JP4015205B2 - 磁気および電磁気妨害フィールドの能動的補正のための方法および装置 - Google Patents
磁気および電磁気妨害フィールドの能動的補正のための方法および装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4015205B2 JP4015205B2 JP54760398A JP54760398A JP4015205B2 JP 4015205 B2 JP4015205 B2 JP 4015205B2 JP 54760398 A JP54760398 A JP 54760398A JP 54760398 A JP54760398 A JP 54760398A JP 4015205 B2 JP4015205 B2 JP 4015205B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- sensor
- signal
- detector
- output signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/025—Compensating stray fields
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/20—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables involving magnetic resonance
- G01R33/28—Details of apparatus provided for in groups G01R33/44 - G01R33/64
- G01R33/38—Systems for generation, homogenisation or stabilisation of the main or gradient magnetic field
- G01R33/389—Field stabilisation, e.g. by field measurements and control means or indirectly by current stabilisation
Description
現在の測定技術では振幅がきわめて低い電磁気放射磁気フィールドの検出が可能である。たとえば、医療技術においては、核スピン共鳴(NMR:核磁気共鳴)や特に結像核スピン共鳴(MRI:磁気共鳴画像)を用いて、
という小さな範囲の振幅を把握することができる。しかも、SQUIDセンサ(SQUID:超伝導量子干渉装置)では
の範囲までの信号レベルが把握される。
しかし、有効信号のこのような小さなフィールド振幅は、通常その瞬間の電磁気および磁気妨害フィールドの近く、または部分的にそれより下にある。
このような妨害フィールドは、たとえばエレベーター、鉄道および自動車など可動の金属物質により惹起される。このような妨害フィールドの周波数は0乃至約10ヘルツの範囲にある。さらに、非対称的に負荷した電力供給装置により、50ヘルツの範囲の妨害およびその調波が発生することがある。上述した妨害フィールドはMRI測定時のいわゆる「ゴースト像」の原因となると同時に、結果としてNMR測定時の共鳴変位につながる。
予め規定された容積範囲における電磁気や特に磁気妨害フィールドの能動的補正のための従来の装置は、たとえばMRI機器でも電子放射機器でも石版術や顕微鏡検査に応用される。たとえば、電子走査顕微鏡の陰極から確認される電子は検体の走査時に、たとえばコイルにより惹起される電磁気フィールドにより前述のようにして偏向する。顕微鏡中に存在する磁気および電磁気妨害フィールドは、衝突点がある一定の不鮮明さでのみ示される程度に、検体への電子の進路に影響をおよぼす。この理由により、コイルは電子顕微鏡が存在する空間の壁に装着される。空間内ではフレックスゲートセンサを用いて磁気妨害フィールドが測定され、こうして得られた電気信号は負のフィードバックとともにディジタル信号処理により壁に存在するコイルの励起に用いられる。
このようにして磁気および電磁気妨害フィールドの能動的補正のために実現されるシステムには、たしかに妨害フィールドは可能な限り正確に補正されるが、この報告はセンサの位置のみで完全に有効であるという欠点がある。したがって、このような方法にはいずれの場合においても系統的な欠陥がある。
しかし、その信号が負のフィードバックに用いられるセンサを顕微鏡内の電子路の近くに配置することが可能である。これは、そうすることでこの負のフィードバックにより電子の明らかな偏向のために使用される電磁気フィールドも補正されるためである。
同様にして、MRIシステムでの妨害フィールドのこのような能動的補正の目的は、3つの互いに相対して垂直の軸における妨害周囲フィールドの軽減である。この場合の妨害レベルは通常、
の範囲であり、
まで軽減しなければならない。この場合でもセンサは負のフィードバックの制御のために測定空間に配置することはできない。配置すれば、測定信号は磁気フィールド補正により少なくとも変造されるためである。
したがって、測定感度の上昇と並行して、現存する電磁気妨害フィールドを抑制して測定分析をさらに改善し、現在のセンサの潜在力を完全に利用するとともに、電気的に充電した粒子を規定された電磁気フィールドを用いて正確に制御できる必要が発生した。さらに、期待される信号レベルよりもはるかに低い磁気および電磁気の雑音レベルのある周囲条件の提供が、このような技術の有効な商業利用のための出発点である。
EP0 514 027 A2において、SQUIDセンサと磁気妨害を除去する一対のコイルを備えた磁気妨害を軽減するための装置が公開されており、この場合、センサ信号はコイルにフィードバックされる。この装置には、妨害フィールドがセンサの位置でのみ補正されるという、すでに上述した欠点が備わっている。
したがって、本発明の課題は、現在の有効信号に本質的に影響をおよぼすことなく、実際の「生起の場」における電磁気、特に磁気妨害フィールドを補正することである。
この課題は、請求の範囲第1項に記載の装置および請求の範囲第12項に記載の方法により驚くほど簡単に解決される。
この場合、予め規定された容積範囲を実質的に含む少なくとも1個のヘルムホルツコイルと、少なくとも1個の第1のセンサがセンサの位置の磁気および/または電磁気フィールドに依存する信号を生成するために予め規定された容積範囲内に配置されたセンサ信号に依存したヘルムホルツコイルの励起のための装置とを用いて予め規定された容積範囲の磁気および/または電磁気妨害フィールドの能動的補正のための装置が提供される。さらに、センサの位置での磁気および/または電磁気フィールドに依存する信号の生成のために、少なくとも1個の第2のセンサが予め規定された容積範囲外に配置されている。第1および第2のセンサの信号は、ヘルムホルツコイルに付属する調節増幅器の励起のための入力信号として用いられる。第1のセンサの信号は、たとえば通常、ディジタル構成された調節増幅器の調節入力における経験的に規定された伝送機能の過程に従って励起されるとともに、ディジタル調節増幅器の出力信号が、予め規定された容積範囲における磁気および/または電磁気妨害フィールドが少なくとも部分的に補正されるように、ヘルムホルツコイルを介して電流を調節する。
予め規定された容積外の第2のセンサの選別された電気信号は好ましくは増幅され、ヘルムホルツコイルに対する第2のセンサの配置に応じて、コイルに前結合またはフィードバックされる一方、予め規定された容積内の第1のセンサの電気信号は妨害信号として妨害フィールド補正の「品質」が示され、前結合のパラメータの調節に適応性に用いられる。
このようにして、好ましくは妨害フィールドは本来の関連位置で、たとえば電子顕微鏡内の電子路上で適切に補正することができる。
すべての3つの空間方向で磁気および/または電磁気フィールドを把握し、その電気信号がディジタル調節増幅器の励起のために用いられるとともに、ディジタル調節増幅器の出力信号により、予め規定された容積内のすべての3つの空間方向における磁気および/または電磁気フィールドが実質的に補正されるように、3軸のヘルムホルツ保持器のコイルを介して電流が制御されるとき、この装置は三次元の予め規定された容積における磁気および/または電磁気妨害フィールドの能動的補正のために用いることができる。
予め規定された容積範囲が実質的にヘルムホルツ保持器内の全容積を含み、すなわち第2のセンサがヘルムホルツ保持器外にあると、第2のセンサの選別された電気信号は有利に増幅され、コイルに前結合されると同時に、第1のセンサの電気信号は妨害フィールドの質が示し、前結合のパラメータの設定に用いられる。
これに対して、予め規定された容積範囲がヘルムホルツ保持器内の限定された容積部分のみを含み、第2のセンサもヘルムホルツ保持器内に配置されると、第2のセンサの選別された電気信号は有利に増幅し、負のフィードバックでコイルに供給されると同時に、第1のセンサの電気信号はさらに妨害フィールド補正の質が示し、フィードバックのパラメータの設定に用いられる。このような配置であれば、たとえば負のフィードバックを有する従来の補正装置におけるフィードバックパラメータの設定に使用することができる。したがって、妨害フィールド補正のための従来のシステムにおける負のフィードバックのフィードバックパラメータの専門家によってのみ手動で実施可能で、めんどうな通常の設定を自動で実現することができる。
利用に応じるとともに必要に応じて、予め規定された容積内外の多数のフィールドセンサ、たとえばコイル、フルックスゲートセンサ、ESRセンサ、MNRセンサ、SQUIDセンサおよびホール効果センサなどにより本発明の原理は実施される。有利にも、たとえば予め規定された容積外のフラックゲートセンサやヘルムホルツ保持器内のSQUIDセンサまたは保持器外(第2のセンサとして)および/または保持器内(第1のセンサとして)の多数の異なるセンサなど、種々のセンサも同時に用いることができる。この高い融通性は、本発明による方法がそれぞれの電磁気妨害フィールドおよび有効フィールドにつねに最適に適用されることを示している。
この方法の高い適用性に基づき、本発明による装置は多くの測定や作業経過の能動的な磁気および/または電磁気遮蔽に利用され、この場合、たとえば有効信号として把握され、または電気粒子の制御のために使用される有効フィールドとして磁気および/または電磁気フィールドが役割を果たす。
有利にも、本発明によれば、予め規定された容積に存在する1個以上のセンサが有効信号の把握のために、たとえばNMRシステムにおけるNMRセンサやSQUIDシステムにおけるSQUIDセンサが同時に第1のセンサとしても妨害信号の把握のために使用されることにより、第1のセンサは少なくとも部分的に使用されるとともに節約される。本発明の別の構成において、この装置は磁気遮蔽空間(MSR)を含むことができる。この場合、ヘルムホルツコイルは外部で磁気遮蔽空間に装着され、少なくとも1個の第2のセンサが予め規定された容積範囲外に配置されるとともに、少なくとも1個の第1のセンサが予め規定された容積範囲における磁気遮蔽空間の内部に配置される。有利にも、本発明は、すでに述べた磁気遮蔽空間(磁気的に遮蔽された空間、MSR)など受動的磁気遮蔽法と簡単に結合し、磁気および/または電磁気妨害フィールドのこれまで達成されていない抑制を維持することができる。このようにして、本発明による能動的補正によるMSRの減衰は、能動的抑制なしのMSRにおける減衰に比べて0.1Hzで約35dB上昇させることができた。従来のMSRの妨害フィールド抑制が他の周波数範囲に比べて構造的に軽減される、平均周波数0.1〜0.2Hzの周波数範囲においては、本発明による磁気および/または電磁気妨害の追加的な能動的補正では従来技術による装置に対して大幅な改善が提供される。
ある一定の条件下に、本発明による妨害フィールド抑制を行うことで磁気的に遮蔽された空間の使用はしかも完全に節約され、または簡単な手段で実現される。
さらに、本発明による装置では、たとえばNMRシステム、MRIシステム、ESRシステム、電子放射システムおよび加速装置システム(たとえば線形加速器)の磁気および/または電磁気妨害フィールドが役割を果たす多数のシステムの遮蔽のために使用することができる。
本発明のいつかの実施形態について、添付の図面を参照して以下に詳細に説明する。
図1は、第2のセンサ1がヘルムホルツ保持器外に配置され、第1のセンサ2がヘルムホルツ保持器の予め規定された容積内に配置されている、予め規定された容積内の磁気および/または電磁気妨害フィールドの能動的補正のための本発明による装置の実施例の回路図を示し、
図2は、図1に示した実施例の本発明による能動的補正の有無における磁気的に遮蔽された空間の垂直方向の周波数に依存した磁気妨害フィールドの減衰の経過を比較した図であり、
図3は、第1のセンサがヘルムホルツ保持器内に配置され、第2のセンサがヘルムホルツコイルの予め規定された容積内に配置された本発明による装置の別の実施形態の回路図である。
図1には、予め規定された容積内部の電磁気妨害フィールドの能動的補正のための本発明による装置の実施形態の回路図が示されている。装置は、予め規定された容積範囲を実質的に包囲する少なくとも1個のヘルムホルツコイルを含む。このとき、予め規定された容積範囲は本発明による意味において、その内部に磁気および/または電磁気妨害が画像把握経過または結像経過に対して影響をおよぼす容積を含む。この場合、予め規定された容積範囲は少なくともその内部で上述した妨害が補正されるべき容積を少なくとも含む。部分補正では、たとえば電子顕微鏡における複写レンズやビーム経路または加速装置における目標範囲、電子ビーム石版術装置におけるビーム経路や光学系等の規定された容積範囲も選択することができる。
さらに、センサ1の位置での電磁気フィールドに依存する電気信号1aの生成のためにヘルムホルツコイル外に少なくとも1個の第2のセンサ1と、センサ2の位置での電磁気フィールドに依存する電気信号2aの生成のために予め規定された容積範囲内に少なくとも1個の第1のセンサ2が配置されている。第1および第2のセンサ(1a,2a)は入力信号(3a,3b)としてヘルムホルツコイルに付属する調節増幅器3を励起する。特に、電気信号1aはディジタル調節増幅器3の信号入力部を励起するための入力信号3aとして用いられ、電気信号2aは(図1のフィルタ7で示した)経験的に規定された伝導機能Hsの経過に従って、ディジタル調節増幅器3の調節入力部における入力信号3bとして設けられる。ディジタル調節増幅器3の出力信号3cはヘルムホルツコイルにより電流を励起する。このヘルムホルツコイルは本発明により、妨害フィールドを実質的に1つまたは2つの空間方向で補正するように配置することができるが、予め規定された容積範囲を含むヘルムホルツ保持器4も、惹起される電流がすべての3つの空間方向で予め規定された容積範囲のヘルムホルツ保持器4により電磁気および/または磁気妨害フィールドを実質的に補正するように構成することができるとともに、ディジタル増幅器ユニット3から電流励起することができる。
この場合、センサ1およびセンサ2は3つの空間方向における測定値を把握し、または各空間方向のために少なくとも1個のセンサを予め規定された容積範囲の内外に備えられ、ディジタル調節増幅ユニット3は多次元の測定値の処理やヘルムホルツ保持器の電流励起のために備えられている。
図1に示した実施形態における前記の場合、予め規定された容積は実質的にヘルムホルツ保持器の内部を含み、すなわち第2のセンサはヘルムホルツ保持器の外に配置される。したがって、予め規定された容積外の第2のセンサの選別された電気信号は本発明により増幅し、コイルに前結合されると同時に、予め規定された容積内の第1のセンサの電気信号はこの前結合のパラメータを適用性に設定するために用いられる。この場合、増幅や位相長さなど重要なパラメータは適用性の方法により、たとえば磁気および/または電磁気妨害フィールドに依存する妨害信号の最小の平均二次誤りの最小限化により規定される。別の最小限化方法は当業者には周知であり、さらに詳しい説明は不用である。調節パラメータは変更され、予め規定された容積範囲における妨害信号の測定結果は、方法に対応してパラメータの新しい設定の基礎とみなされる。測定された妨害信号は、システムHsのインパルス応答hSによるセンサ−時間−信号の畳み込みに対応する経験的に規定された伝導機能Hsを有するフィルタ7を伝わる。次に、畳み込まれた信号により、ディジタル調節増幅器ユニットの調節入力部が調節パラメータの設定のために励起される。最適な調節パラメータは、予め規定された容積範囲の磁気および/または電磁気妨害フィールドが最小化されるパラメータである。Hsは調節出力部から内部センサ2間での伝導路の複写に対応し、すなわちHsはもちろん商慣習上のFFT分析器を用いても測定することができる。フィルタ7および調節増幅器に形成された伝導区間が時間的に安定であることを前提に、センサ2を切断し、調節増幅器3の伝導パラメータを保持することができる。別の実施形態において、センサ2は切断されず、調節パラメータは上述した適用性方法により構造的に変更された周囲条件に適合される。
第2のセンサ1および第1のセンサ2として、必要に応じてすべての磁気フィールドセンサ、たとえばコイル、フルックスゲートセンサ、ESRセンサ、MNRセンサ、SQUIDセンサおよびホール効果センサが利用される。たとえば、NMRシステムには予め規定された容積内でNMRセンサが第1のセンサとして存在する。本発明によれば、本発明の実施形態においても種々のセンサ、たとえば予め規定された容積外のフルックスゲートセンサやヘルムホルツ保持器内のSQUIDセンサまたは予め規定された容積範囲における電磁気妨害フィールドの可能な限り位置依存性の補正を達成するための保持器の外部および/または内部の多数の異なるセンサも同時に利用された。
別の実施形態において、その他のセンサ6として有効信号を把握するために、たとえばNMRまたはESRシステムにおけるNMRセンサまたはESRセンサが配置されている。別の実施形態においてこのセンサ6は、磁気および/または電磁気妨害フィールドに依存する妨害信号の把握のため備えられるとともに、磁気および/または電磁気有効フィールドに依存する有効信号の把握のために備えられている。有効フィールドとして、たとえばSQUIDシステムにおけるヒトの脳波により生成する電磁気フィールドまたは電気的に充電される部分を加速するための加速装置における電磁気フィールドが考慮される。有効信号および妨害信号はたとえば信号の通常存在する種々のスペクトル挙動により分離される。
種々実施形態において、装置は多数のシステム、たとえばNMRシステム、MRIシステム、ESRシステム、電子放射システムおよび加速装置システム(たとえば線形加速器)の遮蔽のために利用することができる。
さらに、能動的遮蔽の本発明は磁気的に遮蔽された空間の磁気的遮蔽方法と結合された。本発明の実現された実施形態において、ヘルムホルツコイルはMSRの外部に装着された。センサ1としてフラックスゲートセンサが用いられ、予め規定された容積の内部、すなわち磁気的に遮蔽された空間の内部にはセンサ6として、有効信号および妨害信号を把握するSQUIDセンサが用いられた。ヘルムホルツコイルはDC−2kHzの調節増幅器で励起された。
図2は、図1のMSRに対応する実施形態の本発明による能動的補正および受動的磁気遮蔽のこのような結合を示す。電磁気妨害フィールドの有無による垂直方向の周波数に依存する減衰の経過が示されている。0.1〜0.2Hzの臨界範囲における減衰の上昇は約35dBに達する。
図3に示した別の実施形態において、本発明による装置は電磁気および磁気妨害フィールドの能動的補正のための負のフィードバックを有するシステムとして使用される。
この場合、補正が実質的に行われる予め規定された容積は、ヘルムホルツ保持器内の容積部分8のみを含み、第2のセンサ1はヘルムホルツ保持器内であるが、予め規定された容積範囲の外に配置され、さらに第1のセンサ2が配置されている。
したがって、第2のセンサ1の選別された電気信号は本発明により増幅され、負のフィードバックでコイルにフィードバックすると同時に、予め規定された容積内の第1のセンサ2の電気信号はこのフィードバックのパラメータの適用性設定のために用いられる。フィードバックのために重要なパラメータの設定は、図1に示され、上記の詳細に考察された実施形態と同じ方法で実施される。
予め規定された容積範囲の磁気および/または電磁気妨害フィールドが最小限に抑えられた場合も、最適な調節パラメータが設定される。フィルタ7および調節増幅器に形成された伝導区間が時間的に安定であることを前提に、実施形態に応じて、センサ2を切断し、測定された調節増幅器3の伝導パラメータを保持することができる。センサ2およびフィルタ7の把握後、システムは従来のフィードバック装置で作動する。しかし次に調節器3は、フィードバックシステムが予め規定された容積、ここでは容積範囲8における電磁気妨害を最小限に抑え、従来のようにセンサ1の位置では最小限に抑えない程度に作動する。したがって、装置は「準フィードフォーワード」システムとして作動する。
図3に示した実施形態は、図1に示した実施形態と同じく利用に応じて、たとえばコイル、フラックスゲートセンサ、ESRセンサ、MNRセンサ、SQUIDセンサおよびホール効果センサなど多数のフィールドセンサとともに利用される。同様にして、図3に示した実施形態は、たとえばNMRシステム、MRIシステム、ESRシステムなど多数のシステムの遮蔽のため、電子放射システム、および加速装置システム(たとえば線形加速器)において、また磁気遮蔽空間で使用される。
Claims (20)
- 予め規定された容積範囲の磁気フィールドを測定し出力信号を生成するセンサ(6)と、該容積範囲を含むヘルムホルツコイル手段と、ヘルムホルツコイル手段を励起するコイル励起手段と、該容積範囲外の位置に配置されこの位置における磁気フィールドに依存する出力信号(1a)を生成する第1検出器(1)とを含む磁気装置において、
該容積範囲の磁気妨害フィールドの能動的補正のための補正装置をさらに含み、補正装置は、
該容積範囲内の位置に配置されこの位置における磁気フィールドに依存する出力信号(2a)を生成する第2検出器(2)と、
第1検出器(1)の出力信号(1a)を第1入力信号(3a)とし、第2検出器(2)の出力信号(2a)を第2入力信号(3b)とする増幅器(3)とを含み、
増幅器(3)は出力信号(3c)を生成し、この出力信号をコイル励起手段に供給して、ヘルムホルツコイル手段内の磁気妨害フィールドを補正するようコイル励起手段を制御することを特徴とする磁気装置。 - 第2検出器(2)の出力信号(2a)が経験的に規定された伝送機能(Hs)を有するフィルタ(7)に供給され、フィルタは該出力信号(2a)を増幅器(3)に供給する前に信号処理することを特徴とする請求の範囲第1項に記載の磁気装置。
- 第1検出器(1)及び第2検出器(2)はそれぞれ、すべての空間方向で磁気フィールドを検出するための複数のセンサを含み、増幅器(3)は該複数のセンサからの出力信号を処理し、ヘルムホルツコイル手段は3軸のヘルムホルツ保持器(4)であることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の磁気装置。
- ヘルムホルツ保持器の内部容積は全て該容積範囲に含まれることを特徴とする請求の範囲第3項に記載の磁気装置。
- ヘルムホルツ保持器の内部容積は部分的に該容積範囲に含まれることを特徴とする請求の範囲第3項に記載の磁気装置。
- 第1及び第2検出器(1、2)はESRセンサ、NMRセンサ、MRIセンサ、フルックス・ゲート(Flux Gate)センサ、コイル、SQUIDセンサまたはホール効果センサであることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の磁気装置。
- 該センサ(6)は該出力信号を有効信号(6a)として生成することを特徴とする請求の範囲第1項に記載の磁気装置。
- 磁気遮蔽空間(MSR)をさらに含み、該容積範囲及び第2検出器(2)は磁気遮蔽空間の内部にあることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の磁気装置。
- 第1検出器(1)及びヘルムホルツコイル手段は磁気遮蔽空間の外部にあることを特徴とする請求の範囲第8項に記載の磁気装置。
- 第1検出器(1)及びヘルムホルツコイル手段は磁気遮蔽空間の内部にあることを特徴とする請求の範囲第8項に記載の磁気装置。
- 装置はMRIシステムの一部であり、第1検出器(1)、第2検出器(2)、センサ(6)は磁気遮蔽空間の内部に配置されていることを特徴とする請求の範囲第8項または第10項に記載の磁気装置。
- センサ(6)が配置される予め規定された容積範囲の磁気妨害フィールドの能動的補正のための方法において、
該容積範囲外の位置に配置される第1検出器(1)により、この位置における磁気フィールドに依存する第1信号(1a)を生成する第1生成工程と、
該容積範囲内の位置に配置される第2検出器(2)により、この位置における磁気フィールドに依存する第2信号(2a)を生成する第2生成工程と、
増幅器(3)により、第1生成工程で生成される第1信号(1a)と第2生成工程で生成される第2信号(2a)を処理して、出力信号(3c)を生成する処理工程と、
処理工程で生成される出力信号(3c)を励起手段に供給して、励起手段の出力を制御する第1供給工程と、
第2供給工程で制御される励起手段の出力を、該容積範囲を含むヘルムホルツコイル手段に供給する第2供給工程を含むことを特徴とする方法。 - 処理工程において、フィルタ(7)を用いて、第2信号(2a)を経験的に規定された伝送機能(Hs)により処理し、第1供給工程において、該伝送機能により処理した第2信号を増幅器の入力信号(3b)として供給し、第2供給工程において、該容積範囲における磁気妨害フィールドが少なくとも部分的に補正されるように、増幅器(3)の出力信号(3c)により、ヘルムホルツコイル(4)を介して電流を調節することを特徴とする請求の範囲第12項に記載の方法。
- 第1生成工程の前に増幅器(3)の調節パラメータを設定する設定工程と、該パラメータを維持する維持工程と、第2検出器(2)およびフィルタ(7)を用いず、維持工程で維持されるパラメータを用いて操作する操作工程をさらに含むことを特徴とする請求の範囲第12項に記載の方法。
- SQUIDシステムにおいて磁気妨害フィールドの能動的補正を行なう請求の範囲第12項〜第14項のいずれか1つに記載の方法。
- MRI(核磁気共鳴画像)システムにおいて磁気妨害フィールドの能動的補正を行なう請求の範囲第12項〜第14項のいずれか1つに記載の方法。
- ESR(電子スピン共鳴)システムにおいて磁気妨害フィールドの能動的補正を行なう請求の範囲第12項〜第14項のいずれか1つに記載の方法。
- NMR(核磁気共鳴)システムにおいて磁気妨害フィールドの能動的補正を行なう請求の範囲第12項〜第14項のいずれか1つに記載の方法。
- 電子ビームシステムにおいて磁気妨害フィールドの能動的補正を行なう請求の範囲第12項〜第14項のいずれか1つに記載の方法。
- 加速装置システムにおいて磁気妨害フィールドの能動的補正を行なう請求の範囲第12項〜第14項のいずれか1つに記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19718649A DE19718649A1 (de) | 1997-05-02 | 1997-05-02 | Vorrichtung und Verfahren zur aktiven Kompensation magnetischer und elektromagnetischer Störfelder |
DE19718649.1 | 1997-05-02 | ||
PCT/DE1998/001177 WO1998050798A1 (de) | 1997-05-02 | 1998-04-29 | Vorrichtung und verfahren zur aktiven kompensation magnetischer und elektromagnetischer störfelder |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001524213A JP2001524213A (ja) | 2001-11-27 |
JP4015205B2 true JP4015205B2 (ja) | 2007-11-28 |
Family
ID=7828483
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP54760398A Expired - Fee Related JP4015205B2 (ja) | 1997-05-02 | 1998-04-29 | 磁気および電磁気妨害フィールドの能動的補正のための方法および装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7525314B1 (ja) |
EP (1) | EP0979420B1 (ja) |
JP (1) | JP4015205B2 (ja) |
KR (1) | KR100524797B1 (ja) |
DE (2) | DE19718649A1 (ja) |
WO (1) | WO1998050798A1 (ja) |
Families Citing this family (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FI20001820A (fi) * | 1999-12-13 | 2001-06-14 | Valtion Teknillinen | Menetelmä magneettisuojatun huoneen magneettisten häiriöiden vaimentamiseksi |
US7656682B1 (en) | 2000-11-21 | 2010-02-02 | Intel Corporation | Electromagnetic noise reduction device |
KR20020088588A (ko) * | 2001-05-18 | 2002-11-29 | 엘지전자 주식회사 | 초전도 양자간섭소자 주사현미경 |
JP3884243B2 (ja) * | 2001-06-21 | 2007-02-21 | ジーイー・メディカル・システムズ・グローバル・テクノロジー・カンパニー・エルエルシー | 外部磁界測定方法、静磁界補正方法、外部磁界測定装置およびmri装置 |
KR100400755B1 (ko) * | 2001-11-08 | 2003-10-08 | 엘지전자 주식회사 | 보조센서에 의한 squid 센서 |
DE10210072B4 (de) * | 2002-03-08 | 2005-11-03 | Bundesrepublik Deutschland, vertr. d. d. Bundesministerium für Wirtschaft und Arbeit, dieses vertr. d. d. Präsidenten der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt | Magnetometer |
DE10337984A1 (de) * | 2003-08-14 | 2005-03-10 | Biomed Jena Gmbh | Sensorsystem zur Kompensation von Magnetfeldern |
FI118577B (fi) * | 2004-02-13 | 2007-12-31 | Elekta Ab | Menetelmä mittalaitteen suojaamiseksi häiriöiltä |
RU2008119275A (ru) * | 2005-10-17 | 2009-11-27 | Англо Оперейшнс Лимитед (Za) | Способ и устройство для ведения электромагнитной разведки |
EP1873543B1 (de) * | 2006-07-01 | 2010-09-15 | Integrated Dynamics Engineering GmbH | Magnetfeldkompensationssystem mit erhöhter Bandbreite |
DE102009024268B4 (de) | 2009-06-05 | 2015-03-05 | Integrated Dynamics Engineering Gmbh | Magnetfeldkompensation |
US8970217B1 (en) | 2010-04-14 | 2015-03-03 | Hypres, Inc. | System and method for noise reduction in magnetic resonance imaging |
KR101152835B1 (ko) * | 2010-12-27 | 2012-06-12 | 한국표준과학연구원 | 자기장 상쇄 장치 및 자기장 상쇄 방법 |
WO2012110465A2 (en) | 2011-02-16 | 2012-08-23 | Mapper Lithography Ip B.V. | System for magnetic shielding |
US8389962B2 (en) * | 2011-05-31 | 2013-03-05 | Applied Materials Israel, Ltd. | System and method for compensating for magnetic noise |
DE102011106433B4 (de) * | 2011-07-04 | 2016-10-13 | Integrated Dynamics Engineering Gmbh | Integrierbare Magnetfeldkompensation für den Einsatz an Raster- und Transmissionselektronenmikroskopen, Schwingungsisolationssystem sowie Verfahren zum Abbilden, Untersuchen und / oder Bearbeiten einer Probe |
US9977096B2 (en) * | 2011-07-07 | 2018-05-22 | Biosense Webster (Israel) Ltd. | Connector with active shielding |
US9030197B1 (en) | 2012-03-23 | 2015-05-12 | Ohio Semitronics Inc. | Active compensation for ambient, external magnetic fields penetrating closed loop magnetic cores particularly for a fluxgate current sensor |
JP5875440B2 (ja) * | 2012-03-29 | 2016-03-02 | 鹿島建設株式会社 | 外乱磁場の推定方法及びシステム並びにプログラム |
US9692391B2 (en) * | 2013-08-06 | 2017-06-27 | Linear Research Associates, Inc. | Adjustable compensation ratio feedback system |
JP5989613B2 (ja) * | 2013-08-21 | 2016-09-07 | 住友重機械イオンテクノロジー株式会社 | イオン注入装置、磁場測定装置、及びイオン注入方法 |
EP3276366A1 (en) * | 2016-07-26 | 2018-01-31 | Esaote S.p.A. | Method and system for compensating magnetic noise caused by environmental noise in a spatial volume |
CA3030247A1 (en) * | 2018-01-19 | 2019-07-19 | Ascension Technology Corporation | Calibrating a magnetic sensor |
EP4055404A1 (en) * | 2019-11-04 | 2022-09-14 | Koninklijke Philips N.V. | Magnetic field (b) artifact reduction through active shimming |
DE102020208816A1 (de) | 2020-07-15 | 2022-01-20 | Siemens Healthcare Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zu aktiven lokalen Empfangsunterdrückung bei Magnetresonanzaufnahmen |
CN112630546B (zh) * | 2020-12-09 | 2023-01-17 | 北京自动化控制设备研究所 | 无人机磁干扰地面半实物仿真方法及使用其的系统 |
CN114035139B (zh) * | 2021-11-16 | 2023-09-15 | 吉林大学 | 一种squid传感器间串扰误差测量方法 |
DE102021131970A1 (de) | 2021-12-03 | 2023-06-07 | Integrated Dynamics Engineering Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Vorrichtung und Verfahren zum Analysieren einer Probe mittels elektrisch geladener Teilchen |
CA3168340A1 (en) * | 2022-07-20 | 2024-01-20 | Jan Morava | System and method for mitigation of intrusive electromagnetic fields |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3801877A (en) * | 1972-09-15 | 1974-04-02 | Foerster Inst Dr Friedrich | Apparatus for producing a region free from interfering magnetic fields |
JPH0810250B2 (ja) * | 1991-05-13 | 1996-01-31 | 大同ほくさん株式会社 | スクイドを用いた磁気雑音除去装置 |
DE4217302A1 (de) * | 1991-06-05 | 1992-12-10 | Siemens Ag | Magnetische abschirmkammer mit einer aktiven abschirmung |
US5586064A (en) | 1994-11-03 | 1996-12-17 | The Trustees Of The University Of Pennsylvania | Active magnetic field compensation system using a single filter |
-
1997
- 1997-05-02 DE DE19718649A patent/DE19718649A1/de not_active Withdrawn
-
1998
- 1998-04-29 WO PCT/DE1998/001177 patent/WO1998050798A1/de active IP Right Grant
- 1998-04-29 JP JP54760398A patent/JP4015205B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1998-04-29 DE DE59801455T patent/DE59801455D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-04-29 EP EP98932021A patent/EP0979420B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-04-29 KR KR10-1999-7010133A patent/KR100524797B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1998-04-29 US US09/423,180 patent/US7525314B1/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001524213A (ja) | 2001-11-27 |
EP0979420A1 (de) | 2000-02-16 |
WO1998050798A1 (de) | 1998-11-12 |
EP0979420B1 (de) | 2001-09-12 |
KR100524797B1 (ko) | 2005-10-31 |
DE59801455D1 (de) | 2001-10-18 |
DE19718649A1 (de) | 1998-11-05 |
KR20010012184A (ko) | 2001-02-15 |
US7525314B1 (en) | 2009-04-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4015205B2 (ja) | 磁気および電磁気妨害フィールドの能動的補正のための方法および装置 | |
US10444298B2 (en) | Magnetic noise rejection apparatus and magnetic field measurement apparatus | |
US5245286A (en) | Apparatus and method for stabilizing the background magnetic field during mri | |
KR101152835B1 (ko) | 자기장 상쇄 장치 및 자기장 상쇄 방법 | |
US5225999A (en) | Magnetic environment stabilization for effective operation of magnetically sensitive instruments | |
US20210386346A1 (en) | Magnetoencephalograph and brain's magnetic field measurement method | |
US6810110B2 (en) | X-ray tube for operating in a magnetic field | |
US5994903A (en) | Mobile nuclear magnetic resonance apparatus | |
JP6139064B2 (ja) | 磁気共鳴イメージング装置及び磁気共鳴イメージング装置用の磁場調整具 | |
EP0466064A1 (en) | Measurement of visually induced biomagnetic responses | |
JP6408116B2 (ja) | 荷電粒子ビーム装置 | |
US7224167B2 (en) | Magnetic field generating apparatus and method for magnetic resonance imaging | |
Von Harrach | Instrumental factors in high-resolution FEG STEM | |
JP3261018B2 (ja) | オージェ電子分光装置 | |
US20030038243A1 (en) | Charged-particle-beam (CPB) optical systems, and CPB Microlithography systems comprising same, that cancel external magnetic fields | |
US5029287A (en) | Installation for nuclear magnetic resonance imaging | |
US6437566B1 (en) | Method for prescribing a reference quantity for a gradient field | |
JP2003243874A (ja) | アクティブ磁気シールド装置 | |
JP2019181041A (ja) | アクティブ磁気シールドシステムおよびそれを用いた心磁計システム | |
JPH0376134B2 (ja) | ||
JPH0673293B2 (ja) | 外乱磁場キャンセル装置 | |
JPH05220126A (ja) | 磁気共鳴イメージング装置 | |
JPH05307942A (ja) | 走査型電子顕微鏡のエミッションノイズキャンセル方式 | |
EP1387388A2 (en) | Image compensation device for a scanning electron microscope | |
TW202324483A (zh) | 利用帶電粒子分析樣品的裝置及方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040715 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20040715 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060704 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20061003 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20061120 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070220 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20070522 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070620 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20070816 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070822 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070913 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100921 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110921 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120921 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120921 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130921 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |