JP4014326B2 - 静電容量式傾斜センサ - Google Patents

静電容量式傾斜センサ Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一対の差動電極と共通電極とを密閉容器内で対向配置し、密閉容器内に封入した誘電性液体の液面レベルの変化を傾斜角度に対応する静電容量の変化として検出する静電容量式傾斜センサに係り、特に、温度補償やゼロ点調整が不要な静電容量式傾斜センサに関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、傾斜センサを二輪車等の車両に搭載し、車体の傾きを検出して各部を制御する技術が知られている。図15は、傾斜センサを搭載した従来の二輪車の後方からの斜視図であり、メインフレーム(図示せず)の先端部では、たとえばハンドルステムから前方へ延びたステー等に傾斜センサ90が取り付けられている。傾斜センサ90は、ハンドル92の舵角とは無関係にメインフレームすなわち車両と一体的に傾斜し、その角度を検知する。検知された角度信号は、車両後方の、たとえばシート91の下方に固定されたECM(エンジン制御モジュール)93へ伝送されて各種の制御に利用される。
【0003】
従来の静電容量式傾斜センサは、例えば特開平4−53528号公報あるいは特開平5−14168号公報に記載されている。図7は従来の静電容量式傾斜センサの縦断面図、図8は横断面図、図9は可変容量部の斜視図である。
【0004】
可変容量部では、一対の差動電極11a,11bが水平方向に隣接配置され、各差動電極11a,11bと平行に、一定の間隙を設けて共通電極板12が配置されている。各差動電極11a,11bおよび共通電極板12は密封容器14内に収容され、密封容器14内にはシリコンオイル等の誘電性液体13が有効容積の半分ほど満たされている。各差動電極11a,11bと共通電極板12とは可変コンデンサCa,Cbを形成する。
【0005】
図10は、上記した従来の静電容量式傾斜センサにおいて、各可変コンデンサCa,Cbの容量変化を直流電圧の変化に変換する回路の一例であり、前記共通電極板12には発振器OSCが接続される。各差動電極11a,11bは、容量変化を直流電圧の変化に変換する容量/電圧変換回路CV1,CV2に接続される。容量/電圧変換回路CV1,CV2の出力信号は差動増幅器DAに入力され、差動増幅器DAの出力に、センサの傾斜角度に対応した直流信号が表れる。
【0006】
ゼロ点調整回路81は、センサが水平状態のときに差動増幅器DAの出力電圧が0Vとなるように容量/電圧変換回路CV2を制御する。温度補償回路82は、温度にかかわらずセンサの傾斜角度に応答した出力が得られるように、雰囲気温度に応じて差動増幅器DAの増幅率を制御する。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
図11は、各可変コンデンサCa,Cbの静電容量Ca,Cb(以下同様に、各可変コンデンサの静電容量は、当該可変コンデンサに付した符号で代表する)とセンサの傾斜角度との関係を示した図であり、両者の関係は温度や個体差により破線で示した範囲内で変化する。
【0008】
一方、上記した従来技術では、センサの傾斜角度を代表する差動増幅器DAの出力が各可変コンデンサCa,Cbの静電容量の差分の関数であり、各可変コンデンサC1,C2の静電容量が温度や個体差に応じて変化すると、両者の差分(Ca−Cb)も、図12に示したように破線の範囲内で変化する。
【0009】
したがって、上記した従来技術では、差分が“0”のときに差動増幅器DAの出力が“0”となるように、各センサごとに容量/電圧変換回路CV1,CV2の少なくとも一方をゼロ点調整回路81によりゼロ点調整すると共に、温度補償回路82を追加して、各センサごとに温度補償を行う必要がある。しかしながら、特に二輪車等の車両にセンサを搭載する場合、その走行毎にゼロ点調整や温度補償を正確に行うことは容易でないのみならず、コストの上昇や重量増加を招いてしまうという問題があった。
【0010】
本発明の目的は、上記した従来技術の課題を解決し、ゼロ点調整や温度補償等の調整が不要で安価な静電容量式傾斜センサを提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記した目的を達成するために、本発明は、以下のような手段を講じた点に特徴がある。
【0012】
(1) 一対の差動電極と共通電極とを密閉容器内で対向配置し、密閉容器内に封入した誘電性液体の液面レベルの変化を傾斜角度に対応する静電容量の変化として検出する静電容量式傾斜センサにおいて、前記一対の差動電極を、水平時の前記液面レベルに対して垂直方向に隣接配置した。
【0013】
(2) 隣接配置された一対の差動電極と共通電極とを密閉容器内で対向配置し、密閉容器内に封入した誘電性液体の液面レベルの変化を傾斜角度に対応する静電容量の変化として検出する静電容量式傾斜センサにおいて、前記一対の差動電極と共通電極とで構成される一対の可変コンデンサを電源間に直列接続して構成された可変容量手段と、一対の基準コンデンサを電源間に直列接続して構成された基準容量手段と、前記可変容量手段における可変コンデンサ同士の接続点を一方の差動入力とし、前記基準容量手段における基準コンデンサ同士の接続点を他方の差動入力とする差動増幅手段とを設けた。
【0014】
上記した特徴(1) によれば、各差動電極と共通電極との間に形成される各可変コンデンサの静電容量はいずれも、個体差にかかわらず傾斜していない水平状態で極値を示す。したがって、各コンデンサが極値を示す角度を水平位置と定義することでゼロ点調整が不要になる。
【0015】
上記した構成(2) によれば、差動増幅手段の出力信号は、静電容量部の一対の差動電極と共通電極との間にそれぞれ形成される一対の可変コンデンサの静電容量変化分ΔCに比例する。また、温度係数が相殺されて温度変化に依存しないので、温度補償が不要になる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明を詳細に説明する。図1は、本発明の一実施形態である静電容量式傾斜センサの静電容量部53の斜視図であり、半円状の一対の差動電極21a,21bが垂直方向に隣接配置され、これと対向するように、共通電極22が一定の間隙を設けて平行配置されている。
【0017】
前記一対の差動電極21a,21bおよび共通電極22は、従来と同様に密閉容器(図示省略)内に収容され、密閉容器内には誘電性液体(図示省略)が封入される。上側の差動電極21aおよび共通電極22は上側可変コンデンサC1を構成し、下側の差動電極21bおよび共通電極22は下側可変コンデンサC2を構成する。
【0018】
図2は、上記した電極構造の静電容量部53を用いて誘電性液体の液面レベルの変化を傾斜角度として検出する静電容量式傾斜センサのブロック図であり、前記と同一の符号は同一または同等部分を表している。
【0019】
静電容量部53では、図1に示したように、可変コンデンサC1,C2の差動電極21a,21bが水平時の液面レベルに対して垂直方向に隣接配置され、これと対向するように、共通電極22が一定の間隙を設けて配置されている。各可変コンデンサC1,C2の共通電極22は、所定周波数の交流信号を発生する発振回路OSC51に接続されている。可変コンデンサC1の差動電極21aは第1容量/電圧変換回路CV1の入力端子に接続され、可変コンデンサC2の差動電極21bは、第2容量/電圧変換回路CV2の入力端子に接続されている。
【0020】
前記第1および第2容量/電圧変換回路CV1,CV2の出力は、差動増幅器DAの各差動入力端子に接続されている。差動増幅器DAの出力端と一方の差動入力端子との間には、雰囲気温度に応じて差動増幅器DAの増幅率を適宜に制御する温度補償用のサーミスタRthが接続されている。差動増幅器DAの出力端には、図示しない制御回路が接続され、当該センサの傾斜角度θに対応した直流信号が、各可変コンデンサC1,C2の各静電容量の差(C1−C2)の関数として出力される。
【0021】
図3は、前記静電容量部53における誘電性液体24の液面レベルと傾斜角度θとの関係を模式的に示した図であり、誘電性液体24は、同図(a) に示したように、水平状態での液面レベルが前記各差動電極21a,21bの隣接領域に達するまで満たされている。
【0022】
図4は、本実施形態における各可変コンデンサC1,C2の静電容量C1,C2と傾斜角度θとの関係を示した図であり、図3(b) 、(c) に示したように、センサが右側あるいは左側に傾斜すると、下側可変コンデンサC2では、傾斜が進むほど静電容量が減少するのに対して、上側可変コンデンサC1では、傾斜が進むほど静電容量が上昇する。
【0023】
このように、本実施形態によれば、上側および下側の各可変コンデンサC1,C2は、個体差にかかわらず水平状態で常に極値を示すことになり、両者の差分すなわち差動増幅器DAの出力信号も、図5に示したように、各可変コンデンサC1,C2の個体差にかかわらず水平状態で常に極値を示す。したがって、ゼロ点を調整することなく当該静電容量式傾斜センサを組み立てても、その後、差動増幅器DAの後段に接続させる制御装置において差動増幅器DAの出力信号を監視し、極値を示す値V0 を水平状態と見なして傾斜角度を算出させるようにすればゼロ点調整が不要となる。
【0024】
図16は、前記静電容量式傾斜センサの二輪車の適用方法の一例を示した図であり、本実施形態では、燃料噴射制御や点火制御を行うECM100内に、上記した構成の静電容量式傾斜センサ200を設けている。
【0025】
ECM100では、燃料噴射制御や点火制御を実行する制御ユニット101、各種のディスクリート部品102およびコネクタ103と共に、上記した本実施形態の静電容量式傾斜センサ200が基板104上に取り付けられている。ECM100は、車両と一体的に傾斜する箇所であれば、従来技術と同様に、シート下部において車体フレームに固定しても良い。
【0026】
このように、静電容量式傾斜センサをECM内に設ければ、傾斜センサとECMとをそれぞれ別々に車両へ取り付ける場合に比べて取り付け工数を削減できる。のみならず、両者を接続するための配線を短くすることができるので、ノイズや寄生容量の影響を最小限に抑えることができ、電気的に安定した接続が可能になる。
【0027】
次いで、本発明の他の実施形態について説明する。図6は、本発明の第2実施形態である静電容量式傾斜センサのブロック図であり、前記と同一の符号は同一または同等部分を表している。
【0028】
本実施形態の静電容量部53Bは、図9に示した従来技術と同様に、一対の差動電極が水平方向に隣接配置されている。基準容量部52は、2つの基準コンデンサC0 を直列接続して構成され、その一端は前記OSC51に接続され、他端は接地されている。前記静電容量部53Bでは、一方の可変コンデンサC3を構成する差動電極11aが前記OSC51に接続され、他方の可変コンデンサC4を構成する差動電極11bは接地されている。
【0029】
前記静電容量部53Bの共通電極は、第1容量/電圧変換回路CV1の入力端子に接続され、第2容量/電圧変換回路CV2の入力端子は、前記基準容量部52における各基準コンデンサC0 の接続部に接続されている。前記第1および第2容量/電圧変換回路CV1,CV2の出力信号は差動増幅器DAの各差動入力端子に入力され、差動増幅器DAの出力端には、以下に詳述するように、センサの傾斜角度θに対応した直流信号が、各可変コンデンサC3,C4の容量変化分ΔCの関数として表れる。
【0030】
図6において、各可変コンデンサC3,C4の端子間電圧Vc1、Vc2とOSC51の出力電圧Vとは次式(1) の関係にある。
V=Vc1+Vc2 …(1)
直列接続された各可変コンデンサC3,C4に蓄積される電荷量Qは等しいので、次式(2) が成立する。
Q=C3・Vc1=C4・Vc2 …(2)
上記(1) 、(2) 式より、
Figure 0004014326
上記(3) 式を整理して、
Vc2=(C3/(C3+C4))・V …(4)
ここで、当該センサが傾斜して可変コンデンサC3の静電容量がC+ΔCに変化し、コンデンサC4の容量がC−ΔCに変化すると、上式(4) は以下のようになる。
Figure 0004014326
一方、基準容量部52での接続点の差動入力電圧Vref は次式で表される。
Vref =V/2 …(6)
上式(5) 、(6) から、差動増幅器DAの差動出力Vout は次式(7) となり、容量変化量ΔCに比例する。
Figure 0004014326
ここで、基準容量部52の各基準コンデンサC0 および静電容量部53Bの各可変コンデンサC3,C4の温度係数をkとすれば、基準容量部52の差動入力電圧Vref は次式(8) で表される。
Figure 0004014326
これに対して、静電容量部53Bでの接続点の差動入力電圧Vc2は次式(9) で表される。
Figure 0004014326
したがって、差動増幅器DAの差動出力Vout は次式(10)となる。
Figure 0004014326
以上のように、本実施形態では、基準容量部52の差動入力電圧Vref および可変容量部53Bの差動入力電圧Vc2のいずれにおいても温度係数kが相殺されている。したがって、差動増幅器DAの出力Vout は温度に依存せず、温度補償回路を別途に設けることなく温度補償が可能になる。
【0031】
なお、上記した第2実施形態では、可変容量部53Bの電極構造が、一対の差動電極を水平方向に隣接配置した従来構造であるものとして説明したが、図1に関して説明した第1実施形態のように、一対の差動電極を垂直方向に隣接配置した構造とすれば、温度補償回路のみならず、ゼロ点調整回路も不要とすることができる。
【0032】
また、垂直方向に隣接配置する各差動電極21a,21bの形状を、図13に示したように、その端部を切り落とした形状とすれば、差動増幅器DAの出力Vout と傾斜角度θとの関係が、図14に示したように、実質上の検出範囲(±θ2以内)において二次関数的となるので、傾斜角度の大きい範囲では、傾斜角度θに対する出力Vout の変化率を他の範囲よりも大きくすることができる。
【0033】
一般的に、傾斜角度が±θ1の範囲内は、二輪車であれば通常走行時の傾斜範囲であり、傾斜角度の微妙な差異が問題となる場合は少ない。これに対して、前記±θ1を越える比較的大きな傾斜範囲は、明らかに通常とは異なる走行状態であり、傾斜角度θに基づく厳密な制御が要求される場合が多いので、傾斜角度の微妙な差異が重要となり得る。
【0034】
ここで、本実施形態では、上記したように傾斜角度に基づく制御が要求される比較的大きな傾斜範囲(±θ1〜)では、傾斜角度θに対する出力Vout の変化率が大きくなるので、傾斜角度の微妙な差異を正確に検知できるようになる。
【0035】
なお、上記したいずれの実施形態においても、傾斜センサを制御モジュールに内蔵させれば、傾斜センサと制御モジュールとをそれぞれ別々に取り付ける場合に比べて取り付け工数を削減できると共に、両者の電気的な接続も安定化させることができる。
【0036】
【発明の効果】
本発明によれば、以下のような効果が達成される。
(1) 請求項1の発明によれば、各差動電極と共通電極との間に形成される可変コンデンサの各静電容量はいずれも、個体差にかかわらず傾斜していない水平状態で極値を示す。したがって、各可変コンデンサが極値を示す角度を水平位置と定義することでゼロ点調整が不要になる。
(2) 請求項2の発明によれば、差動増幅手段の出力信号は、静電容量部の一対の各差動電極と共通電極との間に形成される一対の可変コンデンサの静電容量変化分ΔCに比例する。また、温度係数が相殺されて温度変化に依存しないので温度補償が不要になる。
(3) ゼロ点調整や温度補償が不要であり、かつ安価、軽量なため、特に、二輪車等の車両への搭載に好適である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態である静電容量式傾斜センサの静電容量部の斜視図である。
【図2】第1実施形態での静電容量式傾斜センサのブロック図である。
【図3】第1実施形態での各差動電極と液面レベルとの関係を示した図である。
【図4】本発明における各コンデンサの静電容量Q1,Q2と傾斜角度との関係を示した図である。
【図5】本発明におけるセンサ出力とと傾斜角度との関係を示した図である。
【図6】本発明の第2実施形態のブロック図である。
【図7】従来の静電容量式傾斜センサの縦断面図である。
【図8】従来の静電容量式傾斜センサの横断面図である。
【図9】従来の静電容量式傾斜センサの静電容量部の斜視図である。
【図10】従来の静電容量式傾斜センサのブロック図である。
【図11】従来の静電容量式傾斜センサの各可変コンデンサCa,Cbの静電容量と傾斜角度との関係を示した図である。
【図12】従来の静電容量式傾斜センサの出力と傾斜角度との関係を示した図である。
【図13】本発明の静電容量部における差動電極の変形例を示した平面図である。
【図14】図13の変形例による差動出力と傾斜角度との関係を示した図である。
【図15】傾斜センサを搭載した従来の二輪車の後方斜視図である。
【図16】傾斜センサを内蔵したコントロールモジュールの構成図である。
【符号の説明】
11a,11b,21a,21b…差動電極,12,22…共通電極,24…誘電性液体,51…発振回路OSC,52…基準容量部,53,53B…静電容量部

Claims (3)

  1. 隣接配置された一対の差動電極と共通電極とを密閉容器内で対向配置し、密閉容器内に封入した誘電性液体の液面レベルの変化を傾斜角度に対応する静電容量の変化として検出する静電容量式傾斜センサにおいて、前記一対の差動電極と共通電極とで構成される一対の可変コンデンサを電源間に直列接続して構成された可変容量手段と、一対の基準コンデンサを電源間に直列接続して構成された基準容量手段と、前記可変容量手段における可変コンデンサ同士の接続点を一方の差動入力とし、前記基準容量手段における基準コンデンサ同士の接続点を他方の差動入力とする差動増幅手段とを具備したことを特徴とする静電容量式傾斜センサ。
  2. 前記一対の差動電極が、水平時の前記液面レベルに対して水平方向に隣接配置されたことを特徴とする請求項に記載の静電容量式傾斜センサ。
  3. 前記一対の差動電極が、水平時の前記液面レベルに対して垂直方向に隣接配置されたことを特徴とする請求項に記載の静電容量式傾斜センサ。
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US09/505,879 US6311406B1 (en) 1999-02-18 2000-02-17 Electrostatic capacitor-type inclination sensor
DE10007246A DE10007246C2 (de) 1999-02-18 2000-02-17 Elektrostatischer kapazitiver Neigungssensor
US09/951,409 US6381860B1 (en) 1999-02-18 2001-09-14 Electrostatic capacitor-type inclination sensor

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Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3659855B2 (ja) * 2000-02-25 2005-06-15 株式会社タイコーデバイス 傾斜センサ
US7484625B2 (en) * 2003-03-13 2009-02-03 Varco I/P, Inc. Shale shakers and screens with identification apparatuses
US6922063B2 (en) * 2003-07-11 2005-07-26 Zircon Corporation Apparatus and method for capacitive level sensor
IL160860A0 (en) * 2004-03-14 2004-08-31 Kapro Intelligent Tools Ltd Digital spirit level
US20060026168A1 (en) * 2004-05-20 2006-02-02 Bea Systems, Inc. Data model for occasionally-connected application server
NZ540648A (en) * 2005-09-10 2008-01-31 Brett Ellis Appleyard Wireless tilt sensor alarm device, system and method
JP4800854B2 (ja) * 2006-06-13 2011-10-26 株式会社東海理化電機製作所 静電容量式傾斜角度センサ
DE102006062600B4 (de) 2006-12-29 2023-12-21 Endress + Hauser Flowtec Ag Verfahren zum Inbetriebnehmen und/oder Überwachen eines In-Line-Meßgeräts
DE102007054828A1 (de) 2007-08-08 2009-03-12 Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V. Sensorelement und ein Verfahren zur Herstellung eines kapazitiven Sensors
TWI454664B (zh) * 2012-09-27 2014-10-01 Sagatek Co Ltd 液體多層電容傾斜微感測器
CN104034256B (zh) * 2014-04-28 2016-08-24 哈尔滨工业大学 同心共面四等分环-四等分圆嵌套极板倾角测量方法与装置
CN105450951B (zh) * 2014-09-30 2019-04-02 深圳Tcl新技术有限公司 电视及电容式水平仪
KR101967048B1 (ko) * 2017-06-26 2019-08-13 강희복 가변 Chamber 각도 제어 스위치 장치
EP3839426B1 (en) 2019-12-19 2023-02-08 Hexagon Technology Center GmbH Leveling sensor
CN113263522A (zh) * 2021-04-08 2021-08-17 嘉鲁达创业投资管理有限公司 一种机器人机械手臂测试装置

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3487303A (en) * 1967-01-24 1969-12-30 Singer General Precision Device for sensing deviation from the vertical position
US4093915A (en) * 1976-01-12 1978-06-06 Setra Systems, Inc. Capacitance measuring system
US4468864A (en) * 1982-04-05 1984-09-04 California Institute Of Technology Tilt meter
US4468611A (en) * 1982-06-01 1984-08-28 Tward 2001 Limited Capacitive system for monitoring the dielectric properties of flowing fluid streams
EP0117226A3 (de) * 1983-01-28 1985-10-02 Max Engler Messinstrument zum Feststellen von Abweichungen bezüglich dem Lot und/oder der Waagrechten und Verwendung desselben
JPH0453528Y2 (ja) 1985-11-22 1992-12-16
GB2186693B (en) * 1986-01-23 1990-09-05 Duracell Int Inclination sensor
JPH0514168Y2 (ja) 1986-02-26 1993-04-15
CA1250924A (en) * 1986-12-08 1989-03-07 Garfield W. Mcmahon Tilt sensor for resolving left-right ambiguity in underwater acoustic detection systems
IT1218980B (it) * 1988-01-27 1990-04-24 Marelli Autronica Sensore elettrico di inclinazione e circuito di rivelazione per tale sensore
DD271369A1 (de) * 1988-04-06 1989-08-30 Akad Wissenschaften Ddr Kapazitives neigungs- und ebenheitsmessgeraet
US5083383A (en) * 1989-03-21 1992-01-28 Zircon International, Inc. Electronic capacitance level with automatic electrode selection
JPH0453528A (ja) 1990-06-20 1992-02-21 Toshiba Corp Mri装置におけるデータ収集方法
EP0492330A1 (de) * 1990-12-24 1992-07-01 Deutsche Aerospace AG Kapazitiver Neigungssensor
US5146688A (en) * 1991-01-28 1992-09-15 Rockwell International Corporation Low power tiltmeter electronics with compensation for bubble level fluid temperature
DE4107366C1 (ja) * 1991-03-08 1992-04-23 Leica Heerbrugg Ag, Heerbrugg, Ch
JPH0514168A (ja) 1991-07-02 1993-01-22 Fujitsu Ltd 出力回路及び半導体集積回路装置
IL100345A0 (en) * 1991-12-11 1992-09-06 Israel State Inclinometer
US5237753A (en) * 1992-05-18 1993-08-24 Lucas Sensing Systems, Inc. Capacitive gravity sensor and inclinometer
US5365671A (en) * 1993-08-05 1994-11-22 Interlink Electronics, Inc. Inclinometer
US5534773A (en) * 1994-06-23 1996-07-09 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Method for compensating an offset voltage temperature drift in a semiconductor strain gage sensor
US5802728A (en) * 1995-08-17 1998-09-08 Watson Industries, Inc. Liquid level and angle detector
JPH1038508A (ja) * 1996-07-22 1998-02-13 Hewlett Packard Co <Hp> 位置検出装置及び位置決め装置
US6341406B1 (en) * 2000-06-23 2002-01-29 John Beckman Gurney handle

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