JP4048802B2 - トレンチ形成方法 - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
本発明は、トレンチの内部、または側壁や底部付近に電流経路を有する半導体装置を作製するために、反応性イオンエッチング(RIE)等のドライエッチングにより半導体ウエハにトレンチを形成するトレンチ形成方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、セルピッチの縮小や、MOSFETの場合には単位面積当りのオン抵抗の低減という利点を有するトレンチ構造の半導体デバイスが知られている。図11は、ドライエッチングによるトレンチ形成のメカニズムを説明するためにトレンチ形成時の様子を模式的に示す図であり、同図において符号11はSi基板、符号12はマスク酸化膜、符号13はトレンチである。Si基板11はエッチングガスによりエッチングされる。エッチングによりSi基板11から除去されたSiは雰囲気中に浮遊し、雰囲気中のO2ガスと反応する。その反応により、図12に示すように、トレンチ13の側壁やマスク酸化膜12上にSi酸化物14が析出し、保護膜が形成される。
【0003】
トレンチ形成時に、トレンチマスクの開口率が大きいと、エッチングされる領域が広くなるので、より多くのSiがSi基板11から除去される。そのため、Siの浮遊量が多くなり、Si酸化物14の析出量が増える。一方、トレンチマスクの開口率が小さい場合には、Siの浮遊量が少ない。そのため、図13にトレンチマスクの開口率に対するマスク酸化膜の残厚の関係を示すように、マスク酸化膜12の厚さが薄くなる。
【0004】
また、トレンチ底面に形成される保護膜が少ないため、図14にトレンチマスクの開口率に対するトレンチ深さの関係を示すように、トレンチが深くなってしまう。このように、トレンチの形状はトレンチマスクの開口率に大きく依存するが、トレンチマスクの開口率はデバイスごとに異なっているため、従来は、所望のトレンチ形状が得られるように、個々のデバイスごとにチャンバー内圧力やエッチングガス流量や温度などのエッチング条件を開発している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したように、デバイスごとにエッチング条件を開発していたのでは、デバイスの開発スピードが遅くなるという問題点がある。また、同一のウエハであっても、ウエハの中心部と端部とではトレンチマスクの開口率が局部的に異なるため、トレンチ形状が異なるという問題点もある。
【0006】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであって、デバイスの開発スピードを速めることができるとともに、ウエハ面内におけるトレンチ形状の均一性を高めることができるトレンチ形成方法を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明は、半導体ウエハの周辺近傍に半導体ウエハと同じ材料でできた物体を配置し、半導体ウエハをドライエッチングする際に、この物体に対してもドライエッチングをおこなうか、または半導体ウエハの周縁にデバイスパターン非形成領域を設け、半導体ウエハのデバイスパターン形成領域とともにこのデバイスパターン非形成領域に対してもドライエッチングをおこない、それによって、半導体ウエハの周辺近傍に、トレンチの保護膜を形成するのに必要な物質をより多く供給するものである。この発明によれば、半導体ウエハの周辺近傍に、トレンチの保護膜を形成するのに必要な物質がより多く供給される。
【0008】
また、上記目的を達成するため、本発明は、半導体ウエハの周辺近傍に半導体ウエハの構成元素を含むガスを供給しながらドライエッチングをおこない、それによって、半導体ウエハの周辺近傍に、トレンチの保護膜を形成するのに必要な物質をより多く供給するものである。この発明によれば、半導体ウエハの周辺近傍に、トレンチの保護膜を形成するのに必要な物質がより多く供給される。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。
実施の形態1.
図1および図2は、それぞれ本発明の実施の形態1にかかるトレンチ形成方法によりトレンチを形成する際のウエハ配置の一例を示す平面図および側面図である。実施の形態1では、RIEなどに使用されるドライエッチング装置の陰極31上に、半導体ウエハと同じ材料で構成された物体としてダミーウエハ22が載置され、その上に所望のトレンチパターンを有するSiウエハ21が載置される。
【0010】
ダミーウエハ22はSiでできており、Siウエハ21よりも径が大きい。そして、ダミーウエハ22がSiウエハ21を囲むように、すなわちダミーウエハ22の周縁が露出するように、特に限定しないが、たとえばSiウエハ21はダミーウエハ22の中央に配置される。ダミーウエハ22の露出部分の面積は、Siウエハ21のトレンチマスクの開口率に応じて適宜選択される。ダミーウエハ22の露出部分の面積を変えるには、たとえばSiウエハ21の大きさに対するダミーウエハ22の大きさを変えてもよいし、酸化膜や窒化膜やレジスト膜等のマスクでダミーウエハ22の周縁部分の覆ってもよい。このようにダミーウエハ22およびSiウエハ21を配置した状態で、チャンバー内にエッチングガスおよび保護膜形成用のO2系ガスを供給し、エッチングをおこなう。
【0011】
エッチングが開始されると、Siウエハ21のトレンチマスクの開口部(図示省略)およびダミーウエハ22の露出部分からSiが除去される。除去されたSiはSiウエハ21に供給され、O2系ガスと反応し、それによって保護膜が形成される。その際、ダミーウエハ22の露出部分からもSiが供給されるので、十分な量のSiがSiウエハ21に供給される。したがって、トレンチマスクの開口率が小さくても、トレンチ内の保護膜が十分に形成される。また、ダミーウエハ22の露出部分からウエハ端部付近に十分な量のSiが供給されるので、ウエハ端部におけるトレンチマスクの開口率がウエハ中央部に比べて小さくても、ウエハ端部付近に形成されるトレンチ内の保護膜が十分に形成される。
【0012】
実施の形態1によれば、トレンチマスクの開口率が小さいデバイスのトレンチを形成する場合には、ダミーウエハ22の露出部分を多くし、またトレンチマスクの開口率が大きいデバイスのトレンチを形成する場合には、ダミーウエハ22の露出部分を少なくすることによって、共通のエッチング条件で同じようにトレンチを形成することができる。したがって、デバイスごとにエッチング条件を開発する必要がないので、デバイスの開発スピードが速くなるという効果が得られる。また、実施の形態1によれば、ウエハ端部付近に形成されるトレンチ内の保護膜が、ウエハ中央部に形成されるトレンチ内の保護膜と同じように形成されるので、ウエハ面内におけるトレンチ形状の均一性が高くなるという効果が得られる。
【0013】
上述した効果を検証するため、本発明者は、ダミーウエハ22として8インチ径のSiウエハを用いて、6インチ径のSiウエハ21にトレンチを形成する実験をおこなった。その結果を、図3および図4に示す。図3は、トレンチマスクの開口率に対するマスク酸化膜の残厚の関係を示す図であり、図4は、トレンチマスクの開口率に対するトレンチ深さの関係を示す図である。比較のため、図3および図4には、ダミーウエハ22を用いないで6インチ径のSiウエハにトレンチを形成した結果も従来例として示す。
【0014】
図3より、従来例ではトレンチマスクの開口率の減少とともにマスク酸化膜の残厚が減少しているのに対して、実施例ではマスク酸化膜の残厚はトレンチマスクの開口率にほとんど依存していないことがわかる。また、図4より、従来例ではトレンチマスクの開口率の減少とともにトレンチ深さが増大しているのに対して、実施例ではトレンチ深さはトレンチマスクの開口率にほとんど依存していないことがわかる。また、実施例のウエハ面内におけるトレンチ深さのばらつきは従来例の1割以下であった。
【0015】
なお、実施の形態1において、ダミーウエハ22を用いる代わりに、図5および図6にそれぞれ平面図および側面図を示すように、陰極31上に所望のトレンチパターンを有するSiウエハ21が載置され、その上に、半導体ウエハと同じ材料で構成された物体として、Siウエハ21のデバイスパターン形成領域を開口させた環状のカバー23が被せられる構成としてもよい。この場合も、図3および図4に示すのと同様の効果が得られる。カバー23は、Siを含む材料でできているが、強度を高めるために他の物質が混入していてもよい。また、カバー23の面積は、Siウエハ21のトレンチマスクの開口率に応じて適宜選択される。カバー23の露出部分の面積を変えるには、たとえばSiウエハの大きさに対するカバー23の大きさを変えてもよいし、酸化膜や窒化膜やレジスト膜等のマスクでカバー23の一部を覆ってもよい。
【0016】
また、ダミーウエハ22やカバー23を用いる代わりに、図7および図8にそれぞれ平面図および側面図を示すように、陰極31上に、デバイスパターン形成領域26を囲むようにウエハ25の周縁に沿ってデバイスパターン非形成領域27が設けられたSiウエハ25が載置され、デバイスパターン非形成領域27のSi表面が露出する構成としてもよい。
【0017】
形成方法としては、ウエハ中央部のみにデバイスパターンを形成し、マスク酸化膜エッチングをおこなった後に、中央部をレジストで保護して外周部のマスク酸化膜を除去することによって、ウエハ外周部にSi露出部を形成する。
【0018】
この場合も、図3および図4に示すのと同様の効果が得られる。また、この場合には、ダミーウエハ22やカバー23が不要であるため、作製するデバイスに合わせてこれらを取り替える手間が省けるという効果がある。デバイスパターン非形成領域27の面積は、デバイスパターン形成領域26のトレンチマスクの開口率に応じて適宜選択される。デバイスパターン非形成領域27の露出部分の面積を変えるには、酸化膜や窒化膜やレジスト膜等のマスクでデバイスパターン非形成領域27の一部を覆ってもよい。
【0019】
実施の形態2.
図9は、本発明の実施の形態2にかかるトレンチ形成方法を実施するための装置構成の一例を示す図である。図9に示すように、RIEなどに使用されるドライエッチング装置4は、チャンバー41内の陰極42上に載置されたSiウエハ5の周辺近傍にSi含有ガスを噴出させるためのガス注入口43を備えている。ガス注入口43は複数個設定する方がより良く、ウエハ周辺にできる限り均一にガスが注入されることが必要である。
【0020】
Si含有ガスとしては、たとえばSiH4、SiH2Cl2またはTEOS(Si(OC2H5)4)などである。Si含有ガスの供給量は、Siウエハ5のトレンチマスクの開口率に応じて適宜選択される。このようにしてトレンチを形成しても、Siウエハ5の周辺近傍にSiが供給されるので、図3および図4に示すのと同様の効果が得られる。
【0021】
その他の構成は一般的なドライエッチング装置と同じである。すなわち、エッチングガスであるHBrガス、フッ素系ガス(CF4、NF3、SF6、CHF3等)および保護膜形成用のO2系ガス(O2、He−O2等)は別のガス注入口44よりチャンバー41内に導入される。チャンバー41内のガスは排気口45より排気される。図9において、符号46は陽極であり、符号47は高周波電源である。
【0022】
実施の形態2によれば、トレンチマスクの開口率が小さいデバイスのトレンチを形成する場合には、Si含有ガスの供給量を多くし、またトレンチマスクの開口率が大きいデバイスのトレンチを形成する場合には、Si含有ガスの供給量を少なくすることによって、共通のエッチング条件で同じようにトレンチを形成することができる。したがって、デバイスごとにエッチング条件を開発する必要がないので、デバイスの開発スピードが速くなるという効果が得られる。また、実施の形態2によれば、ウエハ端部付近に形成されるトレンチ内の保護膜が、ウエハ中央部に形成されるトレンチ内の保護膜と同じように形成されるので、ウエハ面内におけるトレンチ形状の均一性が高くなるという効果が得られる。
【0023】
なお、実施の形態2において、HBrガス、フッ素系ガス(CF4、NF3、SF6、CHF3等)および保護膜形成用のO2系ガス(O2、He−O2等)に代えて、図10に示すように、エッチングガスを注入するためのガス注入口44より、Cl系ガス(Cl2、CHCl3等)、N2ガスおよびO2ガスを注入する構成としてもよい。この場合も、図3および図4に示すのと同様の効果が得られる。また、エッチングガスとして、上述したHBr系ガスやCl系ガス以外のハロゲン系ガスを用いても同様の効果が得られる。また、必要に応じて少量の希ガス等を添加してもよい。
【0024】
以上において本発明は、RIE装置以外のドライエッチング装置にも適用可能である。実施例には、平行平板型高周波放電RIE装置を例に挙げたが、有磁界RIE、DPS(非結合型プラズマソース)−RIE等にも適用可能である。また、本発明は、Si半導体ウエハ以外のたとえばSiCなどの化合物半導体よりなるウエハやその他の半導体ウエハにも適用可能である。ただし、その場合には、ダミーウエハ22やカバー23を半導体ウエハの材料に用いられている物質で構成したり、Si含有ガスの代わりに、半導体ウエハの材料に用いられている物質を含むガスを用いる必要がある。また、トレンチマスクとしては、酸化膜以外にも窒化膜やレジスト膜などを用いることができる。
【0025】
さらに、図7に示すもの以外の実施の形態では、図7のように、ウエハ内にデバイスパターン非形成領域27を設ける必要がないため、ウエハ全面をデバイスパターン形成領域として用いることができ、1枚のウエハから製造できるチップ数を増すことができる。
【0026】
【発明の効果】
本発明によれば、ドライエッチングをおこなう際に、半導体ウエハの周辺近傍に、トレンチの保護膜を形成するのに必要な物質がより多く供給されるので、ウエハ端部付近に形成されるトレンチに対しても十分な厚さの保護膜が形成される。したがって、ウエハ面内におけるトレンチ形状の均一性が高くなるという効果が得られる。また、半導体ウエハの周辺近傍への、トレンチの保護膜を形成するのに必要な物質の供給量を調節するだけで、トレンチの保護膜を形成するのに必要な物質がトレンチマスクの開口率に見合う量で供給される。したがって、デバイスごとにチャンバー内圧力やエッチングガス流量や温度などのエッチング条件を開発する必要がないので、デバイスの開発スピードが速くなるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1にかかるトレンチ形成方法によりトレンチを形成する際のウエハ配置の一例を示す平面図である。
【図2】本発明の実施の形態1にかかるトレンチ形成方法によりトレンチを形成する際のウエハ配置の一例を示す側面図である。
【図3】本発明の実施の形態1にかかるトレンチ形成方法によりトレンチを形成した後のトレンチマスクの開口率に対するマスク酸化膜の残厚の関係を示す図である。
【図4】本発明の実施の形態1にかかるトレンチ形成方法によりトレンチを形成した後のトレンチマスクの開口率に対するトレンチ深さの関係を示す図である。
【図5】本発明の実施の形態1にかかるトレンチ形成方法によりトレンチを形成する際のウエハ配置の他の例を示す平面図である。
【図6】本発明の実施の形態1にかかるトレンチ形成方法によりトレンチを形成する際のウエハ配置の他の例を示す側面図である。
【図7】本発明の実施の形態1にかかるトレンチ形成方法によりトレンチを形成する際のウエハ配置のさらに他の例を示す平面図である。
【図8】本発明の実施の形態1にかかるトレンチ形成方法によりトレンチを形成する際のウエハ配置のさらに他の例を示す側面図である。
【図9】本発明の実施の形態2にかかるトレンチ形成方法を実施するための装置構成の一例を示す図である。
【図10】本発明の実施の形態2においてエッチングガスが異なる例を示す図である。
【図11】ドライエッチングによるトレンチ形成のメカニズムを説明するための図である。
【図12】トレンチ形成後の状態を示す断面図である。
【図13】従来のトレンチ形成方法によるトレンチマスクの開口率に対するマスク酸化膜の残厚の関係を示す図である。
【図14】従来のトレンチ形成方法によるトレンチマスクの開口率に対するトレンチ深さの関係を示す図である。
【符号の説明】
5,21,25 半導体ウエハ(Siウエハ)
22 半導体ウエハと同じ材料で構成された物体(ダミーウエハ)
23 半導体ウエハと同じ材料で構成された物体(カバー)
26 デバイスパターン形成領域
27 デバイスパターン非形成領域
Claims (1)
- 半導体ウエハの周辺近傍に、前記半導体ウエハの構成元素の単体、または前記半導体ウエハの構成元素を含む化合物を供給しながら、前記半導体ウエハをドライエッチングして、前記半導体ウエハにトレンチを形成するに際し、
前記半導体ウエハの周縁にデバイスパターン非形成領域を設け、該デバイスパターン非形成領域を露出させた状態で、前記半導体ウエハのデバイスパターン形成領域のドライエッチングと同時に前記デバイスパターン非形成領域をドライエッチングして、前記半導体ウエハの構成元素の単体、または前記半導体ウエハの構成元素を含む化合物を供給することを特徴とするトレンチ形成方法。
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