JP4003373B2 - 表面弾性波音速評価法 - Google Patents
表面弾性波音速評価法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4003373B2 JP4003373B2 JP2000128311A JP2000128311A JP4003373B2 JP 4003373 B2 JP4003373 B2 JP 4003373B2 JP 2000128311 A JP2000128311 A JP 2000128311A JP 2000128311 A JP2000128311 A JP 2000128311A JP 4003373 B2 JP4003373 B2 JP 4003373B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- comb
- piezoelectric
- electrode
- measured
- acoustic wave
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電体基板表面を伝搬する表面弾性波の特性評価に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の圧電性基板の表面弾性波音速評価法には、大別して破壊的と非破壊的の2種類がある。前者は被測定圧電性基板上に櫛形電極を設けフィルタや共振器を作製し、デバイスの周波数特性から音速を評価している。後者は超音波顕微鏡法を代表に、被測定圧電性基板に対し測定治具を接触または非接触の状態で音速を評価している。後者に属する1種の簡易型の表面弾性波音速評価法として、非圧電性基板の上に複数個の櫛形電極を形成し、非測定圧電性基板の表面を、櫛形電極が形成されている非圧電性基板の面に密着させるか、または、近接に対向させて、被測定圧電性基板と非圧電性基板上の櫛形電極によりフィルタなどを構成し、入力櫛形電極に電気信号を与え、出力櫛形電極から出力した電気信号を検知し、検知した電気信号を解析することにより被測定圧電性基板の表面弾性波音速を評価する方法が提案、使用されてきた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような測定方法では、被測定圧電基板の表面を非圧電性基板上に密着させた場合、非圧電性基板上に形成されている櫛形電極によって被測定圧電性基板の表面が傷付けられる恐れがあり、また、このようにして、見かけ上では被測定圧電性基板の表面と非圧電性基板上の櫛形電極とは接触していても、ミクロレベルでは被測定圧電性基板の表面と非圧電性基板上の櫛形電極とは必ずしも均一に接触していないため、出力櫛形電極から安定した電気信号、すなわち滑らかな測定結果が得られないのが問題となっている。また、被測定圧電性基板の表面を非圧電性基板に近接に対向させた場合、すなわち被測定圧電性基板の表面と非圧電性基板上の櫛形電極の間にエアギャップを形成させた場合、エアギャップの存在により出力櫛形電極からの電気信号が弱くなり、測定結果の解像度が落ちてしまうため、結果として音速の評価精度が悪くなる。さらに、このエアギャップを制御するために、精密なセンサーおよび複雑な制御システムを測定装置に備え付ける必要がある。
また、非圧電性基板上に複数個の櫛形電極を形成して、これらの櫛形電極と被測定圧電性基板によりフィルタを構成して、フィルタの特性を測定する場合、入力櫛形電極に入力する電気信号の周波数が高いと、これらの櫛形電極の間で電磁結合が発生し、そのため、フィルタの通過特性が劣化してしまい、音速の評価精度が悪くなる。
【0004】
本発明は上記事情を鑑み、被測定圧電性基板の表面に損傷を与えず、簡単な装置構成で、迅速に被測定圧電性基板の表面弾性波音速を評価する方法を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明の表面弾性波音速評価法は、非圧電性かつ非導電性基板の上に1個の櫛形電極を形成し、前記櫛形電極を有する前記非圧電性非導電性基板の面を被測定の圧電性基板の表面に向き合わせ、前記非圧電性非導電性基板と前記被測定圧電性基板の間に非導電性の液体を介在させ、前記非圧電性非導電性基板およびその上に形成される櫛形電極と、前記被測定圧電性基板の表面を非接触状態で位置させ、前記櫛形電極の電気的反射特性から前記被測定圧電性基板の表面弾性波の音速を評価することを特徴とする。
さらに、前記非圧電性非導電性基板上に形成される櫛形電極がスプリット(Split)電極構造(ダブル電極構造ともいう)、即ち、1電極周期構造上で、電極の幅と電極間の間隔が同じであり、ともに電極周期長の8分の1であることを特徴とする請求項1に記載の表面弾性波音速評価法が最適である。
被測定圧電性基板と非圧電性非導電性基板との間に介在させる非導電性液体としては、超純水が最適であるが、エタノール、またはシリコンオイルなども使用できる。
【0006】
【発明の実施の形態】
以下、 図1を用いて本発明の評価法の構成を詳しく説明する。
図1が本発明の評価法の概略構成図である。図1に示すように本発明の評価法は主に非圧電性非導電性基板1、被測定圧電性基板2、櫛形電極3と非導電性液体4および計測装置5により構成される。具体的に説明すると、非圧電性非導電性基板1の上に櫛形電極3が形成され、被測定圧電性基板2の表面を非圧電性非導電性基板1の電極側の面に向き合わせ、被測定圧電性基板の表面と非圧電性非導電性基板1の間に非導電性液体4を介在させ、櫛形電極3を計測装置5に接続させるという構成である。本発明の評価法の構成上では図1に示すように、非圧電性非導電性基板1上の櫛形電極3と被測定圧電性基板2とは非接触状態であるが、櫛形電極3からの電界により被測定圧電性基板2の表面に表面弾性波を励振することができる。従って、本発明の評価法は、被測定圧電性基板2の表面を傷つけず、従来条件同様に音速を評価することができる。
【0007】
さらに、非圧電性非導電性基板1の上に1個のみの櫛形電極3を形成し、同櫛形電極3の電気的反射特性を計測装置5により測定することにより被測定圧電性基板2の表面弾性波音速を評価することができる。一般に、1個のみの櫛形電極3の電気的反射特性が図2に示すようなものである。図2に示す反射係数が最小値となるところの周波数f0 が櫛形電極3の周波長λと被測定圧電性基板の表面弾性波音速vと、近似的にv=f0・λの関係を有する。この関係を利用すれば、表面弾性波の音速を評価することができる。また、非圧電性非導電性基板1上に1個のみの櫛形電極3を形成して、櫛形電極3の電気的反射特性より音速を評価する場合は、非圧電性非導電性基板1上に複数の櫛形電極3を形成して、それらの櫛形電極3により構成されるフィルタの特性より音速を評価する場合に比べ、櫛形電極3同士の直接的な電磁結合問題が存在しないため、よりきれいな測定結果が得られるわけである。よって、非圧電性非導電性基板1上に1個のみの櫛形電極3を形成して櫛形電極3の電気的反射特性より音速を評価する本発明の評価法は好適である。
【0008】
また、非圧電性非導電性基板1上に形成する櫛形電極3の構造はスプリット(split)電極構造(ダブル電極構造ともいう)、即ち、図1に示すように、櫛形電極3の信号電極指3aとグランド電極指3bがそれぞれ2本ずつ交互に繰り返し、1電極周期長の電極構造上で、電極指の幅と電極間の間隔が同じであり、しかも、ともに電極周期長の8分の1であるという構造であれば、櫛形電極3の内部において各電極指での音響的な反射が互いに相殺してしまい、全体的に、櫛形電極3の内部で音響的な反射が発生しないという特徴があるので、理論的に図2に示す櫛形電極3の電気的反射係数が最小値となるところの周波数f0 が電極周期長λと表面弾性波音速vと、精密にv=f0・λの関係を有するため、より高精度に音速評価することができるわけである。従って、非圧電性非導電性基板1上に形成する櫛形電極3が1個のみであり、櫛形電極3の構造がスプリット(Split)電極構造(ダブル電極構造)である本発明の評価法は最適である。
【0009】
【実施例】
以下、実施例を示して本発明を具体的に説明する。
図3は、本実施例の表面弾性波音速評価法の概略構成図であり、(a)上面図と、(b)櫛形電極部分の断面図である。
本実施例では、非圧電性非導電性基板として4インチガラスウエハ11を、被測定の圧電性基板として(0°、140°、24°)方位のランガサイト3インチウエハ12を、非導電性液体として超純水14を使用した。櫛形電極の材料がAlであった。電極膜がスパッタリング法によりガラスウエハ上に成膜され、膜厚が2000Åであった。櫛形電極の構造がスプリット(Split)電極構造、すなわちダブル電極13であり、フォトリソグラフィ工程により形成された。電極の周期長が40μmとした。また、電極の対数と交差幅がそれぞれ50対と2mmとした。計測装置としてネットワークアナライザー15を使用し、ダブル電極13とネットワークアナライザー15との接続にはプローバ16としてカスケード社のマイクロプローバを使用した。
以上の構成でネットワークアナライザー15により測定したスプリット電極の反射係数の結果を図4に示す。
本発明の効果を確認するために、本実施例では、比較例として被測定圧電性基板表面を非圧電性非導電性基板上の電極に密着させるという従来の方法で同様な測定を行った。具体的に説明すると、4インチガラスウエハと3インチランガサイトウエハとの間に液体を入れず、直接にランガサイトウエハの表面をガラスウエハ上の電極に密着させる状態でスプリット電極の電気的反射特性を測定した。その測定結果を図5に示す。
図4と図5に示すように、従来方法(比較例)のジグザグのような測定結果と対照的に、本発明の評価法の測定結果が非常に滑らかである。また、測定終了後、本発明の評価法と従来方法(比較例)ともに顕微鏡を用いてランガサイトウエハの表面状態を調べた。その結果、本発明の評価法の場合はランガサイトウエハ表面に傷跡が一切見られないのに対して、従来方法(比較例)の場合はランガサイトウエハ表面に微小なすり傷が見られた。従って、本発明の評価法は従来方法より優れている。
【0010】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の表面弾性波音速評価法は非測定圧電性基板に損傷を与えず、簡単な装置構成でかつ迅速に被測定圧電性基板の表面弾性波音速を評価することができるので、圧電ウエハメーカーのウエハ品質改善および管理に大きな効果をもたらすことが期待できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の表面弾性波音速評価法の概略構成図であり、(a)上面図と、(b)櫛形電極部分の断面図である。
【図2】 櫛形電極の電気的反射特性を示すグラフである。
【図3】 本実施例の表面弾性波音速評価法の概略構成図であり、(a)上面図と、(b)櫛形電極部分の断面図である。
【図4】 本発明の表面弾性波音速評価法の測定結果を示すグラフである。
【図5】 従来の表面弾性波音速評価法の測定結果を示すグラフである。
【符号の説明】 1…非圧電性非導電性基板、2…被測定圧電性基板、3…櫛形電極、3a…櫛形電極の信号電極指、3b…櫛形電極のグランド電極指、4…非導電性液体、5…計測装置、11…4インチガラスウエハ、12…3インチランガサイトウエハ、13…ダブル電極、14…超純水、15…ネットワークアナライザー、16…プローバ
Claims (2)
- 非圧電性かつ非導電性基板の上に1個の櫛形電極を形成し、前記櫛形電極を有する前記非圧電性非導電性基板の面を被測定の圧電性基板の表面に向き合わせ、前記非圧電性非導電性基板と前記被測定圧電性基板の間に非導電性の液体を介在させ、前記非圧電性非導電性基板およびその上に形成される櫛形電極と、前記被測定圧電性基板の表面を非接触状態で位置させ、前記櫛形電極の電気的反射特性から前記被測定圧電性基板の表面弾性波の音速を評価することを特徴とする表面弾性波音速評価法。
- 前記非圧電性非導電性基板上に形成される櫛形電極がスプリット電極構造であることを特徴とする請求項1に記載の表面弾性波音速評価法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000128311A JP4003373B2 (ja) | 2000-04-27 | 2000-04-27 | 表面弾性波音速評価法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000128311A JP4003373B2 (ja) | 2000-04-27 | 2000-04-27 | 表面弾性波音速評価法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001311657A JP2001311657A (ja) | 2001-11-09 |
JP4003373B2 true JP4003373B2 (ja) | 2007-11-07 |
Family
ID=18637768
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000128311A Expired - Fee Related JP4003373B2 (ja) | 2000-04-27 | 2000-04-27 | 表面弾性波音速評価法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4003373B2 (ja) |
-
2000
- 2000-04-27 JP JP2000128311A patent/JP4003373B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001311657A (ja) | 2001-11-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100706561B1 (ko) | 마이크로 음향 센서 장치를 작동시키기 위한 방법 및 장치 | |
JP3933340B2 (ja) | マルチチャンネルqcmセンサデバイス | |
JP2007304087A (ja) | ワイヤレス表面弾性波センサ | |
JP3106387B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
JP2004093574A (ja) | 原子間力顕微鏡用力方位センサ付カンチレバー | |
JP4003373B2 (ja) | 表面弾性波音速評価法 | |
KR100698439B1 (ko) | 휘발성 물질 감지용 표면탄성파 가스센서 | |
WO2019097769A1 (ja) | 固体微粒子質量測定装置 | |
US11716070B2 (en) | Film bulk acoustic sensors using thin LN-LT layer | |
CN107421655B (zh) | 一种偶次阶Lamb波发生装置及温度检测系统 | |
JP3959533B2 (ja) | 超音波タッチパネル | |
Lee et al. | Study of Low-Frequency Narrow Bandwidth Surface Acoustic Wave Sensor for Liquid Applications | |
JP3488980B2 (ja) | 超音波タッチパネル | |
CN117664040A (zh) | 一种基于声表面波谐振器s11参数无损检测薄膜厚度的方法 | |
CN114113313B (zh) | 用于检测大肠杆菌的悬臂梁式声表面波传感器及工作方法 | |
Habib et al. | Determination of the transport properties of ultrasonic waves traveling in piezoelectric crystals by imaging with Coulomb coupling | |
JPH10502237A (ja) | KTiOPO▲下4▼及びその類似体における表面スキムバルク波の生成 | |
Ralib et al. | Enhancement of Quality Factor in ST-cut Quartz Surface Acoustic Wave Devices by using Different Numbers of IDTs and Wavelengths for gas sensing | |
JP3959532B2 (ja) | 超音波接触位置検出装置 | |
JP2020088539A (ja) | 表面弾性波素子および固体微粒子質量測定装置 | |
Bunea et al. | Investigation of technological dispersion of GaN on silicon SAW resonators for bandpass filter applications | |
JPH0643995A (ja) | 超音波タッチパネル | |
Gnewuch et al. | " Crossed-field" excitation of an acoustic superlattice with matched boundaries: Theory and experiment | |
JP3959534B2 (ja) | 超音波タッチパネル | |
SU1753395A1 (ru) | Устройство дл измерени параметров объектов |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060331 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070424 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070508 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070705 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070731 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070813 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4003373 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100831 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100831 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100831 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100831 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110831 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120831 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120831 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130831 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |