JP4049114B2 - 圧力センサ - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1実施形態に係る液封式の圧力センサ100の概略断面構成を示す図である。この圧力センサ100は、たとえば自動車のエンジンのサージタンクや燃料電池システムにおけるセル部などの被測定体200に取り付けられ、これら被測定体200の圧力Pを検出するものである。
図2は、本発明の第2実施形態に係る液封式の圧力センサ110の概略断面構成を示す図である。上記実施形態との相違点を中心に述べることにする。
なお、上記実施形態では、耐食性に優れる環状部材10aの材質としてステンレスを採用していたが、当該環状部材10aとしては、ステンレス以外にも、(Cr+3.3Mo+20N)で表される孔食指数が50以上であり且つNiを30重量%以上含む材料からなるものであってもよい。
10a…ハウジングにおける被測定環境にさらされる部位としての環状部材、
10b…ハウジングにおけるガラス封止部が設けられている部位としての本体部、
13…圧力検出室、14…ダイアフラム、16…圧力検出素子、18…液体、
19…シール材、22…ガラス封止部。
Claims (5)
- 被測定体に取り付けられ、その一部が被測定環境にさらされるハウジング(10)と、
前記ハウジング(10)に設けられた圧力検出室(13)と、
前記圧力検出室(13)内に封入された液体(18)と接するように前記ハウジング(10)に設けられた受圧用のダイアフラム(14)と、
前記圧力検出室(13)内の前記液体(18)の圧力を受ける位置に配設された圧力検出素子(16)と、
前記ハウジング(10)の内部に設けられ、ガラスにより封止が行われた部位であるガラス封止部(22)とを備える圧力センサにおいて、
前記ハウジング(10)のうち前記被測定環境にさらされる部位(10a)と前記ガラス封止部(22)が設けられている部位(10b)とは、別材質からなるものであり、
前記ハウジング(10)のうち前記被測定環境にさらされる部位(10a)は、前記ガラス封止部(22)が設けられている部位(10b)よりも耐食性に優れたものであり、
前記ハウジング(10)のうち前記ガラス封止部(22)が設けられている部位(10b)の下部に前記圧力検出室(13)が形成され、上部に凹部(20)が形成されており、前記凹部(20)内には、前記圧力検出素子(16)から出力された電気信号を増幅する増幅回路を有する回路基板(27)が配設されており、
前記ハウジング(10)のうち前記ガラス封止部(22)が設けられている部位(10b)の外周部においては、前記被測定体(200)への取り付けを行うための取付ネジ部(11)が形成され、この取付ネジ部(11)の上部に前記ハウジング(10)のネジ締めを行うためのナット部(11a)が形成されており、
前記ハウジング(10)のうち前記被測定環境にさらされる部位(10a)は、前記ガラス封止部(22)が設けられている部位(10b)の外周部のうちの前記取付ネジ部(11)よりも下方の部位に設けられていることを特徴とする圧力センサ。 - 前記ハウジング(10)のうち前記被測定環境にさらされる部位(10a)は、ステンレス製のものであることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記ハウジング(10)のうち前記被測定環境にさらされる部位は、前記ハウジング(10)の外周を環状に取り巻く形状をなす環状部材(10a)として構成されており、
この環状部材(10a)が、前記ハウジング(10)のうち前記ガラス封止部(22)が設けられている部位(10b)に接合されていることを特徴とする請求項1または2に記載の圧力センサ。 - 前記接合は溶接であることを特徴とする請求項3に記載の圧力センサ。
- 前記ハウジング(10)のうち前記ガラス封止部(22)が設けられている部位(10b)は、低炭素鋼であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の圧力センサ。
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