JP4166672B2 - 微小部品貼り合わせ装置及び微小部品貼り合わせ方法 - Google Patents
微小部品貼り合わせ装置及び微小部品貼り合わせ方法 Download PDFInfo
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Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係る微小部品貼り合わせ装置の構成を示す斜視図である。この第1の実施形態の微小部品貼り合わせ装置1は、次のように構成されている。
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。図6は、第2の実施形態の移動部4及び間隔検出部6の周辺を拡大して一部断面で示す正面図である。ここで、第1の微小部品11と第2の微小部品12は、初期状態の相対位置関係を示すために誇張して図示してある。
次に、本発明の第3の実施形態について説明する。なお、以後の説明において、第1及び第2の実施形態と同様の構成に関しては、同一の参照符号を付すことで説明を省略する。
次に、本発明の第4の実施形態について説明する。なお、以後の説明において、第1及び第2の実施形態と同様の構成に関しては、同一の参照符号を付すことで説明を省略する。
Claims (11)
- 第1の面を有する第1の微小部品を載置する載置部と、
上記第1の面と対向する第2の面を有する第2の微小部品を保持する保持部と、
上記載置部又は上記保持部の少なくとも一方を移動させて、上記第1の微小部品と上記第2の微小部品との貼り合わせ方向に関する相対位置を変化させる駆動部と、
この駆動部により上記第1の微小部品と上記第2の微小部品の貼り合わせ方向の相対位置を変化させているときに、上記第1の面の位置と上記第2の面の位置とをそれぞれ検出する間隔検出部と、
この間隔検出部の検出結果に基づき、上記第1の面と上記第2の面との間の距離を演算する演算部と、この演算部で演算した上記第1の面と上記第2の面との間の距離が所定の貼り合わせ位置に相当する値となるように上記駆動部を制御する駆動制御部と、
中空構造を有し、上記戴置部と上記保持部との相対位置を変化させる可動テーブルと、
を具備し、
上記間隔検出部は、上記可動テーブルの上記中空構造内に設けられ、上記検出を、上記第1の微小部品と上記第2の微小部品の貼り合わせ方向に対して略平行な方向から行うことを特徴とする微小部品貼り合わせ装置。 - 上記間隔検出部は、上記貼り合わせ方向に対して略平行な方向から上記第1の微小部品と上記第2の微小部品の画像を撮像する撮像部を含み、
上記演算部は、上記撮像部によって撮像した画像の合焦位置情報及び上記撮像部の撮像位置情報に基づいて、上記第1の面と上記第2の面との間の距離を演算することを特徴とする請求項1に記載の微小部品貼り合わせ装置。 - 上記間隔検出部は、上記第1の微小部品と上記第2の微小部品に光を投光し、これら第1の微小部品及び第2の微小部品からの反射光を受光する投受光部を含み、
上記演算部は、上記投受光部によって受光した反射光に基づいて、上記第1の面と上記第2の面との間の距離を演算することを特徴とする請求項1に記載の微小部品貼り合わせ装置。 - 上記載置部は、上記間隔検出部によって上記第1の面の位置と上記第2の面の位置とを検出するための窓部を有していることを特徴とする請求項1乃至3の何れか1つに記載の微小部品貼り合わせ装置。
- 上記窓部は、光を透過する透過部材で構成されていることを特徴とする請求項4に記載の微小部品貼り合わせ装置。
- 上記窓部は、光を通過させるための抜き窓構造で構成されていることを特徴とする請求項4に記載の微小部品貼り合わせ装置。
- 上記窓部は、光を通過させるための多孔板構造で構成されていることを特徴とする請求項4に記載の微小部品貼り合わせ装置。
- 上記演算部は、上記第1の面と上記第2の面とがなす角度を演算することを更に行うことを特徴とする請求項1乃至4の何れか1つに記載の微小部品貼り合わせ装置。
- 互いに対向して配置される第1の微小部品と第2の微小部品との間で向かい合う2つの面の位置をそれぞれ検出し、これら検出した2つの面の位置に基づいて、上記2つの面の間の初期距離を算出する初期距離算出工程と、
上記初期距離演算工程によって得られた初期距離を基準として、上記2つの面の間の距離が所定値となるように、上記第2の微小部品を上記第1の微小部品との貼り合わせ方向に移動させる移動工程と、
上記移動工程の後、再び上記2つの面の位置を検出し、これら検出した2つの面の位置に基づいて上記2つの面の間の距離を算出すると共に、この算出した距離が所定値となるように調整を行う調整工程と、
上記調整工程の後、再び上記2つの面の位置を検出し、これら検出した2つの面の位置に基づいて上記2つの面の間の距離を算出すると共に、この算出した距離が上記所定値を保つように調整しつつ上記第1の微小部品と上記第2の微小部品とを貼り合わせ固定する調整貼り合わせ工程と、
を有し、
中空構造を有し、上記第1の微小部品と上記第2の微小部品との相対位置を変化させる可動テーブルの内部に設けられた間隔検出部により、上記2つの面の位置の検出を、上記貼り合わせ方向と略平行な方向から行うことを特徴とする微小部品貼り合わせ方法。 - 上記第1の微小部品の画像と上記第2の微小部品の画像とを、焦点位置及び上記貼り合わせ方向に対して垂直な方向に撮像位置を変えながら複数回撮像し、これら撮像された複数の画像の合焦位置情報及び撮像位置情報に基づいて上記2つの面の位置を検出し、これら検出した2つの面の位置に基づいて、上記2つの面の間の距離を算出することを特徴とする請求項9に記載の微小部品貼り合わせ方法。
- 上記第1の微小部品と上記第2の微小部品とに光を集光させて照射し、この照射光を貼り合わせ方向に走査し、このときの上記第1の微小部品及び上記第2の微小部品からの反射光に基づいて上記2つの面の位置を検出し、これら検出した2つの面の位置に基づいて、上記2つの面の間の距離を算出することを特徴とする請求項9又は請求項10に記載の微小部品貼り合わせ方法。
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