JP4120366B2 - コンデンサの特性測定装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、コンデンサに測定端子を当接させることにより電気的特性を測定するようにした特性測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、コンデンサの漏洩電流を測定して良品，不良品の選別を行なう場合、コンデンサの各電極に測定端子を当接させた状態で直流電圧を印加して行なうようにしている。
【０００３】
このような測定方法の場合、例えばコンデンサの自己発熱によって、測定値が変動するという問題がある。そこで測定値の変動を防止するための方法として、従来、例えば温度，風量を調節した温調ガスを電子部品の周辺や該電子部品に直接吹き付けることにより電子部品の温度を調節するようにした方法が提案されている（例えば、特許文献１，２参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開２０００−７１７４６号公報
【０００５】
【特許文献２】
特開２０００−１７１５２０号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来方法のように、単に電子部品の温度，あるいはその周辺温度を調節するだけの方法では、特にコンデンサの漏洩電流を測定する場合には、測定値に変化が生じ易く、電気的特性を精度よく測定できないという問題がある。
【０００７】
また、上記従来方法による場合は、温度センサからの温度テータに基づいて空気を冷却あるいは加熱するための設備，及び温度制御を行なうための制御機構が必要であり、コスト高になるという問題がある。
【０００８】
本発明は、上記従来の状況に鑑みてなされたもので、低コストかつ簡単な構造でコンデンサの漏洩電流を測定する際の測定値の変動を防止できるコンデンサの特性測定装置を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本件発明者らは、コンデンサの漏洩電流の測定値に変動が生じる原因について検討したところ、図９に示すように、コンデンサＣと測定端子Ｔとの温度差が起因していることを見出した。即ち、コンデンサＣと測定端子Ｔとに温度差が生じた状態で、測定端子ＴをコンデンサＣに接触させると両者の間で熱の受け渡しが行われる。一般にコンデンサは温度に応じた容量値特性を有していることから、コンデンサの温度変化に応じて容量値も変化する。このような測定端子ＴとコンデンサＣとの間で熱移動が生じているときに直流電圧を印加すると、コンデンサの容量が変化している最中に漏洩電流を測定することとなり、漏洩電流測定中にコンデンサの電荷の移動が生じ、その結果正しい漏洩電流を測定することができなくなるものと考えられる。この傾向は特に、高速でかつ連続してコンデンサの微小な漏れ電流を測定する場合に顕著である。
【００１０】
そこで、請求項１の発明は、コンデンサに測定端子を当接させることにより電気的特性を測定するようにしたコンデンサの特性特定装置において、上記コンデンサと上記測定端子との少なくとも当接時における当接部の温度差を所定範囲内に管理する温度管理手段を備え、該温度管理手段は、送風ファンにより上記コンデンサと測定端子とに向かって、少なくとも両者が当接する以前から当接が終了するまでの一連の動作中に送風することにより、上記測定端子とコンデンサとの当接部における熱移動を所定範囲内に管理することを特徴としている。
【００１１】
ここで、上記温度管理を行なうとは、図８に示すように、例えば送風機構２０を用いて、特にコンデンサＣと測定端子Ｔとの当接部を冷却あるいは加熱して両者の当接部を略同じ温度にするということであり、温度管理を行なうための媒体としては気体，液体等を用いることが可能である。
【００１３】
請求項２の発明は、請求項１において、上記温度管理手段は、上記温度差を０．１〜３度の範囲内に管理することを特徴としている。
【００１４】
請求項３の発明は、請求項１又は２において、上記温度管理手段は、少なくともコンデンサの容量値，当接時間に応じて送風速度を管理することを特徴としている。この場合、具体的には、コンデンサの容量値が大きいほど、また当接時間が短いほど送風速度を大きくする。
【００１５】
【発明の作用効果】
請求項１の発明に係る特性測定装置によれば、コンデンサと測定端子との当接部の温度差が所定範囲内となるように温度管理を行なうようにしたので、両者の温度差が小さくなり、熱の受け渡しによるコンデンサの容量の変化を抑制できる。その結果、コンデンサの漏洩電流を正確に測定することができる。
【００１６】
また本発明では、送風ファンにより当接する以前から当接が終了するまでの一連の動作中に送風することにより温度差を管理するようにしたので、簡単な構造で両者の温度差を小さくすることができ、従来の温度センサ，冷却，加熱装置，あるいは温度制御装置を不要にでき、低コストでかつ簡単な構造で温度管理を行なうことができる。
【００１７】
請求項２の発明では、温度差が０．１〜３度の範囲となるように管理したので、熱の受け渡しをほとんどなくすことができ、両者の温度差をより小さく管理することができ、大容量のコンデンサの場合でも漏洩電流を精度よく管理することかできる。
【００１８】
請求項３の発明では、コンデンサの容量値，当接時間に応じて送風速度を管理するようにしたので、両者の温度差をより小さく管理することができ、測定精度をさらに向上できる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
【００２０】
図１及び図２は、本発明の第１実施形態によるコンデンサの特性測定装置を説明するための概略構成図である。
【００２１】
本実施形態の特性測定装置１は、固定テーブル２の前面２ａに配設された４連マルチ式の搬送テーブル３を間歇的に回転駆動することにより、コンデンサＣを測定部４に搬送し、該測定部４にてコンデンサＣの漏洩電流を測定して良品と不良品の選別を行い、この後、コンデンサＣを部品取り出し部９に搬送し、外部に排出するように構成されている。なお、図１において、１１はワーク投入ホッパ，１２はワーク振分け搬送部，１３はワーク移載部をそれぞれ示している。
【００２２】
上記搬送テーブル３にはコンデンサＣが収納される収納部３ａが周方向に所定間隔毎に形成されており、該収納部３ａ内に供給されたコンデンサＣは不図示の真空吸引により位置決め保持されている。上記コンデンサＣは直方体状のセラミック体の両端面部に電極を形成したチップ型のもので、該電極が前，後方向を向くように収納配置されている。
【００２３】
上記固定テーブル２の測定部４に臨む部分には固定端子５が配置されており、該固定端子５の搬送テーブル３を挟んだ前方には可動端子６が進退可能に配設されている。この可動端子６，固定端子５には直流電圧源７，漏洩電流検出回路８が接続されている。
【００２４】
上記測定部４の固定端子５上にコンデンサＣが搬送されると、可動端子６が前進してコンデンサＣの前側電極に当接するとともに、後側電極を固定端子５に押しつける。この状態で直流電圧を印加して漏洩電流を測定する。
【００２５】
そして、上記測定部４には温度管理手段としての送風ファン１０か配設されている。この送風ファン１０は、搬送テーブル３の正面，すなわち可動端子６が設置されている側に搬送テーブル３に向かって配置されており、該送風ファン１０からの冷却風を、特にコンデンサＣと可動端子６とに向けて吹き付ける。この場合に上記コンデンサＣと可動端子６との当接部の温度差が０．１〜３度の範囲となるようにその風速及び風量が調整される。
【００２６】
ここで、上記固定端子５とコンデンサＣの後側電極とは該コンデンサＣが測定部４に搬送されると同時に当接し、両者間で熱の移動が開始されることから、可動端子６が前進してコンデンサＣの前側電極に当接するまでの間に固定端子５とコンデンサＣとの温度差はほとんど無視することが可能となるほど小さくなる。即ち、温度差による熱移動はコンデンサに測定端子が接触した瞬間が最も大きく、この後は時間の経過に伴って熱移動が減少して小さくなる。なお、コンデンサＣと固定端子５との当接部についても冷却風を吹き付けるようにすればより一層効果的である。
【００２７】
本実施形態装置によりコンデンサＣの漏洩電流を測定するには、まず送風ファン１０を回転駆動して冷却風を送風し、この状態で搬送テーブル３によりコンデンサＣを測定部４に搬送する。そしてコンデンサＣの後側電極が固定端子５に当接すると、可動端子６が前進して前側電極に当接する。この状態で直流電圧を印加して漏洩電流を測定する。この一連の動作中、送風ファン１０による冷却風によって特にコンデンサＣと可動端子６との当接部が冷却され、両者の温度差が小さくなる。
【００２８】
このように本実施形態によれば、送風ファン１０の冷却風によりコンデンサＣと可動端子６とを両者の温度差が０．１〜３度の範囲内となるように温度管理を行なうようにしたので、コンデンサＣと可動端子６との温度差を極めて小さくすることができ、熱の受け渡しによるコンデンサの容量の変化を抑制できる。その結果、コンデンサＣの漏洩電流の測定精度を高めることができる。
【００２９】
上記送風ファン１０により冷却風を送風してコンデンサＣと可動端子６との温度差を最小にする構造を採用したので、送風ファン１０を追加するだけの簡単な構造で温度管理を行なうことができ、従来の温度センサ，冷却，加熱装置，あるいは温度制御装置を用いる場合に比べてコストを低減できる。
【００３０】
本実施形態では、コンデンサＣと可動端子６との当接部の温度差を０．１〜３度の範囲に管理したので、特に高速でかつ連続してコンデンサＣの微小な漏れ電流を測定する場合に有効である。
【００３１】
またコンデンサＣの容量値，当接時間に応じて送風速度，送風量を管理するようにしても良く、このようにすれば両者の温度差をより小さく管理することができ、測定精度をさらに向上できる。
【００３２】
図３は、本実施形態装置の効果を確認するために行った実験結果を示す図である。この実験では、多数のコンデンサを連続して測定するとともに、送風ファンにより冷却風を所定風速で送風し、測定開始時の電流値を測定するとともに、測定開始から１０分経過毎の電流値の変動を測定して行った。また、比較するために、コンデンサの周辺温度を管理するために循環空冷した場合、及び冷却をしなかった場合についても同様に電流の変動を測定した。
【００３３】
同図からも明らかなように、冷却しない場合には、１０分経過後では４０％を越える電流値の変動が生じている。また循環空冷した場合には、１０分経過後には１５％程度の電流値の変動が生じている。これに対して本実施形態では、１０分経過しても５％程度の電流値の変動となっており、温度差を小さくすることによって測定値の精度が大幅に改善されていることが分かる。
【００３４】
図４は、コンデンサ−測定端子間の温度差と風圧との関係を示す特性図である。これは、３．２ｍｍ×１．６ｍｍのコンデンサを、熱抵抗×熱容量の値が約２になる測定端子とを搭載した特性測定装置を用い、送風ファン１０の風量１ｍ3／ｍｉｎとして、コンデンサの特性測定においてコンデンサと測定端子との許容温度差を調べた。その結果、２．７μＦのコンデンサでは許容温度差は１℃、１０μＦのコンデンサでは許容温度差は０．３３℃であることがわかった。
【００３５】
また１０μＦのコンデンサを上記条件で測定し、送風ファン１０の風圧を変化させてコンデンサと測定端子との温度差を測定した。その結果、図４から、１０μＦのコンデンサを誤差なく測定するためには、送風ファン１０の風圧を約２４Ｐａ以上にする必要があることがわかる。
【００３６】
なお、上記第１実施形態では、送風ファン１０を搬送テーブル３の正面側に配置した場合を説明したが、本発明の送風ファン１０は、図５に示すように、搬送テーブル３の側方に配置してもよい。
【００３７】
図６及び図７は、本発明の第２実施形態による特性測定装置を説明するための図である。
【００３８】
本第２実施形態の特性測定装置は、搬送テーブル１５の外周縁部にコンデンサＣが収納される収納凹部１５ａを周方向に所定間隔毎に形成し、測定部４の下側に一対の測定端子１６，１６を昇降可能に配置し、上側にストッパ１７を配設した構造となっている。そして各測定端子１６を上昇させてコンデンサＣを押し上げるとともに、ストッパ１７に押し付け、この状態で直流電圧を印加して漏洩電流の測定を行なうように構成されている。
【００３９】
そして、上記測定部４には送風管１８が配置されている。この送風管１８には不図示の送風ファンが接続されており、該送風管１８から冷却空気を吹きつけることにより、コンデンサＣと各測定端子１６との当接部を同時に冷却し、両者の温度差をなくすようにしている。
【００４０】
本実施形態においても、コンデンサＣと各測定端子１６との温度差を極めて小さくすることができ、上記第１実施形態と同様にコンデンサの漏洩電流を正確に測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態によるコンデンサの特性測定装置の全体図である。
【図２】上記特性測定装置の概略構成図である。
【図３】上記実施形態の効果を確認するために行った実験結果を示す特性図である。
【図４】上記実施形態の効果を確認するために行った実験結果を示す特性図である。
【図５】上記第１実施形態の変形例を示す概略構成図である。
【図６】本発明の第２実施形態による特性測定装置の概略構成図である。
【図７】上記特性測定装置のIV-IV 線断面図である。
【図８】本発明の作用効果を説明するための図である。
【図９】本発明の成立過程を説明するための図である。
【符号の説明】
１ 特性測定装置
５，６ 固定，可動端子（測定端子）
１０ 送風ファン（温度管理手段）
１６ 測定端子
１８ 空気配管（温度管理手段）
Ｃ コンデンサ
【発明の属する技術分野】
本発明は、コンデンサに測定端子を当接させることにより電気的特性を測定するようにした特性測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、コンデンサの漏洩電流を測定して良品，不良品の選別を行なう場合、コンデンサの各電極に測定端子を当接させた状態で直流電圧を印加して行なうようにしている。
【０００３】
このような測定方法の場合、例えばコンデンサの自己発熱によって、測定値が変動するという問題がある。そこで測定値の変動を防止するための方法として、従来、例えば温度，風量を調節した温調ガスを電子部品の周辺や該電子部品に直接吹き付けることにより電子部品の温度を調節するようにした方法が提案されている（例えば、特許文献１，２参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開２０００−７１７４６号公報
【０００５】
【特許文献２】
特開２０００−１７１５２０号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来方法のように、単に電子部品の温度，あるいはその周辺温度を調節するだけの方法では、特にコンデンサの漏洩電流を測定する場合には、測定値に変化が生じ易く、電気的特性を精度よく測定できないという問題がある。
【０００７】
また、上記従来方法による場合は、温度センサからの温度テータに基づいて空気を冷却あるいは加熱するための設備，及び温度制御を行なうための制御機構が必要であり、コスト高になるという問題がある。
【０００８】
本発明は、上記従来の状況に鑑みてなされたもので、低コストかつ簡単な構造でコンデンサの漏洩電流を測定する際の測定値の変動を防止できるコンデンサの特性測定装置を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本件発明者らは、コンデンサの漏洩電流の測定値に変動が生じる原因について検討したところ、図９に示すように、コンデンサＣと測定端子Ｔとの温度差が起因していることを見出した。即ち、コンデンサＣと測定端子Ｔとに温度差が生じた状態で、測定端子ＴをコンデンサＣに接触させると両者の間で熱の受け渡しが行われる。一般にコンデンサは温度に応じた容量値特性を有していることから、コンデンサの温度変化に応じて容量値も変化する。このような測定端子ＴとコンデンサＣとの間で熱移動が生じているときに直流電圧を印加すると、コンデンサの容量が変化している最中に漏洩電流を測定することとなり、漏洩電流測定中にコンデンサの電荷の移動が生じ、その結果正しい漏洩電流を測定することができなくなるものと考えられる。この傾向は特に、高速でかつ連続してコンデンサの微小な漏れ電流を測定する場合に顕著である。
【００１０】
そこで、請求項１の発明は、コンデンサに測定端子を当接させることにより電気的特性を測定するようにしたコンデンサの特性特定装置において、上記コンデンサと上記測定端子との少なくとも当接時における当接部の温度差を所定範囲内に管理する温度管理手段を備え、該温度管理手段は、送風ファンにより上記コンデンサと測定端子とに向かって、少なくとも両者が当接する以前から当接が終了するまでの一連の動作中に送風することにより、上記測定端子とコンデンサとの当接部における熱移動を所定範囲内に管理することを特徴としている。
【００１１】
ここで、上記温度管理を行なうとは、図８に示すように、例えば送風機構２０を用いて、特にコンデンサＣと測定端子Ｔとの当接部を冷却あるいは加熱して両者の当接部を略同じ温度にするということであり、温度管理を行なうための媒体としては気体，液体等を用いることが可能である。
【００１３】
請求項２の発明は、請求項１において、上記温度管理手段は、上記温度差を０．１〜３度の範囲内に管理することを特徴としている。
【００１４】
請求項３の発明は、請求項１又は２において、上記温度管理手段は、少なくともコンデンサの容量値，当接時間に応じて送風速度を管理することを特徴としている。この場合、具体的には、コンデンサの容量値が大きいほど、また当接時間が短いほど送風速度を大きくする。
【００１５】
【発明の作用効果】
請求項１の発明に係る特性測定装置によれば、コンデンサと測定端子との当接部の温度差が所定範囲内となるように温度管理を行なうようにしたので、両者の温度差が小さくなり、熱の受け渡しによるコンデンサの容量の変化を抑制できる。その結果、コンデンサの漏洩電流を正確に測定することができる。
【００１６】
また本発明では、送風ファンにより当接する以前から当接が終了するまでの一連の動作中に送風することにより温度差を管理するようにしたので、簡単な構造で両者の温度差を小さくすることができ、従来の温度センサ，冷却，加熱装置，あるいは温度制御装置を不要にでき、低コストでかつ簡単な構造で温度管理を行なうことができる。
【００１７】
請求項２の発明では、温度差が０．１〜３度の範囲となるように管理したので、熱の受け渡しをほとんどなくすことができ、両者の温度差をより小さく管理することができ、大容量のコンデンサの場合でも漏洩電流を精度よく管理することかできる。
【００１８】
請求項３の発明では、コンデンサの容量値，当接時間に応じて送風速度を管理するようにしたので、両者の温度差をより小さく管理することができ、測定精度をさらに向上できる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
【００２０】
図１及び図２は、本発明の第１実施形態によるコンデンサの特性測定装置を説明するための概略構成図である。
【００２１】
本実施形態の特性測定装置１は、固定テーブル２の前面２ａに配設された４連マルチ式の搬送テーブル３を間歇的に回転駆動することにより、コンデンサＣを測定部４に搬送し、該測定部４にてコンデンサＣの漏洩電流を測定して良品と不良品の選別を行い、この後、コンデンサＣを部品取り出し部９に搬送し、外部に排出するように構成されている。なお、図１において、１１はワーク投入ホッパ，１２はワーク振分け搬送部，１３はワーク移載部をそれぞれ示している。
【００２２】
上記搬送テーブル３にはコンデンサＣが収納される収納部３ａが周方向に所定間隔毎に形成されており、該収納部３ａ内に供給されたコンデンサＣは不図示の真空吸引により位置決め保持されている。上記コンデンサＣは直方体状のセラミック体の両端面部に電極を形成したチップ型のもので、該電極が前，後方向を向くように収納配置されている。
【００２３】
上記固定テーブル２の測定部４に臨む部分には固定端子５が配置されており、該固定端子５の搬送テーブル３を挟んだ前方には可動端子６が進退可能に配設されている。この可動端子６，固定端子５には直流電圧源７，漏洩電流検出回路８が接続されている。
【００２４】
上記測定部４の固定端子５上にコンデンサＣが搬送されると、可動端子６が前進してコンデンサＣの前側電極に当接するとともに、後側電極を固定端子５に押しつける。この状態で直流電圧を印加して漏洩電流を測定する。
【００２５】
そして、上記測定部４には温度管理手段としての送風ファン１０か配設されている。この送風ファン１０は、搬送テーブル３の正面，すなわち可動端子６が設置されている側に搬送テーブル３に向かって配置されており、該送風ファン１０からの冷却風を、特にコンデンサＣと可動端子６とに向けて吹き付ける。この場合に上記コンデンサＣと可動端子６との当接部の温度差が０．１〜３度の範囲となるようにその風速及び風量が調整される。
【００２６】
ここで、上記固定端子５とコンデンサＣの後側電極とは該コンデンサＣが測定部４に搬送されると同時に当接し、両者間で熱の移動が開始されることから、可動端子６が前進してコンデンサＣの前側電極に当接するまでの間に固定端子５とコンデンサＣとの温度差はほとんど無視することが可能となるほど小さくなる。即ち、温度差による熱移動はコンデンサに測定端子が接触した瞬間が最も大きく、この後は時間の経過に伴って熱移動が減少して小さくなる。なお、コンデンサＣと固定端子５との当接部についても冷却風を吹き付けるようにすればより一層効果的である。
【００２７】
本実施形態装置によりコンデンサＣの漏洩電流を測定するには、まず送風ファン１０を回転駆動して冷却風を送風し、この状態で搬送テーブル３によりコンデンサＣを測定部４に搬送する。そしてコンデンサＣの後側電極が固定端子５に当接すると、可動端子６が前進して前側電極に当接する。この状態で直流電圧を印加して漏洩電流を測定する。この一連の動作中、送風ファン１０による冷却風によって特にコンデンサＣと可動端子６との当接部が冷却され、両者の温度差が小さくなる。
【００２８】
このように本実施形態によれば、送風ファン１０の冷却風によりコンデンサＣと可動端子６とを両者の温度差が０．１〜３度の範囲内となるように温度管理を行なうようにしたので、コンデンサＣと可動端子６との温度差を極めて小さくすることができ、熱の受け渡しによるコンデンサの容量の変化を抑制できる。その結果、コンデンサＣの漏洩電流の測定精度を高めることができる。
【００２９】
上記送風ファン１０により冷却風を送風してコンデンサＣと可動端子６との温度差を最小にする構造を採用したので、送風ファン１０を追加するだけの簡単な構造で温度管理を行なうことができ、従来の温度センサ，冷却，加熱装置，あるいは温度制御装置を用いる場合に比べてコストを低減できる。
【００３０】
本実施形態では、コンデンサＣと可動端子６との当接部の温度差を０．１〜３度の範囲に管理したので、特に高速でかつ連続してコンデンサＣの微小な漏れ電流を測定する場合に有効である。
【００３１】
またコンデンサＣの容量値，当接時間に応じて送風速度，送風量を管理するようにしても良く、このようにすれば両者の温度差をより小さく管理することができ、測定精度をさらに向上できる。
【００３２】
図３は、本実施形態装置の効果を確認するために行った実験結果を示す図である。この実験では、多数のコンデンサを連続して測定するとともに、送風ファンにより冷却風を所定風速で送風し、測定開始時の電流値を測定するとともに、測定開始から１０分経過毎の電流値の変動を測定して行った。また、比較するために、コンデンサの周辺温度を管理するために循環空冷した場合、及び冷却をしなかった場合についても同様に電流の変動を測定した。
【００３３】
同図からも明らかなように、冷却しない場合には、１０分経過後では４０％を越える電流値の変動が生じている。また循環空冷した場合には、１０分経過後には１５％程度の電流値の変動が生じている。これに対して本実施形態では、１０分経過しても５％程度の電流値の変動となっており、温度差を小さくすることによって測定値の精度が大幅に改善されていることが分かる。
【００３４】
図４は、コンデンサ−測定端子間の温度差と風圧との関係を示す特性図である。これは、３．２ｍｍ×１．６ｍｍのコンデンサを、熱抵抗×熱容量の値が約２になる測定端子とを搭載した特性測定装置を用い、送風ファン１０の風量１ｍ3／ｍｉｎとして、コンデンサの特性測定においてコンデンサと測定端子との許容温度差を調べた。その結果、２．７μＦのコンデンサでは許容温度差は１℃、１０μＦのコンデンサでは許容温度差は０．３３℃であることがわかった。
【００３５】
また１０μＦのコンデンサを上記条件で測定し、送風ファン１０の風圧を変化させてコンデンサと測定端子との温度差を測定した。その結果、図４から、１０μＦのコンデンサを誤差なく測定するためには、送風ファン１０の風圧を約２４Ｐａ以上にする必要があることがわかる。
【００３６】
なお、上記第１実施形態では、送風ファン１０を搬送テーブル３の正面側に配置した場合を説明したが、本発明の送風ファン１０は、図５に示すように、搬送テーブル３の側方に配置してもよい。
【００３７】
図６及び図７は、本発明の第２実施形態による特性測定装置を説明するための図である。
【００３８】
本第２実施形態の特性測定装置は、搬送テーブル１５の外周縁部にコンデンサＣが収納される収納凹部１５ａを周方向に所定間隔毎に形成し、測定部４の下側に一対の測定端子１６，１６を昇降可能に配置し、上側にストッパ１７を配設した構造となっている。そして各測定端子１６を上昇させてコンデンサＣを押し上げるとともに、ストッパ１７に押し付け、この状態で直流電圧を印加して漏洩電流の測定を行なうように構成されている。
【００３９】
そして、上記測定部４には送風管１８が配置されている。この送風管１８には不図示の送風ファンが接続されており、該送風管１８から冷却空気を吹きつけることにより、コンデンサＣと各測定端子１６との当接部を同時に冷却し、両者の温度差をなくすようにしている。
【００４０】
本実施形態においても、コンデンサＣと各測定端子１６との温度差を極めて小さくすることができ、上記第１実施形態と同様にコンデンサの漏洩電流を正確に測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態によるコンデンサの特性測定装置の全体図である。
【図２】上記特性測定装置の概略構成図である。
【図３】上記実施形態の効果を確認するために行った実験結果を示す特性図である。
【図４】上記実施形態の効果を確認するために行った実験結果を示す特性図である。
【図５】上記第１実施形態の変形例を示す概略構成図である。
【図６】本発明の第２実施形態による特性測定装置の概略構成図である。
【図７】上記特性測定装置のIV-IV 線断面図である。
【図８】本発明の作用効果を説明するための図である。
【図９】本発明の成立過程を説明するための図である。
【符号の説明】
１ 特性測定装置
５，６ 固定，可動端子（測定端子）
１０ 送風ファン（温度管理手段）
１６ 測定端子
１８ 空気配管（温度管理手段）
Ｃ コンデンサ
Claims (3)
- コンデンサに測定端子を当接させることにより電気的特性を測定するようにしたコンデンサの特性特定装置において、上記コンデンサと上記測定端子との少なくとも当接時における当接部の温度差を所定範囲内に管理する温度管理手段を備え、該温度管理手段は、送風ファンにより上記コンデンサと測定端子とに向かって、少なくとも両者が当接する以前から当接が終了するまでの一連の動作中に送風することにより、上記測定端子とコンデンサとの当接部における熱移動を所定範囲内に管理することを特徴とするコンデンサの特性測定装置。
- 請求項１において、上記温度管理手段は、上記温度差を０．１〜３度の範囲内に管理することを特徴とするコンデンサの特性測定装置。
- 請求項１又は２において、上記温度管理手段は、少なくともコンデンサの容量値，当接時間に応じて送風速度を管理することを特徴とするコンデンサの特性測定装置。
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| JP2004177169A JP2004177169A (ja) | 2004-06-24 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP5509690B2 (ja) * | 2009-06-20 | 2014-06-04 | 株式会社村田製作所 | 電子部品の特性測定装置 |
| TWI512306B (zh) * | 2013-04-25 | 2015-12-11 | Murata Manufacturing Co | Test equipment for electronic parts |
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|---|---|
| JP2004177169A (ja) | 2004-06-24 |
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