JP4065724B2 - IC socket with internal observation window - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、内部観察窓付きICソケットに関し、特に、内部観察窓を介してICパッケージを観察する内部観察窓付きICソケットに関する。
【0002】
【従来の技術】
パッケージ化されたICを、パッケージを除去しないで、そのままパッケージ外側から内部観察する必要に迫られる場合がある。このパッケージ化されたICの内部観察は、一般に、ICを実際に電気的に駆動した状態で電子顕微鏡を使用して実施される。この内部観察により、パッケージ内部のICの微細な回路の形成接続状態、通電状態その他の状況を観察、認識することができる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、パッケージ化されたICを通電状態とすると共に、この状態でICを電子顕微鏡に適用する適切な器具は見当たらなかった。
この発明は、単体のICソケットを構成してこれに内部観察窓を付与することにより、上述の問題を解消した内部観察窓付きICソケットを提供するものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】
ICの底面にマトリクス状に配列形成されるバンプを、上向きに弾性的にバイアスされるフロートに取り付けられる細長接触子7とピン端子50とを介して、IC試験装置に接続するICソケットの本体部を具備し、ICソケットの本体部に重ね合わされる中央に開口80を有する導電性押さえ板8を具備し、導電性押さえ板8に係合してその扛上を阻止するスライド枠9を具備する内部観察窓付きICソケットを構成した。
【0005】
ここで、導電性押さえ板8は中央下端部を開口80とした傾斜面81より成る垂下押さえ部85を鍔部82から垂下して形成され、スライド枠9は径大部と径小部より成る長円形開孔92が4隅部に形成され、押さえポスト3に上部ネジ32を螺合している。
【0006】
【発明の実施の形態】
この発明の実施の形態を図1および図2の実施例を参照して説明する。図1は実施例の分解斜視図であり、図2は実施例の断面図である。
この発明の内部観察用のICソケットの本体部は、下ベース1と上ベース2より成る。下ベース1は、その4隅部に押さえポスト挿通孔11が形成され、押さえポスト3が圧入固定されている。押さえポスト3の上下端部には、上部ネジ32および下部ネジ31が螺合される雌ネジ部がネジ切り形成されている。12はポスト挿通孔であり、押さえポスト3の近傍に対応して合計4箇所に形成されている。13はフロートピン挿通孔であり、ポスト挿通孔12に対応して近傍に合計4箇所に形成されている。14はピン端子挿通孔であり、周縁部に複数列に亘って等間隔にマトリクス状に配列形成されている。
【0007】
上ベース2は、中央部に傾斜面より成るICパッケージガイド部を有する大きな開口21形成されている。開口21の下側は、全周に亘ってフロート収容係止部23を構成している。上ベース2の上面には、開口21に関して対称に1対の位置決めピン24が形成されている。22はポスト挿通孔である。
ポスト4は、その下端部は係止部41を構成し、上端はネジ切りされて雌ネジ部45が形成されている。
6はフロートを示す。フロート6は4周壁に包囲されたフロート底壁62を中央部に形成している。63はフロートピン61を挿通するフロートピン挿通孔である。フロートピン挿通孔63の下端部は径を拡大してフロートスプリング60を収容するスプリング収容部64を構成している。
【0008】
7は細長接触子を示す。この細長接触子7は、フロート底壁62の周囲にICパッケージの下面のバンプに対応して複数列に亘って等間隔に配列形成される貫通孔に挿入固定され、下端部をフロート底壁62の下側に突出すると共に、上端部を上面に露出している。
5は回路板を示す。この回路板5には、その表面に細長接触子7が接触する接点部が細長接触子7に対応して形成されると共に、ピン端子50が下面から突出形成されている。このピン端子50と表面の接点部とは回路板5に形成される配線を介して1対1の対応をして相互接続している。51はフロートピン挿通孔、52はポスト挿通孔、53は押さえポスト挿通孔である。なお、詳しい説明は省略するが、フロート底壁62の下面には、この回路板5との間に細長接触子7を案内するガイド板5’が組み合わせ使用される。
【0009】
8は導電性押さえ板である。導電性押さえ板8はポリエーテルイミドの如き合成樹脂により形成され、表面に金スパッタを施して導電性を付与している。中央下端部を開口80とした傾斜面81より成る垂下押さえ部85を鍔部82から垂下して形成されている。この開口80が内部観察窓の一部を形成している。垂下押さえ部85は、先の上ベース2の開口21と相補的な形状を有している。83は鍔部82に貫通形成される1対の位置決めピン嵌合孔であり、垂下押さえ部85に関して対称に1対の位置決めピン24に対応して形成されている。この導電性押さえ板8の下面には、合計4箇所に、フロートピン押圧部84が下ベース1に形成されるフロートピン挿通孔63に対応して形成されている。
【0010】
ところで、押さえ板8に導電性が付与されていないものとすると、これを手指により取り扱い操作してICの押さえ作業を行っている中に、押さえ板8およびIC表面のパッケージの双方の間で摩擦により静電気が発生し、これらは帯電するに到る。この帯電は数千ボルト以上にも達し、これが何らかの条件により放電し、IC内部が破壊される。そして、電子顕微鏡によりIC内部を観察するに際して、押さえ板8の開口80に導電性を付与していない場合、この部分に静電気が発生、帯電する。この帯電が電子顕微鏡の画像に影響を及ぼし、画像がぼやけて不鮮明となり、観察に支障を来すに到る。ここで、押さえ板8の表面に導電性を付与しておくことにより、静電気の発生、帯電、放電が防止され、これに起因するIC内部の破壊、および電子顕微鏡の画像に対する悪影響を防止することができる。
【0011】
9は角穴91が形成されるスライド枠であり、4隅部に径大部と径小部より成る長円形開孔92が形成されている。この角穴91も内部観察窓の一部を形成している。内部観察窓は、結局、導電性押さえ板8の開口80とスライド枠9の角穴91により構成されている。押さえポスト3に上部ネジ32を螺合しておく。このスライド枠9は、長円形開孔92の径小部において上部ネジ32により押さえポスト3にネジ留めされた状態で、導電性押さえ板8に係合してその扛上を阻止する。長円形開孔92の径大部が上部ネジ32のネジ切り部に対応したところで、スライド枠9は押さえポスト3から離脱し、導電性押さえ板8は扛上阻止から開放される。
【0012】
10は取り付け板であり、この発明のICソケットは、組み立てられ、この取り付け板10に取り付け固定された状態で使用される。101は押さえポスト挿通孔であり、102はピン端子挿通孔である。
次いで、ICソケットの組み立て順序について説明する。
(工程1) 先ず、下ベース1の押さえポスト挿通孔11に押さえポスト3を圧入固定する。下ベース1のポスト挿通孔12に下面側からポスト4を挿通する。そして、フロートピン挿通孔63にフロートピン61を挿通する。
【0013】
(工程2) 次いで、回路板5を下ベース1の上面に重ね合わせ。これに際して、回路板5は、そのピン端子50をピン端子挿通孔14に対向位置決めし、そのフロートピン挿通孔63をフロートピン61に対向位置決めし、そのポスト挿通孔52をポスト4に対向位置決めし、その押さえポスト挿通孔53を押さえポスト3に対向位置決めした状態で重ね合わせる。
(工程3) 取り付け板10の押さえポスト挿通孔101を押さえポスト3に対応位置決めすると共に、取り付け板10および下ベース1のピン端子挿通孔同志を整列相互位置決めした状態で、下ベース1の下面に取り付け板10を重ね合わせ、押さえポスト3のネジ切りされた下端の雌ネジ部に下部ネジ31を螺合することにより、下ベース1と取り付け板10を一体結合する。
【0014】
(工程4) 取り付け板10の表面から突出する4個のフロートピン61のそれぞれにフロートスプリング60を嵌合する。
(工程5) 回路板5にフロート6を重ね合わせる。これに際して、フロート6のスプリング収容部64をフロートピン61に対応位置決めした状態で、回路板5にフロート6を重ね合わせる。
(工程6) 上ベース2を下ベース1に組み合わせる。これに際し、ポスト挿通孔22をポスト4に対向位置決めし、開口21の下側に全周に亘って構成されるフロート収容係止部23をフロート6に対向位置決めし、上ベース2を下ベース1に重ね合わせることにより、フロート6をフロート収容係止部23に収容した状態とする。
【0015】
(工程7) ポスト4のネジ切りされた上端部の雌ネジ部45に、バインドネジ42を、その頭とポスト4の上端部との間にワッシャ44とスプリングワッシャ43とを介在させて螺合する。これにより、上ベース2は下ベース1に組み合わせ固定される。
(工程8) 最後に、押さえポスト3の上端の雌ネジ部に上部ネジ32を取り付けておく。
(工程9) (工程8)迄で、この発明の内部観察窓付きICソケットの組み立ては終了したことになる。ここで、導電性押さえ板8およびスライド枠9をこの順で上ベース2に組み合わせ取り付けることにより内部観察窓付きICソケットは完成する。
【0016】
この内部観察窓付きICソケットは、組み立て終了したままで、ICパッケージ、導電性押さえ板8、スライド枠9を装着していない図1(a)の状態においては、フロート6は、フロートスプリング60により回路板5の上面を支点として上向きにバイアスされて扛上状態にあり、細長接触子7はその下端を回路板5の表面の接点との間の接触を遮断された状態にある。
この内部観察窓付きICソケットを使用してICパッケージの内部観察を実施するには、ICパッケージを、上ベース2の開口21の傾斜面より成るICパッケージガイド部を介して、フロート底壁62に組み込む。ここで、位置決めピン24に位置決めピン嵌合孔83を対応位置決めした状態で、上ベース2の開口21のICパッケージガイド部に対して、導電性押さえ板8の垂下押さえ部85を位置決め嵌合する。ここで、導電性押さえ板8を圧し下げることにより、ICパッケージおよびこれが組み込まれたフロート底壁62を、フロートスプリング60の上向きのバイアスに抗して垂下押さえ部85を介して圧し下げる。これにより、フロート底壁62に取り付けられる細長接触子7はその下端を回路板5の表面に形成される接点に接触せしめられるに到る。この導電性押さえ板8の圧し下げられた状態は、スライド枠9をその4隅部に形成される長円形開孔92を介して上部ネジ16により押さえポスト3上端に螺合してフロートスプリング60の上向きのバイアスによる導電性押さえ板8の扛上を阻止することにより、保持される。従って、細長接触子7と回路板5の表面に形成される接点との間の接触状態は保持される。
【0017】
ICパッケージは、細長接触子7と回路板5の表面に形成される接点との間が接触状態にあると、ICパッケージは、ピン端子50を介して接続する外部のIC試験装置との間に以下の通りに電気接続することができる。
IC → ICパッケージの下面のバンプ → フロート底壁62に固定される細長接触子7 → 回路板5の表面に形成される接点部 → 回路板5に形成される配線 → 回路板5の下面から突出形成されるピン端子50 → 外部のIC試験装置
ここで、以上の内部観察窓付きICソケットにパッケージ化ICを組み込み、このICソケットを電子顕微鏡に適用し、ICを実際に電気的に駆動した状態とし、IC内側を内部観察窓を介してパッケージ外側から観察することができる。
【0018】
【発明の効果】
以上の通りであって、この発明によれば、パッケージ化されたICを通電状態とすると共にこの状態でICを電子顕微鏡に適用する適切な内部観察窓付きICソケットが提供され、パッケージ内部のICの微細な回路の形成接続状態、通電状態その他の状況の観察、認識を容易に実行することができるに到った。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例の分解斜視図。
【図2】実施例の断面図。
【符号の説明】
1 下ベース 11 押さえポスト挿通孔
12 ポスト挿通孔 13 フロートピン挿通孔
14 ピン端子挿通孔 2 上ベース
21 開口 22 ポスト挿通孔
23 フロート収容係止部 24 位置決めピン
3 押さえポスト 31 下部ネジ
32 上部ネジ 4 ポスト
41 係止部 45 雌ネジ部
5 回路板 5’ガイド板
50 ピン端子 51 フロートピン挿通孔
52 ポスト挿通孔 53 押さえポスト挿通孔
6 フロート 60 フロートスプリング
62 フロート底壁 63 フロートピン挿通孔
64 スプリング収容部 7 細長接触子
8 導電性押さえ板 80 開口
81 傾斜面 82 鍔部
83 位置決めピン嵌合孔 84 フロートピン押圧部
85 垂下押さえ部 9 スライド枠
91 角穴 92 長円形開孔
10 取り付け板 101 押さえポスト挿通孔
102 ピン端子挿通孔[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an IC socket with an internal observation window, and more particularly to an IC socket with an internal observation window for observing an IC package through the internal observation window.
[0002]
[Prior art]
In some cases, it is necessary to observe the packaged IC from the outside as it is without removing the package. This internal observation of the packaged IC is generally performed using an electron microscope with the IC actually driven electrically. By this internal observation, it is possible to observe and recognize the formation and connection state of the fine circuit of the IC inside the package, the energized state, and other conditions.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
However, there has been no suitable instrument for applying the IC to the electron microscope in such a state while the packaged IC is energized.
The present invention provides an IC socket with an internal observation window that solves the above-mentioned problems by constituting a single IC socket and providing an internal observation window thereto.
[0004]
[Means for Solving the Problems]
A body part of an IC socket for connecting bumps formed in a matrix on the bottom surface of the IC to an IC testing device via an
[0005]
Here, the conductive
[0006]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
An embodiment of the present invention will be described with reference to the examples of FIGS. FIG. 1 is an exploded perspective view of the embodiment, and FIG. 2 is a cross-sectional view of the embodiment.
The main body of the IC socket for internal observation according to the present invention comprises a
[0007]
The
The
6 indicates a float. The float 6 forms a
[0008]
[0009]
[0010]
By the way, if it is assumed that the
[0011]
[0012]
Next, the assembly order of the IC socket will be described.
(Step 1) First, the
[0013]
(Step 2) Next, the
(Step 3) The pressing
[0014]
(Step 4) The
(Step 5) The float 6 is superimposed on the
(Step 6) The
[0015]
(Step 7) The
(Step 8) Finally, the
(Step 9) Up to (Step 8), the assembly of the IC socket with an internal observation window according to the present invention is completed. Here, the IC socket with the internal observation window is completed by combining and attaching the conductive
[0016]
In the state shown in FIG. 1A in which the IC package with the internal observation window remains assembled and the IC package, the conductive
In order to perform internal observation of the IC package using the IC socket with the internal observation window, the IC package is attached to the
[0017]
When the IC package is in contact between the
IC → bump on the lower surface of the IC package → elongated
[0018]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, an appropriate IC socket with an internal observation window is provided in which a packaged IC is energized and the IC is applied to an electron microscope in this state. It has become possible to easily observe and recognize the formation and connection state of the fine circuit, the energized state, and other conditions.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an exploded perspective view of an embodiment.
FIG. 2 is a sectional view of the embodiment.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
Claims (2)
ICソケットの本体部に重ね合わされ、中央に開口80を有する導電性押さえ板8を具備し、
導電性押さえ板に係合してその扛上を阻止するスライド枠を具備することを特徴とする内部観察窓付きICソケット。An IC test apparatus through a narrow contact attached to a float that is elastically biased upward and bumps arranged in a matrix on the bottom surface of the IC, and a pin terminal connected to the long contact Comprising an IC socket body connected to
A conductive holding plate 8 which is superimposed on the body of the IC socket and has an opening 80 in the center;
An IC socket with an internal observation window, characterized by comprising a slide frame that engages with a conductive pressing plate and prevents the plate from rising.
導電性押さえ板は中央下端部を開口とした傾斜面より成る垂下押さえ部を鍔部から垂下して形成され、
スライド枠は径大部と径小部より成る長円形開孔が4隅部に形成され、押さえポストに上部ネジを螺合したことを特徴とする内部観察窓付きICソケット。In the IC socket with an internal observation window according to claim 1,
The conductive pressing plate is formed by hanging a hanging pressing portion made of an inclined surface with an opening at the center lower end portion from the collar portion,
An IC socket with an internal observation window, characterized in that the slide frame is formed with an oval opening having a large-diameter portion and a small-diameter portion at four corners, and an upper screw is screwed onto the holding post.
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