JP4013394B2 - 半導体レーザ装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光通信システムに用いられる半導体レーザ装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、幹線系光通信システムの長距離・大容量化の研究開発が盛んに行われている。半導体レーザに電界吸収型半導体光変調器を集積化した変調器集積化半導体レーザは、変調時の波長チャープが小さいため長距離大容量光ファイバ通信システムのキーデバイスとして注目されている。図6には、その一例として、特開平10−84166記載の半導体レーザ装置の断面図を示す。図において、1は変調器集積化半導体レーザ素子であり、レーザ光を出射する半導体レーザ部2と、このレーザ光の強度変調を行う電界吸収型半導体光変調器部3を有し、半導体レーザ部2と電界吸収型半導体光変調器部3とはモノリシックに集積化されている。また、変調器集積化半導体レーザ素子1は光導波路層(活性層)4a、光導波路層(吸収層)4b、半導体レーザ部2の電極5a、電界吸収型半導体光変調器部3の電極5bおよび接地電極6とを備えている。
【0003】
以下、この従来の半導体レーザ装置の動作について説明する。図6において、半導体レーザ部2の電極5aに直流電流を給電すると半導体レーザ部2からは連続光が出射され、光導波路層(活性層)4aにより電界吸収型半導体光変調器部3に入射される。一方、電界吸収型半導体光変調器部3の光導波路層(吸収層)4bでは、電極5bに印加される電圧に応じてこのレーザ光の吸収が変化するため、電極5bに変調信号電圧を印加すれば、電界吸収型半導体光変調器部3の出射端面から出射されるレーザ光には信号電圧に対応した強度変調が施されることになる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記図6に示された従来の半導体レーザ装置においては、以下に述べるような問題点があった。すなわち、前記の変調器集積化半導体レーザ素子1の周波数応答特性は、電界吸収型半導体光変調器部3の電極5bと接地電極6との間に生じる寄生容量によって制限され、一般的に、この寄生容量が小さいときに高周波までの周波数応答特性が得られる、つまりより高速で変調が可能であるといった特性を有している。従って、寄生容量を低減するために、電界吸収型半導体光変調器部の光導波方向の変調器長を短くするといった手法が採られるが、変調器長を短くすると、電界吸収型半導体光変調器部3における光の吸収量が小さくなるため、電界吸収型半導体光変調器部3から出射される変調光波形の”0”、”1”の消光比が小さくなり光S/N特性が劣化し、伝送特性に悪影響を及ぼしてしまう。つまり、変調器長をパラメータとしたときの周波数応答特性と伝送特性とはトレードオフの関係に有るという問題点があった。特に、近年の長距離大容量光ファイバ通信システムにおいては、変調速度の高速化と長距離化に対応した伝送特性の改善とが最重要課題の一つであり、これらを両立させる技術開発が待たれていた。
【0005】
この発明の目的は、従来の半導体レーザ装置の前記のような不具合点を解消するためになされたもので、電界吸収型半導体光変調器での光の吸収量を犠牲にすることなく寄生容量を低減できるよう構成することによて、長距離大容量光ファイバ通信システムに適した半導体レーザ装置を得ることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
この発明に係わる半導体レーザ装置は、前記の目的を達成するために、レーザ光を出射する半導体レーザ素子と、前記半導体レーザ素子から出射されたレーザ光を直列に通して変調する複数の電界吸収型半導体光変調器素子と、複数の前記電界吸収型半導体光変調器素子を電気的に直列に接続するための給電回路と、複数の前記電界吸収型半導体光変調器素子で同期して変調が施されるように複数の前記電界吸収型半導体光変調器素子に印加される信号電圧の遅延量を制御するための回路とを備えたものである。
【0007】
また、この発明に係わる半導体レーザ装置は、前記半導体レーザ素子と、複数の前記電界吸収型半導体光変調器素子と、前記給電回路とを同一のケース内に収納したものである。
【0008】
また、この発明に係わる半導体レーザ装置は、前記半導体レーザ素子と前記電界吸収型半導体光変調器素子との間、または複数の前記電界吸収型半導体光変調器素子同士の間に、一つまたは複数の結合光学系を配置したものである。
【0009】
さらに、この発明に係わる半導体レーザ装置は、前記結合光学系に、前記半導体レーザ素子の発振中心波長近傍において低反射となる光学コーティングを施したものである。
【0010】
また、この発明に係わる半導体レーザ装置は、前記結合光学系に、先球ファイバを用いたものである。
【0011】
また、この発明に係わる半導体レーザ装置は、前記半導体レーザ素子と前記電界吸収型半導体光変調器素子との間、または複数の前記電界吸収型半導体光変調器素子同士の間に、光アイソレータを配置したものである。
【0012】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.
図1に、この発明の実施の形態1である半導体レーザ装置の構成を表す断面図を示す。図1において、2は半導体レーザ素子であり、電極5a、光導波路層(活性層)4aおよび接地電極6aを備えている。また、3b、3cは電界吸収型半導体光変調器素子であり、それぞれ電極5b、5c、光導波路層(吸収層)4b、4cおよび裏面電極6b、接地電極6cを備えている。なお、この実施の形態1においては、半導体レーザ素子2と電界吸収型半導体光変調器素子3b、電界吸収型半導体光変調器素子3cはそれぞれ物理的、電気的に分離されている。さらに、電界吸収型半導体光変調器素子3bの裏面電極6bと電界吸収型半導体光変調器素子3cの電極5cとを電気的に接続するために給電回路7を備えており、電界吸収型半導体光変調器3bと電界吸収型半導体光変調器素子3cとは電気的に直列になるように実装されている。
【0013】
以下、この実施の形態1の動作について説明する。図1において、半導体レーザ素子2の電極5aに直流電流を給電すると半導体レーザ素子2の光導波路層(活性層)4aから連続光が出射(図中矢印A)され、電界吸収型半導体光変調器素子3bの光導波路層(吸収層)4bに入射される。一方、電界吸収型半導体光変調器素子3bでは、電極5bと裏面電極6b間に印加される電圧に応じてこのレーザ光の吸収が変化するため、こうして電界吸収型半導体光変調器素子3bに入射されたレーザ光は電極5bと裏面電極6b間に印加された信号電圧に対応して強度変調が施された後、出射端面から電界吸収型半導体光変調器素子3cにさらに入射(図中矢印B)される。電界吸収型半導体光変調器素子3cに入射されたレーザ光は電極5cと接地電極6c間に印加された信号電圧に対応して強度変調が施された後、出射端面から出射(図中矢印C)される。なお、電界吸収型半導体光変調器素子3bと電界吸収型半導体光変調器素子3cとの距離が光速に対して十分無視できるほど短ければ、電界吸収型半導体光変調器素子3bと電界吸収型半導体光変調器素子3cとではほぼ同期して変調が施される。また、遅延量を制御するための回路を付加することにより、電界吸収型半導体光変調器素子3bと電界吸収型半導体光変調器素子3cとの距離が長い場合でも同期して変調を施すことができる。
【0014】
また、図2(a)に、この発明の実施の形態1である半導体レーザ装置の変調器部分の電気的等価回路モデル、図2(b)に、従来の半導体レーザ装置の変調器部分の電気的等価回路モデルを示す。なお、11は終端抵抗である。
このとき、図2に示すように、電界吸収型半導体光変調器素子3bと電界吸収型半導体光変調器素子3cは同一構造とし、その変調器長をL(図示せず)、寄生容量をCと仮定する。また、電界吸収型半導体光変調器素子3bの電極5bと接地電極6c間に印加する電圧をVと仮定すると、電界吸収型半導体光変調器素子3bと3cにはそれぞれV/2の電界が印加される。従って、電界吸収型半導体光変調器素子3bと電界吸収型半導体光変調器素子3c両方によって得られる消光比は、電界吸収型半導体光変調器素子3bもしくは3cにV/2の電界が印加されるときに得られる消光比の2倍(対数表示)であり、電界吸収型半導体光変調器素子3bもしくは3cと等しい変調器長Lを有する電界吸収型半導体光変調器素子にVの電界が印加されるときに得られる消光比と同等となる。一方、電界吸収型半導体光変調器素子3bと電界吸収型半導体光変調器素子3cとは電気的に直列になるよう配置されているため、このときの寄生容量はC/2であり、電界吸収型半導体光変調器素子3bもしくは3cと等しい寄生容量Cを有する電界吸収型半導体光変調器素子の寄生容量の半分となる。
【0015】
以上のように、この実施の形態1によれば、電界吸収型半導体光変調器素子3bと電界吸収型半導体光変調器3cとを電気的に直列に接続する給電回路を備えているため、電界吸収型半導体光変調器素子によって得られる消光比を犠牲にすることなく電界吸収型半導体光変調器素子の寄生容量を低減でき、高速性および伝送特性に優れ、長距離大容量光ファイバ通信システムに適した半導体レーザ装置を得ることができる。
【0016】
なお、前記実施の形態1においては、電界吸収型半導体光変調器素子を2個使用した場合について示したが、複数個であっても良いことはもちろんであり、数が多いほど寄生容量を低減できる。
【0017】
実施の形態2.
この発明による実施の形態2では、半導体レーザ素子2と電界吸収型半導体光変調器3b、3cおよび電界吸収型半導体光変調器素子同士を直列に接続する給電回路7を同一ケース内に収納したため、半導体レーザ素子2や電界吸収型半導体光変調器素子3b、3cおよび給電回路7の保護が図られるとともに、衝撃等によって互いに光学的に分離された半導体レーザ素子2と電界吸収型半導体光変調器素子3b、3cの光軸がずれる心配が少なくなり、半導体レーザ装置の信頼性が向上するとともに、取り扱いや作業性に優れた半導体レーザ装置が得ることができる。
【0018】
実施の形態3.
図3は、実施の形態3による半導体レーザ装置の構成を示す断面図を示す。図において、8a、8bはそれぞれ半導体レーザ素子2と電界吸収型半導体光変調器素子3b間、および電界吸収型半導体光変調器素子3bと電界吸収型半導体光変調器素子3c間の光軸上に配置された光学レンズであり、半導体レーザ素子2から出射されたレーザ光が光学レンズ8aにより集光されて電界吸収型半導体光変調器素子3bに入射し、さらに電界吸収型半導体光変調器素子3bから出射されたレーザ光が光学レンズ8bにより集光されて電界吸収型半導体光変調器素子3cに入射するよう結合光学系を構成している。なお、以下、図1と同一または相当部分には同一の符号を付して説明を省略する。
【0019】
以上のように、この実施の形態3によれば、半導体レーザ素子2と電界吸収型半導体光変調器素子3bとの間および電界吸収型半導体光変調器素子3bと電界吸収型半導体光変調器素子3cとの間に光学レンズ8a、8bを配置したため、半導体レーザ素子2から出射されたレーザ光が光学レンズ8aにより効率良く電界吸収型半導体光変調器素子3bに結合され、さらに電界吸収型半導体光変調器素子3bから出射されたレーザ光が光学レンズ8bにより効率良く電界吸収型半導体光変調器素子3cに結合され、結果的に半導体レーザ装置から取り出せる光出力が増大するとともに、光出力の増大に伴って光S/N比が高くなるため、一層伝送特性の良好な半導体レーザ装置を得ることができる。
【0020】
なお、前記実施の形態3においては、結合光学系として、光学レンズを各素子間に1枚使用した場合について示したが、複数枚であっても良いことはもちろんである。
【0021】
実施の形態4.
また、前記実施の形態3で示した光学レンズ8a、8bの端面に、半導体レーザ素子2の発振中心波長近傍において低反射となる光学コーティングを施すことにより、半導体レーザ素子2の出射光を低損失に光学レンズ8a、8bに入射および出射させることができるため、半導体レーザ素子2の出射光を効率良く電界吸収型半導体光変調器素子3bおよび電界吸収型半導体光変調器素子3cまで供給でき、半導体レーザ装置から取り出せる光出力が増大して光S/N比が高くなるため、伝送特性の良好な半導体レーザ装置を得ることができる。
【0022】
さらに、光学コーティングによって光学レンズ8a、8bの端面で生じる反射光が減少し、半導体レーザ素子2への戻り光が少なくなるため、半導体レーザ素子2を安定して発振させることができ、光出力および発振波長が安定するとともに、戻り光による発振条件の変化や半導体レーザ素子2の光導波路層(活性層)4aの屈折率変化に伴う波長チャープが小さくなり、伝送特性に優れた半導体レーザ装置を得ることができる。
【0023】
実施の形態5.
図4には、この発明による実施の形態5である半導体レーザ装置の構成を表す断面図を示す。図4において、9a、9bは先端を球状に加工した先球ファイバであり、この先球ファイバ9aを半導体レーザ素子2と電界吸収型半導体光変調器素子3bとの間、および先球ファイバ9bを電界吸収型半導体光変調器素子3bと電界吸収型半導体光変調器素子3cとの間の光軸上に配置することにより、半導体レーザ素子2からの出射光を効率良く電界吸収型半導体光変調器素子3bおよび電界吸収型半導体光変調器素子3cまで供給でき、半導体レーザ装置から取り出せる光出力が増大するように構成されている。こうして、この実施の形態5によれば、先球ファイバからなる結合光学系を、半導体レーザ素子2と電界吸収型半導体光変調器素子3b、および電界吸収型半導体光変調器素子3bと電界吸収型半導体光変調器素子3cとの間の光軸上に配置したため、前記実施の形態3と同様に、光出力の増大にともなって光S/N比を大きくすることができ、良好な伝送特性を有する半導体レーザ装置を得ることができる。
【0024】
また、この実施の形態5で用いた先球ファイバ9a、9bは、実施の形態3で示した一般的な光学レンズ8a、8bに比較して径が小さいため、コンパクトな半導体レーザ装置が得られる。
【0025】
実施の形態6.
また、前記実施の形態5で示した先球ファイバ9a、9bの端面に、半導体レーザ素子2の発振中心波長近傍において低反射となる光学コーティングを施すことにより、実施の形態4と同様に、半導体レーザ素子2の出射光を低損失に先球ファイバ9a、9bに入射および出射させることができ、半導体レーザ装置から取り出せる光出力が増大して光S/N比が高くなるため、いっそう良好な伝送特性を有する半導体レーザ装置を得ることができる。
【0026】
さらに、光学コーティングによって先球ファイバ9a、9bの端面で生じる反射光が減少し、半導体レーザ素子2への戻り光が少なくなるため、半導体レーザ素子2を安定して発振させることができ、光出力および発振波長が安定するとともに、戻り光による発振条件の変化や半導体レーザ素子2の光導波路層(活性層)4aの屈折率変化に伴う波長チャープが小さくなり、伝送特性に優れた半導体レーザ装置を得ることができる。
【0027】
実施の形態7.
図5は、実施の形態7による半導体レーザ装置の構成を表す断面図を示す。図5において、10a、10bは、半導体レーザ素子2から電界吸収型半導体光変調器素子3bの方向、および電界吸収型半導体光変調器素子3bから電界吸収型半導体光変調器素子3cの方向にのみ透過損失が小さく、その逆方向に対しては透過損失が大きい特性を有する光アイソレータである。
【0028】
以上のように、光アイソレータ10aを半導体レーザ素子2と電界吸収型半導体光変調器素子3bとの間、および光アイソレータ10bを電界吸収型半導体光変調器素子3bと電界吸収型半導体光変調器素子3cとの間の光軸上に配置するので、電界吸収型半導体光変調器素子3bの端面および電界吸収型半導体光変調器素子3cの端面で生じる反射光が半導体レーザ素子2に再入射することを抑止でき、半導体レーザ素子2への戻り光が少なくなるため、半導体レーザ素子2を安定して発振させることができ、光出力および発振波長が安定するとともに、戻り光による発振条件の変化や半導体レーザ素子2の光導波路層(活性層)4aの屈折率変化に伴う波長チャープが小さくなり、伝送特性に優れた半導体レーザ装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 実施の形態1による半導体レーザ装置の構成を表す断面図を示す。
【図2】 実施の形態1による半導体レーザ装置の変調器部分の電気的等価回路モデルを示す。
【図3】 実施の形態3による半導体レーザ装置の構成を示す断面図を示す。
【図4】 実施の形態5による半導体レーザ装置の構成を表す断面図を示す。
【図5】 実施の形態7による半導体レーザ装置の構成を表す断面図を示す。
【図6】 従来の半導体レーザ装置の断面図を示す。
【符号の説明】
1 変調器集積化半導体レーザ素子
2 半導体レーザ部
3 電界吸収型半導体光変調器部
3b、3c 電界吸収型半導体光変調器素子
4a 光導波路層(活性層)
4b、4c 光導波路層(吸収層)
5a、5b、5c 電極
6、6a、6c 接地電極
6b 裏面電極
7 給電回路
8a、8b 光軸上に配置された光学レンズ
9a、9b 先端を球状に加工した先球ファイバ
10a、10b 光アイソレータ
Claims (6)
- レーザ光を出射する半導体レーザ素子と、前記半導体レーザ素子から出射されたレーザ光を直列に通して変調する複数の電界吸収型半導体光変調器素子と、複数の前記電界吸収型半導体光変調器素子を電気的に直列に接続するための給電回路と、複数の前記電界吸収型半導体光変調器素子で同期して変調が施されるように複数の前記電界吸収型半導体光変調器素子に印加される信号電圧の遅延量を制御するための回路とを備えたことを特徴とする半導体レーザ装置。
- 前記半導体レーザ素子と、複数の前記電界吸収型半導体光変調器素子と、前記給電回路とを同一のケース内に収納したことを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザ装置。
- 前記半導体レーザ素子と前記電界吸収型半導体光変調器素子との間、または複数の前記電界吸収型半導体光変調器素子同士の間に、一つまたは複数の結合光学系を配置したことを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザ装置。
- 前記結合光学系に、前記半導体レーザ素子の発振中心波長近傍において低反射となる光学コーティングを施したことを特徴とする請求項3に記載の半導体レーザ装置。
- 前記結合光学系に、先球ファイバを用いたことを特徴とする請求項3または請求項4に記載の半導体レーザ装置。
- 前記半導体レーザ素子と前記電界吸収型半導体光変調器素子との間、または複数の前記電界吸収型半導体光変調器素子同士の間に、光アイソレータを配置したことを特徴とする請求項3、請求項4または請求項5のいずれかに記載の半導体レーザ装置。
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