JP3990322B2 - 基板乾燥方法及び装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板乾燥方法及び装置に関し、特に半導体製造工程、フォトマスク製造工程、フラットディスプレイ製造工程などにおけるウエットプロセス後の基板の乾燥に適用される基板乾燥方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、半導体製造プロセスにおけるフォトリソグラフィ工程での課題が顕著になりつつある。半導体デバイスの微細化が進むに連れ、フォトリソグラフィ工程での微細化に対する要求が高まっている。既に、デバイスの設計ルールは0.1μmにまで微細化し、制御しなければならないパターン寸法精度は6nm程度と極めて厳しい精度が要求されている。そして、洗浄後の基板上の染みのような欠陥に対する要求も、さらに厳しいものとなってきている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
このような中、従来のウエットプロセス、例えば洗浄のようなプロセスにおける最後の基板乾燥時に、基板に生じる欠陥が問題となっている。従来から、被処理基板を回転させて基板表面上の液体を遠心力で飛ばすスピン乾燥が行われている。このスピン乾燥では、飛ばされた液体が乾燥槽の側壁に衝突し、飛散してミストとなって漂うことで被処理基板に再付着してしまう。この再付着したミストが蒸発するため、ミスト中に含まれていた成分が析出し、基板上で欠陥となってしまう。
【0004】
さらに、被処理基板が回転することにより、基板上の液体が遠心力で動く際に勢いよく移動するため、液体の一部が小さい液滴となって基板上に残留する。その液滴は、遠心力で基板外側に移動せずに基板上で蒸発してしまう。この場合もやはり、液滴内に含まれていた成分が析出し、基板上で欠陥となる。
【0005】
本発明の目的は、基板乾燥時に基板上でのミストの再付着及び液滴の残留を防止し、欠陥の発生を防ぐ乾燥方法を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
課題を解決し目的を達成するために、本発明の基板乾燥方法及び装置は以下の如く構成されている。
【0007】
本発明の基板乾燥方法は、液体が盛られた被処理基板の上方に、開口部を有し前記被処理基板と同等かあるいは前記被処理基板よりも大きい平板を、前記被処理基板上の前記液体と接しない高さに配置する工程と、前記開口部から前記被処理基板に向けて気体を吐出し、前記気体により前記被処理基板上の前記液体を前記被処理基板の外側に向けて移動させる工程と、を有し、前記配置する工程は、前記平板を上方から下降させて前記被処理基板上の前記液体と接しない高さで停止させる。
【0008】
本発明の基板乾燥装置は、液体が盛られた被処理基板の上方に配置され、開口部を有し前記被処理基板と同等かあるいは前記被処理基板よりも大きい平板と、前記開口部から気体を吐出する吐出機構と、前記平板を前記被処理基板上の前記液体と接しない高さに配置し、前記吐出機構により前記開口部から前記被処理基板に向けて気体を吐出するよう制御する制御手段と、を備え、前記制御手段は、前記平板を上方から下降させて前記被処理基板上の前記液体と接しない高さで停止させる。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【0010】
図1は、本発明の実施の形態に係る基板乾燥装置が適用されるスキャン洗浄装置(6インチ角型基板洗浄装置)の概略構成を示す側面図である。
【0011】
円形状の基板ホルダー1の上方に、薬液供給部(以下、スキャンノズルと称する)2が配置されている。基板ホルダー1は、スキャンステージ3,3の間に設置されている。基板ホルダー1には被処理基板(マスク基板)Sが略水平に保持される。スキャンステージ3,3には、図示しない保持部材を介してスキャンノズル2が架け渡されている。スキャンノズル2は、スキャンステージ3,3に沿って図中前後方向へ移動可能である。
【0012】
基板ホルダー1とスキャンノズル2との間には、後述するように所定の間隔が設けられる。また、基板ホルダー1は後述するように二重円板構造をなしている。スキャンノズル2の一側面には、レーザー光を用いた2つのギャップ測定機構4,4が取付けられている。ギャップ測定機構4,4は、被処理基板Sとスキャンノズル2との間の距離(ギャップ値)を測定する。
【0013】
スキャンノズル2の両端部(保持部材)とスキャンステージ3,3との間には、それぞれギャップ調整機構5,5が設置されている。ギャップ調整機構5,5は、ピエゾ素子によりスキャンノズル2を上下方向に移動する。ギャップ調整機構5,5は、それぞれギャップ測定機構4,4により測定されるギャップ値が所望の値に保たれるように、スキャンノズル2の高さを調整する。
【0014】
図2の(a)は基板ホルダー1の上面図であり、図2の(b)はその正面断面である。基板ホルダー1は、直径300mm、厚さ2mm程度の2枚の円板11,12を約5mmの間隔を空けて重ねた二重円板であり、トータルの厚さは9mm程度である。上側の円板11の中央部には153mm角の角型の開口部111が設けられており、下側の円板12には被処理基板Sを真空チャックするための複数のチャック121が備えられている。なお、上側の円板11と下側の円板12は、図示しない複数の支柱により連結されている。
【0015】
図3は、スキャンノズル2の下面図である。スキャンノズル2は、その移動方向へ5cm程度の幅を有し、この移動方向に対して垂直な方向へ18cm程度の長さを有する。また、被処理基板Sと向き合うスキャンノズル2の下面には、5つのスリット状の開口が設けられている。
【0016】
中央の開口は薬液供給スリット21であり、薬液(洗浄液)を吐出する。薬液供給スリット21の両隣の開口は吸引スリット22,22であり、基板上の薬液を吸引する。吸引スリット22,22の外側の開口は、それぞれプリウエット液供給スリット23とリンス液供給スリット24である。プリウエット液供給スリット23は、プリウエット液を吐出する。リンス液供給スリット24は、リンス液を吐出する。すなわち、スキャンノズル2の移動方向に対して前方側にプリウエット液供給スリット23、後方側にリンス液供給スリット24が設けられている。
【0017】
薬液供給スリット21は、長さ150mm、幅1mm程度である。吸引スリット22,22は、長さ155mm、幅1mm程度である。プリウエット液供給スリット23とリンス液供給スリット24は、長さ155mm、幅2mm程度である。両側の吸引スリット22,22からの吸引力と薬液供給スリット21からの吐出力とのバランスをとることで、薬液供給スリット21から出た薬液が吸引スリット22,22より外側にはみ出さないようにしている。プリウエット液とリンス液は、それぞれポンプによりプリウエット液供給スリット23とリンス液供給スリット24から供給される。
【0018】
図4は、スキャンノズル2の正面断面図である。図4において、薬液供給スリット21と吸引スリット22,22との間隔は5mm程度、吸引スリット22とプリウエット液供給スリット23との間隔、及び吸引スリット22とリンス液供給スリット24との間隔は、5mm程度とした。また、被処理基板S表面とスキャンノズル2下面との間隔は、上述したギャップ調整機構5,5により0〜500μmの範囲で可変であり、スキャンノズル2のスキャン(移動)中に制御可能である。
【0019】
また、薬液供給スリット21には薬液ライン211が、吸引スリット22,22には吸引ライン221,221が、プリウエット液供給スリット23にはプリウエット液ライン231が、リンス液供給スリット24にはリンス液ライン241が連結されている。
【0020】
図5の(a)〜(c)は、基板洗浄工程におけるスキャンノズル2の動作を示す図である。被処理基板Sは、基板ホルダー1における上側の円板11の開口部111内に設置され、下側の円板12上で真空チャックされる。このとき、基板ホルダー1の上面(円板11の上面)と被処理基板Sの上面とがほぼ同一面になる。この状態で、図5(a)〜(c)に示すように、スキャンノズル2を基板ホルダー1の端部上から被処理基板S上へ、さらに基板ホルダー1の他端部上へスキャンすることが可能になる。スキャンノズル2は、基板洗浄工程が終了すると基板ホルダー1上から退避する。
【0021】
図6の(a)は、本実施の形態に係る基板乾燥装置の概略構成を示す上面図であり、図6の(b)はその正面断面である。この基板乾燥装置は、上述した基板ホルダー1と乾燥円板6とからなる。
【0022】
乾燥円板6は、直径300mm、厚さ5mm程度のアルミ製平板からなり、被処理基板Sを完全に覆うように被処理基板Sの上方に略水平に位置している。金属製の乾燥平板とすることにより静電気を防止することが可能になる。もちろん、他の帯電防止機能を有した平板でもかまわない。乾燥円板6の中央部には直径3mm程度の開口部61が設けられている。乾燥円板6上面の開口部61の周囲には、被処理基板S上へ窒素ガスを導くための導管62が設けられている。なお、乾燥円板6下面の開口部61の周囲に破線で示す切り欠き部63を設けることにより、窒素ガスを被処理基板S上へ広範囲に導くことができる。
【0023】
図7の(a)〜(d)は、基板乾燥工程における基板乾燥装置の動作を示す断面図である。基板洗浄工程にてスキャンノズル2により洗浄された被処理基板S上にはリンス液Rが盛られている。この乾燥シーケンスでは、図示しない駆動機構により乾燥円板6が上方から下降し、図7の(a)に示すように被処理基板Sの表面から3mmの間隔を隔てた位置で停止された後、開口部61から窒素ガスNが吐出される。この窒素ガスNは、図示しない窒素ガス供給装置から供給され、導管62を介して開口部61から被処理基板Sの表面へ吐出される。
【0024】
これにより、図7の(b)〜(d)に示すように、被処理基板S上のリンス液Rが窒素ガスNにより基板中央から基板端へ押し流され、基板Sが中央から端部に向けて乾燥される。基板端に達したリンス液Rは、被処理基板Sと基板ホルダー1の上側の円板11との間の隙間を下方へ流れ、上側の円板11と下側の円板12との間の空間に達する。
【0025】
被処理基板Sの表面上のリンス液Rがほぼなくなった後、窒素ガスNを吐出したまま、図示しない駆動機構により基板ホルダー1とともに被処理基板Sを回転させ、基板端面や裏面に付着したリンス液Rを乾燥させる。
【0026】
以下、本実施の形態の作用について説明する。
【0027】
まず、6インチ角の石英基板上にCr膜を成膜したフォトマスク基板を被処理基板Sとし、洗浄前に異物検査装置M1320(レーザーテック製)により検査した。その結果、表1の如く、多数の異物を検出した。
【0028】
【表1】
【0029】
次に、このフォトマスク基板を上述したスキャン洗浄装置にセットした。薬液として濃度が5ppmのオゾン水を用いた。そして、図示しない制御装置の制御により、スキャンノズル2をフォトマスク基板上で3mm/secの速度でスキャンさせ、フォトマスク基板に対して、オゾン水による洗浄とリンス液によるリンスを行った。このとき、フォトマスク基板上にはリンス液がおよそ1.5mmの液厚にて盛られた状態となっていた。
【0030】
次に、上記制御装置の制御により、フォトマスク基板の上方にある乾燥円板6を上記駆動機構でマスク基板表面から3mmの高さの位置に下降させ、停止させた。次いで上記制御装置の制御により、電磁誘導加熱機構により常温以上(23℃以上、周囲の環境温度を超える温度)例えば50℃に調整した窒素ガスを、上記窒素ガス供給装置より導管62を介して開口部61から徐々に吐出し始めた。そして、時間と流量の関係が1L/(分)2となるよう流量を増やしながら窒素ガスを3分間吐出した後、3L/分の流量を保った状態で吐出し続けた。なお、窒素ガスを流量を増やしながら3分間吐出した後に、吐出を停止させるか、あるいは流量を減少させてもよい。
【0031】
これにより、フォトマスク基板上のリンス液が基板中央から外側に向かって移動し、基板ホルダー1とフォトマスク基板との間の隙間から基板ホルダー1の2重円板の隙間に流れ、フォトマスク基板が徐々に乾燥していった。これにより、雰囲気中のミストやパーティクルがフォトマスク基板へ再付着することなく、フォトマスク基板上のほとんどのリンス液を除去できた。
【0032】
次に窒素ガスを吐出したまま、上記制御装置の制御により、上記駆動機構でフォトマスク基板を300rpmの回転速度で10分間回転させ、基板端面や裏面に付いたリンス液を乾燥させた。この時も、乾燥円板6とフォトマスク基板との間に常に新鮮な窒素ガスが流れているので、パーティクルやミストのマスク基板への再付着を伴うことなく、乾燥することが可能になった。
【0033】
このフォトマスク基板の表面の異物検査を再び異物検査装置M1320にて行ったところ、表1に示すように、ほぼ完全に異物が除去されていることが確認できた。比較のために、乾燥工程を従来のスピン乾燥にて行った場合の結果も表1に示した。これらの結果から、同じ洗浄工程を行ったにも関わらず、乾燥工程だけが異なることにより、洗浄後の基板上に残った異物の数に大きな違いがあることが判る。
【0034】
従来から行われているスピン乾燥では、被処理基板を回転させて基板表面上の液体を遠心力で飛ばすが、飛ばされた液体が乾燥槽の側壁に衝突し、飛散してミストとなって漂うことで被処理基板に再付着してしまう。この再付着したミストが蒸発するため、ミスト中に含まれていた成分が析出し、基板上で欠陥となってしまう。さらに、被処理基板が回転することにより、基板上の液体が遠心力で動く際に勢いよく移動するため、液体の一部が小さい液滴となって基板上に残留する。その液滴は、遠心力で基板外側に移動せずに基板上で蒸発してしまう。この場合もやはり、液滴内に含まれていた成分が析出し、基板上で欠陥となる。このように従来のスピン乾燥では、空気中に舞ったミストやパーティクルが乾燥した基板上に再付着するため、基板表面に欠陥が生じる。
【0035】
これに対して本実施の形態では、液体が盛られている被処理基板の上方に該被処理基板と同等かそれより大きい平板を、該被処理基板上の液体に接しない高さに配置し、該平板の中央部に設けた開口から窒素ガスなどの不活性ガスを吐出することにより該被処理基板上の液体を基板中央部から外側に向けて徐々に移動させる。これにより、液滴を該基板上に残すことなく基板外側に移動させることが可能になる。その後、該平板から気体を吐出したまま、該基板を回転させる。これにより、従来のスピン乾燥で問題になっていたミストの基板への再付着を防止し、かつ水シミ、水ガラスなどの発生を防止することが可能になり、極めて清浄な乾燥面を得ることが可能になる。
【0036】
なお、本実施の形態では2重円板の形状をなす基板ホルダーの例を示したが、その他の形状の基板ホルダーも適用できる。また、乾燥円板に設けられるガス吐出用の開口部は、乾燥円板の中央部に限らず、ガスにより被処理基板の表面全体を乾燥させることが可能な任意の位置に設けることができる。また、開口部の数も1つに限らず、任意の数とすることができる。さらに、乾燥円板と被処理基板との間隔は3mmに限るものではなく、被処理基板上の液厚や吐出気体の流量により変更することが可能であり、乾燥処理中にその間隔を徐々に狭くするなど、変化させることも有効である。
【0037】
また、本実施の形態はマスク製作プロセスの洗浄工程への適用例を示したが、これに限るものではなく、フラットパネルディスプレイ製造工程や、ウェハプロセスなどで、レジスト剥離、表面自然酸化膜除去、洗浄などあらゆるウエットプロセスに適用できる。
【0038】
なお、本発明は上記実施の形態のみに限定されず、要旨を変更しない範囲で適宜変形して実施できる。
【0039】
【発明の効果】
本発明によれば、基板乾燥時に基板上でのミストの再付着及び液滴の残留を防止し、欠陥の発生を防ぐ乾燥方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係る基板乾燥装置が適用されるスキャン洗浄装置の概略構成を示す側面図。
【図2】本発明の実施の形態に係る基板ホルダーの概略構成を示す図。
【図3】本発明の実施の形態に係るスキャンノズルの概略構成を示す下面図。
【図4】本発明の実施の形態に係るスキャンノズルの概略構成を示す正断面図。
【図5】本発明の実施の形態に係る基板洗浄工程におけるスキャンノズルの動作を示す図。
【図6】本発明の実施の形態に係る基板乾燥装置の概略構成を示す図。
【図7】本発明の実施の形態に係る基板乾燥工程における基板乾燥装置の動作を示す断面図。
【符号の説明】
S…被処理基板 1…基板ホルダー 2…薬液供給部(スキャンノズル) 3…スキャンステージ 4…ギャップ測定機構 5…ギャップ調整機構 6…乾燥円板 61…開口部 62… 導管 63…切り欠き部 11,12…円板 111…開口部 121…チャック 21…薬液供給スリット 22…吸引スリット 23…プリウエット液供給スリット 24…リンス液供給スリット 211…薬液ライン 221…吸引ライン 231…プリウエット液ライン 241…リンス液ライン
Claims (12)
- 液体が盛られた被処理基板の上方に、開口部を有し前記被処理基板と同等かあるいは前記被処理基板よりも大きい平板を、前記被処理基板上の前記液体と接しない高さに配置する工程と、
前記開口部から前記被処理基板に向けて気体を吐出し、前記気体により前記被処理基板上の前記液体を前記被処理基板の外側に向けて移動させる工程と、を有し、
前記配置する工程は、前記平板を上方から下降させて前記被処理基板上の前記液体と接しない高さで停止させることを特徴とする基板乾燥方法。 - 前記気体を吐出したまま前記被処理基板を回転させる工程を有することを特徴とする請求項1に記載の基板乾燥方法。
- 前記開口部は前記被処理基板の中央部に設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の基板乾燥方法。
- 前記気体は常温以上の気体であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の基板乾燥方法。
- 前記気体は不活性ガスであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の基板乾燥方法。
- 前記気体は窒素ガスであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の基板乾燥方法。
- 前記気体の流量を吐出開始から時間経過と共に増加させ、所定時間吐出した後に一定の流量に保つことを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の基板乾燥方法。
- 液体が盛られた被処理基板の上方に配置され、開口部を有し前記被処理基板と同等かあるいは前記被処理基板よりも大きい平板と、
前記開口部から気体を吐出する吐出機構と、
前記平板を前記被処理基板上の前記液体と接しない高さに配置し、前記吐出機構により前記開口部から前記被処理基板に向けて気体を吐出するよう制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、前記平板を上方から下降させて前記被処理基板上の前記液体と接しない高さで停止させることを特徴とする基板乾燥装置。 - 前記気体を吐出したまま前記被処理基板を回転させる手段を備えることを特徴とする請求項8に記載の基板乾燥装置。
- 前記開口部は前記被処理基板の中央部に設けられていることを特徴とする請求項8または9に記載の基板乾燥装置。
- 前記気体を常温以上に調整する手段を備えることを特徴とする請求項8乃至10のいずれかに記載の基板乾燥装置。
- 前記制御手段は、前記気体の流量を吐出開始から時間経過と共に増加させ、所定時間吐出した後に一定の流量に保つことを特徴とする請求項8乃至11のいずれかに記載の基板乾燥装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003173564A JP3990322B2 (ja) | 2003-06-18 | 2003-06-18 | 基板乾燥方法及び装置 |
US10/868,031 US20050050760A1 (en) | 2003-06-18 | 2004-06-16 | Substrate drying method, substrate drying apparatus, and semiconductor device manufacturing method |
DE102004029511A DE102004029511A1 (de) | 2003-06-18 | 2004-06-18 | Verfahren und Vorrichtung zum Trocknen von Substraten sowie Verfahren zur Herstellung einer Halbleitereinrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003173564A JP3990322B2 (ja) | 2003-06-18 | 2003-06-18 | 基板乾燥方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005011947A JP2005011947A (ja) | 2005-01-13 |
JP3990322B2 true JP3990322B2 (ja) | 2007-10-10 |
Family
ID=33562228
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003173564A Expired - Fee Related JP3990322B2 (ja) | 2003-06-18 | 2003-06-18 | 基板乾燥方法及び装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20050050760A1 (ja) |
JP (1) | JP3990322B2 (ja) |
DE (1) | DE102004029511A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20070034228A1 (en) * | 2005-08-02 | 2007-02-15 | Devitt Andrew J | Method and apparatus for in-line processing and immediately sequential or simultaneous processing of flat and flexible substrates through viscous shear in thin cross section gaps for the manufacture of micro-electronic circuits or displays |
KR100753959B1 (ko) * | 2006-01-12 | 2007-08-31 | 에이펫(주) | 기판 건조장치를 이용한 기판 건조방법 |
EP2915588B1 (en) * | 2012-11-05 | 2020-08-26 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation | Film-forming apparatus |
JP6887912B2 (ja) * | 2017-08-07 | 2021-06-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4544446A (en) * | 1984-07-24 | 1985-10-01 | J. T. Baker Chemical Co. | VLSI chemical reactor |
JP2648638B2 (ja) * | 1990-11-30 | 1997-09-03 | 三菱マテリアル株式会社 | ウェーハの接着方法およびその装置 |
US5904547A (en) * | 1996-12-26 | 1999-05-18 | Motorola, Inc. | Apparatus for dicing a semiconductor device substrate and a process therefor |
JPH11307526A (ja) * | 1998-04-24 | 1999-11-05 | Nec Corp | 酸化膜の作製方法 |
JP3671389B2 (ja) * | 1999-12-03 | 2005-07-13 | 三菱電機株式会社 | 基板処理方法および装置 |
JP4189141B2 (ja) * | 2000-12-21 | 2008-12-03 | 株式会社東芝 | 基板処理装置及びこれを用いた基板処理方法 |
JP2004006672A (ja) * | 2002-04-19 | 2004-01-08 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP4005879B2 (ja) * | 2002-08-30 | 2007-11-14 | 株式会社東芝 | 現像方法、基板処理方法、及び基板処理装置 |
-
2003
- 2003-06-18 JP JP2003173564A patent/JP3990322B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-06-16 US US10/868,031 patent/US20050050760A1/en not_active Abandoned
- 2004-06-18 DE DE102004029511A patent/DE102004029511A1/de not_active Ceased
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005011947A (ja) | 2005-01-13 |
US20050050760A1 (en) | 2005-03-10 |
DE102004029511A1 (de) | 2005-02-03 |
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A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100727 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110727 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120727 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130727 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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