JP4002818B2 - 測定装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、蛍光信号を統計解析して蛍光を測定する測定装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、蛍光信号を統計解析して蛍光を測定する測定装置には、蛍光相関分光による方法を用いたものが知られている。そして、この方法を用いた蛍光相関分光装置については、例えば、「"Fluorescence correlation spectroscopy”R.Rigler,E.S.Elson(eds.)Springer(Berlin)」や、「金城政孝「蛋白質核酸酵素」(1999)Vol44,No.9,P1431-1437」や特表平11−502608号公報などで論じられている。なお、蛍光相関解析は、一定期間(1〜10秒)断続的にデータ取得を行い、標識した物質の挙動を数値化する新規な技術であり、蛍光強度のみを数値化して重畳表示する従来の技術とは異なる。
【0003】
このような蛍光相関分光装置は、例えば、光源装置からの励起光を集光装置を介して試料に照射し、この励起光により、試料より蛍光を発生させる。そして、この試料からの蛍光を光検出装置に入射し、この光検出装置より出力される蛍光の強度を示す光強度値を統計解析装置に入力する。これにより統計解析装置において光強度値の統計解析が行われ、光強度統計解析値を出力するようになっている。
【0004】
このようにして蛍光の統計解析が行われるが、さらに蛍光相関解析では、粒子の蛍光強度のゆらきを測定し、この結果を解析して自己相関関数を求め、この自己相関関数から、対象とする粒子の拡散時間、濃度、大きさなどを推測するようにもしている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、例えば、試料として、励起光照射によるダメージを受けやすい細胞のデータ測定を行うような場合、試料上のダメージを受けた領域からの光強度値についても、このことを考慮することなく、統計解析装置より統計解析結果を出力するようになるため、試料からのデータを長時間安定して測定することが難しいという問題があった。
【0006】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、試料に関するデータを長時間安定して測定できる測定装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
請求項記載の発明は、試料上の測定点からの光を検出し光強度値を出力する光検出手段と、前記光検出手段の光強度値を統計解析する統計解析手段と、前記統計解析手段の統計解析値に基づいて前記測定点を移動させるべく測定点異常告知の信号を出力するデータ処理手段と、前記データ処理手段の測定点異常告知の信号に従って前記試料上の測定点を移動させるべく測定点を少なくとも1個入力する測定点入力手段とを具備したことを特徴としている。
【0010】
請求項記載の発明は、試料上の測定点からの光を検出し光強度値を出力する光検出手段と、前記光検出手段の光強度値を統計解析する統計解析手段と、前記統計解析手段の統計解析値に基づいて前記測定点を移動させるべく測定点異常告知の信号を出力するデータ処理手段と、前記データ処理手段の測定点異常告知の信号に従って前記試料上の測定点を移動させるべく測定点を少なくとも1個入力する測定点入力手段とを具備したことを特徴としている。
【0011】
請求項記載の発明は、請求項記載の発明において、光検出手段が指定した測定点以外の1以上の測定点についての光強度値を出力し、統計解析手段が統計解析し、統計値に基づく測定可能部位または測定可能領域を試料画像とともに指定可能に表示する表示手段をさらに有することを特徴としている。
【0015】
請求項記載の発明は、第2の実施の形態が対応する。
【0016】
光検出手段からは、試料上の測定点からの蛍光の強度を示す光強度値が出力される。この光強度値は、統計解析手段に送られ、ここでの統計解析値がデータ処理手段にも送られる。データ処理手段は、統計解析値に基づいて、測定点を移動させるための測定点移動命令を出力する。測定点移動手段は、この測定点移動命令に従って試料上の測定点を移動させる。
【0017】
これにより、試料上の測定点でのダメージなどの劣化状態を許容範囲に止めながら、長時間にわたって光強度統計解析値などのデータ収集を安定して行うことができる。
【0021】
請求項(請求項)記載の発明は、第2の実施の形態が対応する。
【0022】
データ処理手段は、統計解析手段の統計解析値に基づいて測定可能部位または測定可能領域を判断するとともに、測定点を移動させるべく測定点異常告知の信号を出力する。これら測定可能部位または測定可能領域は、表示手段に送られ、試料画像とともに表示される。この状態で、データ処理手段からの測定点を移動させるべく測定点異常告知に従って、測定点入力手段を使って次の測定点を1以上入力すると、データ処理手段より測定点移動命令が生成され、この測定点移動命令に応じて、試料上での測定点が次の測定点に移動される。
【0023】
これによっても、試料上の測定点でのダメージなどの劣化状態を許容範囲に止めながら、長時間にわたって光強度統計解析値などのデータ収集を安定して行うことができる。
【0024】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に従い説明する。
【0025】
(第1の実施の形態)
図1は、本発明の第1の実施の形態が適用された測定装置の概略構成を示している。
【0026】
図において、1は光源装置で、この光源装置1には、励起光発生源として、例えば発振波長488mmのアルゴンレーザが用いられている。
【0027】
光源装置1からの光路上には、分光装置2が配置されている。この分光装置2には、例えば波長500mm以下の光を反射し、500mm以上の光を透過するダイクロイックミラーが用いられる。
【0028】
分光装置2の反射光路には、測定点移動手段としての測定点移動装置3、集光装置4および試料保持装置5が配置されている。ここで、測定点移動装置3には、ガルバノスキャナーが用いられる。集光装置4には、例えば倍率40倍で開口数1.2の対物レンズが用いられる。さらに、試料保持装置5は、顕微鏡用試料ステージで、この試料保持装置5には、試料9が載置されている。
【0029】
なお、試料9は、試料保持ユニット5以外の、例えばウェルのような容器などに収容されていてもよい。
【0030】
分光装置2の透過光路には、光検出手段としての光検出装置6が配置されている。この光検出装置6には、アバランシェフォトダイオードが用いられていて、分光装置2を介して入射される試料9からの蛍光を検出し、このときの蛍光量に応じた光強度値を出力するようになっている。
【0031】
光検出装置6には、統計解析手段としての光強度統計解析装置7が接続されている。この光強度統計解析装置7は、統計解析を行うための相関関数解析ボードが設けられており、光検出装置6より入力される光強度値を統計解析して統計解析値を求め、この結果を外部に出力するようにしている。
【0032】
光検出装置6には、データ処理手段としてデータ処理装置8が接続されている。また、データ処理装置8には、測定点移動装置3が接続されている。
【0033】
データ処理装置8には、パーソナルコンピューターが用いられている。データ処理装置8は、光検出装置6からの光強度値に基づいて測定点移動装置3の移動量を決定する測定点移動命令を生成するようになっている。
【0034】
なお、試料9として細胞を観察するような場合は、細胞をローダミングリーン色素で標識することが望ましく、また、光検出装置6の光路は、共焦点光学系を構成するのが望ましい。
【0035】
次に、このように構成した実施の形態を説明する。
【0036】
光源装置1から励起光が出射されると、この励起光は、分光装置2で反射し、測定点移動装置3、集光装置4を通過して試料9に照射される。試料9は、励起光の照射により蛍光を発する。この試料9より発せられた蛍光は、集光装置4、測定点移動装置3を通り、分光装置2を透過して光検出装置6に入射される。
【0037】
この場合、測定点移動装置3により試料9上の測定点の位置が制御されるが、このときの試料9上の移動位置は、励起光路と蛍光光路が一致しているので、これらの光路を一つの測定点移動装置3により移動させることができる。
【0038】
光検出装置6は、入射される蛍光の強度に対応した光強度値を出力する。この光強度値は、光強度統計解析装置7とデータ処理装置8に送られる。
【0039】
光強度統計解析装置7は、相関関数解析ボードにより光強度値を統計解析して光強度統計解析値を求め、この統計解析値を外部に出力する。また、データ処理装置8は、光検出装置6からの光強度値に基づいて測定点移動装置3に対する測定点移動命令を生成する。
【0040】
このデータ処理装置8の測定点移動命令は、測定点移動装置3へ出力される。測定点移動装置3は、このときの測定点移動命令に従い、試料9上での測定点を移動させる。
【0041】
なお、測定点の移動量が0、つまり、測定点の固定も可能である。この場合、統計解析装置7の光強度統計解析値に応じて直接測定点を移動させることができる。
【0042】
このような第1の実施の形態によれば、例えば、励起光照射によるダメージを受けやすい試料9の測定において、試料9上のダメージを受けていない領域のみの測定を長時間行うことができる。つまり、試料9が励起光照射によりダメージを受けると、試料9からの光強度値が異常な上昇や低下を示すことがある。そこで、データ処理装置8は、光検出装置6からの光強度値が試料9が正常と判断される領域外にあると判断すると、試料9上での測定点を移動させるための測定点移動命令を出力するようなデータ処理を行う。これにより、光強度値が予め設定された所定範囲外の値を示したときには、試料9上の測定点を移動し、励起光照射によるダメージを受けていない測定点での測定を行うことにより、励起光によるダメージを受けた領域での測定を避けながら、長時間のデータの積算が可能になる。
【0043】
ここで、測定点の移動経路の具体的な例として、測定点Aから測定点Bへの2点間の移動がある。まず、測定点Aにおいて測定を始める。測定点Aにおいてサンプルがダメージを受けたと判断されるまで、測定点Aにおいて測定を続ける。
【0044】
そして、測定点Aにおいてサンプルがダメージを受けたと判断されると、測定点Bに測定点を移動する。そして、この測定点Bにおいてサンプルがダメージを受けたと判断されるまで、測定点Bにおいて測定を続ける。
【0045】
その後、測定点Bにおいてサンプルがダメージを受けたと判断されると、再び測定点Aに測定点を移動する。そして、この測定点Aにおいてサンプルがダメージを受けたと判断されるまで、測定を続ける。このような工程を、測定終了まで繰り返す。
【0046】
このような測定点を移動しながらの測定は、励起光照射によるサンプルのダメージの蓄積に比べて、励起光を照射しない時のサンプルのダメージの回復が早いような場合に極めて有効である。この場合、測定点Aと測定点Bの位置は任意であるが、これら2点でのサンプルの条件はなるべく等しいことが望ましい。例えば、サンプルが生細胞のような場合、両測定点ともに核と細胞核からの距離を等しくなるように設定すると、生化学的に条件の近い場所のみからのデータの積算が可能である。
【0047】
測定点の移動経路の他の例として、設定点0からの等距離移動がある。
【0048】
この場合、2次元直交座標系を用いる。設定点0の位置を(0,0)とすると、例えば、測定点を(a,0)、(0,a)、(−a,0)、(0,−a)、(a,0)...の順に繰り返し移動するようにする。ここで、aの値は任意である。この移動の軌跡は、設定点0から距離aの円に相当する。
【0049】
このような測定点の移動によれば、設定点0から距離aの地点からのデータを常にとり続けることができる。このことは、例えば、試料9上の特異点の影響を測定したい場合、設定点0を特異点に設定し、距離aの各点測定結果から特異点に対する依存性を調べることができる。
【0050】
なお、このような測定法は、3次元に拡張してもよいし、測定点を円状に4つではなく任意の数だけ設定することもできる。
【0051】
従って、このようにすれば、試料9より発せられた光を検出する光検出装置6からの光強度値に基づいて、データ処理装置8より測定点移動装置3に対する測定点移動命令を生成し、この測定点移動命令に応じて、試料9上での測定点を移動させるようにしたので、試料9上の測定点のダメージなどの劣化状態を許容範囲に止めながら、長時間にわたって光強度統計解析値などの測定データの収集を安定して行うことができる。
【0052】
(変形例)
この変形例では、図1において、さらに、データ処理装置8には、表示手段としての表示装置10が接続されている。また、表示装置10には、測定点入力手段としてマウスなどのポインタ手段を有する入力装置11が接続されている。
【0053】
この場合、データ処理装置8は、試料9より発せられた光を検出する光検出装置6からの光強度値に基づいて測定可能部位または測定可能領域を判断するとともに、測定点を移動させるべく測定点異常告知の信号(例えば警報音、警告マーク、警報色など)を出力する。
【0054】
データ処理装置8で判断された測定可能部位または測定可能領域は、表示装置10に送られ、表示画面上に試料9の画像とともに表示される。この場合、表示画面上での測定可能部位または測定可能領域の表示は、外部から一目で識別できる状態(例えば表示の色を変える)になっている。
【0055】
この状態から、データ処理装置8からの測定点を移動させるべく測定点異常告知に従って、マウスを使って表示画面上で測定可能部位または測定可能領域の中から次の測定点を1以上指定する。
【0056】
すると、表示装置10から信号が出力され、データ処理装置8に移動先の情報が伝えられる。これにより、データ処理装置8より測定点移動装置3に対する測定点移動命令が生成され、この測定点移動命令に応じて、試料9上での測定点が次の測定点に移動される。
【0057】
従って、このようにしても、試料9上の測定点のダメージなどの劣化状態を許容範囲に止めながら、長時間にわたって光強度統計解析値などの測定データの収集を安定して行うことができる。
【0058】
なお、この発明の実施の形態の各構成は、当然、各種の変形、変更が可能である。例えば、試料9より発せられた光として、蛍光について述べたが、蛍光以外にも、化学発光、電気化学発光のような他の光信号を発する試料であってもよい。また、測定点移動装置3の代わりに可動式の試料保持装置を用いることができる。また、測定点移動装置3は、図中位置に限定されるものでなく、光路上の他の位置に配置してもよい。また、励起光路と検出光路の重なる領域が無いように構成すれば、分光装置2を省略することができる。さらに、試料が十分な蛍光を発する場合、光源装置1および分光装置2を省略することもできる。また、励起光学系や検出光学系を複数用いて構成したり、検出された信号を画像処理したりして、特殊な効果を得ることができる。さらには、光強度値から算出される様々な値を用いて測定点移動量を制御するようにしてもよい。
【0059】
また、試料9は、固定化された細胞に限らず、例えば浮遊細胞や組織、あるいはポリマーなどの細胞以外のものでもよい。さらに、細胞9は、単一の細胞でなく、複数設置されてもよい。なお、タンパク質間の結合の様子として、同一細胞内の異なる細胞器官同士の比較だけでなく、同一細胞内の同種の細胞器官同士や複数細胞間の同種の細胞器官同士の比較も行ってよい。ローダミングリーン以外の蛍光物質の例として、GFP(緑色蛍光タンパク)、シアニン系色素、TAMRA、Alexaなどが挙げられる。これらの色素を用いるときは、本実施の形態と異なる励起光源、ダイクロイックミラーを用いる必要が生じる場合もある。標識用物質は、例えば化学的発光物質、電気化学的発光物質などの蛍光物質以外でもよい。また、統計解析は、自己相関のみでなく、相互相関であってもよい。測定点は、光軸方向に垂直な面上のみならず、3次元の任意の位置に設置されてよい。光軸方向の測定点移動は、ステージの移動を用いることなどにより可能である。
【0060】
また、測定点移動の方式には、以下のような変形例が挙げられる。例えば、測定点の任意の一定方向に、一定距離づつ動かすようにしてもよい。また、移動予定点を全て任意に設定してもよい。移動量または移動方向の指示内容は、統計解析値または試料の画像情報に基づいてノイズおよび他の障害物の影響が無い移動位置となるように決定されてもよい。移動量または移動方向を決定するために、あらかじめ移動可能領域を画像情報により決定し、好ましくは一つ以上の移動予定点を決定して、データとして読み出し可能にデータ処理装置上に記憶しておいてもよい。
【0061】
(第2の実施の形態)
次に、第2の実施の形態を説明する。
【0062】
図2は、第2の実施の形態の概略構成を示すもので、図1と同一部分には、同符号を付している。
【0063】
この場合、光強度統計解析装置7には、データ処理装置8が接続されている。データ処理装置8は、光強度統計解析装置7からの光強度統計解析値に基づいて測定点を移動させるための測定点移動命令を生成するようになっている。測定点移動装置3は、この測定点移動命令に従って測定点を移動させる。
【0064】
その他は、図1と同様である。
【0065】
次に、このように構成した実施の形態を説明する。
【0066】
光源装置1から励起光が出射されると、この励起光は、分光装置2で反射し、測定点移動装置3、集光装置4を通過して試料9に照射される。試料9は、励起光の照射により蛍光を発する。この試料9より発せられた蛍光は、集光装置4、測定点移動装置3を通り、分光装置2を透過して光検出装置6に入射される。
【0067】
この場合、測定点移動装置3により試料9上の測定点の位置が制御されるが、このときの試料9上の移動位置は、励起光路と蛍光光路が一致しているので、これらの光路を一つの測定点移動装置3により移動させることができる。
【0068】
光検出装置6は、入射される蛍光の強度に対応した光強度値を出力する。この光強度値は、光強度統計解析装置7に送られる。
【0069】
光強度統計解析装置7は、相関関数解析ボードにより光強度値を統計解析して統計解析値を求め、この統計解析値を外部に出力するとともに、データ処理装置8にも送られる。
【0070】
データ処理装置8は、光強度統計解析装置7の光強度統計解析値に基づいて測定点移動装置3に対する測定点移動命令を生成する。
【0071】
このデータ処理装置8の測定点移動命令は、測定点移動装置3へ出力される。測定点移動装置3は、このときの測定点移動命令に従い、試料9上での測定点を移動させる。
【0072】
なお、測定点の移動量が0、つまり、測定点の固定も可能である。この場合、統計解析装置7の光強度統計解析値に応じて直接測定点を移動させることができる。
【0073】
このような第2の実施の形態によっても、例えば、励起光照射によるダメージを受けやすい試料9の測定において、試料9上のダメージを受けていない領域のみの測定を長時間行うことができる。つまり、試料9が励起光照射によりダメージを受けると、光強度統計解析値、特に光強度統計解析値から算出される1粒子あたりのフォトンカウントが異常な上昇や低下を示すことがある。そこで、データ処理装置8において、光強度統計解析値より1粒子あたりのフォトンカウントを算出し、このときのフォトンカウントが正常と判断される領域外にあると判断すると、試料9上での測定点を移動させるための測定点移動命令を出力するようなデータ処理を行う。これにより、1粒子あたりのフォトンカウントが予め設定された所定範囲外の値を示したときには、試料9上の測定点を移動し、励起光照射によるダメージを受けていない測定点での測定おこなうことにより、励起光によるダメージを受けた領域での測定を避けながら、長時間のデータの積算が可能になる。
【0074】
この場合も測定点の移動経路の具体的な例として、測定点Aから測定点Bへの2点間の移動を考えると、まず、測定点Aにおいて測定を始め、測定点Aにおいてサンプルがダメージを受けたと判断されるまで、測定点Aにおいて測定を続ける。
【0075】
そして、測定点Aにおいてサンプルがダメージを受けたと判断されると、測定点Bに測定点を移動する。そして、この測定点Bにおいてサンプルがダメージを受けたと判断されるまで、測定点Bにおいて測定を続ける。
【0076】
その後、測定点Bにおいてサンプルがダメージを受けたと判断されると、再び測定点Aに測定点を移動する。そして、この測定点Aにおいてサンプルがダメージを受けたと判断されるまで、測定を続ける。このような工程を、測定終了まで繰り返す。
【0077】
このような測定点を移動しながらの測定は、励起光照射によるサンプルのダメージの蓄積に比べて、励起光を照射しない時のサンプルのダメージの回復が早いような場合に極めて有効である。この場合、測定点Aと測定点Bの位置は任意であるが、これら2点でのサンプルの条件はなるべく等しいことが望ましい。例えば、サンプルが生細胞のような場合、両測定点ともに核と細胞核からの距離を等しくなるように設定すると、生化学的に条件の近い場所のみからのデータの収集が可能である。
【0078】
また、測定点の移動経路の他の例として、設定点0からの等距離移動がある。
【0079】
この場合、2次元直交座標系を用いる。設定点0の位置を(0,0)とすると、例えば、測定点を(a,0)、(0,a)、(−a,0)、(0,−a)、(a,0)...の順に繰り返し移動するようにする。ここで、aの値は任意である。この移動の軌跡は、設定点0から距離aの円に相当する。
【0080】
このような測定点の移動によれば、設定点0から距離aの地点からのデータを常にとり続けることができる。このことは、例えば、試料9上の特異点の影響を測定したい場合、設定点0を特異点に設定し、距離aの各点測定結果から特異点に対する依存性を調べることができる。
【0081】
なお、このような測定法は、3次元に拡張してもよいし、測定点を円状に4つではなく任意の数だけ設定することもできる。
【0082】
従って、このようにしても、試料9からの光を検出する光検出装置6の光強度値を光強度統計解析装置7により統計解析した光強度統計解析値に基づいて、データ処理装置8により1粒子あたりのフォトンカウントを算出し、このフォトンカウントにより測定点移動装置3に対する測定点移動命令を生成し、命令に応じて試料9上での測定点を移動させるようにしたので、試料9上の測定点のダメージなどの劣化状態を許容範囲に止めながら、長時間にわたって光強度統計解析値などの測定データの収集を安定して行うことができる。
【0083】
(変形例)
この変形例では、図2において、さらに、データ処理装置8には、表示手段としての表示装置12と、測定点入力手段として入力装置13が接続されている。
【0084】
この場合、データ処理装置8は、統計解析装置7で統計解析した光強度統計解析値に基づいて、測定可能部位または測定可能領域を判断するとともに、測定点を移動させるべく測定点異常告知の信号(例えば警報音、警告マーク、警報色など)を出力する。
【0085】
データ処理装置8で判断された測定可能部位または測定可能領域は、表示装置12に送られ、表示画面上に試料9の画像とともに表示される。この場合、表示画面上での測定可能部位または測定可能領域の表示は、適宜の記号または文字、数値などのIDによって表わされている。
【0086】
この状態から、データ処理装置8からの測定点を移動させるべく測定点異常告知に従って、入力装置13から表示画面上の測定可能部位または測定可能領域に対応するIDを1以上入力する。
【0087】
すると、入力装置13から信号が出力され、データ処理装置8に移動先のID信号が伝えられる。これにより、データ処理装置8より測定点移動装置3に対する測定点移動命令が生成され、この測定点移動命令に応じて、試料9上での測定点が次の測定点に移動される。
【0088】
従って、このようにしても、試料9上の測定点のダメージなどの劣化状態を許容範囲に止めながら、長時間にわたって光強度統計解析値などの測定データの収集を安定して行うことができる。
【0089】
なお、この発明の実施の形態の構成についても、当然、各種の変形、変更が可能である。例えば、試料9より発せられた光として、蛍光について述べたが、蛍光以外にも、化学発光、電気化学発光のような他の光信号を発する試料であってもよい。また、測定点移動装置3の代わりに可動式の試料保持装置を用いることができる。また、測定点移動装置3は、図中位置に限定されるものでなく、光路上の他の位置に配置してもよい。また、励起光路と検出光路の重なる領域が無いように構成すれば、分光装置2を省略することができる。さらに、試料が十分な蛍光を発する場合、光源装置1および分光装置2を省略することもできる。また、励起光学系や検出光学系を複数用いて構成したり、検出された信号を画像処理したりして、特殊な効果を得ることができる。さらには、光強度統計解析値から算出される、1粒子あたりのフォトンカウント以外の値を用いて測定点の移動を制御するようにしてもよい。
【0090】
また、試料9は、固定化された細胞に限らず、例えば浮遊細胞や組織、あるいはポリマーなどの細胞以外のものでもよい。さらに、細胞9は、単一の細胞でなく、複数設置されてもよい。なお、タンパク質間の結合の様子として、同一細胞内の異なる細胞器官同士の比較だけでなく、同一細胞内の同種の細胞器官同士や複数細胞間の同種の細胞器官同士の比較も行ってよい。ローダミングリーン以外の蛍光物質の例として、GFP(緑色蛍光タンパク)、シアニン系色素、TAMRA、Alexaなどが挙げられる。これらの色素を用いるときは、本実施の形態と異なる励起光源、ダイクロイックミラーを用いる必要が生じる場合もある。標識用物質は、例えば化学的発光物質、電気化学的発光物質などの蛍光物質以外でもよい。また、統計解析は、自己相関のみでなく、相互相関であってもよい。測定点は、光軸方向に垂直な面上のみならず、3次元の任意の位置に設置されてよい。光軸方向の測定点移動は、ステージの移動を用いることなどにより可能である。
【0091】
さらに、測定点移動の方式には、以下のような変形例が挙げられる。例えば、測定点の任意の一定方向に、一定距離づつ動かすようにしてもよい。また、移動予定点を全て任意に設定してもよい。移動量または移動方向の指示内容は、統計解析値または試料の画像情報に基づいてノイズおよび他の障害物の影響が無い移動位置となるように決定されてもよい。移動量または移動方向を決定するために、あらかじめ移動可能領域を画像情報により決定し、好ましくは一つ以上の移動予定点を決定して、データとして読み出し可能にデータ処理装置上に記憶しておいてもよい。
【0092】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、試料に関するデータを長時間安定して測定できる測定装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態の概略構成を示す図。
【図2】本発明の第2の実施の形態の概略構成を示す図。
【符号の説明】
1…光源装置
2…分光装置
3…測定点移動装置
4…集光装置
5…試料保持装置
6…光検出装置
7…統計解析装置
8…データ処理装置
9…試料
10、12…表示装置
11、13…入力装置

Claims (3)

  1. 試料上の測定点からの光を検出し光強度値を出力する光検出手段と、
    前記光検出手段の光強度値を統計解析する統計解析手段と、
    前記統計解析手段の統計解析値に基づいて前記測定点を移動させる測定点移動命令を出力するデータ処理手段と、
    前記データ処理手段の測定点移動命令に従って前記試料上の測定点を移動させる測定点移動手段と
    を具備したことを特徴とする測定装置。
  2. 試料上の測定点からの光を検出し光強度値を出力する光検出手段と、
    前記光検出手段の光強度値を統計解析する統計解析手段と、
    前記統計解析手段の統計解析値に基づいて前記測定点を移動させるべく測定点異常告知の信号を出力するデータ処理手段と、
    前記データ処理手段の測定点異常告知の信号に従って前記試料上の測定点を移動させるべく測定点を少なくとも1個入力する測定点入力手段と
    を具備したことを特徴とする測定装置。
  3. 光検出手段が指定した測定点以外の1以上の測定点についての光強度値を出力し、統計解析手段が統計解析し、統計値に基づく測定可能部位または測定可能領域を試料画像とともに指定可能に表示する表示手段をさらに有することを特徴とする請求項記載の測定装置。
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