JP4050248B2 - センサ移動による非破壊検査装置、及び非破壊検査方法 - Google Patents
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Description
SQUIDを用いる生体磁気計測の事例で、心磁計測の臨床応用例として、心筋梗塞の症例について報告されている(例えば、非特許文献2参照。)。この文献に開示されている計測は、磁気シールド室内で行われている。被検体(患者)をのせたベッド水平面をxy面として、体表の2箇所を指標とし、胸部のxyz座標が決定される。64チャネル(縦8個×横8個)のSQUIDを2.5cm間隔で並べ、時間分解能の高い同時計測により得られた検査結果を開示している。この検査では、被検体(患者)もSQUIDも計測時は静止しており、SQUID磁気センサ自体を動かした測定とはなっていない。
さらに従来技術では、磁気ノイズの中で計測を行うとSN比が下がってしまうため、SN比を上げるために、測定の平均回数を増やしている。しかし、平均化の回数を増やしてSN比を上げれば上げるほど、検査時間を長くしなければならなくなる。
本発明の課題は、このような問題を解決し、超電導量子干渉素子(SQUID)、フラックスゲート型センサ(FGセンサ)、磁気インピーダンスセンサ(MIセンサ)等のナノテスラオーダーの微弱な磁気を感知できる超高感度磁気センサを用いて、センサ自体が被検体表面を移動する方法で被検体の磁気を非接触で連続的に検出し、被検体の磁気分布を得て行う非破壊的な検査を高速で行う方法とその検査装置を提供することにある。
すなわち、低周波ほど侵入深さが深い。被検体に直接交流の電流や磁場を加え、それに同期した測定を行う場合は、印加する周波数に依存した深度の情報が含まれていることを考慮して印加周波数を選択することが可能である。
一方被検体の重量や寸法に関しては、従来技術では、XYZステージに被検体を載せた検査であるため制限されるが、本発明では超高感度磁気センサ自体が被検体に沿って動き、走査するため、原理的にはそのような制限はない。一例では、市販のXYZステージの最大荷重は重量7kgであるので、一般の金属(比重約5g)では、およそ40cm角(厚み1cm)程度の寸法が最大の走査範囲となってしまうが、本発明を用いることによりそのような制約を解消することができる。
図3は、本発明の非破壊検査における計測方法の測定手順を示すフローチャートである。図3において、まず、信号設定工程により、被検体に与える1次信号を設定する。この1次信号がリファレンス信号となり、その時被検体から発生する2次信号が磁気計測信号となる。本発明では、数10Hz以上の周波数を有する正弦波、または矩形波、または三角波、あるいはこれらに準ずる任意波形信号がリファレンス信号として使用できる。信号の大きさは測定対象によって任意に設定可能である。
一例として、センサ移動機構C−1の諸元を表1に示す。
なお、本発明のように超高感度磁気センサ自体が移動する検査を行う場合でも、環境磁気ノイズの影響は小さいほど良いため、超高感度磁気センサA−1を磁気シールド内部に設置し、検出コイルを外部に設けた検査装置や、差分型の磁気センサが有効である。
引張応力を加えたことにより、オーステナイト系ステンレス鋼がマルテンサイト相へと変化するため、定性的には、引張の強さが増えるにつれて、白色で色づけした相対的な磁場の増加及び、黒色で色づけした相対的な磁場の減少として表わせる試験片の損傷レベルが磁気イメージの変化として、明瞭に観測されている。黒から白、或いは白から黒の変化部分が損傷箇所であり、その変化が急激であるところは損傷レベルが高いと考えられる。図7には、磁場の検出強度が等しいレベルを等高線で結んだプロットも、併せて表示している。従って、この等高線の密度が相対的に濃い部分が損傷レベルの高い部分と考えられる。本発明では、図7のような強度の単純な白黒表示や等高線プロットの他に、カラー表示やヒストグラムの表示も何ら問題なく可能である。
なお、若干感度は落ちるものの、1次差分型のMIセンサの場合も、図7と同様の結果が得られている。
また、本実施例では、センチメートルレベルの検査範囲を示したが、駆動機構を大型にすれば、航空機、発電プラント、橋梁、及び高層ビルなど大規模な被検体の非破壊検査に対応できる。さらに、無線によるコントロールなど、自走ロボットに組込んだ小型の検査機器を製作すれば、発電所や工事現場などの各種フィールドにおいても、検査対象物(ワーク)への据付が自由となる。このように、本発明によって原理的には、被検体のサイズや寸法に制約がなく、各種フィールドにおいて広範囲に磁気分布を計測できる超高感度磁気センサを実現できる。
A−1 超高感度磁気センサ
A−2 磁気計測部
B 電子計測系
B−1 信号発生部
B−2 位相比較部
B−3 タイミング作成部
C 機械駆動系
C−1 センサ移動機構
C−2 センサ移動制御部
D 計測制御系
Claims (8)
- 被検体を非破壊的に計測する非破壊検査装置において、
前記被検体からの磁気を検出する超高感度磁気センサと、
前記超高感度磁気センサを移動させるためのセンサ移動機構と、
前記超高感度磁気センサからの検出信号が入力する磁気計測部と、
前記被検体にリファレンス信号を印加する信号発生部と、
前記リファレンス信号と前記磁気計測部からの磁気計測信号との位相差を求める位相比較部と、
前記位相比較部で求められた位相差に基づいて、前記磁気計測部で測定するタイミングを求めるタイミング作成部と、を備え
前記信号発生部がリファレンス信号を印加し、前記センサ移動機構が前記超高感度磁気センサを移動させ、
前記磁気計測部は、前記タイミングに基づいて前記超高感度磁気センサを介して被検体を測定する
ことを特徴とする非破壊検査装置。 - 請求項1に記載の非破壊検査装置において、
前記タイミング作成部は、前記位相差に基づいて前記リファレンス信号の所定の位置に対応する前記磁気計測信号で測定できるタイミングを求めることを特徴とする非破壊検査装置。 - 請求項1または2に記載の非破壊検査装置において、
前記センサ移動機構を制御するセンサ移動制御部を備えたことを特徴とする非破壊検査装置。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の非破壊検査装置において、
前記信号発生部は、10Hz以上のリファレンス信号を印加することを特徴とする非破壊検査装置。 - 信号発生部で被検体にリファレンス信号の印加条件を設定する工程と、
センサ移動機構で前記被検体の磁気を検出する超高感度磁気センサの移動条件を設定する工程と、
前記リファレンス信号を前記被検体に印加し、位相比較部で前記超高感度磁気センサにより検出された磁気計測信号と前記リファレンス信号を比較して位相差を求める工程と、
タイミング作成部で前記位相差に基づいて磁気計測部で計測するタイミングを求める工程と、
前記リファレンス信号を前記被検体に印加し、センサ移動機構で前記超高感度磁気センサを前記被検体に対して移動させると共に、
前記タイミング作成部で求めたタイミングに基づいて前記超高感度磁気センサを介して磁気計測部で被検体上を計測する工程と、
を有することを特徴とする非破壊検査方法。 - 請求項5に記載の非破壊検査方法において、
前記タイミングを求める工程は、前記位相差に基づいて前記リファレンス信号の所定の位置に対応する前記磁気計測信号で測定できるタイミングを求めることを特徴とする非破壊検査方法。 - 請求項5または6に記載の非破壊検査方法において、
前記超高感度磁気センサの移動条件を設定する工程は、センサ移動制御部で前記センサ移動機構の少なくとも移動距離や移動速度を制御することを含むことを特徴とする非破壊検査方法。 - 請求項5乃至7のいずれか1項に記載の非破壊検査方法において、
リファレンス信号の印加条件を設定する工程は、10Hz以上のリファレンス信号を印加するように設定することを特徴とする非破壊検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004143347A JP4050248B2 (ja) | 2004-05-13 | 2004-05-13 | センサ移動による非破壊検査装置、及び非破壊検査方法 |
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JP2005326208A JP2005326208A (ja) | 2005-11-24 |
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JP (1) | JP4050248B2 (ja) |
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KR101718310B1 (ko) * | 2016-11-17 | 2017-04-05 | 한국건설기술연구원 | 드론을 활용한 진동 기반 구조물 손상 감지 시스템 및 그 방법 |
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JP2008002859A (ja) * | 2006-06-21 | 2008-01-10 | Kobe Univ | オーステナイト系ステンレス鋼の非破壊検査方法及びその装置 |
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KR101718310B1 (ko) * | 2016-11-17 | 2017-04-05 | 한국건설기술연구원 | 드론을 활용한 진동 기반 구조물 손상 감지 시스템 및 그 방법 |
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