JP4050435B2 - AlGaInP系発光ダイオード - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、(AlMGa1-M)NIn1-NP(0≦M≦1、0<N<1)(以後、AlGaInPと略す)層を発光部に有する発光ダイオード(AlGaInP系LED)に関し、さらに詳しくは、駆動電流を発光領域に優先的に流通できる構成を備えた高輝度のAlGaInP系可視発光ダイオードを得るための技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
高輝度のAlGaInP系LEDを得る従来手段の一つとして、(AlXGa1-X)0.5In0.5Pからなるpn接合型ダブルヘテロ(DH)構造の発光部の上方に酸化インジウム・錫(英略称:ITO)などの導電性透明酸化物材料からなる窓層を設ける手段が知られている(特開平11−4020号公報明細書参照)。しかし、特開平11−4020号公報に記載される発明では、結線(ボンディング)用台座電極が敷設されたITO透明電極層とAlGaInP系LED構成層との間に亜鉛(元素記号:Zn)等の金属薄膜が具備されている。この従来技術では、Zn等の金属膜がITO電極層とIII−V族化合物半導体構成層との密着性を増強する目的で、発光部表面の略全面に一様に万遍なく配置される構成となっている。従って、ITO透明電極層の直下に配置された金属膜に発光層からの発光が金属材料膜に容赦なく吸収されてしまうため、高輝度のAlGaInP系LEDを得るのに妨げとなっている。
【0003】
電極層または窓層を構成するITO等の酸化物層とLEDを構成する(AlXGa1-X)0.5In0.5P等のIII−V族化合物半導体層とを直接、接合させたのみでは比較的に高い接合障壁が形成され、よって、徒に高い順方向電圧(所謂、Vf)が帰結されることも知られている。窒化ガリウム・インジウム(組成式GaZIn1-ZN:0≦Z≦1)系LEDに関する最近の研究報告に依れば、III族窒化物半導体層とITO窓層との接合構成を具備したLEDのVfは一般なVf値の約2倍の7ボルト(単位:V)を越えるものとなると報告されている(Appl.Phys.Lett.,74(26)(1999)、3930〜3932頁参照)。また、この接合障壁の形成に依り、駆動電流の発光領域への広範な拡散が果たせず、従って、高輝度のAlGaInP系LEDを得るのに支障を来している。
【0004】
従来では、ITO等の透明酸化物層とLEDを構成するIII−V族化合物半導体構成層との間にコンタクト(contact)層を配置して、酸化物層とIII−V族化合物半導体構成層との間のオーミック(Ohmic)接触性を向上させる技術が開示されている(特開平11−17220号公報明細書参照)。特開平11−17220号公報に開示される従来例では、コンタクト層はGaAs、砒化リン化ガリウム(組成式:GaAs1-ZPZ:0≦Z≦1)等から構成されるものとなっている。しかし、従来では、(AlXGa1-X)0.5In0.5P(0≦X≦1)発光層からの発光波長に対応するよりも禁止帯幅を小とするコンタクト層が発光領域の表面を被覆して敷設されている(上記の特開平11−17220号公報参照)。この構成ではコンタクト層に因り発光が吸収され、高輝度のIII−V族化合物半導体LEDを得るのに支障となっている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
透明酸化物層を窓層等として備えた従来のAlGaInP系LEDにあって、透明酸化物層の上表面に設けた台座電極の直下の領域では、一応は比較的高い接合障壁を形成するITOとLEDをなすIII−V族化合物半導体構成層とを直接、接合させる構成としている(特開平11−17220号公報明細書参照)。ところが、高い障壁と云えどもVfを2倍程度に増加させるに過ぎない。このため、台座電極の直下の、台座電極の射影領域への動作電流の流入を充分に阻止できない。台座電極の直下の領域(台座電極の射影領域)での発光は台座電極に遮蔽されるため、効率的に外部へ取り出せない。即ち、台座電極の直下の領域に流入した動作電流は外部への発光取り出し効率に然したる向上を来すことなく、浪費されることとなる。
【0006】
高輝度化を果たすには、台座電極の直下領域への動作電流の浪費を回避して、透明窓層を介して外部に発光を取り出すことができる台座電極の射影領域外(所謂、開放発光領域)に優先的に分散できる構成が求められる。また、開放発光領域に優先的に動作電流を流通できる構成とした上で、更に、従来の如く発光を吸収する薄膜層を開放発光領域の全域に設ける構成を必要とせずに、発光を徒に遮蔽することなく優先的に供給される動作電流を拡散させる手段を講ずる必要がある。
【0007】
本発明は、上記の従来技術に於ける問題点を解決して高輝度のAlGaInP系LEDを提供することを目的に成されたものであって、特に、発光の遮蔽領域への動作電流の漏洩を充分に阻止できる構成と、発光層からの発光を遮蔽する度合いが小さく、且つ、発光領域に広範に動作電流を拡散できるオーミック電極の構成とを備えた高輝度のAlGaInP系LEDを提供することを趣旨としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは上記課題を解決すべく鋭意努力検討した結果本発明に到達した。即ち本発明は、
[1]III−V族化合物半導体構成層、オーミック電極、および台座電極が各々発光透過用窓層と接した構造を有するAlGaInP系発光ダイオードにおいて、III−V族化合物半導体構成層と反対の伝導形のIII−V族化合物半導体層(以後、III−V族化合物半導体接合層とする)が素子平面における台座電極の射影領域に形成され、該射影領域以外にオーミック電極が分散されて配置されていることを特徴とするAlGaInP系発光ダイオード、
[2]III−V族化合物半導体接合層の素子平面における外形状が、台座電極の底面形状と相似形であり、且つ中心が一致して設けられていることを特徴とする[1]に記載のAlGaInP系発光ダイオード、
[3]III−V族化合物半導体接合層の素子平面における外形状が、台座電極の底面積の0.5倍以上で1.5倍以下であることを特徴とする[1]または[2]に記載のAlGaInP系発光ダイオード、
[4]発光層が、(AlXGa1-X)0.5In0.5P(0≦X≦1)から形成されていることを特徴とする[1]〜[3]の何れか1項に記載のAlGaInP系発光ダイオード、
[5]III−V族化合物半導体接合層が、(AlYGa1-Y)0.5In0.5P(X≦Y≦1)から構成されていることを特徴とする[4]に記載のAlGaInP系発光ダイオード、に関する。
【0009】
【発明の実施の形態】
本発明のAlGaInP系LEDは、III−V族化合物半導体構成層、オーミック電極、および台座電極が各々発光透過用窓層と接した基本構造を有する。本発明に係わるAlGaInP系LEDの断面模式図を図1に例示する。図1を利用して説明すると、本発明の請求項1に記載の発明に係わる第1の実施形態のLED10は、主として導電性の単結晶基板101の表面上にエピタキシャル成長法に依り積層された、例えば(AlXGa1-X)0.5In0.5Pからなるn形またはp形クラッド(clad)層104、106と、(AlXGa1-X)0.5In0.5Pからなる発光層105とのヘテロ(hetero)接合からなる発光部10aと、発光部10aを構成する上部クラッド層106上に冠された導電性の透明酸化物層からなる窓層108とを基本的に備えて構成されている。下部クラッド層104と緩衝層102との中間には、ブラッグ反射(DBR)103を挿入した構成としても差し支えはない。窓層108の上表面の中央部にはLED駆動電流を供給するための台座電極109を設ける。また、本発明のLED10に特徴的なのは、窓層108をなす透明酸化物層が堆積された例えばAlGaInP上部クラッド層106との間に、その上部クラッド層106とは反対の伝導形のIII−V族化合物半導体接合層107が配置されていることにある。
【0010】
III−V族化合物半導体接合層107は、図1に例示したLED10の断面構造図に示す如く、例えば、上部クラッド層106の表面の、台座電極109の射影領域109aに限定して設ける。例えば、p形の上部クラッド層106上には、n形のIII−V族化合物半導体接合層107を設ける。n形のIII−V族化合物半導体構成層上には、p形のIII−V族化合物半導体接合層を設ける。例えば、上部クラッド層106等のLED10を構成するIII−V族化合物半導体構成層に当該接合層とは反対の伝導形の接合層を接合させてpn接合を形成することとする。台座電極109の射影領域109aに電流の通流を阻害するpn接合を形成すれば、台座電極109より供給される動作電流の発光部10aへの短絡的な漏洩が避けられる。換言すれば、動作電流を台座電極109の射影領域109a周辺の開放発光領域106aに優先的に流入させられる効果が上げられる。即ち、発光の遮蔽領域での動作電流の浪費が抑えられ、発光を外部へ取り出せる開放発光領域106aに優先的に配分することができ、高輝度化を達成するに優位となる。
【0011】
III−V族化合物半導体接合層107は、例えば、上部クラッド層106上に有機金属熱分解化学的堆積(英略称:MOCVD)法や分子線エピタキシャル(英略称:MBE)法等のエピタキシャル成長手段により成膜できる。成膜されたIII−V族化合物半導体接合層107に公知のフォトグラフィー技術を利用してパターニングを施し、不要部分を除去すれば、台座電極109の射影領域109aのみにIII−V族化合物半導体接合層107を残置できる。III−V族化合物半導体接合層107の層厚は透明酸化物からなる窓層108の層厚を超過しないものとするのが望ましい。III−V族化合物半導体接合層107の層厚を窓層108のそれを越えて大とすると、接合層107とその被堆積層との段差が増し、接合層107の周囲を空隙なく被覆するに困難となる不都合が生ずる。窓層108の厚さは発光層105から放射される発光に対し最大の透過率を帰結する厚さに設定するのが望まれることからして、接合層107の層厚は、従って、発光波長に対して最大の透過率を与える窓層108の層厚以下とするのが望ましい。
【0012】
III−V族化合物半導体接合層107に、台座電極109の直下の領域への動作電流の漏洩を下層とのpn接合の形成により阻止するための作用をより効率的に発揮させるためには、III−V族化合物半導体接合層107のキャリア濃度は、例えば上部クラッド層の如くの被堆積層のキャリア濃度の約1/10以上とするのが望ましい。被堆積層が例えば、キャリア濃度を1×1018cm-3とするn形III−V族化合物半導体層であれば、III−V族化合物半導体接合層107はp形であり、そのキャリア濃度は1×1017cm-3以上であるのが好ましい。更には、1×1017cm-3以上で1×1019cm-3以下であるのが好ましい。III−V族化合物半導体接合層107のキャリア濃度を、1×1019cm-3を越えて大であると、結晶性は劣るものとなり耐圧不良を招きかねないため好ましくはない。
【0013】
III−V族化合物半導体接合層107は、下地となる被堆積層と良好な格子整合を果たすIII−V族化合物半導体層から好ましく構成できる。良好な格子整合性とは格子定数の差異を被堆積層の格子定数で除した値で与えられる格子のミスマッチ度が概ね、5%以下であることを云う。例えば、(AlPGa1-P)0.5In0.5Pからなる被堆積層に対し、III−V族化合物半導体接合層107を砒化アルミニウム・ガリウム(組成式AlCGa1-CAs:0≦C≦1)から構成する例が挙げられる。
【0014】
上記の如くの台座電極109の直下の領域への動作電流の漏洩を防止できるIII−V族化合物半導体接合層107を配備した上で、本発明では更に開放発光領域106aに複数のオーミック電極110を分散させて設ける。開放発光領域106aとは、台座電極109が敷設されている領域以外の発光を外部に取り出すことができる領域(素子平面における台座電極の射影領域以外)を指す。図1に例示するLED10では、平面形状を円形とするオーミック電極110が開放発光領域106aに分散されて配置されている。オーミック電極110の平面形状は楕円形、方形或いは多角形であって構わない。分散して配置するオーミック電極110の個数にも限定はない。オーミック電極110は例えば、金(Au)・ゲルマニウム(Ge)合金、金(Au)・亜鉛(Zn)合金等から構成できる。III−V族化合物半導体接合層とのpn接合により、台座電極109の直下の領域への動作電流の漏洩を抑止し、動作電流を開放発光領域106aに優先的に配分できる状況を創出した上で、開放発光領域106aにオーミック電極110を分散させて設けことにより、各オーミック電極110を介して動作電流が開放領域106aの広範囲に亘り拡散できる。
【0015】
本発明の請求項2に記載の発明に係わる第2の実施形態では、III−V族化合物半導体接合層107を、台座電極109の素子平面における外形状と相似の関係にある結晶層から構成する。即ち、円形の台座電極については平面形状を円形としたIII−V族化合物半導体接合層107を配置する。多角形の台座電極については多角形の高抵抗III−V族化合物半導体層を設ける。方形の台座電極に対しては方形のIII−V族化合物半導体接合層を設置する。特に、III−V族化合物半導体接合層107の平面形状は窓層108と接触する台座電極109の底面の形状と相似形とするのが望ましい。
【0016】
また、III−V族化合物半導体接合層107はその平面形状の中心Mを、台座電極109の平面形状の中心点Cに合致させて設ける。III−V族化合物半導体接合層107の平面形状を台座電極109の底面形状と相似形とした上に、互いに中心点M、Cを一致させて配置することにより、台座電極109の底面の全般的な領域に於いて発光部10aへの短絡的な動作電流の流通を効率的に防止できる。例えば、上部クラッド層106上に一旦、III−V族化合物半導体接合層107を、例えば、有機金属熱分解気相成長(MOCVD)法で積層した後、一般的なフォトリソグラフィー技術を利用したパターニング技法に依り、台座電極109の射影領域109aの中心に、中心を合致させてIII−V族化合物半導体接合層107を残置させると好適となる。III−V族化合物半導体接合層107と台座電極109との平面形状の中心点M、Cとを一致させることにより、平面形状の中心の“ずれ”に因る動作電流の発光部10aへの偏流を防止することができる。上記の中心点C、Mが合致させないと、台座電極109から供給される動作電流は中心点C、Mの“ずれ”のために発生した、台座電極109の射影領域109aに於けるIII−V族化合物半導体接合層107の非被覆領域を通過して発光部10aに短絡的に流通してしまう不都合が生ずる。
【0017】
台座電極109の底面積に対するIII−V族化合物半導体接合層107の素子平面における外形状の面積の比率には好適な範囲がある。台座電極109の底面積に対してIII−V族化合物半導体接合層107の占める面積が極端に小であると発光部10aへの短絡的な電流が増える。一方、III−V族化合物半導体接合層107の面積が極端に大であると開放発光面積が減少し、発光の高輝度化が難となる。従って、本発明の請求項3に記載の発明に係わる第3の実施形態では、III−V族化合物半導体接合層107の素子平面における外形状の面積は台座面積の底面積に比して大凡、0.5倍以上で3倍以下とするのが望ましい。更には、0.7倍以上で1.2倍以下とするのを好ましいとする。
【0018】
本発明の請求項4および5に記載の発明に係わる第4および5の実施形態では、発光層105をGaAs基板と格子整合しやすい(AlXGa1-X)0.5In0.5P(0≦X≦1)層から形成し、III−V族化合物半導体接合接合層107を、発光層105を構成する(AlXGa1-X)0.5In0.5P(0≦X≦1)層のアルミニウム(Al)組成比(=X)以上の、アルミニウム組成比(=Y)の(AlYGa1-Y)0.5In0.5P(即ち、X≦Y≦1)から構成するのを特徴とする。(AlYGa1-Y)0.5In0.5Pはアルミニウム組成比(=Y)の如何に拘わらず、(AlXGa1-X)0.5In0.5Pと良好な格子整合性を果たすのみでなく、アルミニウム組成比(=Y)の増大と共に禁止帯幅(bandgap)も増加する。アルミニウム組成比(=Y)を発光層105のそれ(=X)以上とする(AlYGa1-Y)0.5In0.5Pは発光を透過できる。従って、発光層105以上の禁止帯幅の(AlYGa1-Y)0.5In0.5Pからは、発光を透過しつつ電流阻止層としての機能を発揮するIII−V族化合物半導体接合層107が構成できる。
【0019】
【実施例】
以下、本発明をIII−V族化合物半導体接合層を具備するAlGaInP系LEDを構成する場合を例にして詳細に説明する。図2に本実施例に係わるAlGaInP系LED20の平面模式図を示す。また、図3は図2に示すLED20の破線A−A’に沿った断面模式図である。
【0020】
LED20は、直径約50mmの亜鉛(Zn)ドープp形(001)−GaAs単結晶円形基板201上に順次、積層されたZnドープp形GaAs緩衝層202、何れもZnをドーピングしたp形Al0.40Ga0.60As層とp形Al0.95Ga0.05As層とを交互に10層積層した周期構造からなるブラッグ反射(DBR)層203、Znドープp形(Al0.7Ga0.3)0.5In0.5Pから成る下部クラッド層204、アンドープのn形(Al0.2Ga0.8)0.5In0.5P混晶から成る発光層205、Siドープn形(Al0.7Ga0.3)0.5In0.5Pから成る上部クラッド層206、Znドープp形(Al0.3Ga0.7)0.5In0.5Pから成るIII−V族化合物半導体接合層207から構成されるエピタキシャル積層構造体(ウェハ)2Aを母体材料として構成した。
【0021】
積層構造体2Aを構成する各構成層202〜207はトリメチルアルミニウム((CH3)3Al)、トリメチルガリウム((CH3)3Ga)及びトリメチルインジウム((CH3)3In)をIII族構成元素の原料とする減圧MOCVD法により成膜した。亜鉛(Zn)のドーピング源にはジエチル亜鉛((C2H5)2Zn)を利用した。珪素(Si)のドーパント源にはジシラン(Si2H6)を使用した。各構成層202〜207の成膜温度は730℃に統一した。緩衝層202のキャリア濃度は約5×1018cm-3に、また、層厚は約1μmとした。DBR層203をなすp形Al0.40Ga0.60As層とp形Al0.95Ga0.05As層の層厚は各々、約40nmとした。キャリア濃度は各々、約1×1018cm-3とした。下部クラッド層204のキャリア濃度は約3×1018cm-3に、また、層厚は約1.5μmとした。発光層205の層厚は約750nmとし、キャリア濃度は約5×1016cm-3とした。上部クラッド層206のキャリア濃度は約1×1018cm-3とし、また、層厚は約5μmとした。Znドープp形(Al0.7Ga0.3)0.5In0.5P層207のキャリア濃度は約5×1018cm-3とし、層厚は約100nmとした。
【0022】
次に、公知のフォトリソグラフィー技術を利用して、窓層208表面上の台座電極209を形成する予定の領域に対応する射影領域209aに限り、直径を110μmとする円形にZnドープp形(Al0.7Ga0.3)0.5In0.5P層207を残置させた。台座電極209の射影領域209aの中心点Cと、下層のIII−V族化合物半導体接合層207との中心点Mとは合致させた。その後、射影領域209a以外の領域に露呈しているZnドープp形(Al0.7Ga0.3)0.5In0.5P層207の表面に全面に一旦、金(Au88重量%)・ゲルマニウム(Ge12重量%)合金膜を一般的な真空蒸着法により被着させた。合金膜の厚さは約100nmとした。次に、フォトリソグラフィー技術を利用して再びパターニングを施し、今度は、オーミック電極210を形成する領域に限り、上記のAu・Ge合金膜を残置させた。合金膜を残置させた領域は一辺を20μmとする正方形とした。然る後、アルゴン(元素記号:Ar)気流中に於いて420℃で10分間の合金化熱処理を施した。オーミック電極210は上部クラッド層206の開放発光領域206aの表面上に合計8箇所に互いに50μmの等距離をもって分散させて形成した。
【0023】
次に、オーミック電極210と、分散させたオーミック電極210以外の上部クラッド層206の表面と、台座電極209の射影領域209aに限定して残置したIII−V族化合物半導体接合層207を被覆する様に発光を外部に透過する窓層208として酸化インジウム・錫(ITO)膜を被着させた。ITO膜は一般的なマグネトロンスパッタリング法により被着させた。ITO層の比抵抗は約5×10-4Ω・cmであり、層厚は約600nmとした。次に、窓層208上の全面に一般的な有機フォトレジスト材料を塗布した後、台座電極209を設けるべき領域を、公知のフォトリソグラフィー技術を利用してパターニングした。然る後、パターニングされたレジスト材料を残置させたままで、全面に金(Au)膜を真空蒸着法により被着させた。金(Au)膜の厚さは約700nmとした。その後、周知のリフト−オフ(lift−off)手段に依り、レジスト材料を剥離するに併せて台座電極209の形成予定領域に限定してAu膜を残留させた。これより、直径を約110μmとする円形の台座電極209を形成した。即ち、III−V族化合物半導体接合層207との表面積は同一とした。
【0024】
p形GaAs単結晶基板201の裏面には、金・亜鉛(Au・Zn)合金からなるp形オーミック電極211を形成した後、通常のスクライブ法により積層構造体(ウェハ)2Aを裁断して個別に細分化し、一辺の長さを260μmとするLED20となした。p形オーミック電極211及び台座電極209間に順方向に電流を通流したところ、開放発光領域206aを通して波長を約620nmとする赤橙色が出射された。発光スペクトルの半値幅は約20nmであり、単色性に優れる発光であった。20ミリアンペア(mA)の電流を通流した際の順方向電圧(Vf:@20mA)は、分配して配置した型オーミック電極210の良好なオーミック特性を反映して約2.1ボルト(V)となった。また、分配してオーミック性電極210を配置した効果に依り、チップ20の周縁20bの領域に於いても発光が認められ、視感度補正をした状態で簡易的に測定される発光の強度は約70ミリカンデラ(mcd)であった。更に、本実施例のLED20では、近視野発光パターンの観点からしても開放発光面206aに於ける発光強度の分布は、オーミック電極210に依る動作電流の均一な分配の効果により均等であった。
【0025】
【発明の効果】
本発明の請求項1に記載の発明に依れば、台座電極の射影領域外の開放発光領域にオーミック電極を分散して設けた上に、台座電極の直下の領域にpn接合をなすIII−V族化合物半導体接合層を設ける構成としたので、台座電極の直下の発光部への動作電流の短絡的な漏洩を抑制して開放発光領域に優先的に供給される動作電流を同領域に広範囲に分散できるため、発光領域が拡大された高輝度のAlGaInP系発光ダイオードが提供できる。
【0026】
また、本発明の請求項2に記載の発明に依れば、台座電極と相似形のIII−V族化合物半導体接合層を台座電極の平面形状の中心に合致させて設ける構成としたので、特に、効率的に動作電流の台座電極の直下領域への漏洩が防止され、開放発光領域に優先的に動作電流を配分できるため、高輝度のAlGaInP系発光ダイオードが提供できる。
【0027】
また、本発明の請求項3に記載の発明に依れば、III−V族化合物半導体接合層の表面積を台座電極の表面積に対して規定することとしたので、特に、効率的に動作電流の台座電極の直下領域への漏洩を防止するに効果が上げられ、高輝度のAlGaInP系発光ダイオードが提供できる。
【0028】
また、本発明の請求項4および5に記載の発明に依れば、基板と格子整合する(AlXGa1-X)0.5In0.5Pからなる発光層、および発光層以上の禁止帯幅を有する(AlYGa1-Y)0.5In0.5PからIII−V族化合物半導体接合層を構成することとしたので、台座電極直下への動作電流の漏洩を抑制しつつ、且つ発光を透過できるため、高輝度のAlGaInP系発光ダイオードが提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わるAlGaInP系LEDの断面模式図である。
【図2】実施例1に記載のAlGaInP系LEDの平面模式図である。
【図3】図2のLEDの破線A−A’に沿った断面模式図である。
【符号の説明】
10 AlGaInP系LED
10a pn接合型ダブルヘテロ接合発光部
101 単結晶基板
102 緩衝層
103 ブラッグ反射層
104 下部クラッド層
105 発光層
106 上部クラッド層
106a 開放発光領域
107 III−V族化合物半導体接合層
108 窓層
109 台座電極
109a 台座電極の射影領域
110 オーミック電極
111 基板裏面オーミック電極
C 台座電極の中心点
M III−V族化合物半導体接合層の中心点
2A 積層構造体
20 AlGaInP系LED
20b LEDチップの外縁
201 p形方GaAs単結晶基板
202 p形GaAs緩衝層
203 ブラッグ反射層
204 AlGaInP系下部クラッド層
205 AlGaInP系発光層
206 AlGaInP系上部クラッド層
206a 開放発光領域
207 III−V族化合物半導体接合層
208 導電性透明酸化物窓層
209 台座電極
209a 台座電極の射影領域
210 オーミック電極
211 p形オーミック電極
Claims (3)
- 発光層および該発光層上のクラッド層を含むIII−V族化合物半導体構成層、オーミック電極、台座電極及び発光透過用窓層を有するAlGaInP系発光ダイオードにおいて、オーミック電極がクラッド層上に形成され、発光透過用窓層がクラッド層上にあって、オーミック電極を覆って形成され、台座電極が発光透過用窓層上でその下面全体が該窓層に接して形成され、クラッド層と伝導形が反対のIII−V族化合物半導体層(以後、III−V族化合物半導体接合層とする)がクラッド層表面上の台座電極の射影領域に形成され、発光層が(AlxGa1-x)0.5In0.5P(0≦x≦1)から構成され、クラッド層がAlGaInPから構成され、III−V族化合物半導体接合層が(AlyGa1-y)0.5In0.5P(x≦y≦1)から構成され、前記オーミック電極は前記射影領域以外のクラッド層上に分散されて配置されていることを特徴とするAlGaInP系発光ダイオード。
- III−V族化合物半導体接合層の素子平面における外形状が、台座電極の底面形状と相似形であり、且つ中心が一致して設けられいることを特徴とする請求項1に記載のAlGaInP系発光ダイオード。
- III−V族化合物半導体接合層の素子平面における外形状が、台座電極の底面積の0.5倍以上で1.5倍以下であることを特徴とする請求項1または2に記載のAlGaInP系発光ダイオード。
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