JP4102325B2 - 検査装置 - Google Patents
検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4102325B2 JP4102325B2 JP2004097368A JP2004097368A JP4102325B2 JP 4102325 B2 JP4102325 B2 JP 4102325B2 JP 2004097368 A JP2004097368 A JP 2004097368A JP 2004097368 A JP2004097368 A JP 2004097368A JP 4102325 B2 JP4102325 B2 JP 4102325B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- conductive film
- transparent conductive
- pattern
- illumination unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 22
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 72
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 28
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 25
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 15
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 13
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 10
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 4
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- VSQYNPJPULBZKU-UHFFFAOYSA-N mercury xenon Chemical compound [Xe].[Hg] VSQYNPJPULBZKU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
LCD 用の基板の製造過程においては、目的のパターンを生成するためのレジスト膜パターンや生成された金属膜、透明または半透明膜の寸法を測定している。
試料 9 から反射した光は、投光管 3 のハーフミラー 21 、レーザオートフォーカスユニット10 のハーフミラー 21 を通過した後、レンズ 11 及び 12 を通過することによってCCD カメラ 14 の撮像面に結像される。
またレボルバ 7 は、対物レンズ 8 を切り換え、倍率を変更するために使用される。
照射された光は、試料 9 の透明または半透明の部分を透過し、対物レンズ 8に入射し、上記と同様に CCD カメラ 14 に結像される。
結像された像は、CCD カメラ 14 で撮像され、映像信号に変換されて試料 9 の画像として、映像信号画像処理ユニット 15 に出力される。
本構成において、照明ユニット 1 及び 4 の照明ランプは、図7に示すような、白色光に近い連続スペクトルを持ちかつ安価な、ハロゲンランプが一般的に使用される。図7は、照明ユニット 1 または 4 の照明ランプ 23 または 24 に使用する光源の発生する光のスペクトルの一例を示す図。
上述の技術は、例えば、特許文献1に記載されている。
本発明の目的は、上記のような問題を解決し、透明導電膜部分とそれ以外の部分のコントラストを増大させ、膜厚の小さい透明導電膜パターンの寸法測定を容易に実現するものである。
このため、本発明の一側面の寸法測定装置及び寸法測定方法は、少なくとも 400 nm から 500 nmの間の波長より短い波長の光を透過し、それ以上の波長の光(可視光)を透過しない光学フィルタを具備したものである。
また、本発明の一側面の寸法測定装置及び寸法測定方法は、基板上に形成された透明導電膜パターンの透過特性に対し、透明導電膜パターンの顕微鏡で観察した画像コントラストが増加するような特性を持ったランプと光学フィルタの組み合わせで選択された照明ユニットを具備したものである。
また本発明の一側面の検査装置の光学フィルタは、少なくとも 400 nm 、450 nm 、または、500 nm いずれか1つの波長より短い波長の光を透過し、それ以上の波長の可視光を透過しない光学フィルタである。
また本発明の一側面の検査装置のランプは、少なくとも 400 nm 、450 nm 、または、500 nm いずれか1つの波長より短い波長の光領域に輝線を有したランプである。
また本発明の一側面の検査装置は、反射照明と透過照明の少なくともいずれか1つを使用して検査することを特徴とするものである。
このため、本発明の実施例の図1に示すように、照明ユニット 1′及び 4′のランプを、従来の照明ユニット 1 及び 4 の連続スペクトルを有すランプから輝線スペクトルを有すランプに変更し、更に、ランプから発せられる輝線スペクトルの内、透明導電膜の透過率が低下する波長域のみ透過させる光学フィルタを追加したものである。
これにより、試料に照射される光の波長域は、透明導電膜の透過率が低下する波長域となり、透過率が低い透明導電膜と透過率が高い部分に明暗差が生じ、透明導電膜部分とそれ以外の部分のコントラストを増大させ、パターンエッジ部の明暗差からエッジを検出し寸法測定を行うようにしたものである。
図1は、本発明の一実施例の寸法測定装置の略構成を示すブロック図である。また図2は、図1の実施例の照明ユニット 1′及び 4′に使用するランプ(光源)の発生する光のスペクトルの一例を示す図である。また図3は、図1の実施例の照明ユニット 1′及び 4′に使用する光学フィルタの透過特性図である。また図4は、試料 9 の透明導電膜の透過特性の一例を示す図である。また図5は、本発明を用いた時の効果を説明するための図である。
図1において、図6と同じ機能のユニットには同じ参照番号を付した。その他、1′は反射照明方式の照明ユニット、4′は投下照明方式の照明ユニット、23′は照明ユニット 1′のランプ、24′は照明ユニット 4′のランプ、16 は光学フィルタ、17はフィルタ切り換え機構である。
CCD カメラ 14 が撮像した試料 9 のパターン画像は、映像信号として画像処理ユニット 15 に出力され、画像処理ユニット 15 は、入力された映像信号を基に画像処理を行い、パターンの寸法を測定する。
ここでレーザオートフォーカスユニット 10 、自動調光装置 13 、レボルバ 7 、対物レンズ 8 、ハーフミラー 21 ,22 、レンズ 11 ,12 、及び、画像処理ユニット 15 は、従来例と同様に動作する。なお、画像処理ユニット 15 の制御対象は、従来例に加えて、フィルタ切り換え機構 17 の制御がある。
以下この作用について説明する。
透明導電膜の透過特性は、図4に示すように、可視領域ではほぼ 80 %の透過特性を示すが、可視領域より短波長側で急激に透過特性が低下する。
このため透明導電膜の無い部分と透明導電膜部分の明暗差が大きくなり、パターンエッジ部の明暗差に基づいてエッジを検出し寸法測定を行うことができる。
図5において、(a) は照明ユニットに従来のハロゲンランプを使用した場合の画像であり、試料は同じ物を使い、金属膜上の透明導電膜、ガラス基材上の透明導電膜ともに全く明暗差が生じないため、エッジを検出し寸法測定を行うことが難しい。(b) は照明ユニットにメタルハライドランプを用いた場合の画像であり、(a) と比べると金属膜上の透明導電膜の明暗差が生じるようになったものの、ガラス基材上の透明導電膜についてはほとんど明暗差が生じない。このため、エッジを検出し寸法測定を行うことが難しい。(c) は照明ユニットにメタルハライドランプを使用し、かつ、光学フィルタを加えたことにより得られた画像である。金属膜上の透明導電膜、ガラス基材上の透明導電膜ともに明暗差が生じ、パターンエッジ部の明暗差からエッジを検出し寸法測定を行うことが容易に実現できる。
光源として、連続スペクトルを持つランプの光を光学フィルタで特定波長切り出すことも考えられるが、この場合は、光量が不足する欠点があるが、輝線を有すランプを用いれば、特定波長の光を効率的に取り出すことができ、検査に必要な光量を得ることができる。
更に、フィルタ切り換え機構 17 によって、可視光以上の長波長領域の光を遮断しないで使用する場合と、光学フィルタを使用する場合とを切替えて使用して検査することでも良い。また光学フィルタの遮断波長領域を複数具備して切替え制御し、領域の組合わせで検査するようにしても良い。
また更に、光学フィルタの組合わせと、反射照明と透過照明の組合わせを、組合わせて使用して検査することも可能である。
Claims (4)
- 基板上に形成された透明導電膜のパターンの寸法を顕微鏡で拡大して寸法を測定する寸法測定装置であって、照明ユニットに少なくとも、400nm、450nm、または500nmいずれか1つの波長より短かい波長領域に輝線スペクトルを有したランプと、上記ランプから発せられる上記輝線スペクトルの内、上記透明導電膜の透過率が低下する可視光の短波長域よりも短い波長領域にかけて輝線スペクトルを有す光のみを透過させる光学フィルタとを具備したことを特徴とする検査装置。
- 請求項1記載の検査装置において、上記光学フィルタは、少なくとも400nm、450nm、または、500nmいずれか1つの波長より短い波長領域に輝線スペクトルを有す光を透過し、それ以上の波長の可視光を透過しない光学フィルタであることを特徴とする検査装置。
- 請求項1乃至請求項2のいずれかに記載の検査装置において、上記照明ユニットは、反射照明用ユニットと透過照明用ユニットを備え、上記反射照明ユニットと透過照明ユニットの少なくともいずれか1つを使用して検査することを特徴とする検査装置。
- ガラス基板上に形成された透明導電膜のパターンの寸法を顕微鏡で拡大して寸法を測定する検査装置において、
上記透明導電膜のパターンが形成されている面と反対側のガラス基板下部から450nmの波長より短い波長領域の光を透過照射する照明ユニットと、上記透過照射された光を撮像するカメラと、該カメラから出力する映像から上記パターンの寸法を測定する画像処理ユニットとを有し、
上記画像処理ユニットは、上記カメラから出力された映像の明暗差から上記パターンのエッジ部を検出して上記パターンの寸法を検査することを特徴とする検査装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004097368A JP4102325B2 (ja) | 2004-03-30 | 2004-03-30 | 検査装置 |
KR1020050025807A KR100678821B1 (ko) | 2004-03-30 | 2005-03-29 | 검사 장치 |
TW094109860A TWI269862B (en) | 2004-03-30 | 2005-03-29 | Inspection apparatus |
CN2005100601697A CN1677051B (zh) | 2004-03-30 | 2005-03-29 | 检查装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004097368A JP4102325B2 (ja) | 2004-03-30 | 2004-03-30 | 検査装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005283319A JP2005283319A (ja) | 2005-10-13 |
JP2005283319A5 JP2005283319A5 (ja) | 2006-05-11 |
JP4102325B2 true JP4102325B2 (ja) | 2008-06-18 |
Family
ID=35181872
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004097368A Expired - Lifetime JP4102325B2 (ja) | 2004-03-30 | 2004-03-30 | 検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4102325B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008216264A (ja) * | 2004-09-21 | 2008-09-18 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 検査装置 |
JP5433221B2 (ja) * | 2008-12-03 | 2014-03-05 | 株式会社日立国際電気 | 線幅測定方法 |
-
2004
- 2004-03-30 JP JP2004097368A patent/JP4102325B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005283319A (ja) | 2005-10-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2315065B1 (en) | Microscope | |
JP6004126B1 (ja) | 検査装置、及びそのフォーカス調整方法 | |
KR101875980B1 (ko) | 객체 특징을 선택적으로 관찰하기 위한 고속 획득 비전 시스템 및 그 방법 | |
EP2088459A1 (en) | Image measuring device | |
KR100873057B1 (ko) | 반사광 및 투과광에 의한 시각검사용 조명장치 | |
JP4102325B2 (ja) | 検査装置 | |
JP2005062515A (ja) | 蛍光顕微鏡 | |
JP2006119112A (ja) | 検査装置 | |
JP2008046011A (ja) | 表面検査装置 | |
KR100678821B1 (ko) | 검사 장치 | |
JP2007101494A (ja) | 表面検査装置 | |
US9703207B1 (en) | System and method for reducing dynamic range in images of patterned regions of semiconductor wafers | |
JP2008216264A (ja) | 検査装置 | |
KR102496099B1 (ko) | 외관 검사 장치 | |
JP2006313143A (ja) | ムラ検査装置およびムラ検査方法 | |
JP4493119B2 (ja) | 紫外線顕微鏡 | |
JP2001289794A (ja) | 欠陥検査装置 | |
JP2005266622A (ja) | マスク欠陥検査装置 | |
JP2012150079A (ja) | 透明部材の欠陥検出装置及び欠陥検出方法 | |
US20240175826A1 (en) | Wafer defect inspection apparatus | |
JP4521548B2 (ja) | 検査装置、検査方法及びパターン基板の製造方法 | |
JP2002221494A (ja) | 光反射体検査装置 | |
JP2001125002A (ja) | 照明装置及び照明装置を備えた顕微鏡システム | |
JP2005180939A (ja) | 光学装置、検査装置及び検査方法 | |
KR100589978B1 (ko) | 다수의 광원을 이용하는 자동 광학 검사 시스템의 자동초점 조절 장치 및 그의 초점 조절 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060317 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060317 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071205 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071211 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080207 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20080207 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080311 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080321 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110328 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4102325 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120328 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120328 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130328 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130328 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140328 Year of fee payment: 6 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D03 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |