JP4118572B2

JP4118572B2 - 気泡を含有するｃｍｐ用研磨パッド

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Publication number: JP4118572B2
Application number: JP2002047643A
Authority: JP
Inventors: 健司中谷; 正典阿部; 英次吉田
Original assignee: Teijin Chemicals Ltd
Current assignee: Teijin Chemicals Ltd
Priority date: 2002-02-25
Filing date: 2002-02-25
Publication date: 2008-07-16
Anticipated expiration: 2022-02-25
Also published as: JP2003249470A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体や電子用ガラス基板の表面を研磨したり、該基板上に設けられて素子、配線の段差を無くすための平坦化処理のＣＭＰ研磨パッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体やデイスプレイの超微細化や高密度化が進み、それに使用される基板を高精度に研磨する必要がある。又、更に進んで基板状に形成した素子や配線の凹凸を研磨する事で平坦化し多層構成のデバイスを作成する事が生産に適用されている。この様な超平坦化を行う研磨法として化学的機械的研磨法（以下ＣＭＰと略す）が開発されて利用されている。ＣＭＰ用研磨パッドとしては表面がポリウレタン製の不織布タイプや発泡タイプのパッドが使用されている。しかしながら、ポリウレタン樹脂は柔らかく研磨パッドとしての耐久性が低いことと、柔らかいために被研磨物の表面の凹凸を全面に研磨した時に本来なら研磨が必要な凸部のみを削る以外に同時に凹部まで削り、なかなか凹凸が解消出来ない問題がある。
【０００３】
又、ナイロン樹脂より形成されたパッドも使用されるが多くの場合研磨剤として酸化物微粒子を含む水溶液が用いられるのでナイロン樹脂が吸水して、その結果パッドが変形し、被研磨物表面を逆に傷つけることがあるという問題が生じている。
【０００４】
さらに、ヤング率が１Ｇｐａ以上の樹脂を研磨パッドに使用することが特開平9-11119号公報に記載されている。この公報に記載された具体的な例は、ポリカーボネート樹脂よりなる研磨パッドである。ポリカーボネート樹脂はその吸水率が約0.3重量％であり比較的に吸水し易い。その為に研磨剤含有水スラリーの使用時において、パッドの変形による被研磨物表面への傷発生の問題が生じている。
【０００５】
研磨パッドに気泡を設けて多孔質化することは特開昭64-58475号公報に記載されるように従来から実用化されており、不織布にポリウレタンを含浸させた多孔質ウレタンタイプやポリウレタン溶液を湿式法で成型した発泡ポリウレタンタイプが利用されている。いずれも表面に気泡孔を具備させた構造で、被研磨物の保持性に優れ、供給する研磨スラリーを保持させるにも好適であるが、硬さの点で柔らかく、使用時に圧縮変形が生じ、研磨によって得られる被研磨物の製品表面の平坦性に劣り、研磨パッドの寿命も短いと言う欠点があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の主な目的は、上述したような従来の欠点を解決し、吸水性が小さく、適度な硬さを有し、かつ耐久性が良好なＣＭＰ用研磨パッド及びその製造方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは前記本発明の目的を解決するために鋭意研究を進めた結果、ジシクロペンタジエン系の２つの成分、すなわち触媒を含んだモノマーＡを含有するモノマーＡ液と活性化剤を含んだモノマーＢ含有するモノマーＢ液を用いて発泡成形することにより得られる熱変形温度が高い樹脂を用い、かかる樹脂中に存在する多数の気泡の大きさ、密度を制御することにより、本発明を完成するに至ったものである。
【０００８】
すなわち本発明は、以下の通りのものである。
１．メタセシス重合性環状オレフィンからなり、かつ熱変形温度が９０〜１３０℃である樹脂により成形されたＣＭＰ用研磨パッドであって、該研磨パッドは、その断面から測定した平均直径が５０μ以下である実質的に独立の気泡を含有し、かつ気泡の面密度が１Ｅ＋４個／ｃｍ ² 以上であるＣＭＰ用研磨パッドを製造するにおいて、ジシクロペンタジエンまたはそれを７０ｍｏｌ％以上含む混合物であるメタセシス重合性環状オレフィンの２つの化学成分を反応の生じないように２つの密閉容器にそれぞれ用意し、各密閉容器内に成分と反応しない発泡性ガスを導入して、密閉容器内のそれぞれの成分に２０〜４０℃の温度にコントロールして飽和溶解させた後、これら２成分を混合し、金型内で射出反応させて製造される樹脂により成形されることを特徴とするＣＭＰ用研磨パッドの製造方法。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下本発明について具体的に説明する。
【００１０】
本発明のＣＭＰ用研磨パッドを形成する樹脂は、メタセシス重合性環状オレフィンの開環重合体による架橋重合体である。
【００１１】
かかるメタセシス重合性環状オレフィンとしては、メタセシス重合性シクロアルケン基を分子中に１〜２個含有するものが使用される。好ましくはノルボルネン骨格を分子中に少なくとも１つ有する化合物である。これらの具体例としては、ジシクロペンタジエン、トリシクロペンタジエン、シクロペンタジエン−メチルシクロペンタジエン共二量体、５−エチリデンノルボルネン、ノルボルネン、ノルボルナジエン、５−シクロヘキセニルノルボルネン、１，４，５，８−ジメタノ−１，４，４ａ，５，６，７，８，８ａ−オクタヒドロナフタレン、１，４−メタノ−１，４，４ａ，５，６，７，８，８ａ−オクタヒドロナフタレン、６−エチリデン−１，４，５，８−ジメタノ−１，４，４ａ，５，６，７，８，８ａ−オクタヒドロナフタレン、６−エチリデン−１，４−メタノ−１，４，４ａ，５，６，７，８，８ａ，−オクタヒドロナフタレン、１，４，５，８−ジメタノ−１，４，４ａ，５，８，８ａ−ヘキサヒドロナフタレン、エチレンビス（５−ノルボルネン）などを挙げることができ、これらの混合物も使用することができる。特にジシクロペンタジエンまたはそれを５０モル％以上、好ましくは７０モル％以上含む混合物が好適に用いられる。
【００１２】
また、必要に応じて、酸素、窒素などの異種元素を含有する極性基を有するメタセシス重合性環状オレフィンを共重合モノマーとして用いることができる。かかる共重合モノマーも、ノルボルネン構造単位を有するものが好ましく且つ極性基としてはエステル基、エーテル基、シアノ基、Ｎ−置換イミド基、ハロゲン基などが好ましい。かかる共重合モノマーの具体例としては、５−メトキシカルボニルノルボルネン、５−（２−エチルヘキシロキン）カルボニル−５−メチルノルボルネン、５−フェニロキシメチルノルボルネン、５−シアノノルボルネン、６−シアノ−１，４，５，８−ジメタノ−１，４，４ａ，５，６，７，８，８ａ−オクタヒドロナフタレン，Ｎ−ブチルナディック酸イミド、５−クロルノルボルネンなどを挙げることができる。
【００１３】
本発明の樹脂は、前記メタセシス重合性環状オレフィンをメタセシス重合させて得られた架橋重合体である。かかるメタセシス重合に使用される触媒は、それ自体知られた触媒を使用することができる。例えばルテニウム−錯体触媒をメタセシス重合触媒として使用することができ、また後述するような触媒成分と活性化剤成分との組合せによるメタセシス重合触媒を使用することもできる。一般には、メタセシス重合触媒として触媒成分と活性化剤成分とを組み合わせたメタセシス触媒系を使用するのが実質的に優れている。次にこのメタセシス触媒系を使用する環状オレフィンの環状重合体の製造方法について詳述する。
【００１４】
この方法は、モノマー液を２つに分け、一方のモノマー液Ａ（溶液Ａ）には、メタセシス重合触媒系の触媒成分を含有させ、他方のモノマー液Ｂ（溶液Ｂ）にはメタセシス重合触媒系の活性化剤成分を含有させ、重合および成形に際して、この両溶液を混合させる方法である。
【００１５】
すなわち、モノマー液Ａ（溶液Ａ）中には、メタセシス重合触媒系の触媒成分が含有されている。かかる触媒成分としては、タングステン、レニウム、タンタル、モリブデンなどの金属のハライドなどの塩類が用いられるが、特にタングステン化合物が好ましい。かかるタングステン化合物としては、タングステンヘキサハライド、タングステンオキシハライドなどが好ましく、より具体的にはタングステンヘキサクロライド、タングステンオキシクロライドなどが好ましい。また、有機アンモニウムタングステン酸塩なども用いることができる。かかるタングステン化合物は、直接モノマーに添加すると、直ちにカチオン重合を開始することが分かっており好ましくない。従って、かかるタングステン化合物は不活性溶媒、例えばベンゼン、トルエン、クロロベンゼンなどに予め懸濁し、少量のアルコール系化合物および／またはフェノール系化合物を添加することによって可溶化させて使用するのが好ましい。さらに上述した如き、好ましくない重合を予防するためにタングステン化合物１モルに対し、約１〜５モルのルイス塩基またはキレート化剤を添加することが好ましい。かかる添加剤としてはアセチルアセトン、アセト酢酸アルキルエステル類、テトラヒドロフラン、ベンゾニトリルなどを挙げることができる。極性モノマーを用いる場合には、前述の如く、そのものがルイス塩基である場合があり、上記の如き化合物を特に加えなくてもその作用を有している場合もある。前述の如くして、触媒成分を含むモノマー液Ａ（溶液Ａ）は、実質上充分な安定性を有することになる。
【００１６】
一方、モノマー液Ｂ（溶液Ｂ）中には、メタセシス重合触媒系の活性化剤成分が含有されている。この活性化剤成分は、周期律表第Ｉ〜第ＩＩＩ族の金属のアルキル化物を中心とする有機金属化合物、特にテトラアルキル錫、アルキルアルミニウム化合物、アルキルアルミニウムハライド化合物が好ましく、具体的には塩化ジエチルアルミニウム、ジ塩化エチルアルミニウム、トリオクチルアルミニウム、ジオクチルアルミニウムアイオダイド、テトラブチル錫などを挙げることができる。これら活性化剤成分としての有機金属化合物をモノマーに溶解することにより、モノマー液Ｂ（溶液Ｂ）が形成される。
【００１７】
基本的には、後述する本発明の特徴をなす発泡性ガスを添加した前記溶液Ａおよび溶液Ｂを混合し、金型内に注入することによって、目的とする架橋重合体の成形物を得ることができる。しかし、上記組成のままでは、重合反応が非常に速く開始されるので、成形金型に十分流れ込まない間に硬化が起こることもあり問題となる場合もある。このような場合には活性調節剤を用いることが好ましい。かかる調節剤としてはルイス塩基類が一般に用いられ、なかんずく、エーテル類、エステル類、ニトリル類などが用いられる。具体例としては安息香酸エチル、ブチルエーテル、ジグライムなどを挙げることができる。かかる調節剤は一般的に、有機金属化合物の活性化剤の成分の溶液（溶液Ｂ）の側に添加して用いられる。前述と同様にルイス塩基を有するモノマーを使用する場合には、それに調節剤の役目を兼ねさせることができる。
【００１８】
メタセシス重合触媒系の使用量は、例えば触媒成分としてタングステン化合物を用いる場合は、上記原料モノマーに対するタングステン化合物の比率は、モル基準で約１，０００対１〜１５，０００対１、好ましくは２，０００対１の付近であり、また、活性化剤成分はアルキルアルミニウム類を用いる場合には、上記原料モノマーに対するアルミニウム化合物の比率は、モル基準で約１００対１〜１０，０００対１、好ましくは２００対１〜１，０００対１の付近が用いられる。さらに上述した如きキレート化剤や調節剤については、実験によって上記触媒系の使用量に応じて、適宜調節して用いることができる。
【００１９】
本発明によって得られる架橋重合体の成形物には、実用に当たってその特性を改良または維持するために更にその目的に応じた各種添加剤を配合することができる。かかる添加剤としては、充填剤、顔料、酸化防止剤、光安定剤、難燃剤、高分子改良剤などがある。このような添加剤は、本発明の架橋重合体が成形されて後は添加することが不可能であるから添加する場合には予め前述した原料溶液に添加しておく必要がある。
【００２０】
特に樹脂中、すなわち架橋重合体の成形物には、界面活性剤を0.01〜１重量％含有させることが出来る。界面活性剤を樹脂中に含有させることにより研磨パッドの使用により被研磨物質の研磨傷や欠陥を発生しがたくなり、又研磨パッドの耐久性が向上する利点が得られるだけでなく、樹脂中に均一な気泡を作成することに効果がある。樹脂中に含有せしめる界面活性剤としてはアニオンタイプ、カチオンタイプ、両性タイプ、ノニオンタイプのいずれのタイプでも使用可能であるが、溶液Ａ，Ｂに予め添加しておく場合は触媒あるいは活性化剤と反応しないものを選択すべきである。一般にはノニオンタイプの界面活性剤が好ましい。また、化学構造としては表面張力を下げるに著しい効果があるフッ素系界面活性剤やシリコン系界面活性剤が好ましく、特にフッ素系ノニオンタイプの界面活性剤が好ましい。
【００２１】
かかるフッ素形界面活性剤の例としては、フッ素化アルキルエステル、パーフルオロアルキルエチレンオキシド付加物、パーフルオロアルキルアミンオキシド、パーフルオロアルキル含有アオリゴマ-などが挙げられる。この中でフッ素化アルキルエステル、パーフルオロアルキルエチレンオキシド付加物などが好適に用いられる。
【００２２】
添加剤を加えるその最も容易な方法としては、前記溶液Ａおよび溶液Ｂのいずれかまたは両方に前もって添加しておく方法を挙げることができるが、その場合、その液中の反応性の強い触媒成分、活性化剤成分と実用上差支えある程度には反応せず、且つ重合を阻害しないものでなくてはならない。どうしても、その反応が避け得ないものが共存しても、重合を実質的に阻害しないものあるいは短時間には阻害しないものの場合は、モノマーと混合して、溶液Ａ、溶液Ｂ以外の第三液を調製し、重合直前に混合使用することもできる。また、重合触媒または活性化剤を第三液とし、これを含まない溶液Ａまたは溶液Ｂに上記添加物を添加する方法も考えられる。さらに、固体の充填剤の場合であって、両成分が混合されて、重合反応を開始する直前あるいは重合しながら、その空隙を充分に埋め得る形状の物については、成形金型内に充填しておくことも可能である。また、本発明による成形物は、酸化防止剤を添加しておくことが好ましく、そのため、フェノール系またはアミノ系の酸化防止剤を予め溶液中に加えておくことが望ましい。これら酸化防止剤の具体例としては、２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、Ｎ，Ｎ'−ジフェニル−ｐ−フェニレンジアミン、テトラキス［メチレン（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシシンナメート）］メタンなどが挙げられる。
【００２３】
また、本発明の研磨パッドは、他の重合体をモノマー溶液状態の時に添加しておいて得ることができる。かかる重合体添加剤としてはエラストマーが、成形物の耐衝撃性を高めることおよび溶液の粘度を調節する上で効果がある。かかる目的に用いられるエラストマーとしては、スチレン−ブタジエン−スチレントリブロックゴム、スチレン−イソプレン−スチレントリブロックゴム、ポリブタジエン、ポリイソプレン、ブチルゴム、エチレンプロピレン−ジエンターポリマー、ニトリルゴムなど広範なエラストマーを挙げることができる。
【００２４】
さらに、本発明の研磨パッドの特徴は、反応射出成形（ＲＩＭ成形）で製造されるジシクロペンタジエン重合体の成形物から形成された研磨パッド中に比較的均一な微細で実質的に独立な気泡を多数含有することである。これは、言い換えれば、互いの気泡間の連通がほとんどなく独立の気泡が多数を占めるものである。かかる微小な気泡は表面が開口するとその中に研磨スラリーを閉じ込めることで被研磨物との界面での研磨スラリーの保持力を向上するとともに、その微小な径の為に研磨パッドの磨耗により常に新しい気泡が研磨面に供給されることで研磨面の均一性を向上させたことを最大の特徴とするものである。その為には、ＣＭＰ用研磨パッドの断面から測定した該気泡のサイズが５０μｍ直径以下である。好ましくは４０μｍより小さい。この結果、サブミクロンルールで設計されている半導体等の素子、配線面の平坦化の均一性が得られる。またＣＭＰ用研磨パッドの断面における単位面積当たりの個数（面密度）は１×１０⁴個／ｃｍ²以上が必要であり、より好ましくは１．５Ｘ１０⁴個／ｃｍ²以上である。多数の微小な気泡が均一に存在することで被研磨物と接触する気泡部分が順次変化し、上記半導体表面加工に均一性が得られる。しかしながら、気泡が多すぎると、気泡同士が合体し空洞が大きくなり連通することで、機械的強度を低下させ、研磨パッドの歪の発生による研磨面に凹凸を発生させる原因となる。さらに研磨スラリーが連通孔に閉じ込められるために研磨パッドの目詰まりが生じやすく、同一位置で高濃度の研磨スラリーによる研磨が生じ続けるために凹凸が増幅される問題点が生じ極めて不都合である。又、目詰まりが生じるとドレッシングと呼ばれる再生処理が必要となり、工程が余分に必要でありコストアップの要因にもなっている。一方、本発明の研磨パッドでは気泡が独立微小であり目詰まりが生じにくく、ドレッシング工程を省力できる利点がある。
【００２５】
本発明においては、樹脂中の気泡は大多数が（おおよそ７０％以上の気泡は）独立した気泡である為に気泡内に閉じ込められたスラリー量が極微量であり、且つ研磨パッド表面の磨耗による気泡の消滅とともにその研磨位置が変化して均一な平坦化に寄与する。該気泡のサイズと個数は研磨パッドの断面を電子顕微鏡観察して測定、計測する。具体的には、１００倍〜２００倍の倍率で研磨パッドの断面の電子顕微鏡写真を撮影し、その写真上の一定断面積中で観察されるセル径、セル数を測定しその平均値で表す。
【００２６】
該研磨パッドは研磨時に被研磨物との摩擦により全体の温度が上昇するので耐熱性がある材料が求められる。熱変形温度としては９０℃以上が必要であり好ましくは９０〜１３０℃である。被研磨物の温度が上がりすぎると素子特性に熱による悪影響が出る恐れがあるので１３０℃以上では研磨パッドが変形し被研磨物への影響を軽減することが好ましい。
【００２７】
又、研磨パッドには通常、適当な機械的強度が要求される。本発明の研磨パッドの圧縮弾性率は９８０〜１９８０ＭＰａ（10000〜20000Kgf／cm²）が好ましい。圧縮弾性率が９８０ＭＰａより小さいと凹凸表面の凸部だけを研磨するのが難しく、又、研磨時の耐久性が低い場合がある。
【００２８】
一方圧縮率が高すぎると研磨時に被処理物表面を傷つける恐れがあり、１９８０ＭＰａ以下が好ましい。
【００２９】
又、本発明の樹脂は耐衝撃性に優れたものが用いられる。耐衝撃性はノッチ付アイゾッドの値で１９６〜５８８J/m（２０〜６０Kg・cm/cm）である。かかる特性を有する材料は研磨に使用するときばかりでなく、組み立てなどの取り扱い時にもなんら破損することなく使用できる。
【００３０】
研磨時には水溶性の研磨スラリーを使用するので研磨パッドにも適度な吸水性能が必要である。本発明の樹脂の吸水率は、２４時間２５℃の水中に浸漬した重量変化によって求められるが、その吸水率は0.01〜0.2重量％、さらに好ましくは0.03〜0.1重量％である。かかる吸水率の樹脂は、水スラリーの研磨剤の使用において、形状もまた樹脂の特性もなんら変わることなく使用できる。吸水率が大きすぎると研磨パッドの形状変化を生じ平坦な加工が困難になる。又、全く吸水しないと研磨面での温度上昇が発生しやすく被研磨物への熱的なダメージが生じやすい。さらに研磨スラリーの保持が弱くなり研磨速度の変動を生じやすくなる。
【００３１】
一般に研磨剤は水溶性であり、化学的研磨を生じる為に酸性、あるいはアルカリ性の溶液として使用される。本研磨剤溶液が研磨パッド上で均一に分散する為には研磨パッドの濡れ性が良好なことが好ましい。濡れ性を規定する方法としては接触角の測定が一般的に行われるが、本発明の研磨パッドはＰＨ７の水溶液に対する接触角は５０度以下であり良好な濡れ性を示している。
【００３２】
かかる均一に分散した微小径の独立気泡を内蔵する樹脂を製造する方法を以下に説明する。前記原料のモノマー液Ａ及びモノマー液Ｂは、反応を生じさせないように分けて、それぞれを密閉して収容できる第１容器及び第２容器に収容しておく。そして、これら各モノマー液が収容された第１容器及び第２容器に、ガス供給手段から発泡性ガスを導入して、第１容器及び／又は第２容器中にあるそれぞれのモノマー液に飽和させる。この場合、導入するガスは通常、チッソガスか二酸化炭素ガスが用いられる。好ましくは窒素ガスが使用される。
【００３３】
また、それぞれのモノマー液に発泡性ガスを飽和させるには、例えば、常温下において圧力のみを加えて飽和させる場合、ガス供給手段に加圧装置を備え、この加圧装置によりガスを第１容器及び第２容器内に圧送すると共に、第１容器及び第２容器内を加圧して、例えば、約１０時間で6ＭＰａ以上の圧力を加える、或いは、約３〜５時間で8ＭＰａ以上の圧力を加えることにより行う。なお、ジシクロペンタジエンの場合は、重合反応を精度良く制御する観点からか、モノマー液は２０〜４０℃程度の温度にコントロールされるのが普通である。
【００３４】
次いで、この圧力及び温度を保持した状態で、これら第１容器及び第２容器に連通し前記２モノマー液を混合する混合チャンバー（ミキシングヘッド）に各モノマー液を送り、この混合チャンバーにおいて２液を均一に混合する。各成分の輸送はポンプなどを用いて行なわれる。そして、混合された２液は、金型に送られて、混合成分が化学反応を起こすとともに、制御された金型内の圧力と温度から圧力及び／又は温度を急激に変化させる。
【００３５】
すなわち、金型内では、混合成分の反応による圧力温度変化に加えて、外部からの制御による急激な圧力及び／又は温度の変化により、予め２液中、又は、片方のモノマー液中で飽和しているガスの混合成分に対する溶解度が低下して、それを契機として、均一且つ微小なセル径をもつ発泡合成重合体を製造できるのである。この場合、圧力、温度の何れを変化させてもよいが、高圧によりガスを飽和させている場合は、圧力温度制御手段として圧力調整弁を備えて、この圧力調整弁を開いて金型内の圧力を急激に低下させるように制御するのが好ましい。
【００３６】
この圧力変化は、セル径５０μｍ以下とするには、例えば、上記のように8〜6ＭＰａ以上の圧力で飽和させている場合には、反応時の圧力として4〜2ＭＰａ以下とするのが好ましい。また、前記圧力温度制御手段を用いて、金型内の圧力及び／又は温度を適宜制御することにより、樹脂中の気泡径や気泡数を調節でき、所望の気泡径や気泡数をもつ架橋重合体を得ることができる。なお、モノマー液中のガス濃度を制御することでも、樹脂中の気泡径や気泡数を調節できる。
【００３７】
本発明の研磨パッドの形状は、平板状、湾曲状等の形状で用いられる。本発明の研磨パッドの表面には研磨界面への微粒子含有スラリーを安定に供給、排出するための溝が設けられる。この溝は樹脂成形物の少なくとも一表面を削ることにより設けることもできるが、本発明の樹脂は液状の混合液を金型内に注入し重合と成形を同時に行うのであるから、金型表面にかかる形状を設けておくことで容易に溝付の研磨パッドを作成することが出来る。研磨パッドの溝の深さは0.5〜４ｍｍ、溝の幅は0.4〜4ｍｍ、溝のピッチは0.6〜３ｍｍが望ましい。
【００３８】
研磨パッドを成形するための金型の材質としては、スチール、鋳造、あるいは鍛造のアルミニューム、亜鉛合金などの鋳造や溶射、ニッケルや銅などの電鋳または樹脂などが上げられる。又、金型の構造は成形時に金型内に発生する圧力が数Kg/cm²と他の成形方法に比べて極めて低いので簡単なもので十分である。その為に本発明の研磨パッドのコストは他の熱可塑性、熱硬化性樹脂パッドよりも安く作る事が出来る。
【００３９】
本発明の研磨パッドは、研磨する面の反対面（裏側）に、アルミニウム、ステンレス等の材料からなるパッド取り付け用冶具に固定して使用することができる。固定する際、該研磨パッドより柔らかい材料をクッション層として介すると、段差のある被研磨物との接触が容易になるので好ましい。かかる材料としては、例えば、発泡ウレタン樹脂等が挙げられる。
【００４０】
【実施例】
以下実施例を上げて本発明の研磨パッドを説明する。もちろん本発明はこれに限定されるものではない。なお熱変形温度（HDT）はJIS-K720の試験法にのっとり3ｍｍ厚の試験片を1.81ＭＰａの加重で測定した。
【００４１】
（溶液Ａの調整）
六塩化タングステン２８重量部を窒素気流中下で乾燥トルエン８０重両部に添加し、次いでｔ−ブタノール１．３重量部をトルエン１重量部に溶解した溶液を加え１時間攪拌し、次いでノニルフェノール１８重量部およびトルエン１４重量部よりなる溶液を添加し５時間窒素気流中下攪拌した。さらにアセチルアセトン１４重量部を加えた。副生する塩化水素ガスを追いだしながら窒素気流下に意図版攪拌を続け、重合用触媒溶液を調整した。
【００４２】
次いで精製ジシクロペンタジエン（DCP, 純度９９．７重量％、以下同様）９５重量部、精製エチリデンノルボノルネン（純度９９．５重量％）５重量部よりなるモノマー混合物に対し、エチレン含有７０モル％のエチレン−プロピレン−エチリデンノルボルネン共重合ゴム３重量部および酸化安定剤としてエチル社製エタノックス７０２の２重量部を加えた溶液に上記重合用触媒溶液をタングステン含有が０．０１Ｍ／Ｌになるように加えて触媒成分を含有するモノマー液Ａ（溶液Ａ）を調整した。
【００４３】
ついでこの液にフッ素化アルキルエステルを0.2重量％添加し攪拌混合した。
【００４４】
（溶液Ｂの調製）
精製ジシクロペンタジエン（DCP）８３重量部、精製エチリデンノルボルネン５重量部よりなるモノマー混合物に対し、エチレン含有７０モル％のエチレン−プロピレン−エチリデンノルボルネン共重合ゴム３重量部を溶解した溶液に、トリオクチルアルミニウム８５、ジオクチルアルミニウムアイオダイド１５、ジグライム１００のモル割合で混合調製した重合用活性化剤混合液をアルミニウム含量が０.０３Ｍ／Ｌになる割合で添加し、活性化剤成分を含有するモノマー液Ｂ（溶液Ｂ）を調製した。
【００４５】
［実施例１］
（成形）
厚み５ｍｍ、幅９１．５ｍｍ、長さ５００ｍｍの板に長さ方向に深さ２ｍｍ、幅１．５ｍｍの溝が１．５ｍｍピッチで多数ある構造の成形物を成形する金型を鍛造アルミニュウム材で作った。かかる金型を使用し、溝側（キャビ側）９０℃、板側（コア側）６０℃に温調し、前記モノマー溶液Ａとモノマー溶液Ｂとを１：１の重量比で衝突混合し、該混合液を金型内に注入した。内部に気泡を含有する発砲成形体を得るために、予めチッソガスを１３ＭＰａで30℃のＡ液，Ｂ液の両モノマー液に飽和させた。又、キャビティ内圧を２．０ＭＰａとして反応射出成形した。得られた発泡成形体中の平均気泡サイズは２５μｍ、気泡の断面密度は２.2ｘ１０⁴個／ｃｍ²だった。
【００４６】
これとは別に３ｍｍ厚さの板状の発泡成形体を成形し物性値を測定したところ、熱変形温度は１０５℃、圧縮弾性率は1372ＭＰa（14000Kgf/cm²）、吸水率0.04重量％、ノッチ付アイゾット372J/m(38Kg/cm/cm)であった。又、表面硬度は100〜140を示し、セリア系スラリーに対する接触角は32度であった。なお、表面硬度はプラスチック用のロックウエル硬度計を用い、接触角はセリア系スラリーの溶媒である水溶液で測定した。
【００４７】
（研磨）
上記パッドをポリウレタン樹脂からなるクッション剤を介してアルミニューム製の冶具に取り付け、該研磨パッドを固定した研磨定盤を36rpmで回転させ、一方被研磨物を取り付けた定盤も10rpmで回転させた。セリア系ポリッシュ材を100ml／分で供給しながら研磨圧力0.04ＭＰａで10数分間研磨を実施した。被研磨物には半導体基板である４インチシリコンウエハー上に0.25ミクロン幅、高さ１ミクロンのCu配線を0.3ｍｍ間隔で形成し、さらにその上に酸化シリコン絶縁膜を5ミクロンの厚さになるように形成した半導体基板を用意した。3μの厚みを研磨後に表面上で２ｍｍの長さの凹凸を表面段差計で測定し、平坦度（段差）を評価した。又顕微鏡で表面を観察しスクラッチ（傷）の有無を調べた。さらに3日間連続して使用し、その研磨性能が変化したかどうかを調べた。実施例1での結果では平坦度は23nm、スクラッチは無く、3日後にも使用可能であった。結果を表１にまとめた。
【００４８】
［実施例２］
実施例１と同じモノマー液を用い、成形時の飽和時の窒素ガス圧力を20ＭＰａにアップして成形した。その結果気泡径、気泡数は増加したが研磨パッドとしての特性は表１の如く優良であった。また、研磨パッドの表面での接触角をＰＨ７の水を用いて測定した結果、表１の接触角測定欄に示した結果を示した。本発明の研磨パッドの接触角が５０度以下であり、比較例の研磨パッドの接触角より小さく濡れ性の良好である。
【００４９】
［比較例１］
実施例１と同じモノマー液を用い、発泡が生じない条件で成形した。その結果13分研磨後の段階では段差も小さく、スクラッチも無く優良であったが、その後の長時間の研磨では研磨界面の摩擦熱のアップによると思われる熱ダメージが生じ、研磨パッドの表面に歪が生じた。その為に３日後の状況では使用不可の結果となり寿命の点で劣る事が明らかになった。
【００５０】
［比較例２］
実施例１と同じモノマー液を用い、成形時の飽和時ガス圧をアップすると同時に液温を45℃に上昇させ、又キャビテイ内圧を０．５ＭPaとした。その結果、気泡径は大きくなり、且つ連通する気泡が多くなった。研磨時には段差が68nmと大きくなり、一部に浅いスクラッチが発生した。結果を表１に示す。
【００５１】
［比較例３］
樹脂材料としてイソシアネート基末端ウレタンプレポリマーをＡ液とし、活性水素含有化合物をＢ液とした２液反応式で発泡ウレタン樹脂の研磨パッドを作成した。
【００５２】
作成条件を選択して気泡径が４０μのパッドを作成したが、その機械的強度は740ＭＰａと小さい。又表面硬度も15と小さく、セリア系スラリーに対する接触角は80度であった。その結果面内で大きなうねりが生じ、その凸部ではスクラッチも生じた。結果を表１に示す。また実施例２と同様に、研磨パッドの表面での接触角を測定したが、５０度を越え濡れ性が不十分である。
【００５３】
［比較例４］
実施例１の溶液Ａの調整でモノマー混合物として精製ジシクロペンタジエン３２重量部、精製エチリデンノルボルネン６８重量部よりなるモノマー混合物を用いた以外は実施例１の溶液Ａと同じにし、又溶液Ｂの調整においては、モノマー混合物として精製ジシクロペンタジエン３２重量部、精製エチリデンノルボルネン６８重量部よりなるモノマー混合物を用いた以外は実施例１のＢ液と同じにして成型した。
【００５４】
成型条件は溝側（キャビ側）１１５℃、板側（コア側）７５℃に温調した以外は実施例１と同じ条件で成型した。出来た研磨パッドの特性は別紙表の如く熱変形温度が７９℃と低くなった。前記半導体表面を研磨した結果表面に微小なスクラッチが入る問題点が生じた。又連続使用すると研磨パッド表面に熱によると思われる歪が発生し寿命の点も劣る事が明らかになった。
【００５５】
［比較例５］
樹脂材料として耐衝撃性、圧縮弾性率に優れたポリカーボネート樹脂を用いた。吸水率が高いために面内で大きなうねりが生じ、初期の凹部がますますくぼんで、うねりの拡大が見られた。結果を表１に示す。また実施例２と同様に、研磨パッドの表面での接触角を測定したが、５０度を越え濡れ性が不十分である。
【００５６】
【表１】

−：未測定
【００５７】
【発明の効果】
以上の結果から明瞭なように、本発明によれば均一で耐久性に優れ、半導体表面等の微小な素子、配線の平坦化に優れた特性を示すＣＭＰ用研磨パッドが提供出来る。

Claims

メタセシス重合性環状オレフィンからなり、かつ熱変形温度が９０〜１３０℃である樹脂により成形されたＣＭＰ用研磨パッドであって、該研磨パッドは、その断面から測定した平均直径が５０μ以下である実質的に独立の気泡を含有し、かつ気泡の面密度が１Ｅ＋４個／ｃｍ ² 以上であるＣＭＰ用研磨パッドを製造するにおいて、ジシクロペンタジエンまたはそれを７０ｍｏｌ％以上含む混合物であるメタセシス重合性環状オレフィンの２つの化学成分を反応の生じないように２つの密閉容器にそれぞれ用意し、各密閉容器内に成分と反応しない発泡性ガスを導入して、密閉容器内のそれぞれの成分に２０〜４０℃の温度にコントロールして飽和溶解させた後、これら２成分を混合し、金型内で射出反応させて製造される樹脂により成形されることを特徴とするＣＭＰ用研磨パッドの製造方法。