JP2004093574A - 原子間力顕微鏡用力方位センサ付カンチレバー - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 カンチレバーの力変位の検出に、圧電体に櫛形電極を設けた弾性表面波素子(SAW)を利用した共振器を使った。
【選択図】 図1
Description
第1実施例は、送信部7、受信部8の電極ピッチを変えて各々d1,d2とする。各共振周波数はf01、f02となる。受信部8の周波数特性を図4(a)に示す。この例はd1>d2(f01<f02)の場合である。f01と同じ周波数fsの入力信号10を印加し、受信部8の周波数特性の傾きが正で、ピークの1/2付近にくるように設計し、動作点13を設定する。圧電体5に変位がない時は、伝搬速度uが変化しないため、送信周波数f01も変化しない。次に変位が生じると伝搬速度uが変位に応じてu±△uに変化する。その結果、受信部8に伝送される周波数がf01±△f変化するため、受信電圧vも同様に変化する。
第2実施例の特性を図4(b)に示す。電極ピッチdは送信部7、受信部8で同じにする(d1=d2,f01=f02)。動作点13は、f02より小さい周波数fsの入力信号10(Vs)を印加し、受信部8の周波数特性の傾きが正で、ピークの1/2付近にくるように設定する。他の動作は、第1実施例と同じである。
次に第3実施例を図5に示す。受信部8の櫛形電極9のみを大きくした構造である。つまり、カンチレバーが機械的に振動しているため、圧電体5に振動周波数に対応した変位が生じる。従ってその変位をSAWで検出すれば、カンチレバーの変位が測定できる。この際電極のピッチは、動作点を図4(a)と図4(b)と同様にカンチレバーの共振周波数f0が、受信部8の周波数特性の傾きが正で、ピークの1/2付近にくるように設定する。またこの場合も傾き負の動作点でも検出は可能である。
AFMにおける励振モード動作は、カンチレバーの外部から励振を行なうのが一般的であるが、励振部14を圧電体を使ってカンチレバー内部に集積化することも可能である。第4実施例として励振部14を含むカンチレバーの構造を図6(a)に示す。図2の従来方式の検出部4と同様の構造をしており、動作は外部から励振信号15を圧電体5に印加してレバー2を振動させる。図6(a)では励振部14を検出部4と反対側の面に設置しているが、同じ側や、検出部4に積層する構造も可能である。この構造により自己励振、自己検出のカンチレバーが構成される。励振や変位検出には、いくつかの方法があるが、カンチレバーとSAWの共振周波数をほぼ同じに設計して、カンチレバーの共振周波数で励振する方法が、最も感度がよくなる。
第5実施例として検出部4をレバー2の長さ方向と垂直に配置して、レバー2の垂直方向の変位(ねじれ)を測定する方法を図7に示す。構成は図1の第1実施例と同じである。
第6実施例として図8にレバー2の長さ方向の変位と、ねじれ変位とを両方同時に検出できる方法を示す。検出部4は送信部7と、2つの受信部8が平行に配置されている。共通の送信部7から送られてきた信号は、各々2つの受信部8で検出する。ここで2つの受信部8の信号の和と差をオペアンプ等で分離すると、和が長さ方向の変位で、差がねじれ変位となる。
2 レバー
3 支持台
4 検出部
5 圧電体
6 電極
7 送信部
8 受信部
9 櫛形電極
10 入力信号
11 出力
12 SAW共振器
13 動作点
14 励振部
15 励振信号
Claims (6)
- 一端が支持台に固定されている片持ち梁構造のレバーと、該レバーの先端に備えられた針状のチップと、レバーの変位を検出する検出部とからなり、該検出部は、圧電体と金属電極からなる弾性表面波素子(SAW)であり、該SAWが前記レバーとほぼ同じ共振周波数を有する共振器であることを特徴とする原子間力顕微鏡用力変位センサ付カンチレバー。
- 一端が支持体に固定されている片持ち梁構造のレバーと、該レバーに機械的に接続されたチップと、前記レバーの変位を検出する検出部として櫛型の電極を備えたSAW共振器からなり、該SAW共振器は、送信部と、該送信部が発する信号を受信する受信部とを有し、前記送信部からの信号の周波数が前記レバーの機械的な共振周波数とほぼ等しい周波数であることを特徴とする原子間力顕微鏡用力変位センサ付カンチレバー。
- 前記送信部からの信号の周波数が前記レバーの機械的な共振周波数の整数倍であることを特徴とする請求項2に記載の原子間力顕微鏡用力変位センサ付カンチレバー。
- 前記送信部の電極ピッチは、前記受信部の電極ピッチと異なるピッチであることを特徴とする請求項2に記載の原子間力顕微鏡用力変位センサ付カンチレバー。
- 一端が支持体に固定されている片持ち梁構造のレバーと、該レバーに機械的に接続されたチップと、前記レバーの変位を検出する検出部として櫛型の電極を備えたSAW共振器からなり、該SAW共振器は、送信部と、該送信部が発する信号を受信する受信部とを有し、前記送信部の共振周波数は、前記受信部の共振周波数と異なる周波数であることを特徴とする原子間力顕微鏡用力変位センサ付カンチレバー。
- 一端が支持体に固定されている片持ち梁構造のレバーと、該レバーに機械的に接続されたチップと、前記レバーの一方の面に配置し前記レバーを振動する励振部と、前記レバーの面のうち励振部を有する面と反対の面に配置し、前記レバーの変位を検出する検出部からなり、該検出部は、圧電体と金属電極からなる弾性表面波素子であることを特徴とする原子間力顕微鏡用力変位センサ付カンチレバー。
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Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7068377B2 (en) | 2001-03-29 | 2006-06-27 | Georgia-Tech Rsearch Corporation | System and method for surface profiling a target object |
US7116430B2 (en) | 2002-03-29 | 2006-10-03 | Georgia Technology Research Corporation | Highly-sensitive displacement-measuring optical device |
US7395698B2 (en) | 2005-10-25 | 2008-07-08 | Georgia Institute Of Technology | Three-dimensional nanoscale metrology using FIRAT probe |
US7440117B2 (en) | 2002-03-29 | 2008-10-21 | Georgia Tech Research Corp. | Highly-sensitive displacement-measuring optical device |
US7485847B2 (en) | 2004-12-08 | 2009-02-03 | Georgia Tech Research Corporation | Displacement sensor employing discrete light pulse detection |
US7518737B2 (en) | 2002-03-29 | 2009-04-14 | Georgia Tech Research Corp. | Displacement-measuring optical device with orifice |
JP2010054310A (ja) * | 2008-08-27 | 2010-03-11 | Sii Nanotechnology Inc | カンチレバー、カンチレバーシステム及びプローブ顕微鏡並びに吸着質量センサ |
ITPI20080103A1 (it) * | 2008-09-30 | 2010-04-01 | Scuola Normale Superiore Di Pisa | Metodo e dispositivo per misure di posizione e di massa |
US7752898B2 (en) | 2005-10-28 | 2010-07-13 | Georgia Tech Research Corporation | Devices for probe microscopy |
US7797757B2 (en) | 2006-08-15 | 2010-09-14 | Georgia Tech Research Corporation | Cantilevers with integrated actuators for probe microscopy |
WO2010146773A1 (ja) * | 2009-06-15 | 2010-12-23 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 微小接触式プローバ |
US8220318B2 (en) | 2005-06-17 | 2012-07-17 | Georgia Tech Research Corporation | Fast microscale actuators for probe microscopy |
CN108802433A (zh) * | 2018-03-15 | 2018-11-13 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 基于声表面波的原子力显微镜探针、制备方法及表征方法 |
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Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7068377B2 (en) | 2001-03-29 | 2006-06-27 | Georgia-Tech Rsearch Corporation | System and method for surface profiling a target object |
US7116430B2 (en) | 2002-03-29 | 2006-10-03 | Georgia Technology Research Corporation | Highly-sensitive displacement-measuring optical device |
US7440117B2 (en) | 2002-03-29 | 2008-10-21 | Georgia Tech Research Corp. | Highly-sensitive displacement-measuring optical device |
US7518737B2 (en) | 2002-03-29 | 2009-04-14 | Georgia Tech Research Corp. | Displacement-measuring optical device with orifice |
US7485847B2 (en) | 2004-12-08 | 2009-02-03 | Georgia Tech Research Corporation | Displacement sensor employing discrete light pulse detection |
US8220318B2 (en) | 2005-06-17 | 2012-07-17 | Georgia Tech Research Corporation | Fast microscale actuators for probe microscopy |
US7395698B2 (en) | 2005-10-25 | 2008-07-08 | Georgia Institute Of Technology | Three-dimensional nanoscale metrology using FIRAT probe |
US7752898B2 (en) | 2005-10-28 | 2010-07-13 | Georgia Tech Research Corporation | Devices for probe microscopy |
US7797757B2 (en) | 2006-08-15 | 2010-09-14 | Georgia Tech Research Corporation | Cantilevers with integrated actuators for probe microscopy |
JP2010054310A (ja) * | 2008-08-27 | 2010-03-11 | Sii Nanotechnology Inc | カンチレバー、カンチレバーシステム及びプローブ顕微鏡並びに吸着質量センサ |
US8719959B2 (en) | 2008-08-27 | 2014-05-06 | Sii Nano Technology Inc. | Cantilever, cantilever system, and probe microscope and adsorption mass sensor including the cantilever system |
ITPI20080103A1 (it) * | 2008-09-30 | 2010-04-01 | Scuola Normale Superiore Di Pisa | Metodo e dispositivo per misure di posizione e di massa |
WO2010146773A1 (ja) * | 2009-06-15 | 2010-12-23 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 微小接触式プローバ |
US8438660B2 (en) | 2009-06-15 | 2013-05-07 | Hitachi High-Technologies Corporation | Micro contact prober |
CN108802433A (zh) * | 2018-03-15 | 2018-11-13 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 基于声表面波的原子力显微镜探针、制备方法及表征方法 |
CN108802433B (zh) * | 2018-03-15 | 2020-12-22 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 基于声表面波的原子力显微镜探针、制备方法及表征方法 |
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