JP4141934B2 - チップデータ提供システム、チップデータ提供サーバ及びチップ選別システム - Google Patents
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Description
図1に、本発明の一実施形態に係るチップデータ提供システムを含む半導体集積回路製造システムを示す。図1に示すように、この半導体集積回路製造システムにおいては、検査企業におけるチップデータ提供システム10と、組立企業システム20及び組立企業システム30等の複数の組立企業における組立企業システムとが、インターネット40を介して接続されている。
Claims (12)
- 半導体ウエハに含まれている複数のチップに集積回路を形成するプロセス工程終了後に各チップの検査を行う検査手段と、
前記検査手段における各チップの検査結果に基づいて、各チップの検査結果に関する情報を含む第1のチップデータを生成する検査サーバと、
前記検査サーバによって生成された第1のチップデータと、予め格納している組立企業に関する情報とに基づいて、前記半導体ウエハに含まれている複数のチップを選別して使用する組立企業のシステムに適したフォーマットの第2のチップデータを生成して前記組立企業に提供するチップデータ提供サーバと、
を具備し、
前記チップデータ提供サーバが、複数の組立企業のシステムに適したフォーマットの第2のチップデータを生成し、前記複数の組立企業毎に分類して管理し、
前記第2のチップデータは、組立企業名、各チップが搭載される機種名、各チップに関するロット番号及びウエハ番号、良品チップの座標、良品チップの数を含む、チップデータ提供システム。 - 前記チップデータ提供サーバによって生成された第2のチップデータに暗号化処理を施す暗号化手段をさらに具備する、請求項1記載のチップデータ提供システム。
- 半導体ウエハに含まれている複数のチップに集積回路を形成するプロセス工程終了後に行われた検査における各チップの検査結果に関する情報を含む第1のチップデータをロードするデータロード手段と、
前記データロード手段によってロードされた第1のチップデータを格納する第1のデータベースと、
前記半導体ウエハに含まれている複数のチップを選別して使用する組立企業に関する情報を格納する第2のデータベースと、
前記第1のデータベースに格納されている第1のチップデータと、前記第2のデータベースに格納されている組立企業に関する情報とに基づいて、前記半導体ウエハに含まれている複数のチップを選別して使用する組立企業のシステムに適したフォーマットの第2のチップデータを生成するデータ生成手段と、
前記データ生成手段によって生成された第2のチップデータの転送処理を行うデータ転送処理手段と、を具備し、
複数の組立企業のシステムに適したフォーマットの第2のチップデータを生成し、前記複数の組立企業毎に分類して管理し、
前記データ生成手段が、組立企業名、各チップが搭載される機種名、各チップに関するロット番号及びウエハ番号、良品チップの座標、良品チップの数を、第2のチップデータとして生成する、チップデータ提供サーバ。 - 前記データロード手段が、各チップが搭載される機種名、各チップに関するロット番号及びウエハ番号、良品チップの座標、良品チップの数を、第1のチップデータとして前記第1のデータベースに格納する、請求項3記載のチップデータ提供サーバ。
- 前記第2のデータベースが、組立企業名と各チップが搭載される機種名との対応関係を格納している、請求項4記載のチップデータ提供サーバ。
- 半導体ウエハに含まれる複数のチップに対して検査企業が行った検査結果に関する情報を含む第1のチップデータをロードするデータロード手段と、
前記データロード手段によってロードされた前記第1のチップデータを格納する第1のデータベースと、
前記半導体ウエハに含まれている複数のチップを選別して使用する、前記検査企業と異なる組立企業に関する情報を格納する第2のデータベースと、
前記第1のデータベースに格納されている前記第1のチップデータと、前記第2のデータベースに格納されている前記組立企業に関する情報とを用いて、複数のチップを選別するための第2のチップデータを生成するデータ生成手段と、
前記データ生成手段によって生成された第2のチップデータの転送処理を行うデータ転送処理手段と、を具備するチップデータ提供サーバ。 - 半導体ウエハに含まれる複数のチップに対して検査企業が行った検査結果に関する情報を含む第1のチップデータをロードするデータロード手段と、
前記データロード手段によってロードされた前記第1のチップデータを格納する第1のデータベースと、
前記半導体ウエハに含まれている複数のチップを選別して使用する第1及び第2の組立企業に関する情報を格納する第2のデータベースと、
前記第1のデータベースに格納されている前記第1のチップデータと、前記第2のデータベースに格納されている前記第1及び第2の組立企業のいずれか一方に関する情報とを用いて、複数のチップを選別するための第2のチップデータを生成するデータ生成手段と、
前記データ生成手段によって生成された第2のチップデータを、前記第1及び第2の組立企業のいずれか一方に送信するデータ転送処理手段と、を具備するチップデータ提供サーバ。 - 前記データ生成手段が、良品チップの座標及び良品チップの数を、第2のチップデータとして生成する、請求項7記載のチップデータ提供サーバ。
- 前記データ生成手段が、第2のチップデータとして、さらに、組立企業名、各チップが搭載される機種名、及び各チップに関するロット番号及びウエハ番号を生成する、請求項8記載のチップデータ提供サーバ。
- 半導体ウエハに含まれる複数のチップに対して検査企業が行った検査結果に関する情報を含む第1のチップデータと、第2のデータベースに保存された複数の組立企業に関する情報のいずれか一つの組立企業に関する情報と、を用いて生成された複数のチップを選別するための第2のチップデータを受信して、前記複数のチップを選別するチップ選別システムにおいて、
前記複数の組立企業の1つである第1の組立企業が前記第2のチップデータを受信する場合、
前記第1の組立企業は、
前記半導体ウエハを切断して複数のチップを製造し、
前記第1のチップデータと前記第1の組立企業に関する情報とを用いて生成された第2のチップデータに基づいて、前記複数のチップから所望のチップを選別する、チップ選別システム。 - 前記第2のチップデータは、良品チップの座標及び良品チップの数の情報を含む、請求項10記載のチップ選別システム。
- 前記第2のチップデータは、さらに、第1の組立企業の名称、各チップが搭載される機種名、及び各チップに関するロット番号及びウエハ番号を含む、請求項11記載のチップ選別システム。
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