JP4131027B2 - 半導体ウェーハの表面保護テープ剥離方法 - Google Patents
半導体ウェーハの表面保護テープ剥離方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4131027B2 JP4131027B2 JP497098A JP497098A JP4131027B2 JP 4131027 B2 JP4131027 B2 JP 4131027B2 JP 497098 A JP497098 A JP 497098A JP 497098 A JP497098 A JP 497098A JP 4131027 B2 JP4131027 B2 JP 4131027B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tape
- wafer
- peeling
- semiconductor wafer
- roller
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェーハの表面保護テープ剥離方法に関し、特に、粘着テープをウェーハの素子形成領域以外の部分の保護テープに押し付けてこれをウェーハから剥離し、保護テープの貼り付けダメージによる素子の不良を防止する半導体ウェーハの表面保護テープ剥離方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体の製造工程は、シリコンウェーハ上に半導体素子を作り込んだ後に、ウェーハの表面に付着した絶縁膜を除去する工程や、チップの厚みを合せるためにウェーハの裏面を研削する工程を有している。ウェーハ裏面の研削工程においては、ウェーハ表面を保護する表面保護テープをウェーハの表面に貼り付けた後、裏面研削装置を用いてウェーハの裏面を所望の厚みまで研削する。研削終了後は、剥離用テープを用いて表面保護テープをウェーハから引き剥がす。
【0003】
表面保護テープを引き剥がすには、図3に示すように、先ず、ウェーハ1の上方に位置するローラ2に巻き付けられた剥離用テープ3を、ローラ2と共に表面保護テープ4の表面の一端(例えばオリエンテーションフラット5部分)に向けて下降させ((a)参照)、表面保護テープ4の表面に当接したローラ2により剥離用テープ3を表面保護テープ4に押し当て、剥離用テープ3を表面保護テープ4の表面の一端に貼り付ける((b)参照)。
【0004】
次に、その剥離用テープ3を、ローラ2を介して表面保護テープ4に押し付けたまま、表面保護テープ4の一端側から引き上げる。引き上げられる剥離用テープ3は、ローラ2の押し下げにより表面保護テープ4との貼付状態を保持したまま表面保護テープ4の他端側に向けて移動し、剥離用テープ3と共に表面保護テープ4も引き上げて表面保護テープ4をウェーハ1の表面から引き剥がす(c)参照)。その後、表面保護テープ4の押し付け状態を維持しつつローラ2がその他端側まで移動して、ウェーハ1の表面から表面保護テープ4を引き剥がす((d)参照)。
【0005】
このように、剥離用テープ3を用いて表面保護テープ4を引き剥がす場合、剥離用テープ3は、表面保護テープ4が持つ密着力より強い密着力で表面保護テープ4に密着する必要があることから、剥離用テープ3の貼り付け時の押し付け圧力は充分な密着力が得られる程まで高める必要がある。
【0006】
この押し付け圧力は、図4に示すように、ウェーハ1の表面の一端から他端迄のローラ2の移動範囲aの全てに一様にかかるため、ウェーハ1の表面に作り込まれた半導体素子(チップ)6が例えば変形等のダメージを受け易く、この結果半導体素子6の不良が発生するおそれがある。
【0007】
ところで、表面保護テープをウェーハの表面から剥離し易くするために、表面保護テープの密着力そのものを低減させる方法が提案されている。例えば、特開平4−280429号公報に開示された▲1▼半導体装置の製造方法は、紫外線(UV)照射硬化型テープを表面保護テープとして用い、このテープに対し紫外線を照射することによりその粘着力を弱めて、テープを容易に引き剥がすことができるようにしている。同様に、保護テープとして紫外線照射硬化型テープを用いたものとして、特開平6−224397号公報に開示された▲2▼固体撮像装置の製造方法、特開平4−225574号公報に開示された▲3▼半導体装置の製造方法、特開平7−22358号公報に開示された▲4▼半導体装置の製造方法、および特開平5−62950号公報に開示された▲5▼半導体ウェーハへの保護テープ貼り付けおよび剥離方法が知られている。
【0008】
この紫外線照射硬化型テープを表面保護テープとして用いた場合、▲4▼半導体装置の製造方法と▲5▼半導体ウェーハへの保護テープ貼り付けおよび剥離方法に示すように、紫外線照射硬化型テープの全面に剥離テープを貼り付け、その後この剥離テープを引っ張り上げることにより、ウェーハ表面から表面保護テープである紫外線照射硬化型テープを引き剥がす。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、紫外線照射硬化型テープを表面保護テープとして用いた上記従来の各例において、ウェーハ表面から紫外線照射硬化型テープを引き剥すための剥離用テープを紫外線照射硬化型テープの全面に貼り付けた場合、剥離テープの貼り付け時の押し付け圧力が紫外線照射硬化型テープを介してウェーハの表面にかかるのが避けられず、ウェーハ表面に作り込まれた半導体素子が例えば変形等のダメージを受けて半導体素子の不良が発生するおそれがある。
【0010】
本発明は、上記従来技術を考慮してなされたものであって、表面保護テープへの剥離テープ貼り付けによりウェーハに形成された半導体素子に不良を発生させることがない半導体ウェーハの表面保護テープ剥離方法の提供を目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明に係る半導体ウェーハの表面保護テープ剥離方法は、紫外線照射して半導体ウェーハの素子形成面に貼り付けられた保護テープの接着力を低下させる工程と、剥離ローラに巻き付けられた粘着テープを、剥離ローラを下降させて半導体ウェーハの素子形成領域以外の部分の保護テープに押し付けて粘着テープを保護テープの一端に貼り付ける工程と、剥離ローラを半導体ウェーハの上方に引き離して、保護テープの一端を半導体ウェーハから剥離する工程と、剥離ローラを半導体ウェーハから引き離された状態で前記粘着テープと共に、半導体ウェーハ表面に沿って移動させ、保護テープを半導体ウェーハの表面から剥離する工程とを有する。
【0012】
上記構成によれば、粘着テープは、ウェーハの素子形成領域以外の部分の保護テープに押し付けられてウェーハから引き離され、引き離し後連続して素子形成領域の保護テープは粘着テープを押し付けることなくウェーハから引き離され剥離される。これにより、保護テープへの剥離テープ貼り付けによりウェーハに形成された半導体素子に不良が発生することを防止することができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1は、本発明の実施の形態に係る半導体ウェーハの表面保護テープ剥離方法を示す工程説明図である。図2は、図1の表面保護テープに貼り付ける剥離テープの貼り付け部分を示すウェーハの平面図である。
【0014】
図1に示すように、半導体ウェーハ10の表面には、表面保護テープとして、紫外線(UV)の照射により粘着力が低下する機能を備えた紫外線照射剥離テープ(例えば、リンテック社のE−6142等)11が貼り付けられている。この紫外線照射剥離テープ11は、ウェーハ10上に半導体素子(チップ)12を作り込んだ後、チップ12の厚みを合せるためにウェーハ10の裏面を研削する際、チップ12が形成されたウェーハ10の表面を保護するために使用される。ウェーハ10の裏面研削後、紫外線照射剥離テープ11は、ウェーハ10の表面から引き剥がされる。
【0015】
次に、この紫外線照射剥離テープ11の剥離方法を説明する。
半導体製造工程において、ウェーハ10の上にチップ12を形成後、ウェーハ10の表面にこの表面を保護するための紫外線照射剥離テープ11を貼りつけ、その後、ウェーハ10が所望の厚みになるまでウェーハ10の裏面研削を行う。裏面研削後、紫外線照射剥離テープ11をウェーハ10から引き剥がす。
【0016】
先ず、ウェーハ10の表面に向けて例えば100〜200mj/cm2 の紫外線照射を行い、ウェーハ10の表面に貼り付けられた紫外線照射剥離テープ11の粘着力を低下させる。
【0017】
次に、紫外線照射の後、ウェーハ10の上方に位置するローラ13に巻き付けられた剥離用テープ(粘着テープ)14を、ローラ13と共に紫外線照射剥離テープ11の上に下降させる(図1(a)参照)。ローラ13は、ウェーハ10の一端に形成されたオリフラ(オリエンテーションフラット)15(図2参照)に向かって移動し、オリフラ15の近傍で紫外線照射剥離テープ11の表面に剥離用テープ14を接触させる。このとき、ローラ13は、図2に示すように、ウェーハ10の表面の素子形成領域以外の部分であるオリフラ15とチップ12の間の無効部分b上に位置し、この無効部分bで剥離用テープ14が紫外線照射剥離テープ11に接触する。更にローラ13が下降して、ウェーハ10上の無効部分bで剥離用テープ14を紫外線照射剥離テープ11に押し付け、剥離用テープ14を紫外線照射剥離テープ11に貼り付ける(図1(b)参照)。
【0018】
次に、ローラ13を上方に引き上げて、ウェーハ10の表面に対するローラ13の押し付けを解除し(図1(c)参照)。このローラ13の押し付けを解除した状態で、紫外線照射剥離テープ11に貼り付けた剥離用テープ14を、ウェーハ10の表面のオリフラ15側から引き離しつつローラ13と共にオリフラ15の反対側に移動させる。剥離用テープ14の引き上げにより、紫外線が照射されて粘着力が充分に低下した紫外線照射剥離テープ11は容易にウェーハ10の表面から引き剥がされ、剥離用テープ14の移動に伴って剥離用テープ14と共にウェーハ10の上方へと引き上げられる(図1(d)参照)。
【0019】
その後、上方に引き上げてウェーハ10の表面への押し付けを解除したままのローラ13を、剥離用テープ14を引き離しながらウェーハ10の表面の他端側(オリフラ15の反対側)まで移動させることにより、引き離し後連続して素子形成領域の紫外線照射剥離テープ11を、剥離用テープ14を押し付けることなくウェーハ10から引き離して剥離する(図1(e)参照)。
【0020】
従って、ローラ13は、最初にチップ12が形成されないウェーハ10の無効部分bでウェーハ10に当接した後は、剥離用テープ14を紫外線照射剥離テープ11に押し付けることがない。即ち、ローラ13はウェーハ10の表面に押し付け圧力を付加させずに、ウェーハ10の表面から離間したまま移動する。
【0021】
このため、従来の表面保護テープを引き剥がす場合に生じた、ウェーハ10の表面のローラの移動範囲aにローラの押し付け圧力が加わってウェーハ10の表面のチップ12が例えば変形等のダメージを受けるということがなく、剥離用テープ14を用いて表面保護テープである紫外線照射剥離テープ11を引き剥がす際にウェーハ10に形成されたチップ12に不良が発生することを防止することができる。
【0022】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る半導体ウェーハの表面保護テープ剥離方法によれば、粘着テープは、ウェーハの素子形成領域以外の部分の保護テープに押し付けられてウェーハから引き離され、引き離し後連続して素子形成領域の保護テープは粘着テープを押し付けることなくウェーハから引き離され剥離されるので、保護テープへの剥離テープ貼り付けによりウェーハに形成された半導体素子に不良が発生することを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施の形態に係る半導体ウェーハの表面保護テープ剥離方法を示す工程説明図。
【図2】 図1の表面保護テープに貼り付ける剥離テープの貼り付け部分を示すウェーハの平面図。
【図3】 従来の半導体ウェーハの表面保護テープ剥離方法を示す工程説明図。
【図4】 図3の表面保護テープに貼り付ける剥離テープの貼り付け部分を示すウェーハの平面図。
【符号の説明】
10:半導体ウェーハ、11:紫外線照射剥離テープ、12:チップ、
13:ローラ、14:剥離用テープ、15:オリフラ、a:移動範囲、
b:無効部分。
Claims (2)
- 紫外線照射して半導体ウェーハの素子形成面に貼り付けられた保護テープの接着力を低下させる工程と、
剥離ローラに巻き付けられた粘着テープを、該剥離ローラを下降させて半導体ウェーハの素子形成領域以外の部分の保護テープに押し付けて粘着テープを保護テープの一端に貼り付ける工程と、
前記剥離ローラを半導体ウェーハの上方に引き離して、前記保護テープの一端を前記半導体ウェーハから剥離する工程と、
前記剥離ローラを半導体ウェーハから引き離された状態で前記粘着テープと共に、半導体ウェーハ表面に沿って移動させ、前記保護テープを前記半導体ウェーハの表面から剥離する工程と
を有する半導体ウェーハの表面保護テープ剥離方法。 - 前記貼り付け工程では、前記粘着テープを前記半導体ウェーハのオリフラ部の保護テープの一端に貼り付ける
請求項1記載の半導体ウェーハの表面保護テープ剥離方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP497098A JP4131027B2 (ja) | 1998-01-13 | 1998-01-13 | 半導体ウェーハの表面保護テープ剥離方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP497098A JP4131027B2 (ja) | 1998-01-13 | 1998-01-13 | 半導体ウェーハの表面保護テープ剥離方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11204624A JPH11204624A (ja) | 1999-07-30 |
JP4131027B2 true JP4131027B2 (ja) | 2008-08-13 |
Family
ID=11598462
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP497098A Expired - Fee Related JP4131027B2 (ja) | 1998-01-13 | 1998-01-13 | 半導体ウェーハの表面保護テープ剥離方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4131027B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH054618U (ja) * | 1991-06-27 | 1993-01-22 | 日本電波工業株式会社 | 水晶振動子 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002203828A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-07-19 | Lintec Corp | ウエハの裏面研削方法 |
JP2002203827A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-07-19 | Lintec Corp | 半導体ウエハの裏面研削方法 |
JP4326418B2 (ja) | 2004-07-16 | 2009-09-09 | 株式会社東京精密 | フィルム剥離方法およびフィルム剥離装置 |
JP2010108995A (ja) * | 2008-10-28 | 2010-05-13 | Lintec Corp | シート貼り換え装置及びシート貼り換え方法 |
JP6584846B2 (ja) * | 2015-07-21 | 2019-10-02 | 株式会社ディスコ | 剥離テープ |
-
1998
- 1998-01-13 JP JP497098A patent/JP4131027B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH054618U (ja) * | 1991-06-27 | 1993-01-22 | 日本電波工業株式会社 | 水晶振動子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11204624A (ja) | 1999-07-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100845986B1 (ko) | 표면 보호 필름 박리 방법 및 장치 | |
JP4151164B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US6787929B2 (en) | Semiconductor device having a flat protective adhesive sheet | |
JP5111938B2 (ja) | 半導体ウエハの保持方法 | |
JP3770820B2 (ja) | 保護テープの貼付け方法 | |
JP3880397B2 (ja) | 保護テープの貼付・剥離方法 | |
WO2005106937A1 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
KR20060120113A (ko) | 표면보호용 시트 및 반도체 웨이퍼의 연삭방법 | |
WO2010026909A1 (ja) | マウント装置及びマウント方法 | |
US7348216B2 (en) | Rework process for removing residual UV adhesive from C4 wafer surfaces | |
JP2003332267A (ja) | 半導体ウエハの加工方法 | |
JP4131027B2 (ja) | 半導体ウェーハの表面保護テープ剥離方法 | |
JP3446830B2 (ja) | 半導体ウエハのテープ貼り付け装置およびその貼り付け方法 | |
JP2001210701A (ja) | 半導体ウエハ保護用フィルムの貼付方法及びその装置 | |
JP2994356B1 (ja) | ウエハ表面保護テープ剥離装置 | |
WO2004079817A1 (ja) | 保護テープの貼付・剥離方法 | |
JP2003197723A (ja) | 基板表面保護シート貼り付け装置および貼り付け方法 | |
JPH09330940A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2008135795A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2001063908A (ja) | 粘着テープ貼付け剥離装置 | |
JPH0917756A (ja) | 半導体用保護テープおよびその使用方法 | |
JP2005243910A (ja) | 半導体チップの製造方法 | |
TWI782203B (zh) | 膠膜剝離裝置 | |
JP2005243700A (ja) | 粘着シート貼付け方法およびこれを用いた装置 | |
JP2638155B2 (ja) | 半導体チップの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050111 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20050111 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080205 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080404 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080430 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080513 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110606 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110606 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110606 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120606 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120606 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130606 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |