JP4064823B2 - 帯域通過シグマデルタ型変調器および信号の変換と検出と生成のためのシグマデルタ型変調器の使用法 - Google Patents

帯域通過シグマデルタ型変調器および信号の変換と検出と生成のためのシグマデルタ型変調器の使用法 Download PDF

Info

Publication number
JP4064823B2
JP4064823B2 JP2002582499A JP2002582499A JP4064823B2 JP 4064823 B2 JP4064823 B2 JP 4064823B2 JP 2002582499 A JP2002582499 A JP 2002582499A JP 2002582499 A JP2002582499 A JP 2002582499A JP 4064823 B2 JP4064823 B2 JP 4064823B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resonator
sigma
signal
input
modulator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2002582499A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2004526380A (ja
JP2004526380A5 (ja
Inventor
エリザベート・オルシエ
マルク・ブレヴィル
シリル・コンドゥミン
Original Assignee
コミツサリア タ レネルジー アトミーク
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by コミツサリア タ レネルジー アトミーク filed Critical コミツサリア タ レネルジー アトミーク
Publication of JP2004526380A publication Critical patent/JP2004526380A/ja
Publication of JP2004526380A5 publication Critical patent/JP2004526380A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4064823B2 publication Critical patent/JP4064823B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03MCODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
    • H03M3/00Conversion of analogue values to or from differential modulation
    • H03M3/30Delta-sigma modulation
    • H03M3/39Structural details of delta-sigma modulators, e.g. incremental delta-sigma modulators
    • H03M3/402Arrangements specific to bandpass modulators
    • H03M3/404Arrangements specific to bandpass modulators characterised by the type of bandpass filters used
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03MCODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
    • H03M3/00Conversion of analogue values to or from differential modulation
    • H03M3/30Delta-sigma modulation
    • H03M3/39Structural details of delta-sigma modulators, e.g. incremental delta-sigma modulators
    • H03M3/412Structural details of delta-sigma modulators, e.g. incremental delta-sigma modulators characterised by the number of quantisers and their type and resolution
    • H03M3/422Structural details of delta-sigma modulators, e.g. incremental delta-sigma modulators characterised by the number of quantisers and their type and resolution having one quantiser only
    • H03M3/43Structural details of delta-sigma modulators, e.g. incremental delta-sigma modulators characterised by the number of quantisers and their type and resolution having one quantiser only the quantiser being a single bit one
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03MCODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
    • H03M3/00Conversion of analogue values to or from differential modulation
    • H03M3/30Delta-sigma modulation
    • H03M3/39Structural details of delta-sigma modulators, e.g. incremental delta-sigma modulators
    • H03M3/436Structural details of delta-sigma modulators, e.g. incremental delta-sigma modulators characterised by the order of the loop filter, e.g. error feedback type
    • H03M3/438Structural details of delta-sigma modulators, e.g. incremental delta-sigma modulators characterised by the order of the loop filter, e.g. error feedback type the modulator having a higher order loop filter in the feedforward path
    • H03M3/44Structural details of delta-sigma modulators, e.g. incremental delta-sigma modulators characterised by the order of the loop filter, e.g. error feedback type the modulator having a higher order loop filter in the feedforward path with provisions for rendering the modulator inherently stable
    • H03M3/446Structural details of delta-sigma modulators, e.g. incremental delta-sigma modulators characterised by the order of the loop filter, e.g. error feedback type the modulator having a higher order loop filter in the feedforward path with provisions for rendering the modulator inherently stable by a particular choice of poles or zeroes in the z-plane, e.g. by positioning zeroes outside the unit circle, i.e. causing the modulator to operate in a chaotic regime
    • H03M3/448Structural details of delta-sigma modulators, e.g. incremental delta-sigma modulators characterised by the order of the loop filter, e.g. error feedback type the modulator having a higher order loop filter in the feedforward path with provisions for rendering the modulator inherently stable by a particular choice of poles or zeroes in the z-plane, e.g. by positioning zeroes outside the unit circle, i.e. causing the modulator to operate in a chaotic regime by removing part of the zeroes, e.g. using local feedback loops

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Compression, Expansion, Code Conversion, And Decoders (AREA)

Description

本発明は、シグマデルタ型変調器(sigma-delta modulator)に関し、さらに詳細には、少なくとも一つの共振器と内蔵変換器を備えたシグマデルタ型変調器に関する。
本発明は、またそのようなシグマデルタ型変調器を使って、アナログ−ディジタル変換器および/または物理的な大きさを検知するための装置および/または信号生成装置を作ることに関する。
これらの使用の範囲は非常に広いので、本発明は、非常に多くの技術分野での応用に使用される。例えば、本発明は、高周波信号の処理あるいは通信設備内の基準周波数信号の生成に使用することができる。従って、移動電話あるいは類似したものに使用することができる。本発明は、また、例えば電気機械機器、光学機器、音響機器、熱機器などの物理測定機器を作るのに使用することもできる。
シグマデルタ型変調器は、現在では信号処理設備で非常によく使われる電子装置である。シグマデルタ型変調器の使用法は、特にアナログ−ディジタル変換器を作るために開発されてきた。シグマデルタ型変調器と、より広範囲の技術背景に対する本発明の最先端の技術は、(1)から(12)までの文献に説明されており、その全ての参考文献は、本明細書の最後に載せてある。
既知のシグマデルタ型変調器には、特に、“低域通過型”と“帯域通過型”と呼ばれる変調器の二つのグループがある。
低域通過シグマデルタ型変調器は、基本的に、一つあるいは数個の積分要素の周囲に作られる。もし、それらが少なくとも一つの低域通過型フィルタを形成するフィルタ手段に関連したものなら、いわゆる低域通過シグマデルタ型変調器を形成する。例えば、文献(1)に示されるシグマデルタ型変調器は、ここでは、説明しない。本発明は、帯域通過シグマデルタ型変調器に関係したものである。これらの変調器は、少なくとも“帯域通過型”フィルタ機能を実行し、帯域通過シグマデルタ型変調器を形成するフィルタ手段に関連する。
添付した図1は、図示的に、既知の種類の帯域通過シグマデルタ型変調器の主な要素を単純に表したものを示している。これは、2次の変調器である。その中には、2つの積分器であると考えることができる共振器が含まれる。積分器の数は、シグマデルタ型変調器の次数を定める。
シグマデルタ型変調器10において、2つの主要な部品、すなわち変調器12とフィルタ手段130とを区別することができる。シグマデルタ型変調器への入力Eは、順に、電気式共振器16へ、比較器18へ、この場合フィルタ手段130を形成する帯域通過型ディジタルユニットへと接続される。シグマデルタ型変調器からの出力は、フィルタ手段130からの出力に対応する。帰還ループ20は、比較器18の出力を共振器16の入力へと接続する。混合器15は、端子Eに印加される入力信号と、帰還ループ20からの信号とを加算するように設計されている。帰還ループは、また、内部ディジタル−アナログ変換器あるいは増幅器のような部品を備えている。これらの部品は、単純化のために図示されていない。
例えば、下記の文献(3)には、電気式共振器16の一実施形態が含まれる。
比較器18は、内部アナログ−ディジタル変換器として使用される。例えば、単一ビット上で符号化されるディジタル信号を出力し、これは、電気式共振器によって出力されるアナログ信号が所定の閾値を超えた時に第1論理値となり、共振器から出力されるアナログ信号がこの閾値よりも小さいときに第2論理値に等しくなる。アナログ信号は、こうして、変調器からの出力において、パルス密度変調(PDM=Pulse Density Modulation)信号へと変換される。
フィルタ手段130は、帯域通過型であり、特に、その機能は、アナログ信号を、例えば比較器の出力レベル上で定量化された定量化信号へと変換する際に固有の、パルス密度変調(PDM)信号内の定量化雑音を除去することである。
シグマデルタ型変調器が、アナログ−ディジタル変換器として使用される時、フィルタ手段130は、ディジタルであり、デシメータ(decimator)として使用することもできる。言い換えると、少数のビット上で符号化された高周波信号を、より大量のビット上で符号化された低周波へ変換するためのものである。
電気式共振器16は、その品質因子によって特徴付けられる。これは、共振の振幅が閾値を越える、周波数帯域の幅を表している。品質因子は、共振の振幅の絶対値が大きく、かつ周波数帯域が狭いときに、高くなると考えられる。閾値は、共振の最大値−3dBであると定義される。
シグマデルタ型変調器の品質は、共振器の品質因子に関係する。特に、これは、帯域通過内の定量化雑音を除去することを制御する。言い換えると、広い共振幅を持った共振器を備えるシグマデルタ型変調器、つまり品質因子の良くないシグマデルタ型変調器は、定量化雑音の大きい出力信号を出力する。これは、フィルタ手段130によるフィルタ処理をしても、尚そうなのである。
国際公開第98/27402号パンフレット "Multi-purpose interface for sensot systems fabricated by CMOS technology with post-processing", Carlos Azeredo Leme at Henry Baltes, Sensors and Actuators A.37-38(1993)77-81, c1993, Elsevier Sequoia. "A 2.5 MHz 55dB Switched-current BandPass sigma-delta Modulator for AM signal Conversion", J.M. de la Rosa, B. Perez-Verdu, F.Medreiro, and A. Rodriguez-Vazquez, Instituto de Miceoelectronica de Sevilla - CNM. ESSCIRC'97, Paris, *France, pp. 156-159 "A 10.7 MHz N-path fourth-order Bandpass Sigma-Delta Modulator" Fabrizio Francesconi, Valentiono Liberali, and Franco Maloberti, Micronova Sistemi S.r.l. ESSCIRC'96, pp. 156-159 "An Eight-orderbandpass ΣΔ Modulator for A/D Conversion in Digital Ratio", Loai Louis, John Abcarius and Gordon W. Roberts, IEEE JOURNAL OF SOLID-STATE CIRCUITS, Vol.34 No.4, APROL 1999 "An Investigation of Bandpass Sigma-Delta A/D Converters" Yvan Botteron and Behrouz Nowrouzian, 1997 IEEE, Proceedings of the Midwest Symposium on circuits and systems, vol.1, pp.293.6 "Bandpass Sigma-Delta Modulator for wideband IF signals" Luca Daniel, Marco Sabatini, Badpass Sigma-Delta Modulator for wideband I/F signals, June 10, 1999 "Preliminary Results on a Silicon Gyrometre Based on Accoustic Mode Coupling in small Cavities" Tarik Bourouina, Anne Exertier, Serge Spirkovitch, Bernard Chaumet and Eric Pleska, JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, vol.6, No.4, December 1997 "OPTICAL SYSTEM FOR PRESSURE AND TEMPERATURE SENSING" K.Seibert, D.Largeau, B.Bonvalt and D.T Angelidis, P.parsons, The 7th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators. "RESONANTLY ENHANCED RADIO FREQUENCY ELECTROOPTIC PHASE MODULATOR" Chi Man Shum and Edward A.Whittaker, APPLIED OPTICS, Vol.29, No.3, January 20 1990. "An Integrated CMOS Micromechanical resonator High-Q Oscillator", Clark T.-C Nguyen, Member, IEEE and Roger T.Howe, IEEE JOURNAL OF SOLID-STATE CIRCUITS, VOL.34, NO.4, April 1999, (c)1999 IEEE. "High-Accuracy circuits for On-chip Capacitance ratio Testing or Sensor Readout, Yumin Cao and Gabor C. Temes, IEEE TRANSACTIONS ON CIRCUITS AND SYSTEMS-II; ANALOG AND DIGITAL SIGNAL PROCESSING, Vol.41, No.9, September 1994, (c)1994 IEEE.
シグマデルタ型変調器の品質を改良する一つの方法は、いくつかの共振器段をを直列に置くことである。この結果、高次のシグマデルタ型変調器ができる。例えば、文献(3)と(4)には、さらにこの問題に関する情報が含まれている。
しかし、変調器の段数を増やすことは、多くの困難な問題を引き起こす。大きな問題の一つは、シグマデルタ型変調器の動作安定性である。他の問題は、電気式共振器と他の電機部品との間で起こり得る干渉である。最後に、シグマデルタ型変調器の段数が増えることにより、電気エネルギーの消費が増大し、これは、携帯型設備の電源には具合が悪い。
本発明の目的は、上述した装置の制限のないシグマデルタ型変調器を提供することである。
一つの特定の目的は、定量化雑音が非常に低く、一方、共振器の数が制限されているシグマデルタ型変調器を提供することである。
他の目的は、周囲の電気的あるいは電子的回路との干渉に影響されないが、携帯型設備に関係する制約と両立できるようなシグマデルタ型変調器を提供することである。
最後に、本発明の他の目的は、その特徴に対応するシグマデルタ型変調器のいくつかの特定の応用分野を提供することである。
より細かく言うと、本発明の目的は、シグマデルタ型変調器であって、該シグマデルタ型変調器は、
−少なくとも一つの共振器と、
−共振器からのアナログ信号を、時間情報を持ったディジタル信号へ変換する内蔵型変換器と、
−共振器からの出力を、共振器への励起入力へ接続する帰還ループと
を備えることを特徴とするものである。
本発明は、線形共振器だけでなく、非線形共振器とも一緒に使用することができることに注意したい。
本発明に依れば、シグマデルタ型変調器内の少なくとも一つの共振器は、機械的、音響的、電気機械的、静電気的、光学的、化学的な共振器から選ばれる。
共振器手段は、ゼロ周波数を除く共振帯域内で共振に入ることのできる装置であり、共振帯域外の周波数において、励起に対してごくわずかしか応答しないものである。例えば、その振幅が、利得1の応答の振幅の少なくとも10dB低い時には、その応答は、無視できるものであると考えられる。
本発明によるシグマデルタ型変調器内で使用される共振器は、電子的あるいは電気的な共振器では無い。これは、それ自身内の共振は、電子的あるいは電気的な現象では無いということである。しかし、共振器励起信号あるいは共振器出力信号は、電気信号であろうということに注意したい。共振器は、電子的あるいは電気的では無いという事実によって、高い周波数あるいは低い周波数で動作するにも係わらず、周囲の電子回路との干渉が劇的に減少する。さらに、例えば、機械的共振器あるいは光学的共振器の品質因子は、通常、電気的共振器の品質因子よりも非常に高いということが分かっている。こうして、定量化雑音を著しく排除することは、少数の共振器段でもって達成することができる。
本発明によるシグマデルタ型変調器は、一つあるいはいくつかの共振器を備えている。上述したように、少なくとも一つのこれらの共振器は、電気的共振器ではない。しかし、このことは、この共振器が他の電子的共振器あるいは非電子的共振器と共に使用できないと言うことは意味していない。
励起入力および/または共振器出力が電子的でないときは、共振器は、少なくとも一つの電気的なインターフェイス、つまり、例えば機械的、光学的、音響的信号のような物理的信号を電気的信号に変換する、あるいはその逆ができる装置と結び付くことができる。特に、これによって、フィルタ手段と両立する出力を作る手段が提供される。
また、もし共振器の入力が電気的入力で無いと、物理的な励起信号データによって直接的に共振器を励起することが可能である。この場合には、電気的インターフェイスは、共振器の入力において必要では無い。
一方、帰還ループが電気的信号を出力し、励起入力が物理的なものである時は、帰還ループは、信号に対して、電気機械的インターフェイスあるいは電気光学的あるいは電気音響的なインターフェイスを通して、励起入力に接続することができる。これらの側面は、本明細書の以降において、より詳細に説明される。
従来のシグマデルタ型変調器変換器におけると同様に、帯域通過フィルタ手段は、定量化雑音をフィルタし、場合によっては信号の大部分を除くように設計される。その中には、帯域通過フィルタに似た、全体的な動作をする一つあるいはいくつかのフィルタ手段がある。帯域も、月並みに、共振器の帯域に合わせて調整される。
シグマデルタ型変調器の内部変換器は、時間情報を持ったディジタル信号を出力することのできる装置である。それは、少数のビット、例えば1ビットで符号化された、相対的に高周波信号である。そして、その情報は、少なくとも部分的に、パルスの多少なりとも重要な密度内にある。アナログ−ディジタル変換器のことでもある、そのような内部の変換器は、共振器からのアナログ信号の振幅を、一つあるいはいくつかの閾値と比較するのに使用される比較器でも良い。従って、この内部のアナログ−ディジタル変換器は、ディジタルフィルタ手段に関連したシグマデルタ型変調器によって実行される、アナログ−ディジタル変換機能と混同してはならない。この面は、本明細書の以降において、より詳細に説明される。
シグマデルタ型変調器の一つの特定の実施形態において、共振器は、自由発信器であってよい。この場合、出力を入力に接続する逆方向ループを備える。このループは、また、増幅手段あるいは比較手段を与えられることがある。
他の側面によると、共振器は、例えば共振、外部の励起信号によって持続される発振器のような、共振持続型共振器であってよい。
一つの改良点によると、本発明によるシグマデルタ型変調器は、変調器からの出力を共振器の励起入力に接続する調整ループを備えていてよい。このループは、調整器のフィルタ手段および/または、出力信号あるいは出力信号の特性を一組の値あるいは信号と比較する比較器と結合することができる。そして、調整ループの主な機能は、例えば信号を生成するのに使用される時に、変調器の動作を安定させることである。
本発明は、また、アナログ信号入力を備えた信号のためのアナログ−ディジタル変換装置と、先述したシグマデルタ型変調器に関する。アナログ信号入力は、その後、共振器励起入力に接続される。共振器入力に加えられる信号は、変換しようとしているアナログ信号である。“信号”という言葉は、非常に一般的な意味で使用され、変換入力への連続的かつ不変の信号に関する応用も排除するものではない。変換器は、信号源から発せられた信号、あるいは測定機器から見本として発せられる電圧を、ディジタル値へと変換するためのあらゆる応用分野で使用することができる。
共振器励起入力が物理的入力であり、変換しようとする信号が電気信号であるなら、アナログ入力は、既述したように、電機機械的あるいは電気光学的なインターフェイスを通して励起入力に接続することができる。
本発明の目的は、上述したような、その中の少なくとも一つの共振器が発振器であるようなシグマデルタ型変調器と、場合によってはディジタルあるいはアナログフィルタを備えたフィルタ手段とを備えたディジタルあるいはアナログ信号発生器である。
アナログフィルタは、シグマデルタ型変調器の内部アナログ−ディジタル変換器からの出力で使用可能な、パルス密度変調済みディジタル信号を変換することができる。例えば、この出力信号は、正弦波でもよい。
シグマデルタ型変調器が信号生成器として使用される時、共振器は自発振器でよい。この場合、外部信号は、共振器励起入力に与えられる。しかし、共振器は、依然として、その出力を励起入力に接続する負帰還ループに接続されるだろう。このループによって、共振器は自発振器に変わる。
本発明は、また、物理的な大きさを測定するための装置内の、シグマデルタ型変調器の使用法に関する。測定装置は、物理的な大きさを感知する検出共振器と、上述したようなシグマデルタ型変調器を備えている。
共振器が感知する物理的な大きさは、共振器入力に与えられるかも、または与えられないかも知れない励起信号には関係がない。物理的な大きさは、共振器の共振振幅を変更する大きさである。例えば、共振器が振動ジャイロメータであるとき、測定しようとする物理的な大きさは、コリオリの力であってよい。他の共振器によって、物理的な大きさは温度であっても良い。
従って、ここで考える物理的な大きさは、シグマデルタ型変調器の外側のセンサーから出力される物理的な大きさとは異なり、それに対して、アナログ測定信号が、ディジタル信号に変換するために共振器の励起入力に与えられる。これは、それ自身における測定装置としてでなく、上述したような方法で、アナログ−ディジタル変換器内でシグマデルタ型変調器を使用することに対応するであろう。
本発明による測定装置の一つの特定の実施形態によって、測定装置は、検出共振器に結合される励起共振器と呼ばれる第2共振器の形態による、検出共振器を励起する手段を備えていて良い。この励起共振器は、第2の別のシグマデルタ型変調器の一部を形成することができる。コリオリの力は、上に定義した、結合に関する一つの特別な例である。
本発明の他の特徴と利点とは、添付する図面を参照した、以下の説明を読むことにより明らかになるであろう。この説明は、純粋に解説のためであり、決して制限を設けるものではない。
以下の説明において、別の図面の、同一あるいは類似あるいは等価の部分は、同じ参照番号を振ってある。これにより、ある図面と他の図面を比較することが可能となり、説明において既に述べた要素を繰り返すことを避ける。
図2のシグマデルタ型変調器100は、第1共振器110aと、点線で示した第2共振器110bと、アナログ−ディジタル変換器120とを、入力Eと出力Sとの間の順に備えている。帰還ループ140は、アナログ−ディジタル変換器120からの出力を、第1共振器110aの入力112へと接続する。点線で示される演算器130は、シグマデルタ型変換器を形成するのに、場合によっては変調器に関連していて良い。
アナログ帰還信号は、ディジタル−アナログ変換器142を用いて作られて、増幅器144aを通して入力112へ与えられる。加算器150は、帰還信号を、もしそのような入力信号があれば、シグマデルタ型変調器の入力Eへ与えられる入力信号に加算する。
例えば、第1共振器110aは、光学的あるいは音響的あるいは機械的な共振器である。これには、電気入力信号および/または電気帰還信号を、機械的あるいは音響的あるいは光学的信号に変換する第1インターフェイス112が与えられる。反対に、共振器からの出力に置かれた第2インターフェイス114は、アナログ−ディジタル変換器120に送られる共振物理信号を、電気信号に変換するように設計される。例えば、インターフェイス112と114は、ラウドスピーカーのような種類の音響変換器であり、共振器110aが音響的空洞のときには、マイクロフォンである。そのような空洞を備えたシグマデルタ型変調器の一例は、この書類の以降に、より詳細に検証される。
静電的あるいは電気機械的な種類の共振器には、つまり、もし共振器が電気信号によって励起され得るなら、インターフェイス112および/または114は除かれる。
点線で示される第2共振器110bは、第1共振器あるいは、場合によっては電気共振器に匹敵する共振器であって良い。それによって、シグマデルタ型変調器の次数が、従って、その性能が、増加する。帰還ループ140の分岐に、増幅器144bが与えられて、第2共振器の入力に接続される。帰還信号は、加算器152を通って、第1共振器からの出力信号に加算される。
第2共振器110bと、従って第2増幅器144bが除かれることに注意したい。それらは、また、同じやり方で第1共振器110aと直列に接続される多くの共振器によって置き換えられる。
異なる種類の信号が、シグマデルタ型変調器による使用法によって、入力Eに与えられる。例えば、もしアナログ−ディジタル変換器として使用されるなら、アナログ信号あるいは単純な電圧をそれに印加してディジタル値に変換することが可能であろう。信号生成器あるいは測定装置として使用されるならば、共振を維持するように設計された励起信号が、入力Eに与えられ得る。最後に、また外部信号が入力Eに与えられないということもあり得る。
共振器110aは、自発振器として使用することができる。この場合、逆方向ループ160は、例えば増幅器162に備わるが、共振器の出力と入力の間に接続される。図2の点線で示される逆方向ループ160は、共振器110aの入力側の加算器150に接続される。
これも点線で示される調整器ループ170は、シグマデルタ型変調器の動作を安定させるために、出力Sと入力Eの間に与えられる。特にこの種のループは、シグマデルタ型変調器が信号生成器として使用される時に、出力信号の振幅を安定させるのに使用することができる。図2で示される例では、調整ループには、設定値入力Kを持った調整器172が備わり、出力Sで使用可能な出力信号の特性と、設定値入力Kに与えられる設定値の特性との間の比較を行う。例えば、発振振幅を表す設定値であってよい。さらに、調整器172は、フィルタ手段を備えている。
図2で示される特定の実施形態では、調整ループ170は、入力Eに直接には接続されない。調整器172からの出力と増幅器172からの出力は、乗算器173に与えられて、入力加算器150に与えられる前に乗算がされる。増幅器162が、論理的出力0か1を持った比較器を備える時、乗算は、調整器信号を入力に与えること、もしくは与えないことから成り立つ。
図3は、本発明によるシグマデルタ型変調器の他の例を示している。この例では、共振器10は、力あるいは加速
Figure 0004064823
を感知する入力を持った機械的共振器であると考えられる。共振器の出力には、機械的共振信号を電気信号に変換することのできるインターフェイス114が備えられている。その後、電気信号は、アナログ−ディジタル変換器120へと導かれる。
図2の装置達と異なり、シグマデルタ型変調器の入力Eに与えられる信号は、電気信号データはなく、その結果、図2のインターフェイス112に似たインターフェイスは必要ない。他方、図3のシグマデルタ型変調器の帰還ループ140は、ディジタル−アナログ変換器142を備えているが、ディジタル−アナログ変換器142が出力するアナログ電気信号を、例えば加速のような共振器の励起入力に比肩できる機械信号へと変換することができるインターフェイス146も備えている。増幅器144は、ディジタル−アナログ変換器142とインターフェイス146の間に与えることもできる。
例えば、また図3のシグマデルタ型変調器は、一つの共振器110を備えるだけであるのが見て取れよう。
以下に説明される図4では、本発明によるシグマデルタ型変調器の特定の実施形態を示しており、そこでは、共振器は、シリコンの空洞を持った音響的ジャイロメータである。例えば、上述した文献(7)には、音響的ジャイロメータの説明が含まれる。
図4では、空洞は、図2から類推して参照番号110aが付けられる。実際、機械的入力を持った、より詳細には、音響的入力とさらに音響的出力を持った共振器を形成する。ラウドスピーカの形態を取って示される第1インターフェイス112は、入力加算器150から出力される電気信号を、空洞に、言い換えると共振器110aに与えられる音響的信号に変換することのできる変換器からなる。
空洞からの出力において、容量的マイクロフォン114は、増幅器と連係して、逆関数を実行する。空洞からの音響的信号を、アナログ−ディジタル変換器120へ出力することのできる電気信号へと変換する。
増幅器162を備えて、場合によっては図示されない比較器と連係する、正の逆方向ループ160は、マイクロフォン114から変換器112を通って空洞110aの入力に出力される電気信号の一部を再び送り出す。この逆方向によって、共振器が自発振器に変わる。
後述したアナログ−ディジタル変換器140と、帰還ループ140のディジタル−アナログ変換器142は、1ビット変換器である。さらに、第2電子共振器110bは、音響的ジャイロメータと直列に接続される。これらの要素は、この明細書には、これ以上は書かれていない。これ以上の情報は、図2と共に、明細書中にある。
アナログ−ディジタル変換器120の出力は、パルス密度変調されたディジタル出力を例えば正弦波となり得る出力信号へと変換することのできる、アナログフィルタを含む出力演算器130に接続される。シグマデルタ型変調器は、例えば、このようにして信号生成器として使用することができる。
アナログ−ディジタル変換器120からの出力は、また第1共振器110aの入力に接続される調整ループ170に接続され、出力信号の振幅を安定させる。周波数安定は、またループ160によって与えられる。
例えば、調整ループには、1ビットで符号化されるアナログ−ディジタル変換器120からの変調済み信号出力を、数ビットで符号化される信号へと変換する、デシメータ(decimator)フィルタ172を備えている。このデシメータフィルタの後には、PID(Proportional Integral Derivative:比例積分誘導)型で、出力信号あるいはこの信号の特性と達成しようとする振幅を表す設定値との差を最小化する調整器174が続く。PID調整器からの出力は、帰還ループ160からの信号によって加算あるいは乗算される。加算器154あるいは乗算器は、この目的のために提供される。乗算器を持ったこの装置を作ることにより、費用が軽減され、また効率的な動作を得ることができる。
図5は、本発明によるシグマデルタ型変調器を使って、共振器の共振を整合させる制御をするさまを示したものである。図6に示された装置の場合は、共振器110aは、電気光学変調器である。共振器には、2つの入力がある。第1の光学入力は、プリズムと偏光器とレンズとから構成される光学アセンブリ192を通して、共振器へと結合されるヘリウムネオン(HeNe)励起レーザ190に接続される。第2入力は、整合回路194と増幅器196を通して、シグマデルタ型変調器の入力Eに接続される電気入力である。共振器からの光学的出力は、光ダイオードと非参照型増幅器と繋がった、ファブリ−ペローの干渉計の形態をした光電子工学的インターフェイス114を通して、アナログ−ディジタル変換器に接続される。
シグマデルタ型変調器のこの特別な実施形態において、帰還ループ140は、加算器50を通して、共振器の電気入力に接続される。
この応用において、共振器(言い換えると、電子光学変調器)が、光学信号の変調周波数を制御するのに使用される。
文献(9)では、図6のシグマデルタ型変調器内で使用される種類の電子光学変調器の、より完全な既述が与えられる。
図6では、本発明がいかに使用されるかを示す、最後の特定の例が示される。図6には、2つの結合済みシグマデルタ型変調器100,200を備えたシステムが示される。この種の振動型ジャイロメータは、2つの結合された機械的発振器を持ったシステムとして使用される。発振器は、シグマデルタ型変調器の共振器として使用される。励起に使用される第1機械式発振器の運動は、第2発振器に送られて、上述したように、コリオリの力から発した、結合による検出に使用される。この検出は、角回転速度(angular rotation speed)に与えられる。
CORIOLISで示されるコリオリの力は、以下のように表せる。
Figure 0004064823
この式では、mは、第1機械式発振器110aの質量を示し、Vは、第1機械式発振器の速度であり、Ωは、測定しようとする回転速度である。Ωは、第2発振器の運動の測定値から推定される。
励起の中の、言い換えると速度Vの中の如何なる変位も、検出信号内に反映される。速度Vは、検出を復調するために測定される。
所定の回転速度に対して、第2発振器210aが共振周波数にある時、そして第1発振器が最大速度にある時、出力信号は、最大となる。そのような訳で、これは必須ではないが、もし2つの発振器が、類似もしくは近接した共振周波数で選択されると、言い換えると数ヘルツより離れずに選択されると、それは、好ましいものである。
振動型ジャイロメータ発振器は、コンデンサを用いて静電気的に制御されうる。同様に、出力信号は、コンデンサの容量における変化を測定することで確定することができる。
最後に、共振器(実際は発振器)の入力信号と出力信号は、電気信号である。図示されないコンデンサは、インターフェイスとして使用され、電気出力を静電気力に変換し、従って機械的な置き換え、そして逆もまた同様である。
以下の説明で使用される参照番号は、これまでの図で使用されたものと同じであり、第1シグマデルタ型変調器の要素を示しており、第2シグマデルタ型変調器の類似あるいは等価の要素を示すのに100ずつ増加させてある。
第1シグマデルタ型変調器100は、増幅器162を持った逆方向ループ160と共に使用される時に、第1“励起”発振器を形成する共振器110aを備える。この発振器は、それ自身の共振周波数に従う。逆方向ループ160は、場合によっては、外部の励起信号が第1共振器110aの入力に、言い換えると加算器150に与えられるときに、除かれることがある。
第1シグマデルタ型変調器100内の帰還ループ140には、置き換え設定値入力を持った調整器144aが提供される。調整器144aは、図2の増幅器144aに当たり、帰還を励起発振器110aの入力に与えるように設計される。他の増幅器144bは、第2電子共振器110bの帰還のために提供される。
第1シグマデルタ型変調器のアナログ−ディジタル変換器120からの出力Sにおいて利用可能な変調信号は、図示されていない出力演算器に導かれ、先に述べた速度Vを決定する。
点線で示した一改良点によれば、フィルタ171を備えた帰還ループと調整器172は、共振器の出力Sと入力の間で接続される。調整器174も設定値入力と共に提供される。
第2シグマデルタ型変調器200は、第1シグマデルタ型変調器100の共振器110aに機械的に結合される共振器210aを備える。結合とは、点線Cで示した図の内部に示される。
参照番号210bと220と240と242と244aと244bは、上述したか図2に関連する部品110bと120と140と144aと144bと等価な部品を示している。従って、その記載は、繰り返さない。
第2シグマデルタ型変調器200のアナログ−ディジタル変換器220からの出力Sも、図示されていない出力演算器230に導かれ、コリオリ力を表す出力信号を作り出す。
コンピュータは、上述した回転速度Ωを、コリオリ力のデータと速度Vとを用いて確定するために提供され得る。
最新技術として知られる、シグマデルタ型変換器の一種の単純化した概略図である。 本発明によるシグマデルタ型変調器の概略図である。 本発明によるシグマデルタ型変調器の概略図である。 本発明によるシグマデルタ型変調器の特定の使用法を示した概略図である。 本発明によるシグマデルタ型変調器の特定の使用法を示した概略図である。 本発明によるシグマデルタ型変調器の特定の使用法を示した概略図である。
符号の説明
10…シグマデルタ型変調器
12…変調器
15…混合器
16…電気式共振器
18…比較器
20…帰還ループ
100…シグマデルタ型変調器
110…共振器
110a…第1共振器
110b…第2共振器
112…入力
114…容量的マイクロフォン
120…アナログ−ディジタル変換器
130…フィルタ手段
140…帰還ループ
142…ディジタル−アナログ変換器
144…増幅器
144a…増幅器
144b…第2増幅器
146…インターフェイス
150…加算器
152…加算器
160…逆方向ループ
162…増幅器
170…調整器ループ
172…調整器

Claims (14)

  1. シグマデルタ型変調器において、
    −少なくとも1つの共振器(110,110a,110b)と、
    −共振器からのアナログ信号を、時間情報を持ったディジタル信号に変換する変換器(120)と、
    −変換器の出力を共振器の励起入力に接続する帰還ループ(140)と
    を備え、
    変調器内の少なくとも1つの共振器(110,110a)は、機械的および音響的および電気機械的および静電気的および光学的および化学的な共振器のグループから選択され、
    共振器は、機械的あるいは光学的あるいは音響的な励起入力が提供され、
    帰還ループは、それぞれ、信号の電気機械的インターフェイスあるいは信号の電気音響的インターフェイスあるいは信号の電気光学的インターフェイスを通して、励起入力に接続されることを特徴とするシグマデルタ型変調器。
  2. 共振器(110a)は、共振器出力を共振器励起入力に接続する帰還ループ(160)を備え、共振器と帰還ループは自発振器を構成することを特徴とする請求項1記載のシグマデルタ型変調器。
  3. 変調器の出力を共振器の励起入力に接続する調整ループ(170)を備えることを特徴とする請求項1記載の変調器。
  4. 請求項1記載の変調器と、変調器の出力に接続される帯域通過フィルタ手段(130)とを備えることを特徴とするシグマデルタ型変換器。
  5. 共振器励起入力に接続されるアナログ信号入力(E)と、請求項4記載のシグマデルタ型変換器とを備えることを特徴とする、信号のアナログ−ディジタル変換のための装置。
  6. アナログ入力は、電気機械的あるいは電気光学的(112)あるいは電気音響的なインターフェイスを通して、励起入力に接続されることを特徴とする請求項5記載の装置。
  7. 少なくとも1つの共振器(110a)は、共振器出力を共振器励起入力に接続する帰還ループ(160)を備え、共振器と帰還ループは自発振器を構成することを特徴とする、請求項1記載のシグマデルタ型変調器を備えた信号生成器。
  8. 前記機械的あるいは光学的あるいは音響的な励起入力の大きさ、つまり物理的大きさを検知する検出共振器と、前記検出共振器を含んだ請求項1記載シグマデルタ型変調器とを備えることを特長とする、物理的大きさを測定するための装置。
  9. 少なくとも1つの検出共振器は、共振器出力を共振器励起入力に接続する帰還ループ(160)を備え、共振器と帰還ループは自発振器を構成することを特徴とする請求項8記載の測定装置。
  10. 検出共振器(210a)と、励起共振器と呼ばれ、検出共振器に結合される第2共振器とを励起する手段を備えることを特徴とする請求項8記載の測定装置。
  11. 励起共振器を含む第2シグマデルタ型変調器を備えることを特徴とする請求項10記載の装置。
  12. 検出共振器は、物理的大きさを通して励起共振器に結合されることを特徴とする請求項8記載の測定装置。
  13. 物理的大きさは、コリオリの力であることを特徴とする請求項12記載の装置。
  14. アナログ−ディジタル変換器と、物理的な大きさの検出器と、信号生成器との中から選択した装置内の、請求項1記載のシグマデルタ型変調器の使用法。
JP2002582499A 2001-04-11 2002-04-09 帯域通過シグマデルタ型変調器および信号の変換と検出と生成のためのシグマデルタ型変調器の使用法 Expired - Fee Related JP4064823B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0104977A FR2823619B1 (fr) 2001-04-11 2001-04-11 Modulateur sigma-delta passe-bande et utilisations du molulateur sigma delta pour la conversion, la detection et la production de signaux
PCT/FR2002/001229 WO2002084884A1 (fr) 2001-04-11 2002-04-09 Modulateur sigma-delta passe-bande et utilisations du modulateur sigma delta pour la conversion, la detection et la production de signaux

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2004526380A JP2004526380A (ja) 2004-08-26
JP2004526380A5 JP2004526380A5 (ja) 2008-01-10
JP4064823B2 true JP4064823B2 (ja) 2008-03-19

Family

ID=8862235

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002582499A Expired - Fee Related JP4064823B2 (ja) 2001-04-11 2002-04-09 帯域通過シグマデルタ型変調器および信号の変換と検出と生成のためのシグマデルタ型変調器の使用法

Country Status (6)

Country Link
US (1) US6911928B2 (ja)
EP (1) EP1382124B1 (ja)
JP (1) JP4064823B2 (ja)
DE (1) DE60200890T2 (ja)
FR (1) FR2823619B1 (ja)
WO (1) WO2002084884A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100529551C (zh) * 2003-08-01 2009-08-19 林内株式会社 炉灶及炉灶中的光学配件的支撑部件的安装方法

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6768435B2 (en) * 2001-11-13 2004-07-27 National University Of Singapore Bandpass sigma-delta modulator
US7095297B2 (en) * 2001-11-13 2006-08-22 National University Of Singapore Insulation of anti-resonance in resonators
US7034728B2 (en) * 2004-08-11 2006-04-25 Raytheon Company Bandpass delta-sigma modulator with distributed feedforward paths
US7164376B2 (en) * 2004-11-12 2007-01-16 Analog Devices, Inc. Dual-mode delta-sigma analog to digital converter system and method
DE102005003630A1 (de) * 2005-01-26 2006-07-27 Robert Bosch Gmbh Delta-Sigma-Modulator
US7242336B1 (en) * 2006-03-06 2007-07-10 Broadcom Corporation Continuous-time delta-sigma ADC for a radio receiver employing 200 kHz IF
DE102007007551A1 (de) 2007-02-15 2008-08-21 Sick Ag Induktiver Näherungssensor
US8212699B1 (en) * 2008-09-16 2012-07-03 Semtech Corporation System and method for extending the overload range of a sigma delta ADC system by providing over-range quantization levels
US7973689B2 (en) * 2008-09-16 2011-07-05 Semtech Corporation Bandpass multi-bit sigma-delta analog to digital conversion
EP2336717B1 (en) 2009-12-21 2012-09-19 STMicroelectronics Srl Microelectromechanical device having an oscillating mass, and method for controlling a microelectromechanical device having an oscillating mass
US8539834B2 (en) * 2010-02-15 2013-09-24 Stmicroelectronics S.R.L. Microelectromechanical gyroscope with calibrated synchronization of actuation and method for actuating a microelectromechanical gyroscope
US9407283B2 (en) 2013-10-17 2016-08-02 Analog Devices Global Delta-sigma modulator having sensor front-end
US9385746B1 (en) * 2015-07-28 2016-07-05 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Dynamic offset cancellation in sigma-delta converter
EP3758169B1 (en) * 2019-06-26 2023-08-02 ams International AG Vcsel tuning arrangement and method for tuning a vcsel
CN115773740B (zh) * 2023-02-14 2023-04-21 中国船舶集团有限公司第七〇七研究所 一种谐振陀螺控制方法及控制系统

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5181032A (en) * 1991-09-09 1993-01-19 General Electric Company High-order, plural-bit-quantization sigma-delta modulators using single-bit digital-to-analog conversion feedback
US5283578A (en) * 1992-11-16 1994-02-01 General Electric Company Multistage bandpass Δ Σ modulators and analog-to-digital converters
DE19653021A1 (de) 1996-12-19 1998-06-25 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur Ermittlung einer Drehrate
US5757301A (en) * 1997-05-01 1998-05-26 National Science Council Instability recovery method for sigma-delta modulators
US6075820A (en) * 1997-05-28 2000-06-13 Lucent Technologies Inc. Sampling receiver with multi-branch sigma-delta modulators and digital channel mismatch correction
US6271781B1 (en) * 1998-06-10 2001-08-07 Lockheed Martin Corporation Nonlinear filter correction of multibit ΣΔ modulators
US6121910A (en) * 1998-07-17 2000-09-19 The Trustees Of Columbia University In The City Of New York Frequency translating sigma-delta modulator
DE19935666C2 (de) * 1999-07-29 2002-08-29 Daimler Chrysler Ag Analog-Digital-Wandler für ein Signal im Gigahertz-Bereich, Millimeterwellenempfänger und Bandpaßfilter für Millimeterwellen
US6621331B2 (en) * 2001-08-07 2003-09-16 Hrl Laboratories, Llc Variable negative resistance cell for bipolar integrated circuits
DE60106070T2 (de) * 2001-12-27 2005-10-13 Stmicroelectronics S.R.L., Agrate Brianza Verfahren zur Selbstkalibrierung einer Frequenz einer Modulatorschaltung, und dieses Verfahren anwendende Schaltung

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100529551C (zh) * 2003-08-01 2009-08-19 林内株式会社 炉灶及炉灶中的光学配件的支撑部件的安装方法

Also Published As

Publication number Publication date
DE60200890D1 (de) 2004-09-09
US20040169437A1 (en) 2004-09-02
FR2823619A1 (fr) 2002-10-18
US6911928B2 (en) 2005-06-28
EP1382124B1 (fr) 2004-08-04
JP2004526380A (ja) 2004-08-26
DE60200890T2 (de) 2005-08-18
WO2002084884A1 (fr) 2002-10-24
FR2823619B1 (fr) 2003-06-27
EP1382124A1 (fr) 2004-01-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4064823B2 (ja) 帯域通過シグマデルタ型変調器および信号の変換と検出と生成のためのシグマデルタ型変調器の使用法
US6386032B1 (en) Micro-machined accelerometer with improved transfer characteristics
Raman et al. A closed-loop digitally controlled MEMS gyroscope with unconstrained sigma-delta force-feedback
RU2328701C2 (ru) Способ работы кориолисова гироскопа и электронный блок контроля и управления для осуществления способа
JP2018509589A (ja) 高精度可撓性加速度計
CN107504964B (zh) 自时钟数字式微机械陀螺σδm闭环检测电路系统
Chen et al. Design and implementation of an optimized double closed-loop control system for MEMS vibratory gyroscope
US20190212358A1 (en) Acceleration sensor
Marx et al. An automatic MEMS gyroscope mode matching circuit based on noise observation
CN117705262A (zh) 激光干涉仪
FR2986320A1 (fr) Dispositif de mesure a capteurs resonants
JP2004526380A5 (ja)
Almutairi et al. Multi stage noise shaping sigma–delta modulator (MASH) for capacitive MEMS accelerometers
JP2002533709A (ja) シグマ−デルタ帯域通過アナログ−デジタル変換器を備えた超音波流体流量測定法及び装置
JP4037442B2 (ja) パルス変調器およびパルス変調方法
Raman et al. A digitally controlled MEMS gyroscope with unconstrained sigma-delta force-feedback architecture
Zhang et al. Design of the digital interface circuit system for MEMS gyroscope
Paris err-r
CN210198392U (zh) 一种新型mems谐振式陀螺仪测控装置
Lima et al. Small-size MEMS accelerometer encapsulated in vacuum using sigma-delta modulation
US20220412739A1 (en) Driving circuit for controlling a mems oscillator of resonant type
Dong et al. High order bandpass sigma delta interface for vibratory gyroscopes
US6549631B1 (en) Pressure transducing assembly
Tulaev et al. Micromechanical sensors design method based on system-level modeling
JP5370064B2 (ja) 角速度センサ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050304

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20070223

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070313

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070612

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070814

A524 Written submission of copy of amendment under article 19 pct

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A524

Effective date: 20071114

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20071211

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20071227

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 4064823

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110111

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110111

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120111

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130111

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees