JP4068281B2 - フォトマスクの製造方法 - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体のリソグラフィに用いるフォトマスクに係わり、特にレジストパターンのプロセス裕度を劣化させる迷光の影響の定量化を基にして、フォトマスクのLSIパターン配置に補正をかけるためのフォトマスクの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体基板上にLSIパターンを形成する場合、基板上の被加工膜上にレジストなどの放射線感光材料を塗布し、ステッパやスキャナなどの縮小投影露光装置を用いて露光及び現像を行う。LSIパターンを感光材料に形成する工程において、屈折光学系型露光装置を用いる場合、光源から出た光は縮小レンズ系と投影レンズ系によって、その間に位置するフォトマスク上に形成されたLSIパターン像をレジストに忠実にパターン転写することになる。そして、形成されたレジストパターンを基に被加工膜をパターニングする。
【0003】
ところで、この種のパターン転写に用いられるフォトマスクは、一般に厚いガラス基板の上に遮光膜として薄膜状のクロムや酸化クロムなどのパターンが形成された構造となっている。しかし、実際には光が通過する際には、ガラスとクロム、或いはクロムと空気の屈折率の差は非常に大きく、このような光は露光装置内で複雑な散乱や干渉を生じる。このために、光源から出た全露光量の光の中には、理論的に予想される光学経路以外の光学経路を通過する光となってレジスト上に照射されるものが存在する。
【0004】
このような現象は迷光と呼ばれ、露光光源の短波長化や低コントラストでもパターン転写できるレジストの使用などにより、無視できないノイズとなってレジストの解像力を低下させたり、露光量裕度や焦点深度を劣化させることが知られている。しかも、このような現象は、マスク上のクロムや酸化クロムの被覆率に応じて大きく異なることから、マスクにおける遮光膜の被覆率とレジストの解像力の劣化、露光量裕度や焦点深度の劣化の程度を正確に把握することが、安定な半導体デバイスを製造する上で不可欠となっている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
このように従来、フォトマスクのパターンをレジストに転写する工程においては、迷光の影響でレジストの解像力が低下したり、露光量裕度や焦点深度が劣化する問題があり、このような現象はマスク上の遮光膜の被覆率に応じて異なってくるという問題があった。
【0006】
本発明は、上記事情を考慮して成されたもので、その目的とするところは、迷光に起因するレジストの解像力の劣化、露光量裕度や焦点深度の劣化の程度に対する依存性を正確に把握することができ、迷光の影響が低減されたリソグラフィプロセスの実現に寄与し得るフォトマスクの製造方法を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
(構成)
上記課題を解決するために本発明は次のような構成を採用している。
【0008】
即ち本発明は、フォトマスクの製造方法において、基板上に形成されたテストパターンの中心座標を中心とする半径Rの円形領域における遮光部の被覆率をC%(100≧C≧0)とし、被覆率C%,半径Rの領域でのプロセス裕度を測定する工程と、測定されたプロセス裕度から求まる、所定の露光量裕度での最大焦点深度を、被覆率C%と半径Rの関数にして等高線グラフとして出力する工程と、所定の最大焦点深度Aが必要であると考えた場合に、これらを満足する等高線グラフ中の任意の距離Rnと被覆率の範囲Cn%を求める工程と、LSIの特定パターン設計時に該特定パターンから前記距離Rn内の領域が被覆率の範囲Cn%を満足するように、パターンを再配置する工程とを含むことを特徴とする。
【0009】
また本発明は、フォトマスクの製造方法において、基板上に形成されたテストパターンの中心座標を中心とする半径Rの円形のパターン領域の外側を遮光領域とし、パターン領域における遮光部の被覆率をC%(100≧C≧0)とし、RとCの値をそれぞれ変化させた複数のパターン領域を有する測定用マスクを用い、この測定用マスクのパターンを試料上のレジストに露光し、且つ露光量と焦点位置を異ならせた露光条件のそれぞれにおいて該レジストの異なる位置に露光を行う工程と、前記露光により前記試料上に形成されたレジストパターンのうち、前記露光条件,R,Cの値が異なる前記テストパターンの線幅Lをそれぞれ測定する工程と、前記測定された線幅Lに基づいて、被覆率C%,半径Rをパラメータとして振ったときのプロセス裕度を測定する工程と、前記測定されたプロセス裕度から求まる、所定の露光量裕度での最大焦点深度或いは所定の焦点深度での最大露光量裕度を、被覆率C%と半径Rの関数にして等高線グラフとして出力する工程と、所定の最大焦点深度Aが必要であると考えた場合に、これらを満足する等高線グラフ中の任意の距離Rnと被覆率の範囲Cn%を求める工程と、LSIパターン設計時に該LSIパターンの特定パターンから前記距離Rn内の領域が前記被覆率の範囲Cn%を満足するように、LSIパターンを配置する工程とを含むことを特徴とする。
【0010】
ここで、本発明の望ましい実施態様としては次のものが挙げられる。
(1) パターンを再配置する工程として、被覆率が不足する場合には距離Rn内の領域の総面積を算出した後に所定の面積分だけダミーパターンを配置し、被覆率が過剰な場合には所定の面積分だけパターンを削除すること。
(2) 被覆率C%,半径Rの領域でのプロセス裕度をシミュレーションにより求めること。
【0011】
(作用)
本発明の骨子は、マスクにおける遮光膜の被覆率とレジストの解像力の劣化、露光量裕度や焦点深度の劣化の程度に対する依存性を正確に把握し、LSIパターン設計時の指針とするためのテストマスクパターンを提案することにある。即ち本発明では、図1に示すように、線幅130nmのポジ型レジスト断面形状が、様々なCr被覆率のマスクを使って露光した場合に変化することが実験的に確認されており、このようなレジスト特性のCr被覆率依存性をより厳密に定量的に測定する方法を提供する。
【0012】
定量化の方法は、図2に示すように、迷光の影響が、ある特定のパターンの座標0から距離Rnだけ離れた領域内からだけ迷光の影響を受けるようなテストマスクを使って、特定のパターンからどれだけ離れている場合にどれだけ迷光の影響があるかを実験的に求める。実際には、マスクのCr被覆率をC%(100≧C≧0)として、Cの値を様々に変化させたときの、特定パターンの線幅Lを測定する。この線幅Lの露光量と焦点深度の依存性をマトリックス状に測定した値から、例えばED−Tree解析などの方法により、ある被覆率C%で且つある半径Rnの領域でのプロセス裕度が測定できる。
【0013】
次に、例えばこれらのプロセス裕度から求まる、ある露光量裕度での最大焦点深度(DOF)値を、図3に示すような被覆率C%と特定パターンからの距離Rの関数にして等高線グラフとして出力する。このグラフを基に設計すべきLSIパターンへの補正のために、距離Rnで有限の被覆率C%が得られるように、DOF値(a〜g)における最大距離Rよりも短い距離Rnを選択する。
【0014】
そして、設計時には特定のパターンからの距離Rn内の領域が図中の被覆率C%の範囲を満足するように、例えば被覆率が不足する場合には領域内の総面積を算出した後に所定の面積分だけダミーパターンを配置したり、被覆率が過剰な場合には所定の面積分だけパターンを削除する。
【0015】
このようにして本発明によれば、迷光に起因するレジストの解像力の劣化、露光量裕度や焦点深度の劣化の程度に対する依存性を正確に把握することができ、これにより迷光の影響が低減されたリソグラフィプロセスの実現に寄与することが可能となる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の詳細を図示の実施形態によって説明する。
【0017】
図4は測定用マスクに形成したテストパターンを示す図、図5はテストパターンを試料上に露光する様子を示す図、図6は本実施形態におけるパターン補正操作を説明するためのフローチャートである。
【0018】
まず、図4(a)に示すように測定用マスクのパターンとして、ウェハ上で半径5μmの円形になるような領域1に、ウェハ上で130nmのL/Sとなるようなテストパターン2を配置し、その領域1の中心から半径Rのパターン領域3内の被覆率をC%とした複数のパターンを用意した。具体的には、図4(b)に示すように、領域1の中心から半径1mm,2mm,3mm,4mm,5mmと変化させた領域3内を、それぞれ被覆率C%が10%,20%,30%,40%,50%,60%,70%,80%,90%,100%となるように、ウェハ上で250nmのL/Sパターンを領域3内に配置して変化させる。
【0019】
なお、半径Rの領域3の外側は遮光膜により完全に覆われている。つまり、遮光膜に半径R(1,2,3,4,5mm)の開口(パターン領域3)が複数個設けられ、これらの開口内に上記の各被覆率でテストパターン2がそれぞれ形成されている。
【0020】
このような様々なパターンを配置した測定用マスクを準備し、図5に示すように露光装置を用いて、測定用マスク10のパターンを投影レンズ20により試料30上に転写した。
【0021】
具体的には、Siウェハ31上に膜厚60nmの下層反射防止膜32(AR3:シプレイ社製)を成膜後、膜厚300nmの化学増幅型レジスト33(KRF−M60G:JSR製)をPAB(Post Apply Bake)で140℃,90秒の条件で塗布する。この試料30に対し、NA=0.68,σ=0.75,2/3輪帯照明条件のKrFエキシマレーザ露光装置(NSR−S203B:ニコン社製)を用い、上記のマスクパターンをレジスト33に転写する(S1)。
【0022】
この転写工程においては、後述するED−Tree解析を行うために、露光量と焦点深度を少しずつ変え、異なる露光条件で試料上の複数箇所に上記のマスクパターンの転写を行った。
【0023】
露光後にPEB(Post Exposure Bake)を140℃で90秒間行い、2.38%の有機アルカリ現像液(TMAH)で90秒間現像する(S2)。このときの露光量は、130nmのL/Sパターンが所望寸法通りに仕上がるように設定する。そして、得られたL/Sパターンの寸法をそれぞれ測定する(S3)。即ち、RとCの異なるL/Sパターンの線幅を露光条件毎に測定する。
【0024】
次いで、L/Sパターンの線幅130nmの露光量と焦点深度の依存性をマトリックス状に測定した値から、ED−Tree解析により、ある被覆率C%でかつ、ある半径Rnの領域でのプロセス裕度を測定する(S4)。
【0025】
次いで、このプロセス裕度の測定値から、10%露光量裕度での最大焦点深度(DOF)を、前記図3に示すような被覆率C%と特定パターンからの距離Rの関数にして等高線グラフとして出力する(S5)。図中のa,b,c,d,e,f,gはa<b<c<d<e<f<gの関係にあり、DOFが大きいほど許容される被覆率C%の範囲が広くなっている。ちなみに、Rnの距離において、DOF=dでは被覆率C%は35〜65%となり、DOF=eでは被覆率C%の範囲は25〜75%となっている。
【0026】
設計時には特定のパターンからの距離Rn内の領域が図中の被覆率C%の範囲を満足するように、例えば被覆率が不足する場合には領域内の総面積を算出した後に所定の面積分だけダミーパターンを配置したり、被覆率が過剰な場合には所定の面積分だけパターンを削除する(S6)。
【0027】
このようにしてパターンを再配置したフォトマスクを用いてLSIパターンを試料上に転写したところ、レジストパターンにおける断面形状は先端部が細ったり太ったりすることはなく、全ての位置で良好なものとなった。つまり、迷光の影響が低減されたリソグラフィプロセスを実現することができ、フォトマスクのパターンを試料上に精度良く転写することができた。
【0028】
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。実施形態では、図3に示すようなグラフを得るために実際に測定用マスクを用いてそのパターンをレジストに転写したが、必ずしもこのような実験を行う必要はなく、これをシミュレーションによって求めてもよい。また、マスクの材料は石英やクロムに限るものではなく、仕様に応じて適宜変更可能である。
【0029】
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実施することができる。
【0030】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明によれば、フォトマスクにおける遮光部の被覆率とレジストの解像力の劣化、露光量裕度や焦点深度の劣化の程度に対する依存性を正確に把握できる測定用マスクを用いて予め実験を行い、ある特定の照明条件におけるマスクの被覆率のルールを作成し、これをLSIパターン設計時の指針とすることにより、迷光の影響が低減されたリソグラフィプロセスを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の原理を説明するためのもので、Cr被覆率に対するレジストパターン断面形状の変化を示す図。
【図2】本発明の原理を説明するためのもので、テストパターンと半径Rの開口領域との関係を示す図。
【図3】本発明の原理を説明するためのもので、ある露光量裕度でのDOF値を被覆率C%と特定パターンからの距離Rの関数として等高線グラフとして示す図。
【図4】本発明の一実施形態を説明するためのもので、測定用マスクに形成したテストパターンを示す図。
【図5】本発明の一実施形態を説明するためのもので、テストパターンを試料上に露光する様子を示す図。
【図6】本発明の一実施形態を説明するためのもので、パターン補正操作を説明するためのフローチャート。
【符号の説明】
1…L/Sパターン形成領域
2…L/Sパターン
3…半径Rの領域(パターン領域)
10…測定用マスク
11…石英基板
12…クロムパターン
20…投影光学系
30…試料
31…Siウェハ
32…反射防止膜
33…レジスト
Claims (4)
- 基板上に形成されたテストパターンの中心座標を中心とする半径Rの円形領域における遮光部の被覆率をC%(100≧C≧0)とし、被覆率C%,半径Rの円形領域でのプロセス裕度を測定する工程と、
測定されたプロセス裕度から求まる、所定の露光量裕度での最大焦点深度を、被覆率C%と半径Rの関数にして等高線グラフとして出力する工程と、
所定の最大焦点深度Aが必要であると考えた場合に、これらを満足する等高線グラフ中の任意の距離Rnと被覆率の範囲Cn%を求める工程と、
LSIの特定パターン設計時に該特定パターンから前記距離Rn内の領域が前記被覆率の範囲Cn%を満足するように、パターンを再配置する工程と、
を含むことを特徴とするフォトマスクの製造方法。 - 基板上に形成されたテストパターンの中心座標を中心とする半径Rの円形のパターン領域の外側を遮光領域とし、パターン領域における遮光部の被覆率をC%(100≧C≧0)とし、RとCの値をそれぞれ変化させた複数のパターン領域を有する測定用マスクを用い、この測定用マスクのパターンを試料上のレジストに露光し、且つ露光量と焦点位置を異ならせた露光条件のそれぞれにおいて該レジストの異なる位置に露光を行う工程と、
前記露光により前記試料上に形成されたレジストパターンのうち、前記露光条件,R,Cの値が異なる前記テストパターンの線幅Lをそれぞれ測定する工程と、
前記測定された線幅Lに基づいて、被覆率C%,半径Rをパラメータとして振ったときのプロセス裕度を測定する工程と、
前記測定されたプロセス裕度から求まる、所定の露光量裕度での最大焦点深度を、被覆率C%と半径Rの関数にして等高線グラフとして出力する工程と、
所定の最大焦点深度Aが必要であると考えた場合に、これらを満足する等高線グラフ中の任意の距離Rnと被覆率の範囲Cn%を求める工程と、
LSIパターン設計時に該LSIパターンの特定パターンから前記距離Rn内の領域が前記被覆率の範囲Cn%を満足するように、LSIパターンを配置する工程とを含むことを特徴とするフォトマスクの製造方法。 - 前記LSIパターンを配置する工程として、LSIパターン設計時における前記被覆率が不足する場合には前記距離Rn内の領域の総面積を算出した後に前記被覆率の範囲Cn%が満足されるように遮光領域となるダミーパターンを配置し、前記被覆率が過剰な場合には前記被覆率の範囲Cn%が満足されるようにLSIパターンの一部を除去することを特徴とする請求項2記載のフォトマスクの製造方法。
- 前記被覆率C%,半径Rの領域でのプロセス裕度をシミュレーションにより求めることを特徴とする請求項1記載のフォトマスクの製造方法。
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