JP4178575B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の製造方法に係り、例えば、機能素子を覆う保護キャップを不活性ガスあるいは真空中にて接合する半導体装置の製造方法等に適用できるものである。特に車両における横滑り防止制御に用いられる加速度センサ等に適用すると好適である。
【0002】
【従来の技術】
表面マイクロ加工技術を駆使した半導体加速度センサ等においては、シリコンチップ上に可動部(振動部)を有し、可動部(振動部)の変位により加速度等の物理量を電気信号に変換して取り出すようになっている。
このような半導体装置において、可動部(振動部)を保護するために可動部をキャップにて覆うことが行われている。すなわち、キャップにてウェハからチップにダイシングカットする際の水圧や水流から可動部(振動部)を保護すると共に、樹脂モールドする際に可動部内部へ樹脂が浸入することを防げるようにしている。
【0003】
しかしながら、センサにおける検出感度の高感度化、特性の安定化あるいはエアダンピングの回避等を考慮すると、可動部周囲の雰囲気として不活性ガスあるいは真空が適しているため、可動部をこれらの雰囲気で封止できるキャップが必要不可欠となる。
このため従来では、可動部周囲の雰囲気を不活性ガスあるいは真空雰囲気にするようにしており、キャップ基板(キャップとなる基板)が搭載されたセンサ基板(センサが形成されている基板)を接合チャンバー内に置き、接合チャンバー内を不活性ガス雰囲気あるいは真空中にした状態で加熱を行うことでキャップ基板をセンサ基板に接合する方法や、接合後に不活性ガス充填孔又は真空排気孔を設けて可動部周囲の雰囲気を不活性ガスあるいは真空雰囲気とし、その後成膜によりその孔を封止する方法が採用されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の方法では次のような課題がある。
すなわち、前者の方法によると、キャップ基板の自重によりキャップ基板とセンサ基板との隙間が確保できなくなることから、コンダクタンスの影響を受けキャップ内部への不活性ガス充填あるいは排気が十分できなくなるという問題がある。この場合、キャップ内部の圧力にバラツキを生じたり、目標とする圧力に達しなかったりする。
【0005】
また、後者の方法によると、不活性ガス充填については成膜をある程度真空状態で行わなければならないことから不可能であり、真空封止についても真空排気および成膜するための工程が必要になるという問題がある。
そこで、この発明の目的は、不活性ガス充填あるいは真空封止するための基板を有する半導体装置を、高歩留まりかつ省工程で製造することができる半導体装置の製造方法を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、以下の技術的手段を採用する。請求項1乃至4に記載の発明においては、第1の半導体基板と第2の半導体基板の接合面上に配置される接合用膜(9)に対して、凹部(7a)によって形成される第1の半導体基板(7)と第2の半導体基板(1)との間の空洞部(10)と、該空洞部の外部とを連通する連通溝(9a)を形成する工程と、連通溝を介して、空洞部内を真空排気あるいはガス充填する工程と、第1の半導体基板と第2の半導体基板とを挟む方向に加圧することで、接合用膜によって第1の半導体基板と第2の半導体基板とを共晶接合させると同時に、該共晶結合によって接合膜に形成された連通溝を埋め、空洞部とその外部とを遮断する工程とを有していることを特徴としている。
【0007】
このように、第1、第2の半導体基板の接合前に一時的に接合用膜に対して連通溝を形成しておき、連通溝を通じて真空排気若しくはガス充填を行い、その後第1、第2の半導体基板を挟む方向に加圧することにより連通溝を埋めて空洞部とその外部とを遮断するようにすれば、確実に真空排気若しくはガス充填を行うことができる。また、連通溝を加圧の際に埋めて消失させるようにしているため、連通溝を成膜によって封止する必要もなく製造プロセスの簡略化を図ることができる。
【0008】
これにより、不活性ガス充填あるいは真空封止するための基板を有する半導体装置を、高歩留まりかつ省工程で製造することができる。
具体的には、請求項2に示すように、連通溝は第1の半導体基板と第2の半導体基板との接合面に対して平行に少なくとも1つ形成されていればよく、連通溝を複数にすることも可能である。また、連通溝によって空洞部とその外部とを連通できるようになっていれば、連通溝の形状はどのようなものでもよい。
【0009】
また、請求項3に示すように、接合膜による共晶接合としては、該接合膜に含まれた金と第1、第2の半導体基板に含まれたシリコンとによるAu−Si共晶層によって行うことができる。なお、請求項4に示すように、第2の半導体基板に機械的強度の弱い構造体である加速度センサ(2)が形成されるような場合に、請求項1乃至3に記載の発明を適用すると好適である。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図に示す実施形態について説明する。
図1に本発明の一実施形態を適用した加速度センサの断面図を示し、加速度センサの構造について説明する。なお、図1(a)は加速度センサを通過する方向での断面図であり、図1(b)は(a)のA−A矢視断面図である。
【0011】
図1に示すように、センサ基板1の所定領域には加速度センサの可動部(センシング部)2が形成されている。センサ基板1は、シリコン基板3、このシリコン基板3上に成膜された絶縁膜4、可動部2、可動部2を形成する際に用いたSOI基板5、及び可動部2と電気的に接続された電極部6とを有している。そして、このように構成されたセンサ基板上にキャップ基板7が搭載されており、このキャップ基板7によって可動部が覆われている。
【0012】
キャップ基板7は、キャップ用ウェハ8とシリコン基板の一面側に成膜された接合用膜9によって構成されている。キャップ基板7には凹部7aが形成されており、この凹部7aによってキャップ基板7とセンサ基板1との間に所定の空洞部10が形成された状態で可動部2が覆われるようになっている。この空洞部10内は不活性ガスが充填されて(若しくは真空状態となって)おり、センサの検出感度の高感度化、特性の安定化あるいはエアダンピングの回避等が考慮されている。
【0013】
接合用膜9は、キャップ基板7のうち凹部7aが形成されている面に形成されており、この接合用膜9の共晶結合によってキャップ基板7とセンサ基板1とが結合している。この接合用膜9は、Ti膜やAu膜によって構成されており、キャップ基板7とセンサ基板1とを加圧することによってこれらの膜が共晶結合し、キャップ基板7とセンサ基板1とが接合されている。
【0014】
なお、図1(b)に示されるように、キャップ用ウェハ8には部分的にエッチング除去された凹部8aが形成されているが、この凹部8aについての詳細は後述する。
次に、図1に示す加速度センサの製造方法について、図2〜図5に基づいて説明する。
【0015】
〔図2(a)に示す工程〕
先ず、キャップ基板1を形成するためのウェハ(以下、キャップ用ウェハという)基板8を用意し、このキャップ用ウェハ8の表裏面に熱酸化膜12を5000Å形成すると共に、表面側をホトエッチングによりパターニングする。そして、酸化膜12をマスクとしてエッチングによりキャップ用ウェハ8に凹部8aを形成する。
【0016】
キャップ用ウェハ8がSi基板の場合は、マスクを酸化膜とし、ドライエッチングにより形成できる。この凹部8aが不活性ガス導入するための連通溝(もしくは真空排気するための連通溝)を形成するものとして用いられる。
この凹部8aは、凹部を有するキャップの辺に対して直角だけでなく、斜めもしくは接合部を一周するような形状にする場合もある。
【0017】
〔図2(b)に示す工程〕
キャップ用ウェハ8の表裏面に熱酸化膜13を5000Å形成し表面側をホトエッチングによりパターニングする。そして、熱酸化膜13をマスクとしてエッチングを行い、キャップ用ウェハ8に凹凸をつける。
具体的には、図5に示すキャップ用ウェハ8の上面図(図2(b)を紙面上方から見た図)で表されているように、センサの可動部2を保護するための凹部7aと、後の工程でキャップ用ウェハ8をダイシングカットする際にダイシングブレード22とセンサウェハ20(図3(c)参照)との接触を回避するために必要とされる間隙(センシング部分の間)を確保するための凹部7bである。
【0018】
〔図2(c)に示す工程〕
マスクとした熱酸化膜13を表裏面ともHF水溶液により除去し、Auメッキ膜を形成するために必要なTi14およびAu15を蒸着法あるいはスパッタリング法により真空中で連続的に成膜する。このときTi14およびAu15の膜厚は1000Åとしている。
【0019】
次に、電解メッキによりAu表面の全面にメッキ処理を施し、Au膜16を形成する。但し、Auはメッキに限らず蒸着あるいはスパッタにより成膜してもよい。このとき、Au膜16の膜厚は3.5μmとしている。
さらに、還元作用のあるTi17と、その酸化防止のためのAu18を真空中で連続的に成膜する。このとき、Ti17の膜厚を50〜800Åとしている。例えば、Ti膜17を1000Å以上とすると酸化チタンの他にTiシリサイドが多量に形成されてしまい、接合強度が低下するからである。
【0020】
また、Au18膜厚はAu中のTiがSi表面へ拡散することを考慮し200Åとしている。
このように、キャップ用ウェハ8上にTi14、Au15、Au膜16、Ti膜17が構成されて接合用膜9となる。このとき、キャップ用ウェハ8に、上述した凹部8aが形成されているため、接合用膜9が成膜された時にも凹部9aが残った状態となっており、この凹部9aが不活性ガス導入(もしくは真空排気)のための連通溝となる。以下、凹部9aを連通溝9aという。この連通溝9aは、図5と同様に、センサの可動部2を保護するための凹部7aのそれぞれが凹部7bを通じて外部と連通するように形成される。このようにして、キャップ基板7が完成する。
【0021】
次に、キャップ基板7を分割するための位置合わせ用ラインを形成する。つまり、図6に示すように、形成した突起のエッジを基準ラインL1、L2とし、基準ラインL1、L2から所定の距離△L1、△L2だけ離した位置(ダイシングラインL3、L4)でダイシングカットする。なお、図3はダイシングカットラインを2本形成しているが、キャップ基板7のファセットの切り出し精度が信頼できるものであれば、それを基準となる位置合わせラインとして用いることもでる。この場合、ファセットに対し垂直に1本のみでもよい。
【0022】
〔図3(a)に示す工程〕
次に、可動部2が形成されたセンサ基板1のうちシリコンが露出した部分と、キャップ基板7の接合用膜9とを接触させる。この時、キャップ基板7には連通溝9aが形成されているため、キャップ基板7にて可動部2を覆った時に、キャップ基板7とセンサ基板1によって形成される空洞部10は、外部と連通した状態となる。そして、連通溝9aを通じて不活性ガスの充填(あるいは真空排気)を行う。
【0023】
〔図3(b)に示す工程〕
次に、温度を400℃とし、キャップ基板7及びセンサ基板1への加圧力を2gf/mm2 として、10分間ホールドする。これにより、柔らかいAu等が押圧されて、Au15、Au膜16、Ti膜17がAu−Si共晶層20となる。その後冷却する。この加圧の際に、連通溝9aはAu−Si共晶層23によって埋められ、消失する。そして、センサ基板1とキャップ基板7はAu−Si共晶層23により接合され、空洞部10内は不活性ガスあるいは真空封止される。
【0024】
なお、この接合工程の前後におけるキャップ基板7及びセンサ基板1の断面図を図7(a)、(b)に示す。この図に示されるように、接合工程前には連通溝9aが開いており、接合後には連通溝9aが埋められて消失していることが判る。
〔図3(c)に示す工程〕
次に、キャップ部7cとキャップ不要部7dとを分離するためにダイシングブレード22によりキャップ基板7をダイシングカットする。この際、カットする方向は図8(a)に示すようにファセットに対して垂直とし、先に形成した位置合わせラインL3、L4を基準にして、カット間隔およびカット位置を決定する。このとき、ラインL3、L4を形成しているため、キャップ基板7裏面にスクライブラインのようなパターンがなくても容易にダイシングカットが可能となる。これにより、図8(a)に示すように、キャップ基板7のダイシングラインの一方となるダイシングラインL5がカットされる。
【0025】
〔図4(a)に示す工程〕
次に、ダイシングカット用の粘着シート23をキャップ基板7の裏面に貼り付ける。ここで、粘着シート23の貼り付け時にエアーをかみ、そのエアーをかんだ部分が粘着シートで固定されずダイシングカット後に飛散することが予想されるが、図3(c)の工程におけるダイシングカットによる切り込みがあるため、そこからエアーを排出できるので貼り付け後軽く擦り付ければ、この問題は回避できる。
【0026】
〔図4(b)に示す工程〕
この図は、センサ基板1及びキャップ基板7の断面方向を90度変えた断面図である。この図に示すように、ダイシングブレード22により粘着シート23ごとキャップ基板7を再度ダイシングカットし、不要部7eを分割する。カットする方向は図8(b)に示すようにラインL5に対して垂直とし、ラインL5の形成と同様に位置合せラインを基準としてカット間隔およびカット位置を決定する。このようにして、ダイシングカットラインL6が形成される。なお、図中では粘着シート23を斜線で示している。
【0027】
このダイシング工程において、粘着シート23をキャップ基板7に張りつけた状態でカットするので、不要物7eがダイシングカット中に飛散しセンサ基板1表面の電極6等を損傷したりダイシングブレード22が損傷したりすることを回避できる。つまり、不要物7eは粘着シート23に固定されており、上述した不具合を回避することができる。なお、本実施形態では、カットする順番をラインL5、L6の順に行ったが、ダイシングカット方向の順序が逆になっても全く問題はない。
【0028】
〔図4(c)に示す工程〕
次に、粘着シート23を分割されたキャップ基板7から剥がす。このとき粘着シート23とともにキャップ不要部7eは除去され、図に示されるようにセンサ基板1上にキャップ7cが搭載された形となる。次に、センサ基板1をスクラブラインに沿ってダイシングカットし、センサチップにする。これにより図1に示す加速度センサが完成する。
【0029】
このように、不活性ガス導入(真空排気)を行う際に、センサ基板1とキャップ基板7とによって形成される空洞部10と外部とを連通させ、不活性ガス導入(真空排気)後の接合時に消失する連通溝9aを設けることにより、空洞部10内を完全に不活性ガス雰囲気(若しくは真空状態)とすることができる。
このため、キャップ基板7の自重によって不活性ガス導入のための間隔が確保できず、コンダクタンスの影響を受けてキャップ7cの内部(空洞部10)への不活性ガス充填あるいは真空排気が十分できなくなるという問題が発生しない。また、キャップ7cの内部の圧力にバラツキを生じたり、目標とする圧力に達しなかったりすることもない。さらに、接合後に不活性ガス導入孔を形成する場合と異なり、キャップ7cの内部に確実に不活性ガスを導入することができ、また真空排気孔を設けた場合のように成膜によって孔を塞ぐ工程が必要とされないため、成膜するための工程を省くこともでき半導体装置製造プロセスの簡略化を図ることができる。
【0030】
このように、本実施形態の方法によれば、不活性ガス充填あるいは真空封止するためのキャップ基板を有する半導体装置を、高歩留まりかつ省工程で製造することができる。
(他の実施形態)
ここで実施例では第1の半導体基板としてセンサウェハを、第2の半導体基板としてキャップ用ウェハとして述べてきたが、第1および第2の半導体基板として回路素子を含むウェハとしてもよい。この形態は、Chip On Chipと称するマルチチップとなり、有効面積を縮小できる利点がある。
【0031】
本発明によれば、機械的強度の低い構造体が形成されたチップ上に不活性ガスあるいは真空雰囲気の保護キャップを高歩留まりで製造することができる。しかも、不活性ガス充填あるいは真空排気に用いた溝は接合時に生じるAu−Si共晶層により消失し封止されるため、プロセスの簡略化が可能となる。また、ウェハ直接接合のように接合時の面粗度の影響を受けにくく、高温熱処理が不要なため、多種のプロセスに応用が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態を適用して製造した加速度センサの断面図である。
【図2】図1に示す加速度センサの製造工程を示す図である。
【図3】図2に続く加速度センサの製造工程を示す図である。
【図4】図3に続く加速度センサの製造工程を示す図である。
【図5】キャップ用ウェハとセンサ基板1との接合前後を示す図である。
【図6】センサ基板1及びキャップ用ウェハをダイシングカットする際におけるカット位置合わせ用ラインを説明するための図である。
【図7】キャップ基板のダイシングカットの状態を示す説明図である。
【図8】センサ基板1のダイシングカットの状態を示す説明図である。
【符号の説明】
1…センサ基板、2…可動部、3…キャップ用ウェハ、4…絶縁膜、
5…SOI膜、6…電極、7…キャップ基板、7a、7b…凹部、
7c…キャップ、9…接合用膜、9a…連通溝、14…Ti、15…Au、
16…Au膜、17…Ti膜、18…Au膜、20…Au−Si共晶層。
Claims (5)
- 一面側に凹部(7a)が形成された第1の半導体基板(8)を、接合用膜(9)を介して第2の半導体基板(1)に搭載したときに、前記第1の半導体基板と前記第2の半導体基板の接合面上に配置される前記接合用膜に対して、前記凹部によって形成される前記第1の半導体基板と第2の半導体基板との間の空洞部(10)と、その外部とを連通する連通溝(9a)を形成する工程と、
前記連通溝を介して、前記空洞部内を真空排気あるいはガス充填する工程と、
前記第1の半導体基板と前記第2の半導体基板とを挟む方向に加圧することで、前記接合用膜によって前記第1の半導体基板と前記第2の半導体基板とを共晶接合させると同時に、該共晶結合によって前記連通溝を埋めて前記空洞部とその外部とを遮断する工程とを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記接合用膜は、前記第1の半導体基板と前記第2の半導体基板のいずれか一方に形成されており、前記連通溝は前記第1の半導体基板と第2の半導体基板との接合面に対して平行に少なくとも1つ形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記接合用膜による共晶接合は、該接合用膜に含まれた金と前記第1、第2の半導体基板に含まれたシリコンとによるAu−Si共晶層によって行うことを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2の半導体基板は加速度センサ(2)が形成されるものであり、前記可動部は前記空洞部内に配置されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
- チップ毎に形成された複数の素子(2)を有する第1の半導体基板(1)上に、前記複数の素子のそれぞれを覆うための凹部が形成されたキャップ用の第2の半導体基板を搭載したときに、前記第1の半導体基板と前記第2の半導体基板の接合面上に配置される接合用膜(9)に対して、前記凹部によって形成される前記第1の半導体基板と第2の半導体基板との間の空洞部(10)と、その外部とを連通する連通溝(9a)を形成する工程と、
前記連通溝を介して、前記空洞部内を真空排気あるいはガス充填する工程と、
前記第1の半導体基板と前記第2の半導体基板とを挟む方向に加圧することで、前記接合用膜によって前記第1の半導体基板と前記第2の半導体基板とを共晶接合させると同時に、該共晶結合によって前記連通溝を埋めて前記空洞部とその外部とを遮断する工程と、
前記第1の半導体基板及び前記第2の半導体基板をチップ単位にダイシングカットする工程と、を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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