shown in FIG. 4B, the second base 12 is moved upward by the base moving means, and the second truncated cone surface 21 is inserted into the inner hole 22 of the inspection object 7. The inspection object 7 is lifted and supported by the second base 12. Then, when the inspection object 7 having an eccentric posture is supported by the second base 12, the posture thereof is corrected to be concentric with respect to the second truncated cone surface 21. In this state, as shown in FIG. 4C, the inspection object 7 is concentric with the first base 11 by moving the second base 12 downward by the base moving means. It will be arranged and positioned in the shape of a shaft. In this case, when the second base 12 by the base moving means can not be corrected only by moving up and down once, by repeatedly performing the vertical movement of the second base 12 by the base moving means, The posture of the inspection object 7 can be corrected and positioned.

次に、図5を参照して、円盤形状の検査対象物23の位置決めについて説明する。   Next, positioning of the disk-shaped inspection object 23 will be described with reference to FIG.

図5(a)は、検査対象物23を第1の円錐台面17に配置させたときに、第1の円錐台面17に対して偏心した状態で検査対象物23が第1の円錐台面17に載置された状態を示している。検査対象物23の姿勢を修正するためには、図5(b)に示すように、基台移動手段によって、第2の基台12を上方に移動させて、第2の基台12の頂面24によって検査対象物23を持ち上げて支持させる。すると、偏心した姿勢であった検査対象物23は、第2の基台12の頂面24に支持される際、その姿勢が修正されて、水平となり、第1の円錐台面17に対して同心軸状となる。その状態で、図5(c)に示すように、基台移動手段によって、第2の基台12を下方に移動させることにより、検査対象物23は、第1の円錐台面17に対して同心軸状に配置され、位置決めされることとなる。   FIG. 5A shows that when the inspection object 23 is arranged on the first truncated cone surface 17, the inspection object 23 is placed on the first truncated cone surface 17 in a state of being eccentric with respect to the first truncated cone surface 17. The mounted state is shown. In order to correct the posture of the inspection object 23, as shown in FIG. 5B, the second base 12 is moved upward by the base moving means, and the top of the second base 12 is moved. The inspection object 23 is lifted and supported by the surface 24. Then, when the inspection object 23 having an eccentric posture is supported by the top surface 24 of the second base 12, the posture is corrected and becomes horizontal, and is concentric with the first truncated cone surface 17. It becomes a shaft. In this state, as shown in FIG. 5C, the inspection object 23 is concentric with the first truncated cone surface 17 by moving the second base 12 downward by the base moving means. It will be arranged and positioned in the shape of a shaft.

以上のように検査対象物7の上面7a、外周面7b、内周面7cの検査に関する説明を踏まえて、図1に戻り、外観検査用装置1における検査対象物7の検査の流れについて説明する。   As described above, based on the description regarding the inspection of the upper surface 7a, the outer peripheral surface 7b, and the inner peripheral surface 7c of the inspection object 7, the flow of inspection of the inspection object 7 in the appearance inspection apparatus 1 will be described with reference to FIG. .

先ず、矢印Rに示す第1の基台11における第1の円錐台面に、検査対象物7を配置する。そして、回転手段によって矢印P方向に第1のテーブル板8を回転させ、検査対象物7をカメラ6Aの下方に位置付ける。このとき、検査対象物7が、第1の円錐台面17に対して偏心した状態で配置されている場合には、図4に示す方法により、検査対象物7の姿勢を修正して位置決めする。そのうえで、図2に示すように、検査対象物7の上面7a及び外周面7bをカメラ6Aで撮像する。カメラ6Aによって出力された画像信号は、画像処理装置3によって処理され、モニター4に表示される。モニター4には、検査対象物7の上面7a及び外周面7bの外観がコントラスト良く鮮明に表示されるため、これを観察して検査する。   First, the inspection object 7 is arranged on the first truncated cone surface of the first base 11 indicated by the arrow R. Then, the first table plate 8 is rotated in the direction of arrow P by the rotating means, and the inspection object 7 is positioned below the camera 6A. At this time, when the inspection object 7 is arranged in an eccentric state with respect to the first truncated cone surface 17, the posture of the inspection object 7 is corrected and positioned by the method shown in FIG. In addition, as shown in FIG. 2, the upper surface 7a and the outer peripheral surface 7b of the inspection object 7 are imaged by the camera 6A. The image signal output by the camera 6 </ b> A is processed by the image processing device 3 and displayed on the monitor 4. Since the appearance of the upper surface 7a and the outer peripheral surface 7b of the inspection object 7 is clearly displayed with good contrast on the monitor 4, this is observed and inspected.

さらに、図3に示すように、照明器16Aを照明器移動手段によって上昇させて、検査対象物7の上面7a及び内周面7cをカメラ6Aで撮像する。このカメラ6Aによって出力された画像信号は、画像処理装置3によって処理され、モニター4に表示される。モニター4には、検査対象物7の上面7a及び内周面7cの外観がコントラスト良く鮮明に表示されるため、これを観察して検査する。   Further, as shown in FIG. 3, the illuminator 16A is raised by the illuminator moving means, and the upper surface 7a and the inner peripheral surface 7c of the inspection object 7 are imaged by the camera 6A. The image signal output by the camera 6A is processed by the image processing device 3 and displayed on the monitor 4. Since the appearance of the upper surface 7a and the inner peripheral surface 7c of the inspection object 7 is clearly displayed with a good contrast on the monitor 4, this is observed and inspected.

続いて、回転手段によって矢印P方向に第1のテーブル板8を同じ角度だけ回転させ、矢印Sに示すように、検査対象物7を、例えば、アームロボット等の反転機構によって反転させて、第1のテーブル板8の回転方向に隣接する別の第1の基台11における第1の円錐台面に配置する。さらに、回転手段によって矢印P方向に第1のテーブル板8を同じ角度だけ回転させ、検査対象物7をカメラ6Bの下方に位置付ける。このときにも、検査対象物7が、第1の円錐台面17に対して偏心した状態で配置されている場合には、図4に示す方法により、検査対象物7の姿勢を修正して位置決めする。   Subsequently, the first table plate 8 is rotated by the same angle in the direction of the arrow P by the rotating means, and as shown by the arrow S, the inspection object 7 is reversed by a reversing mechanism such as an arm robot, for example. It arrange | positions on the 1st truncated cone surface in another 1st base 11 adjacent to the rotation direction of the one table board 8. FIG. Further, the first table plate 8 is rotated by the same angle in the direction of arrow P by the rotating means, and the inspection object 7 is positioned below the camera 6B. Also at this time, when the inspection object 7 is arranged in an eccentric state with respect to the first truncated cone surface 17, the posture of the inspection object 7 is corrected and positioned by the method shown in FIG. To do.

そして、カメラ6Aで撮像した検査対象物7の上面7aとは裏側の面を、カメラ6Bによって撮像させる。このカメラ6Bによって出力された画像信号は、画像処理装置3によって処理され、モニター4に表示される。モニター4には、検査対象物7の裏面がコントラスト良く鮮明に表示されるため、これを観察して検査する。なお、カメラ6Bの下方に検査対象物7が配置されたときに、図2及び図3に示すように、検査対象物7の裏面や外周面7b、内周面7cを検査しても良い。   Then, the camera 6B captures an image of the surface opposite to the upper surface 7a of the inspection object 7 imaged by the camera 6A. The image signal output by the camera 6B is processed by the image processing device 3 and displayed on the monitor 4. Since the back surface of the inspection object 7 is clearly displayed with good contrast on the monitor 4, this is observed and inspected. When the inspection object 7 is disposed below the camera 6B, the back surface, the outer peripheral surface 7b, and the inner peripheral surface 7c of the inspection object 7 may be inspected as shown in FIGS.

検査対象物7の検査が終了すると、回転手段によってさらに矢印P方向に第1のテーブル板8を回転させる。そして、矢印T,Uに示すように、良、不良を区別して、検査対象物7を仕分けする。ここで、検査対象物7の良、不良の区別は、検査対象物7の表面におけるカケ、ワレ、或いはクラック等の有無によって判断する。   When the inspection of the inspection object 7 is completed, the first table plate 8 is further rotated in the direction of arrow P by the rotating means. Then, as indicated by arrows T and U, the inspection object 7 is sorted by distinguishing between good and bad. Here, whether the inspection object 7 is good or bad is determined by the presence or absence of cracks, cracks or cracks on the surface of the inspection object 7.

図6は、検査対象物7であるリングバリスタが不良であった場合に、図3で示す構成でカメラ6により撮像され、モニター4に表示されるリングバリスタ7の検査画面例である。図6に示すように、画面中央には、第2の基台12の頂面24が表示され、その周囲には、第2の円錐台面21が表示されている。さらに、その周囲には第2の円錐台面21に写影されたリングバリスタ7の内周面7c、続いて上面7a、さらに、第1の円錐台面17に写影されたリングバリスタ7の外周面7bが表示されている。この外周面7bには、3個の側面電極部26が現れており、隣接する側面電極部26,26間は、電極ギャップ部27となっている。さらにその周囲には、第1の円錐台面17が表示されている。このような画像において、例えば、符号28で示すようなクラックが生じていた場合には、不良品として取り扱う。   FIG. 6 is an example of an inspection screen of the ring varistor 7 that is captured by the camera 6 with the configuration shown in FIG. 3 and displayed on the monitor 4 when the ring varistor that is the inspection object 7 is defective. As shown in FIG. 6, the top surface 24 of the second base 12 is displayed at the center of the screen, and the second truncated cone surface 21 is displayed around it. Further, there are an inner peripheral surface 7c of the ring varistor 7 projected on the second truncated cone surface 21 around the periphery, an upper surface 7a, and an outer peripheral surface of the ring varistor 7 projected on the first truncated cone surface 17. 7b is displayed. Three side surface electrode portions 26 appear on the outer peripheral surface 7 b, and an electrode gap portion 27 is formed between the adjacent side surface electrode portions 26 and 26. Further, a first truncated cone surface 17 is displayed around the periphery. In such an image, for example, when a crack as indicated by reference numeral 28 occurs, it is handled as a defective product.

なお、本発明は上記実施形態に限定されない。例えば、上記実施形態では、検査対象物7としてリングバリスタを例に挙げたが、リング磁石、リングコア等であっても良い。   In addition, this invention is not limited to the said embodiment. For example, in the above-described embodiment, the ring varistor is exemplified as the inspection object 7, but a ring magnet, a ring core, or the like may be used.

本発明に係る外観検査用装置の一実施形態を示す概略構成図である。It is a schematic structure figure showing one embodiment of a device for appearance inspection concerning the present invention. 検査対象物の上面及び外周面を検査している様子を示す断面図である。It is sectional drawing which shows a mode that the upper surface and outer peripheral surface of a test target object are test | inspected. 検査対象物の上面及び内周面を検査している様子を示す断面図である。It is sectional drawing which shows a mode that the upper surface and inner peripheral surface of a test target object are test | inspected. 円環形状の検査対象物の位置決めについて説明する図であり、図4(a)は、偏心した状態で検査対象物が第1の円錐台面に載置された状態を示している。図4(b)は、第2の基台により検査対象物を持ち上げて支持させている状態を示す図である。図4(c)は、検査対象物の姿勢が修正されて、第1の基台に対して位置決めされた状態を示す図である。FIG. 4A is a view for explaining the positioning of an annular inspection object, and FIG. 4A shows a state in which the inspection object is placed on the first truncated cone surface in an eccentric state. FIG. 4B is a diagram illustrating a state in which the inspection object is lifted and supported by the second base. FIG. 4C is a diagram illustrating a state in which the posture of the inspection target is corrected and positioned with respect to the first base. 円盤形状の検査対象物の位置決めについて説明する図であり、図5(a)は、偏心した状態で検査対象物が第1の円錐台面に載置された状態を示している。図5(b)は、第2の基台により検査対象物を持ち上げて支持させている状態を示す図である。図5(c)は、検査対象物の姿勢が修正されて、第1の基台に対して位置決めされた状態を示す図である。FIG. 5A is a diagram illustrating the positioning of a disk-shaped inspection object, and FIG. 5A shows a state in which the inspection object is placed on the first truncated cone surface in an eccentric state. FIG. 5B is a diagram showing a state in which the inspection object is lifted and supported by the second base. FIG. 5C is a diagram illustrating a state in which the posture of the inspection target is corrected and positioned with respect to the first base. リングバリスタの検査画面例である。It is an example of the inspection screen of a ring varistor.

符号の説明Explanation of symbols

1…外観検査用装置、7,23…検査対象物、8…第1のテーブル板、9…第2のテーブル板、11…第1の基台、12…第2の基台、16…照明器、17…第1の円錐台面、18…孔、19…光源、21…第2の円錐台面、22…内孔、24…頂面。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Appearance inspection apparatus, 7, 23 ... Inspection object, 8 ... 1st table board, 9 ... 2nd table board, 11 ... 1st base, 12 ... 2nd base, 16 ... Illumination 17 ... first frustoconical surface, 18 ... hole, 19 ... light source, 21 ... second frustoconical surface, 22 ... inner hole, 24 ... top surface.

Claims (3)

円柱面状とされた外周面を有する検査対象物の外観検査を行うための外観検査用装置であって、
一方端から他方端にかけて内径が小さくなっており、検査対象物の一方の外端縁全周を当接するための鏡面状の第1の円錐台面が形成され、前記第1の円錐台面の中心軸線に沿って孔が形成された第1の基台と、
前記第1の基台の前記孔において、前記第1の円錐台面と同心軸状であって、一方端から他方端にかけて外径が大きくなる鏡面状の第2の円錐台面が形成され、検査対象物に当接する第2の基台と、
前記第1の基台と前記第2の基台とを、前記中心軸線に沿って相対的に移動させる基台移動手段と、
前記第1の基台に対向するように配置され、前記第1及び第2の円錐台面と同心軸状となるように配置された円環状の照明器と、
前記照明器の姿勢を維持させつつ、検査対象物の外周面と前記照明器に対向する主面とに前記照明器からの直接光を照射させるよう前記第1及び第2の基台と前記照明器とを上下方向に相対的に移動させる照明器移動手段と、を備え、
前記第1及び前記第2の円錐台面は、前記中心軸線上において同じ方向且つ上方を向いており、
前記基台移動手段は、前記第2の基台を前記第1の基台に対して上下させて、検査対象物を前記第1の円錐台面上に位置決めすることを特徴とする外観検査用装置。
An appearance inspection apparatus for performing an appearance inspection of an inspection object having an outer peripheral surface that has a cylindrical surface shape,
An inner diameter is reduced from one end to the other end, and a mirror-like first truncated cone surface for contacting the entire outer periphery of one outer edge of the object to be inspected is formed, and the central axis of the first truncated cone surface A first base having a hole formed along
In the first base the hole of a first frustoconical surface and coaxially shaped, whereas mirror-like second frustoconical surface whose outer diameter increases toward the other end from the end is formed, inspected A second base that contacts the object;
Base movement means for relatively moving the first base and the second base along the central axis;
An annular illuminator arranged to face the first base and arranged to be concentric with the first and second truncated cone surfaces;
While maintaining the posture of the illuminator, the first and second bases and the illumination so as to irradiate direct light from the illuminator on the outer peripheral surface of the inspection object and the main surface facing the illuminator. Illuminator moving means for relatively moving the fixture in the vertical direction ,
The first and second frustoconical surfaces are directed in the same direction and upward on the central axis,
The visual inspection apparatus characterized in that the base moving means moves the second base up and down relative to the first base to position an inspection object on the first truncated cone surface. .
検査対象物は、円柱面状とされた内周面を更に有しており、
前記基台移動手段は、前記第1の基台と前記第2の基台とを前記中心軸線に沿って相対的に移動させて、検査対象物の一方の内端縁全周を前記第2の円錐台面に当接させ、
前記照明器移動手段は、検査対象物の内周面と前記照明器に対向する主面とに前記照明器からの直接光を照射させるよう前記第1及び第2の基台と前記照明器とを上下方向に相対的に移動させることを特徴とする請求項1に記載の外観検査用装置。
The object to be inspected further has an inner peripheral surface that has a cylindrical surface shape,
The base moving means relatively moves the first base and the second base along the central axis, and moves the entire inner edge of one of the inspection objects around the second end. In contact with the frustoconical surface of
The illuminator moving means includes the first and second bases and the illuminator so as to irradiate direct light from the illuminator on an inner peripheral surface of an inspection object and a main surface facing the illuminator. The apparatus for visual inspection according to claim 1, wherein the device is relatively moved in the vertical direction .
複数の前記第1の基台が円周上に配列されて構成された第1のテーブル板と、
前記第1のテーブル板の下方に配置され、複数の前記第2の基台が、円周上に配列されて固定された第2のテーブル板とを備え、
前記第1のテーブル板と前記第2のテーブル板とは同心軸状に配置され、且つ、前記複数の前記第1の円錐台面が配列された円周と前記複数の前記第2の円錐台面が配列された円周は同じ大きさであり、
さらに、前記第1のテーブル板を前記第2のテーブル板に対して相対的に回転させる回転手段を備え、
前記基台移動手段は、前記第2のテーブル板を前記第1のテーブル板に対して相対的に上下させることを特徴とする請求項1に記載の外観検査用装置。
A first table plate configured by arranging a plurality of the first bases on a circumference;
A second table plate disposed below the first table plate, the plurality of second bases being arranged and fixed on the circumference,
The first table plate and the second table plate are arranged concentrically, and a circumference in which the plurality of first truncated cone surfaces are arranged and the plurality of second truncated cone surfaces are arranged. The arranged circumferences are the same size,
Furthermore, a rotating means for rotating the first table plate relative to the second table plate is provided,
The appearance inspection apparatus according to claim 1, wherein the base moving unit moves the second table plate up and down relatively with respect to the first table plate.
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