JP4092345B2 - 無軌道移動装置の位置決め装置 - Google Patents

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Description

本発明はガラス基板、半導体ウェハ等を搬送するために使用する無軌道移動装置の位置決め装置に関するものである。
スイッチング素子としてＴＦＴ（薄膜トランジスタ）を有する液晶表示装置、半導体装置等の製造においては、ガラス基板、半導体ウェハ等をある製造装置から他の製造装置に搬送する必要がある。この場合、製造装置が多数並んでおり、製造装置間の通路の幅が狭いときには、無人誘導自走車（ＡＧＶ）に代わって無軌道移動装置が使用されている。そして、無軌道移動装置と製造装置との間でガラス基板、半導体ウェハ等を確実に授受するためと、人的損傷による高価なウェハの破損を出来る限り少なくするため、無軌道移動装置を製造装置に対して正確に位置決め固定する必要がある。
このような目的を達成するための無軌道移動装置の位置決め装置としては特許文献１に示すものが知られている。
特開２０００−７２２２６号公報
図４及び図５はこのような従来の無軌道移動装置の位置決め装置を示し、１は半導体製造装置、２はその側面に取り付けた、無軌道移動装置の位置決め装置の一方の部分を示し、この一方の部分２は、プレート３と、夫々上記プレート３の側面に互いに離間して配置したＶ型溝４を有するブロック５及び棒状掛止ピン６とより成る。
７は無軌道移動装置、８はこの無軌道移動装置７の側面に取り付けた無軌道移動装置の位置決め装置の他方の部分を示し、この他方の部分８は、上記一方の部分２のブロック５のＶ型溝４に嵌入される嵌合ローラ９と、このローラ９を回転自在に支持する支持アーム１０と、この支持アーム１０を上記無軌道移動装置７の側面に沿って移動自在にガイドするガイドロッド１１と、上記支持アーム１０をその移動方向の反対方向に抑制するためのスプリング１２と、上記プレート３に対接される他方のローラ１３と、上記無軌道移動装置７に連結された、上記掛止ピン６に掛止されるフック１４と、このフック１４を上記掛止ピン６から外れる方向に移動するためのワイヤ１５と、このワイヤ１５を操作するため上記無軌道移動装置７に設けたペダル１６と、上記フック１４の復元スプリング１７とより成る。
然しながら上記従来の位置決め装置では位置決めするためのフック１４と、その釈放手段を必要とするため構成が複雑でコストを低下することができなかった。
また、上記フック１４を掛止ピン６に掛止するためには図６に示すように半導体製造装置１に対し無軌道移動装置７を大きく傾斜せしめなければならず側方に直進せしめての結合はできなかった。
本発明はこのような欠点を除くようにしたものである。
本発明の無軌道移動装置の位置決め装置は、半導体製造装置の側面に取り付ける一方の部分と、無軌道移動装置の側面に取り付ける他方の部分とより成り、上記一方の部分は、上記製造装置の側面に互いに離間して配置した一方及び他方のブロックと、上記一方及び他方のブロックの互いに対向する面に夫々形成した溝とにより構成し、上記他方の部分は、上記夫々のブロックの溝に夫々嵌入される一方及び他方の回転ローラと、これらの回転ローラを夫々支持する一方及び他方のアームと、上記一方のアームを上記無軌道移動装置の側面に取り付けるための変位可能手段と、上記他方のアームを上記無軌道移動装置の側面に固定する固定手段とにより構成し、上記変位可能手段が、上記一方のアームを上記他方のアームに離接する方向にスライド自在に支持するため上記無軌道移動装置の側面に沿って固定したガイドレールと、上記一方のアームを上記他方の固定アームから常時離れる方向に抑制するスプリングとにより構成したことを特徴とする。
従来の装置では、製造装置に対し無軌道移動装置がフックで固定されるが、横方向に作用するスプリングの力で位置決めを行っている為無軌道移動装置の重量等によりスプリングの張力が一定にならず位置決めが不完全であり又両者を離間させる場合には釈放手段が必要であった。本発明はこのような欠点を解決したものである。
本発明の無軌道移動装置の位置決め装置によれば位置決めのためのフックとその釈放手段を必要としないためその構成を簡単とし、コストを低下することができると共に、サイドアクセスを可能ならしめることができる。
以下図面によって本発明の実施例を説明する。
本発明の無軌道移動装置の位置決め装置は、図１に示すように半導体製造装置１の側面に取り付ける一方の部分１８と、無軌道移動装置７の側面に取り付ける他方の部分１９とより成る。
上記一方の部分１８は上記製造装置１の側面に取り付けたプレート２０と、夫々上記プレート２０の側面に互いに離間して配置した一方及び他方のブロック２１，２２と、上記一方及び他方のブロック２１，２２の互いに対向する面に形成した弧状溝２３，２４とにより構成する。
本発明の無軌道移動装置の位置決め装置の上記他方の部分１９は、上記ブロック２１，２２の弧状溝２３，２４に夫々嵌入される一方及び他方のローラ２５，２６と、これらのローラ２５，２６を夫々回転自在に支持する一方及び他方のアーム２７，２８と、上記一方のアーム２７を上記無軌道移動装置７の側面に取り付けるための変位可能手段２９と、上記他方のアーム２８を上記無軌道移動装置７の側面に固定するボルト３０とにより構成する。
上記変位可能手段２９は、上記一方のアーム２７の基部３１をスライド自在に支持するため上記無軌道移動装置７の側面に沿って固定したガイドレール３２と、上記一方のアーム２７に設けた、このアーム２７から上記他方のアーム２８の方向に向って延びるロッド３３と、このロッド３３を移動自在に支持する反力受け板３４と、上記一方のアーム２７を上記他方のアーム２８から離れる方向に移動可能ならしめるため上記反力受け板３４と上記一方のアーム２７間に介挿した圧縮スプリング３６とにより構成する。
本発明の無軌道移動装置の位置決め装置は、上記のような構成であるから常時は図１に示すように上記一方のアーム２７は圧縮スプリング３６の作用により他方のアーム２８から離れる方向に向ってスライドされており、従って上記一方と他方のローラ２５，２６間の間隔は上記一方と他方のブロック２１，２２間の間隔より十分に大きくされている。従って無軌道移動装置７のローラ２５を製造装置１のブロック２１の溝２３に入れ、上記圧縮スプリング３６を圧縮する方向に無軌道移動装置７を前進させながら、無軌道移動装置７を振れば図２に示すように他方のアーム２８のローラ２６が製造装置１の溝２４に直接挿入出来る様になる。
従って図３に示すように製造装置１に設けられたブロック２１と他方のブロック２２の溝２３，２４に無軌道移動装置７のローラ２５，２６が圧縮スプリング３６の復元力によって挿入されれば、製造装置１と無軌道移動装置７が固定されると同時に両方の位置関係も固定されるようになる。
両者を離間されるには無軌道移動装置７を押すと上記圧縮スプリング３６が圧縮される方向に圧縮スプリング３６が圧縮され製造装置１のブロック２２の溝２４より無軌道移動装置７のローラ２６が離れる。この状態で無軌道移動装置７を振れば図２に示すように、ブロック２２とローラ２６は離れるから無軌道移動装置７を製造装置１から簡単に離間出来る。
上記のように本発明の無軌道移動装置の位置決め装置によれば極めて簡単な構成により無軌道移動装置７を半導体製造装置にサイドアクセスして接続でき、また、離脱できるようなり、そのコストも低下できる大きな利益がある。
本発明の無軌道移動装置の位置決め装置の非作動状態の平面図である。 無軌道移動装置を半導体製造装置の側面にサイドアクセスせしめた状態の平面図である。 本発明の無軌道移動装置の位置決め装置の作動状態を示す平面図である。 従来の無軌道移動装置の位置決め装置の非作動状態の平面図である。 従来の無軌道移動装置の位置決め装置の作動状態を示す平面図である。 従来の無軌道移動装置の位置決め装置の操作説明用平面図である。
符号の説明
１ 半導体製造装置等
２ 一方の部分
３ プレート
４ Ｖ型溝
５ ブロック
６ 掛止ピン
７ 無軌道移動装置
８ 他方の部分
９ ローラ
１０ アーム
１１ ガイドロッド
１２ スプリング
１３ 他方のローラ
１４ フック
１５ ワイヤ
１６ ペダル
１７ 復元スプリング
１８ 一方の部分
１９ 他方の部分
２０ プレート
２１ ブロック
２２ ブロック
２３ 弧状溝
２４ 弧状溝
２５ ローラ
２６ ローラ
２７ アーム
２８ アーム
２９ 変位可能手段
３０ ボルト
３１ 基部
３２ ガイドレール
３３ ロッド
３４ 反力受け板
３６ 圧縮スプリング

Claims (1)

  1. 半導体製造装置の側面に取り付ける一方の部分と、無軌道移動装置の側面に取り付ける他方の部分とより成り、
    上記一方の部分は、上記製造装置の側面に互いに離間して配置した一方及び他方のブロックと、上記一方及び他方のブロックの互いに対向する面に夫々形成した溝とにより構成し、上記他方の部分は、上記夫々のブロックの溝に夫々嵌入される一方及び他方の回転ローラと、これらの回転ローラを夫々支持する一方及び他方のアームと、上記一方のアームを上記無軌道移動装置の側面に取り付けるための変位可能手段と、上記他方のアームを上記無軌道移動装置の側面に固定する固定手段とにより構成し、上記変位可能手段が、上記一方のアームを上記他方のアームに離接する方向にスライド自在に支持するため上記無軌道移動装置の側面に沿って固定したガイドレールと、上記一方のアームを上記他方の固定アームから常時離れる方向に抑制するスプリングとにより構成したことを特徴とする無軌道移動装置の位置決め装置。
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