JP4145804B2 - 積層型モジュールの製造方法 - Google Patents
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- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
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Description
積層型モジュールの2段目以降を構成するパッケージを作成する工程、
積層型モジュールの1段目を構成するデバイスが、複数個一括して樹脂封止された枚葉状のデバイス群を形成する工程、
1段目を構成するデバイス群のうち良品デバイス上に2段目以降を構成するパッケージを装着積層する工程、
1段目を構成するデバイス群のうち不良デバイス上に2段目以降を構成するパッケージと略同厚のスペーサーを積層する工程、
最上段のパッケージの上面を固定し、1段目を構成するデバイス群を各デバイス毎にダイシングしてパッケージ化する工程により積層型モジュールを製造することを特徴としている。
厚みを2段目以降のパッケージ10の合計厚さと等しくすることが容易になる。
(実施例)
以下、本発明を実施例により説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
(パッケージの作成)
ポリイミドフィルム50μmの片面に厚さ2mmとなるようにエポキシ樹脂よりなる封止
樹脂(住友ベークライト社製、商品名:CRP−3150)を流延し、175℃5時間加熱し硬化させた。封止樹脂の設けられない面に直径200μmのハンダボールを接着した。このようにして作成された材料を、170mmx170mmの枚葉状に切断し、1段目の模擬パッケージとした。さらに、同様にして作った同サイズの材料を別に用意し、この材料をさらに15mmx15mmのサイズにダイシングして2段目用の模擬パッケージとした。
(スペーサー)
スペーサーの基材として厚さ2mmのポリエチレンフォーム(積水化学工業社製、商品名:ソフトロンS#1002、発泡倍率:10倍)を用いた。ポリエチレンテレフタレートフィルム(厚さ38μm)の剥離フィルムに、アクリル系粘着剤(アクリル酸ブチル/ア
クリル酸2ヒドロキシエチル=91/9(重量部)、イソシアナート架橋剤2.2重量部)を乾燥膜厚が20μmとなるように塗布し、露出面を上記基材に積層した。これを16mm
x16mmサイズ及び5mmx165mmに切断して、片面に粘着剤層を有するスペーサーを得た。
(積層モジュールの作成)
1段目の模擬パッケージの封止樹脂面に2段目用のパッケージのハンダボール側を、位置合わせし整列させて接着した。なお、1段目のパッケージ全部ではなくランダムに5個の上段のパッケージを積層しなかった。2段目のパッケージを積層しなかった位置に合わせて、16mmx16mmサイズのスペーサーを貼りあわせ、上段のパッケージの外周4辺に5mmx165mmのスペーサーを貼付した。
定し、ダイシング装置(東京精密社製、AWD4000B)によりダイシングし、上段のサイズが15mmx15mm、下段が16mmx16mmの2段の積層モジュールを得た。不良パッケージに相当する部分(16mmx16mmのスペーサーを貼付した部分)も、外周4辺の封止樹脂の残部も飛散することがなく、他を傷つけるようなことはなかった。
2,12…デバイス(半導体チップ)
3,13…基板
4,14…樹脂
5,15…導電端子
10…2段目以降のパッケージ
20…スペーサー
21…粘着剤層
30…ダイシングテープ
Claims (3)
- 2段以上のパッケージが縦方向に装着され一体となる積層型モジュールの製造方法において、
積層型モジュールの2段目以降を構成するパッケージを作成する工程、
積層型モジュールの1段目を構成するデバイスが、複数個一括して樹脂封止された枚葉状のデバイス群を形成する工程、
1段目を構成するデバイス群のうち良品デバイス上に2段目以降を構成するパッケージを装着積層する工程、
1段目を構成するデバイス群のうち不良デバイス上に2段目以降を構成するパッケージと略同厚のスペーサーを積層する工程、
最上段のパッケージの上面を固定し、1段目を構成するデバイス群を各デバイス毎にダイシングしてパッケージ化する工程を含むことを特徴とする積層型モジュールの製造方法。 - 1段目を構成するデバイス群の端部でパッケージを構成しない部分の上面にさらにスペーサーを積層する工程を含む請求項1に記載の積層型モジュールの製造方法。
- 前記スペーサーが片面または両面に粘着剤層を有する発泡樹脂シートである請求項1または2に記載の積層型モジュールの製造方法。
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