JP4044181B2 - フーリエ変換分光用の三重変調実験 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般的には信号処理に関し、特にフーリエ変換分光計から復元された信号を処理するためのデジタル信号処理技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
フーリエ変換赤外線(FTIR)分光は、サンプル材料中の無機または有機化合物の特質を明らかにするか同定するために使用される技術である。この技術は、参照のために本明細書に組み込まれている「複数の変調を使用したFTIR分光計の改良されたデジタル信号処理技術」なる名称の米国特許出願第08/584,217号に記載されたタイプのフーリエ変換分光計を使用するものである。
典型的な実験において、試験されるサンプル材料は干渉計の出力部と検出器との間に配置される。干渉計は広帯域のIRビームの各周波数成分を変調する。変調された広帯域IRビームはサンプルに焦点を合わせられて照射される。変調されたIRビームの周波数成分は、サンプルに含まれる分子に特徴的な態様でサンプルと反応する。検出器で受けられた信号には、IRビームのすべての周波数成分がサンプルによって変化されて重畳されている。従って、検出器信号のスペクトルが、サンプルの構成を同定する「フィンガープリント(指紋)」を提供する。
【0003】
透過分光実験において、例えば、サンプルは赤外ビームが貫通して検出器に至るようなものである。変調されたIRビームのある周波数成分は、サンプル中の個々の分子に対応する方法でサンプルによって吸収される。検出器で測定された干渉像のスペクトルは、周波数の関数として透過率(吸収率)を示すことによってサンプルの分子構造を同定する。
【0004】
FTIR透過分光のほかに、上述したタイプのフーリエ変換分光計を使用する他の分光計技術がある。例えば、フーリエ変換分光計は、とりわけ光音響吸収分光や反射吸収分光を実施するためにも使用される。使用される特定のFTIR分光技術は、サンプルの性質とか、必要とされる情報あるいはサンプルを準備し、試験を行うのにかけることのできる時間に依存する。
【0005】
FTIR分光のある用途においては、使用されるサンプルの励起によって生成されるスペクトルの変化を測定することが望ましい。このような用途で一般的な例には、ポリマーフィルムのダイナミック・赤外線リニヤジコリズム(DIRLD)分光測定、液晶の配向に対する電界の影響調査及び電気化学的に変調されるFT−IR分光測定などがあるが、それには制限されない。使用されるサンプル励起の特定のタイプは、試験中のサンプルにスペクトルのダイナミックな変化を生じさせるのに適当な種々のタイプの内の1つである。公知のサンプル変調の技術の例には、機械的なひずみを加えるもの、電界を加えるものまたは電気化学的な励起を加えるものがあるが、それには制限されない。使用される特定のFTIR変調技術は、サンプルの性質および必要とされる特定の情報に依存する。通常、適用されるサンプルの変調は正弦波信号によって行われるが、他のさらに複雑な信号(周期的にせよ非周期的にせよ)をも適切に使用することができる。
【0006】
図1は、適用されたサンプル変調信号に対するサンプルのダイナミックな応答を測定するように構成された従来のステップ走査干渉計のブロック図である。分光計10は、干渉計12と、サンプル18の分光測定を行うために使用される赤外線検出器22とを有する。干渉計12は、ビームスプリッタ(図示せず)と、固定ミラー(図示せず)と、可動ミラー(図示せず)とを有する。ステップ走査モードにおいて、可動ミラーが1つの「ステップ場所」から次の「ステップ場所」に移動して停止し、この時点で強度測定を行う。このシーケンスは、所望の干渉が得られるまで繰り返される。干渉計12は、典型的にはマイケルソンの干渉計であるが、他のタイプの干渉計も適当に使用することができる。
【0007】
干渉計12で広帯域の赤外線ビームが位相変調の技術によって変調され、第1変調信号である位相変調信号が、各所望の遅れで光路長をディザ化(dither) させるために固定または可動ミラーに適用される。通常、これは、対象となるスペクトル範囲の最も短い波長の±90°の位相シフトに対応する量(103°が最適)である。
【0008】
次に位相変調ビームはサンプル18を通過する。第2の変調信号であるサンプル変調信号によるサンプルの励起はサンプル18に適用され、サンプルに対するサンプル励起の効果を測定する。検出器22の出力は、位相変調およびサンプル変調によって変調された電流ステップで干渉信号を提供する。各ステップの場所において、検出器の出力が、一定の時間間隔でサンプリングされる。デジタル化されたデータは、ロックイン増幅器(LIA)24及びLIA26によって復調され、すべてのステップ場所で計算された値と組み合わされると所望の干渉像を形成する値を生成する。
【0009】
信号発生器14はステップ信号ωs tを供給し、この信号は、可動ミラー(図示せず)の制御電子装置に加えられ、ミラーを1つの光学的な遅延から他の光学的な遅延に所望のステップ周波数で進めさせる。信号発生器16は位相変調信号ωφを供給し、この信号は、固定または可動ミラーのいずれかに供給され、遅延場所の周りでディザさせる。
【0010】
信号発生器20はサンプルの変調信号ωs を供給し、この信号は、サンプル18のサンプル励起を行う。使用する特定のタイプのサンプル励起は、サンプルの性質及び所望の情報のタイプに依存する。
【0011】
LIA24は、赤外線検出器20の出力を位相変調周波数fψで同期的に変調し、与えられた遅延で第1の干渉値と、サンプル変調による情報を含む信号を提供する。サンプルの変調周波数fs に同調された第2のLIA26はLIA24の出力を復調し、与えられた遅延で第2の干渉値を提供する。この第2の干渉像はサンプル励起に対するサンプルの応答である。
【0012】
各干渉計のステップに対して、アナログデジタル(A/D)変換器28は、復調された信号値をサンプル化し、 デジタル化する。干渉計コンピュータ30は、デジタル化された信号の高速フーリエ変換(FFT)を計算して所望のスペクトルを生成する。典型的には、干渉計コンピュータ30は、一般的な目的で使用されるデジタルコンピュータであるが、デジタルデータ処理を行う他の装置を適当に使用することもできる。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
上述したLIAの各々は出力時定数τが特徴である。可動ミラーが1つのステップから他のステップに移動するときに導入される過渡信号を弁別するために、A/Dコンバータ28によるサンプリングは、測定前に多くの時定数(例えば、10τほどの)だけ遅延しなければならない。その結果、上述したLIAとの干渉を測定するために必要な時間は往々にして非常に長いものになる。
【0014】
【課題を解決するための手段】
本発明は、従来技術の欠点を克服するステップ走査型のフーリエ変換干渉計における複数の変調に対するサンプルの応答を測定する方法及び装置を提供する。
本発明の1つの側面によれば、従来のLIAが1つのデジタル信号処理器(DSP)によって置換された複数の変調器へのサンプルの応答を測定するフーリエ変換干渉器を提供する。次に説明するように、DSPの使用により、LIAを使用する従来技術の装置にまさって、(1)測定に利用できる時間を100%活用して最大のSN比を得るようにLIAの時定数に帰因する測定遅延を避けること、(2)試験用の最適なパラメータを提供するためにソフトウエアをつくることができるという事実によって設定が容易なことを含むが、それには制限されない多数の利点及び効果が得られる。
【0015】
本発明の他の側面によれば、DSPの独特の特徴を利用する複数変調に対するサンプルの応答を測定する方法を提供する。特に、DSPの固有の速度を活用して実際の測定値を得る前にBTIR干渉計を較正する方法を提供する。これにより、複数の変調に対するサンプルの応答を測定する際にFTIR干渉計の性能が改良される。さらに詳細には、(1)位相変調遅延及びサンプル変調遅延を測定する段階と、(2)位相変調遅延を用いてサンプルの静的応答を表す較正スペクトルを計算する段階と、(3)位相変調遅延及びサンプル変調遅延の双方を用いてサンプルの動的応答を表す較正スペクトルを計算する段階とを有する複数の変調に対するサンプルの応答を測定する方法を提供する。
【0016】
本発明のこれら及び他の範囲は、明細書及び添付図面の他の部分を参照することによって当業者によって理解されるであろう。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳細に説明する。
【0018】
図2は、従来の構成の2つのLIAが1つのデジタル信号処理器(DSP)36によって置換されたステップ走査型フーリエ変換分光計32のブロック図である。分光計32は、サンプル18の分光測定を行う干渉計12及び赤外線検出器22を有する。
【0019】
干渉計12は、ビームスプリッタ(図示せず)と、固定ミラー(図示せず)と、可動ミラー(図示せず)とを有する。ステップ走査モードにおいて、可動ミラーは、1つの「ステップ場所」から次のステップ場所に移動して停止し、その時点で強度測定が行われる。このシーケンスは、所望の干渉像が得られるまで各ステップ場所に関して繰り返される。干渉計12は、典型的にはマイケルソン干渉計であるが、他のタイプの干渉計も適当に使用することができる。
【0020】
干渉計12に入力される広帯域の赤外ビームの変調は、典型的には位相変調によるが、(例えば、機械的なチョッパを使用することによって)振幅変調のような他の変調方法をも使用することができる。位相変調は、第1の変調信号がある位相変調信号を固定または移動ミラーのいずれかに与えて各所望の遅延で光路長をディザする。これは、典型的には、対象とするスペクトル範囲の中で最も短い波長の位相シフトの±90°に対応する量である(103°が最適である)。位相変調信号は、典型的には正弦波であるが、他のさらに複雑な信号(周期的でも非周期的でも)適当に使用することができる。
【0021】
変調信号はサンプル18を通過する。サンプルの励起によって生じるサンプルのスペクトルの影響を測定するために、第2の変調信号であるサンプル変調信号によって行われるサンプルの励起がサンプル18に加えられる。検出器22の出力は、変調されたサンプル18によって変形された広帯域の赤外ビームの各変調成分の強度の重なりを表す。各ステップ場所に対して、検出器の出力が一定の時間間隔でサンプリングされる。デジタル化されたデータは1つまたはそれ以上のフーリエ変換を受け、すべてのステップ場所に関して計算された値と組み合わせられたときに1つまたはそれ以上の所望の干渉像を形成する値が得られる。
【0022】
信号発生器14はステップ信号ωstを供給し、この信号は可動ミラー(図示せず)の制御電子装置に送られ、ミラーを1つの光学遅延から他の光学遅延のステップに所望のステップ周波数で「進める」。信号発生器16は位相変調信号cos(ωAt)を供給し、この信号は固定または可動ミラーのいずれかに供給され、そのミラーを遅延場所の周りでディザ(dither)するようにする。
【0023】
信号発生器20はサンプル変調信号cos(ωSt)を供給し、この信号はサンプル18に加えられるサンプル励起を行う。使用されるサンプル励起の特定のタイプは、サンプルの性質及び所望の情報のタイプに依存する。例えば、サンプルの励起は、加えられた機械的なひずみ、加えられた電界、電気化学的な励起の形である。各場合において、サンプル励起の目的は、サンプルスペクトルへのサンプルの励起の影響を測定することである。
【0024】
信号発生器34はサンプリング信号ωSaをA/Dコンバータ28に送り、このコンバータ28は、十分な高速(例えば、信号に対するナイキスト速度以上の)で赤外線検出器22の出力をサンプリングする。デジタル信号処理器(DSP)36は、位相変調周波数及びサンプル変調周波数で赤外線検出器22の出力を同期的に復調し、サンプル励起によって影響された所定のステップ場所の干渉像の値に対応する信号を提供する。分光計コンピュータ30は、デジタル信号の高速フーリエ変換を計算して所望のスペクトルを得る。通常、分光計コンピュータ30は、DSKタスクを実行する通常目的のデジタルコンピュータであるが、デジタルデータの処理を行う他の装置も適当に使用することができる。
【0025】
図3は、本発明によるサンプルの静的及び動的応答の所定のステップ場所で干渉像の値を計算するデジタル信号処理方法のシステム図である。説明を簡単にするために、ステップ過渡現象(すなわち、ミラーが一方の遅延から他方の遅延に移動したときに発生する過渡信号)の影響を補正せず、次のように説明する。しかしながら、この測定に関するステップ過渡現象の影響を補償するデジタル信号処理技術は、複数の変調を使用したFT−IR分光計の改良されたデジタル信号処理技術に関する米国特許出願第08/584,217号に説明されていることに留意すべきである。
【0026】
図3を参照すると、I(k)は、位相変調周波数ωA を特徴とする位相変調に対するサンプル応答から生じるステップkでの干渉像の値である。ここでkは、可動ミラーの所定のステップ場所のステップインデックスである。透過実験において、例えば、すべてのkにわたるI(k)は、サンプルの静止吸収率に対応する干渉像である。
【0027】
I(k)を計算するために、ステップkにおけるデジタル検出器信号は、スペクトルドメインのサイドローブの振幅を最小限にするためにアポダイズ(apodize) される。図面において、s(k,n)は、ステップkでのデジタル検出信号のn番目のサンプルを定義している。適当なアポダイゼーション機能は、n=0で単一性を有し、サンプルインデックスが増大するにつれて減少する任意の機能である。アポダイズされた検出信号、∧s(k,n),は,角度θA0偏心した位相変調信号に対応した第1の搬送信号cos(ωAn−θA0)、位相変調信号cos(ωAt)に関するデジタル検出器信号の遅延(以降位相変調信号の遅延と称する)にそれをかけることによって、位相変調周波数で復調される。最後に、積分器38は、ディスクリートフーリエ変換(DFT)の評価を完了してステップkで干渉像I(k)の所望の値を得る。
【0028】
IDI (k)及びIDQ (k)は、サンプル変調周波数ωS を特徴とするサンプル励起に対するサンプルの同相及び直角応答から生じる干渉像である。透過実験において、例えば、これらの干渉像は、サンプルの動的吸収性の同相及び直角成分に対応する。各ステップインデックス、kのIDQ (k)に対するIDI (k)は、サンプル変調周波数ωS を有する適用サンプル励起と、サンプルの励起に対するサンプルの応答との間の遅延を反映する。
【0029】
IDI (k)は、第1の搬送信号cos(ωAn−θA0)とアポダイズ信号と、サンプル変調信号cos(ωSt)に関して同相であり、サンプル変調信号(以降サンプル変調信号の遅延と称する)に対するデジタイズ検出信号の遅延、角度θSOだけ変位した信号を表す第2の搬送信号cos(ωSn−θS0)をかけることによって得られる。積分器40は、DFTの評価を完了してステップkで所望の干渉像IDI (k)の値を生成する。I(D)Q (k)は、第1の搬送信号cos(ωAn−θA0)とアポダイズ信号と、サンプル変調信号cos(ωSt)に関して直角であり、角度θSO変位した信号を表す第3の搬送信号sin(ωS −θS0)をかけることによって得られる。積分器42は、DFTの評価を完了してステップkで所望の干渉像IDI (k)の値を生成する。
【0030】
位相変調信号の遅延θA0は、干渉計12、信号発生器14及び検出器電子装置22の時間遅延によって導入される。同様に、サンプル変調信号の遅延θSOは、サンプル変調器(図示せず)、信号発生器20及び検出器電子装置22の時間遅延によって主に導入される。いずれの値も知られていない。従って、本発明の目的は、複数の変調試験について干渉計を較正するために位相及びサンプルの回転に関してこれらの遅延を測定し、それらを限定する方法を提供することである。
【0031】
図4は、本発明による位相変調信号の遅延θA0を決定する方法のシステム図である。位相変調信号を測定するとき、干渉計32に使用されるサンプルは、対象となるスペクトル範囲上の位相変調信号をさらに生じないタイプである。本発明の好ましい実施例において、位相変調信号の遅延θA0の測定中に干渉計内にサンプルが導入されない。すなわち、サンプルは単にオープンIRビームである。
【0032】
デジタル化された検出信号x(k,n)は、n=0で単一体に近い適当なアポダイゼーションによってアポダイズされる。本発明の好ましい実施例において、使用されるアポダイゼーション関数は次の通りである。
ステップインデックスkは0からMステップの範囲である。ここでMは、2つの基数に等しいステップの数をつくる整数である。2つの基数は結果として生じる干渉像のスペクトルを計算するためにFFTの使用を容易にするために必要とされる。好ましい実施例において、干渉計の較正段階の時間を最小限にするためにMは127または255であるが、他の整数も使用できる。測定数nは、ステップ毎に0乃至N1 の範囲であるが、ここでN1 は整数である。アポダイゼーションブレーキポイントN2 も整数である。前述した内容は例示である。本発明から逸脱することなく、他のアポダイゼーション関数と置換できることを理解すべきである。
【0033】
好ましい実施例において、N1 及びN2 の値は、アポダイゼーション関数に対応する周波数応答がサンプル変調周波数の倍数でゼロを有し、これらの周波数の望ましくない復調成分を有効に減衰するように選択される。同時に図3の積分器38,40及び42及び図4及び図5のそれらのカウンタパートが高い周波数で望ましくないすべての周波数成分を有効に減衰するように十分に大きい。好ましい実施例によるN1 及びN2 の値の典型的な組は、次の表に上げられる。
【0034】
図4を再び参照すると、2つの干渉像が次のようなアポダイズ信号のDFTを計算することによって計算される。
【0035】
XC (k)=ΣΛx(k,n)cos(ωAn)
XS (k)=ΣΛx(k,n)sin(ωAn)
コサイン干渉像Xc(k)及びサイン干渉像Xs(k)は、0とMとの間のすべてのkに関して評価される。ここで合計は0とN1 との間のすべてのnである。これらの干渉像は、装置のスペクトルの応答の同相及び直角成分に対応し、位相変調周波数ですべての装置の遅延を含む。これらの干渉像に関すれば、次のパラグラフで述べた2つのステップの決定処理によって位相変調信号の遅延θA0の量を定める。第1に、測定された干渉像の最大限の値の量を定め、干渉像Xc及びXsが広いスペクトルに対応するとき正当であると仮定する。最大限の値に対応するインデックスが識別される。第2に、Xc及びXsの線形直角変換の角度を見いだすことによって(すなわち、Xc及びXsの座標系を回転させることによって)、QAXに対応するスペクトル(すなわち、直角成分)がゼロ領域を有するように、干渉像IAX及びQAXを提供する。第1のステップを行わないで第2のステップを実行することによって、静止位相の点の場所に関する不確実性によってエラーを生じる。次に、本発明による2つのステップを実行する方法を説明する。
【0036】
干渉像の最大限の値が静止位相の点に近いとき、kmaxの干渉像XC 及びXS の値は、それらの対応するスペクトルの下の領域にほぼ等しい。例えば、kmaxのXS の値は、そこから引き出される直角スペクトルの下の領域にほぼ等しい。位相変調信号の遅延のない理想的な干渉計において、Xcは、kmaxで最大限であり、Xsは、kmaxでゼロである。この事実を認識することによって、kmaxで測定されたXC 及びXS の線形直角変換(すなわち、座標系の回転)がゼロである(すなわち、直角スペクトルの下でほぼゼロ領域に対応する)回転サイン成分と、ゼロより大きい回転コサイン成分とを提供する角度θA0を見いだすことによって位相変調信号の遅延θA0の第1の近似値を引き出す。
【0037】
さらに詳細には、あるインデックスkcmでで干渉計Xcが最大限であり、干渉計Xs(k)が、あるインデックスksmで最大限になる。これらの値は、それぞれXc(kcm)及びXs(ksm)と指定される。Xc(kcm)は、Xs(ksm)以上である。次の角度θA を求める。
【0038】
SX(k)atkcm=−Xc(kcm)sinθA +Xs(kcm)cosθA がゼロに等しく、
CX(k)atkcm=−Xc(kcm)cosθA +Xs(kcm)sinθA がゼロより大きい。
【0039】
SX(kcm)=0を満足する2つの角度があるが、これらの角度の内一方のみが不等式CX(kcm)>0を満たす角度である。
【0040】
他方、Xc(kcm)がXs(ksm)未満であるとき、次の角度θA を見いだす。
【0041】
ここでSX(k)atkcm=−Xc(kcm)sinθA +Xs(kcm)cosθA がゼロに等しく、
CX(k)atkcm=−Xc(kcm)cosθA +Xs(kcm)sinθA がゼロより大きい。
【0042】
位相変調信号の遅延の第1の近似値を計算した後、次のような0とMとの間のすべてのkについて回転干渉計CX(k)及びSX(k)を計算する。
【0043】
CX(k)=Xc(k)cosθA +Xs(k)sinθA
SX(k)=−Xc(k)sinθA +Xs(k)cosθA
CX(k)のスペクトルは、位相補正スペクトルCX(ν)を得るために従来の方法によって得られる。SX(k),SX(ν)のスペクトルは、CXについて計算されたセンターバースト場所及び位相スペクトルを使用して同様に得られる。メルツ方法の詳細はよく知られており、従って、ここでは説明しない。メルト法の詳細に関しては、参考としてここに組み込まれているGRIFFITH&deHASETHのフーリエ変換赤外線分光計と題されたp109−115(1986)を参照。次に、2つのスペクトルの下の領域は次のように計算される。
ACX=ΣCX(ν)及びASX=ΣSX(ν) ここでν1≦ν≦ν2
ここでν1≦ν≦ν2は、スペクトルの大部分のエネルギーを含む間隔を定義する。例えば、Mid−IRレンジにおいて、ν1=700/cm及びν2=4000/cmである。ACX及びASXの線形変換がゼロ(すなわち、直角スペクトルの下でほぼゼロ領域に対応する)である回転直角成分と、ゼロより大きい回転同相成分とを提供する角度を求めることによって位相変調信号の第2の近似値を引き出す。すなわち、次の角度θA1を求める。
【0044】
QAX=−ACXsinθA1+ASXcosθA1はゼロに等しく、
IAX=ACXcosθA1+ASXcosθA1はゼロ以上である。
【0045】
位相変調信号の遅延θA0は、次のような上述したように計算された2つの角度の合計である。
【0046】
θA0=θA +θA1
図5は、本発明によるサンプル変調信号の遅延を決定する方法の装置ブロック図である。サンプル変調信号の遅延を測定するときに、分光計32に使用されるサンプルは、サンプル変調信号によって変調されたとき対象のスペクトル範囲にわたって、ゼロまたは公知のサンプル変調信号の遅延を生じる任意のタイプである。本発明の好ましい実施例において、使用されるサンプルは、機械的なフィルムストレッチャの1つのジョーによって駆動される中実のブレードである。好ましいサンプル構成は、サンプル変調信号の遅延を生じない。
【0047】
デジタル化された検出信号x(k,n)は、上述したようなアポダイゼーション関数によってアポダイズされる。2つの干渉像Yc(k)及びYs(k)は、次のようなアポダイズ信号のDFTを評価することによって計算される。
【0048】
Yc(k)=ΣΛx(k,n)cos(ωAn−θA )cos(ωSn)
Ys(k)=ΣΛx(k,n)sin(ωAn−θA )cos(ωSn)
コサイン干渉像,Yc(k)及びサイン干渉像Ys(k)は、0とMとの間のすべてのk,0とN1との間のすべてのnについて計算される。これらの干渉像は、位相変調信号及びサンプル変調信号に対する(サンプルによるゼロ遅延を仮定する)システムのスペクトル応答に対応する。それらは、位相変調周波数のサンプル変調サイドバンドでシステムの遅延のすべてを含む。
【0049】
上述した干渉像の場合、上述した2つの段階の決定手順によって、サンプル変調遅延θS0の量を定める。この方法の詳細は、次のパラグラフで説明する。角度θsを見つけだすことによってサンプル変調信号の遅延の第1の近似値を抽出し、kmaxで測定されたYc及びYsの線形直角変換(すなわち、座標系の回転)は、最大限ゼロである回転サイン成分(すなわち、スペクトルの直角成分の下の領域)と、最大限でゼロより大きい回転コサイン成分とを提供する。
【0050】
さらに詳細には、干渉像Yc(k)が、あるインデックス、kcmで最大限であり、干渉像Ys(k)が、あるインデックスで最大限になることを決定する。
これらの値は、Yc(kcm)及びYs(ksm)とそれぞれ指定される。Yc(kcm)は、Ys(ksm)以上であるとき、角度θsを求め、この場合、
SY(k)atkcm=−Yc(kcm)sinθS +Xs(kcm)cosθS がゼロに等しく、
CY(k)atkcm=Yc(kcm)cosθS +Ys(kcm)sinθS はゼロより大きい。
【0051】
他方、Yc(kcm)がYs(kcm)未満であるとき、角度θsを求め、この場合、
SY(k)atkcm=−Yc(ksm)sinθS +Ys(kcm)cosθS がゼロに等しく、
CY(k)atkcm=Yc(ksm)cosθS +Ys(ksm)sinθS はゼロより大きい。
【0052】
次に、次のように0とMとの間のすべてのkについて回転干渉像CY(k)及びSY(k)を得る。
【0053】
CY(k)=Yc(k)cosθS +Ys(k)sinθS
SY(k)=−Yc(k)sinθS +Ys(k)cosθS
CY(k)のスペクトルは、位相補正スペクトルCY(ν)を提供するために従来のメルツ法によって得られる。SY(k)およびSY(ν)のスペクトルは、CXについて計算されたセンターバースト場所及び位相スペクトルを使用して得られる。
【0054】
2つのスペクトルの下の領域は、次のように計算される。
【0055】
ACY=ΣCY(ν)及びASY=ΣSY(ν) ν1≦ν≦ν2
ここで、ν1及びν2は、スペクトルのエネルギーの大部分を含む間隔を定義する。
【0056】
ACY及びASYの線形変換が、ゼロである直角回転成分とゼロより大きい回転同相成分とを提供する角度を見いだすことによってサンプル変調信号の遅延、θS0の第2の近似値を求める。すなわち、角度θS1を求める。この場合、
QAY=−ACYsinθS1+ASYcosθS1
はゼロに等しい。及び
IAY=ACYcosθS1+ASYsinθS1
はゼロより大きい。サンプル変調信号の遅延θSOは、上で計算された2つの角度の合計である。
【0057】
θSO=θS +θS1
図3を参照すると、静止吸収率I(k)の干渉像及び動的吸収率の同相及び直角干渉像、IDI (k)及びIDQ (k)は、上述したように計算されたθA0及びθS0の値を使用することによって集められたサンプルデータs(k,n)について評価する。
【0058】
I(k)=Σs(k,n)cos(ωAn−θA0)
IDI (k)=Σs(k,n)cos(ωAn−θA0)cos(ωSn−θSO)
IDQ (k)=Σs(k,n)cos(ωAn−θA0)sin(ωSn−θSO)
ここで、干渉像が0とMステップとの間のすべてのkについて計算され、0とN1との間のnについて合計される。I(k)のスペクトルは、位相補正スペクトルSA(ν)を得る従来のメルツ方法によって得られる。IDI (k)及びIDQ (k)−−DAI (ν)及びDAQ (ν)−−は、それぞれ、I(k)について計算されたセンターバーストロケーション及び位相スペクトルを使用して得られる。ある場合において、メルツ位相補正を使用してIDI (k)のスペクトルを計算してIDQ (k)のスペクトルを計算するためにその位相を記憶することが望ましい。
【0059】
結論として、本発明によって、ステップ走査フーリエ変換分光計によって引き出されたスペクトルに関する複数の変調の影響を測定する改良された技術を提供することが分かる。
【0060】
上述した内容は好ましい実施例の完全な説明であるが、種々の変形例、他の構成及び等価物を使用することもできる。例えば、スペクトルの直角成分の下の領域がゼロになる角度を計算する代わりに、スペクトルの回転直角成分の二乗平均の平方根(RMS)の角度をみつけることによって得ることができる。従って、上述した説明は、請求の範囲によって定義された本発明の範囲を制限するものとして解釈すべきではない。
【図面の簡単な説明】
【図1】2つのロックイン増幅器(LIAs)を使用して適用されたサンプル変調信号に対するサンプルの動的な応答を測定するように構成された従来のステップ走査干渉計のブロック図である。
【図2】2つのLIAをデジタル信号プロセッサによって置換した3つの変調試験を行うように構成されたステップ走査フーリエ変換干渉計のブロック図である。
【図3】本発明によるサンプルの静的及び動的応答から生じる干渉計を得るためにデジタル信号処理方法のシステム図である。
【図4】本発明により位相変調信号θAOの遅延を決定する方法のシステム図である。
【図5】本発明により位相変調信号θSOの遅延を決定する方法のシステム図である。
【符号の説明】
12 干渉計
14,16,20 信号発生器
Claims (12)
- 干渉計と、検出器と、デジタル信号処理器(DSP)とを有するステップ走査フーリエ変換分光計を用いて、テスト用のサンプルに対して位相変調及びサンプル変調に対する応答を測定する際に分光計自体の誤差を較正することを含む測定方法であって、
前記分光計の測定において較正された測定値を得るために、前記DSPを使用して、前記分光計において前記位相変調及びサンプル変調に対する変調試験を行って位相変調及びサンプル変調の遅れを求め、この遅れを前記分光計を較正するための値とするステップと、
前記位相変調及びサンプル変調の遅れとして測定された較正のための値を使用してテスト用のサンプルに対して、位相変調とサンプル変調に対応するそれぞれの干渉像を、前記較正のための値を使って較正された干渉像として求めるステップと、
前記複数の変調に対するテスト用のサンプルの、誤差の較正された応答である前記較正された干渉像からスペクトルを計算するステップと、
を有する位相変調及びサンプル変調に対する分光計の応答を較正された結果として測定するための方法。 - 前記分光計を較正するための値を得るステップは、
前記DSPを使用して位相変調の回転角度、すなわち、位相変調の遅延を測定するステップと、
前記DSPを使用してサンプル変調の回転角度、すなわち、サンプル変調の遅延を測定するステップと、
を有する請求項1に記載の方法。 - 前記分光計を較正するための値を得るステップは、さらに、
過渡変調信号に反応するシステムの応答を測定するステップを有する請求項1に記載の方法。 - 前記複数の変調に対するテスト用のサンプルに対応する前記1つ又は複数の干渉像を求めるステップは、さらに、
前記位相変調による回転角度を使用して、前記較正された、非励起時の前記サンプルに対応する第1の干渉像を求めるステップと、
前記位相変調による回転角度と前記サンプル変調による回転角度を使用して、前記較正された、前記サンプル励起時のサンプルの同相成分に対応する第2の干渉像を求めるステップと、
前記位相変調による回転角度と前記サンプル変調による回転角度を使用して、前記較正された、前記サンプル励起時のサンプルの直交成分に対応する第3の干渉像を求めるステップとを、
含む請求項1に記載の方法。 - 前記テスト用のサンプルの複数の変調に対するスペクトルの応答を測定するための方法は、直接の光の照射による位相変調とサンプルに対するサンプル変調を含み、さらに、
前記DSPを用いてフーリエ変換分光計に対する位相変調信号の遅延を測定するステップと、
前記DSPを用いてフーリエ変換分光計に対するサンプル変調信号の遅延を測定するステップと、を有し、
それによって、1つ又は複数の干渉像を得て、前記分光計の較正するための値を利用するステップが、
位相変調に対するテスト中のサンプルの応答を表し、前記位相変調信号の遅延に対して補正されている第1の干渉像I(k)を求めるステップと、
テスト中のサンプルの、位相変調及びサンプル変調の応答の同相の成分を表し、前記位相変調信号の遅延とサンプル変調信号の遅延に対して補正されている第2の干渉像IDi(k)を求めるステップと、
テスト中のサンプルの、位相変調及びサンプル変調の応答の直交成分を表し、前記位相変調信号の遅延とサンプル変調信号の遅延に対して補正されている第3の干渉像IDq(k)を求めるステップと、からなり、
前記計算するステップが、前記第1、第2、第3の干渉像から1つ又は複数のスペクトルを計算するステップである
請求項1に記載の方法。 - 位相変調信号の遅延を測定するステップは、
前記テスト用のサンプルを、対象となる周波数の帯域にわたって、位相変調信号の遅延を生じないサンプルと置き換えるステップと、
分光計の位相変調信号による応答を表し、位相変調信号の遅延を含む分光計からの、第1のコサイン干渉像と第1のサイン干渉像を求めるステップと、
前記第1のコサイン干渉像と第1のサイン干渉像のピークを識別するステップと、
前記第1の、コサイン干渉像とサイン干渉像を直交変換して、対応するスペクトルの直交成分下の領域がゼロになる位相変調の遅延角度、θA0を求めるステップと、
を有する請求項5に記載の方法。 - サンプル変調信号の遅延を測定するステップは、
前記テスト用のサンプルを、対象となる周波数の帯域にわたって、位相変調信号の遅延を生じないサンプルと置き換えるステップと、
分光計の位相変調信号とサンプル変調信号による応答を表し、位相変調信号とサンプル変調信号の遅延を含む分光計からの、第2のコサイン干渉像と第2のサイン干渉像を求めるステップと、
前記第2のコサイン干渉像と第2のサイン干渉像のピークを識別するステップと、
前記第2の、コサイン干渉像とサイン干渉像とを直交変換して、対応するスペクトルの直交成分下の領域がゼロになる位相変調の遅延角度、θA0を求めるステップと、
を有する請求項5に記載の方法。 - 前記位相変調信号の遅延角度を求めるステップがさらに、
前記ピークを示す点において測定された、前記第1のコサイン干渉像及びサイン干渉像の線形直交変換により、回転サインの成分がゼロとし、回転コサイン成分がゼロより大きくするように、第1の角度θAを求めるステップと、
前記第1の角度を用いて、前記第1のコサイン及びサイン干渉像の直交変換を行い、回転コサイン干渉像及び回転サイン干渉像を生成するステップと、
前記回転コサイン干渉像及び回転サイン干渉像から、同相のスペクトルと直交のスペクトルをそれぞれ計算するステップと、
前記同相スペクトルと直交スペクトルから、同相のスペクトル領域と直交のスペクトル領域をそれぞれ計算するステップと、
前記同相スペクトル領域と前記直交スペクトル領域の線形直交変換により、回転直交スペクトル下の領域がゼロになるような第2の角度θA1を求めるステップと、
前記第1の角度と、前記第2の角度を組み合わせて前記位相変調遅延角度を生成するステップと
を有する請求項7に記載の方法。 - 前記サンプル変調遅延角度を求めるステップがさらに、
前記ピークを示す点において測定された、前記第2のコサイン干渉像及びサイン干渉像の線形直交変換により、回転サインの成分がゼロとし、回転コサイン成分がゼロより大きくするように、第1の角度θSを求めるステップと、
前記第1の角度を用いて、前記第2のコサイン及びサイン干渉像の直交変換を行い、回転コサイン干渉像及び回転サイン干渉像を生成するステップと、
前記回転コサイン干渉像及び回転サイン干渉像から、同相のスペクトルと直交のスペクトルをそれぞれ計算するステップと、
前記同相スペクトルと直交スペクトルから、同相のスペクトル領域と直交のスペクトル領域をそれぞれ計算するステップと、
前記同相スペクトル領域と前記直交スペクトル領域の線形直交変換により、回転直交スペクトル下の領域がゼロになるような第2の角度θS1を求めるステップと、
前記第1の角度と、前記第2の角度を組み合わせて前記サンプル変調の遅延角度を生成するステップと
を有する請求項7に記載の方法。 - 位相変調信号の遅延を測定するステップは、
前記テスト用のサンプルを、対象となる周波数の帯域にわたって、位相信号の遅延を生じないサンプルと置き換えるステップと、
分光計の位相変調信号による応答を表し、位相変調信号の遅延を含む分光計からの、第1のコサイン干渉像と第1のサイン干渉像を求めるステップと、
前記第1のコサイン干渉像と第1のサイン干渉像のピークを識別するステップと、
前記第1のコサイン干渉像とサイン干渉像を直交変換して、対応するスペクトルの直交成分の値の2乗平均が最小になるサンプル変調の遅延角度、θA0を求めるステップと、
を有する請求項5に記載の方法。 - サンプル変調信号の遅延を測定するステップは、
前記テスト用のサンプルを、対象となる周波数の帯域にわたって、位相変調信号の遅延を生じないサンプルと置き換えるステップと、
分光計の位相変調信号とサンプル変調信号による応答を表し、位相変調信号とサンプル変調信号の遅延を含む分光計からの、第2のコサイン干渉像と第2のサイン干渉像を求めるステップと、
前記第2のコサイン干渉像と第2のサイン干渉像のピークを識別するステップと、
前記第2のコサイン干渉像とサイン干渉像とを直交変換して、対応するスペクトルの直交成分の2乗平均が最小になるサンプル変調の遅延角度、θA0を求めるステップと、
を有する請求項5に記載の方法。 - 前記検出器からデジタル化された検出信号を求めるステップと、
前記デジタル化された検出信号にアポダイゼーション関数を適用してスペクトルドメインのサイドローブ振幅を最小にするステップと、を有し、
前記アポダイゼーション関数は、サンプル変調の周波数の倍数においてゼロとなる周波数応答を有するように使われ、それにより、前記サンプル変調周波数の倍数において不要な成分を減衰させ、前記サンプル変調周波数の倍数よりも高い周波数においてすべての不要な周波数成分の復調を減衰させるように使用されている
請求項5に記載の方法。
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