JP3986178B2 - Al薄膜形成方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶等の表示素子や半導体素子に用いられるAl薄膜或いはAlを主成分とする合金薄膜から成る薄膜配線の製造方法にかかり、特に、薄膜配線のヒロックを低減させる技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、半導体素子では、薄膜配線の材料として純粋なAl、或いはAlを主成分とする合金が一般的に用いられている。一方、薄膜トランジスタ(以下TFTと称す)を駆動素子として用いる液晶表示装置(以下LCDと称す)では、薄膜配線の材料としてCrやMo等が用いられてきた。
【0003】
しかしながら、CrやMo等は抵抗が比較的高いため、LCDの大型化や高精細化が要求されるとともに、薄膜配線の抵抗成分による信号遅延や画素への書き込み不足という問題が顕著になってきた。
そこでCrやMo等に代えて、より低抵抗なAl或いはAlを主成分とする合金を薄膜配線の材料に用いようとする試みがなされている。
【0004】
ところで、半導体素子やTFTで用いられるAl或いはAlを主成分とする薄膜(本明細書では、Alを主成分とする薄膜をAl薄膜と呼ぶ。)は、一般的に直流(DC)マグネトロンスパッタ法で製造されているが、ガラス基板やSiウエハー基板上にAl薄膜を形成し、薄膜配線を構成させた場合、その後のプロセスにおける熱処理の際に、Al薄膜配線上にヒロック(突起物)が発生してしまい、Al薄膜配線上の絶縁膜を突き破ると、絶縁膜上に形成された上層の薄膜配線と短絡してしまうという問題が生じていた。
【0005】
このようなヒロックの発生を防止するために、Cu、SiやTi、Ta、Nd、Mo、Zr等の高融点金属を薄膜配線の材料に添加しておく方法があるが、その効果を高めるため、高融点金属の添加量を増加させると、薄膜配線の抵抗値が大きくなってしまうという問題がある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、このような従来の技術の課題を解決するために創作されたもので、その目的は、Al薄膜配線の抵抗値を増加させずにヒロック発生を防止できる技術を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
図1(a),(b)に、スパッタ法を用いて形成したAl薄膜配線10、20の結晶粒の状態を示す。符号11a〜11c,21a〜21fは、Al薄膜配線10、20を構成する結晶粒を示している。
【0008】
このようなAl薄膜配線10、20が形成された後は、更にその表面上に層間絶縁膜や上層の薄膜配線が形成されるが、Al薄膜配線10、20の熱膨張係数と、下地となる基板の熱膨張係数とには差があるため、Al薄膜配線10、20を形成した後のプロセス中の熱処理により、低温状態と高温状態とが繰り返されると、Al薄膜配線10、20内に圧縮応力が発生し、その際、結晶粒11a〜11c、21a〜21fの粒界に沿ってAl原子が移動し、粒界の交点でヒロックが形成されてしまう。
【0009】
このとき、図1(a)に示すように、結晶粒11a〜11cの粒径が大きいAl薄膜配線10では、粒界の総面積や粒界の交点が少ないため、ヒロックが発生しにくいのに対し、図1(b)に示すように、結晶粒21a〜21fが小さいAl薄膜配線20では、粒界の総面積が大きく、また粒界の交点22a〜22dが多数存在するため、それだけヒロックが発生しやすくなる。
【0010】
また、ヒロックによる短絡の発生は、結晶粒の大きさだけで決まるものではなく、結晶粒の配向性にも影響されることが知られており、Al薄膜配線の結晶粒が均一であれば、結晶粒が不均一な場合に比べて、Al薄膜配線内に局所的に大きな圧縮応力が発生することが少ないため、ヒロックが生じた場合でもそのサイズは小さい。従って、ヒロックが層間絶縁膜を突き破ることがなく、短絡が発生しにくくなる。
【0011】
本発明の発明者等は、Al薄膜配線を構成する結晶粒が酸化されている場合に、結晶粒の粒径が小さくなり、また、配向性が不均一になることを見出した。従って、結晶粒の酸化を防止すれば、ヒロック発生を防止できることになる。
【0012】
特に、スパッタの場合は、酸素や水などの酸化性ガスがスパッタ雰囲気内に存在すると、Al薄膜の結晶粒表面に酸化膜が形成されてしまい、結晶粒の成長が妨げられ、また、配向性も不均一になると考えられる。
【0013】
本発明は、上記知見に基いて創作されたものであり、Al薄膜配線を形成するためのAl薄膜を基板上に形成するために、請求項1記載の発明は、処理室内に基板を配置し、真空雰囲気にした状態でスパッタガスを導入し、Alターゲットをスパッタし、前記基板上に純Al薄膜を形成するAl薄膜形成方法であって、前記スパッタガス中に還元性ガスを添加し、前記ターゲットをスパッタする際の前記処理室内を、圧力が0.2〜2.0Paの範囲であって、前記還元性ガスの分圧を、5×10 -4 〜5×10 -3 Paの範囲にすることを特徴とするAl薄膜形成方法である。
請求項2記載の発明は、請求項1記載のAl薄膜形成方法であって、前記基板上にTi薄膜を形成した後、該Ti薄膜上に前記純Al薄膜を形成することを特徴とするAl薄膜形成方法である。
請求項3記載の発明は、請求項1又は2のいずれか1項記載のAl薄膜形成方法であって、前記基板には、ガラス基板又はシリコン基板を用いることを特徴とするAl薄膜形成方法である。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【0015】
図2(a)を参照し、符号1は本発明のAl薄膜形成方法に用いられるスパッタリング装置である。このスパッタ成膜装置1は、真空排気可能なチャンバー2を有しており、該チャンバー2の底部には載置台4が設けられ、天井側にはターゲット3が設けられている。
【0016】
チャンバー2には、ガス導入口6と排気口7とが設けられており、ガス導入口6は不図示のガス導入系に接続され、排気口7は不図示の真空ポンプに接続されている。
【0017】
このようなスパッタ成膜装置1を用い、基板(300×400×1.1mmのコーニング社製#7059ガラス基板)5上に直接Al薄膜を成膜する場合には、予め不図示の真空ポンプによってチャンバー2内を真空排気した後、その真空状態を維持したまま、表面が露出した基板5をチャンバー2内に搬入し、成膜面をターゲット3に向け、載置台4上に載置する。
【0018】
次に、チャンバー1内に、スパッタガス(Arガス)と還元性ガス(水素ガス)をガス導入口6から導入し、チャンバー2内部が0.4Paの圧力で安定したところでターゲット3に直流電圧を印加してスパッタした。このときの還元性ガスの分圧は1×10-4Paであった。スパッタの際は、基板5の温度が100℃になるようにし、その状態で基板5表面にAl薄膜を形成した。
【0019】
Al薄膜の膜厚が3000Åに達したところで、直流電圧の印加及びスパッタガスの導入を終了させ、基板5をチャンバー2外に搬出した。
その基板5の断面図を図2(a)に示す。基板5表面にAl薄膜5aが直接形成されている。
【0020】
次に、オーブンにより、その基板5を大気圧・窒素ガス雰囲気下で加熱し、350℃1時間の熱処理を行った。そのAl薄膜5aの表面をSEM(Scanning electron microscope:走査型電子顕微鏡)で観察し、ヒロックの個数をカウントした。
【0021】
なお、熱処理の温度を350℃にしたのは、TFTのゲートバスラインを形成した後に、ゲート絶縁膜を成膜する際のCVD法における温度条件が350℃程度であることによる。
【0022】
その後、他の条件は上記条件と変えずに、スパッタガスに添加する還元性ガスの圧力を1×10-4〜2×10-2Paの範囲の所定値にし、基板5上に3000ÅのAl薄膜5aを形成し、上記と同じ条件で熱処理をし、ヒロックの個数をカウントした。
【0023】
以上の結果、還元性ガスの添加量が2×10-3Paのときに、Al薄膜表面の1μm2あたりのヒロックの個数が最も少なくなり(0.001個)、還元性ガスを添加しない場合の1μm2あたりの個数(0.18個)に比べ、ヒロック密度は大幅に低減された。
【0024】
ヒロック密度と還元性ガスの添加量との関係を図3のグラフに示す。横軸は添加ガスの分圧、縦軸はヒロック密度である。
このグラフから、スパッタ雰囲気が0.4Paの場合は、添加ガス量が2×10-3Pa付近で最小値をとることが分かる。
【0025】
次に、図2(c)に示すように、スパッタ法により基板5上に膜厚500ÅのTi薄膜5bを形成した後、上記と同じ条件でターゲット3のスパッタを行い、3000ÅのAl薄膜5aを形成し、上記と同じ条件で熱処理し、Ti薄膜5b上のAl薄膜5c表面をSEMによって観察し、ヒロックの個数をカウントした。
【0026】
還元性ガスの添加量とヒロック密度の関係を図4のグラフに示す。図3のグラフと比較すると、ヒロック密度が全体的に少なくなっていることがわかる。特に、還元性ガスの添加量が5×10-4〜5×10-3Paの範囲では、ヒロックの発生は全くみられなかった。
【0027】
なお、Al薄膜5a、5cの比抵抗は、水素添加量が1×10-4〜2×10-2Paの範囲では変化せず、特に、ガラス基板5上に直接形成したAl薄膜5aでは、3.1μΩcmという低い比抵抗値を得ることができた。
【0028】
上記実施形態では、還元性ガスとして水素ガスを用いたが、本発明はそれに限定されるものではなく、例えばメタンガスやエタンガスなどのような還元性ガスを用いてもよい。
【0029】
また、上記Al薄膜5aは、純Al薄膜であったが、本発明はそれに限定されるものではなく、Alが主成分となったAl薄膜に広く効果がある。例えば、Alと、Cu、Si、Ti、Ta、Nd、Mo、Zr等とが合金化したターゲットを用いてAl薄膜を形成する場合にも効果がある。
【0030】
上記実施形態では、スパッタガスの圧力を0.4Paとしたが、本発明はそれに限定されるものではなく、スパッタガスの圧力を0.2〜2Pa程度の範囲内で上下させてもよい。
基板5にはガラス基板を用いたが、本発明はそれに限られるものではなく、シリコンなどの半導体ウエハーを基板とする場合にも適用することができる。
【0031】
【発明の効果】
Al薄膜上のヒロック発生を低減することができる。その結果、ヒロックによる短絡が発生しなくなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a):結晶粒径が大きい場合のAl薄膜配線の平面図
(b):結晶粒径が小さい場合のAl薄膜配線の平面図
【図2】(a):本発明に用いることができるスパッタ成膜装置の一例
(b):基板表面に直接Al薄膜を形成した場合の断面図
(c):Ti薄膜上にAl薄膜を形成した場合の断面図
【図3】水素ガスを還元性ガスとし、基板表面にAl薄膜を直接形成した場合の添加量とヒロック密度の関係を示すグラフ
【図4】水素ガスを還元性ガスとし、Ti薄膜表面にAl薄膜を形成した場合の添加量とヒロック密度の関係を示すグラフ
【符号の説明】
1…スパッタ成膜装置 2…チャンバー(処理室) 3…ターゲット 5…基板 5a,5c…Al薄膜 5b…Ti薄膜
Claims (3)
- 処理室内に基板を配置し、真空雰囲気にした状態でスパッタガスを導入し、Alターゲットをスパッタし、前記基板上に純Al薄膜を形成するAl薄膜形成方法であって、
前記スパッタガス中に還元性ガスを添加し、前記ターゲットをスパッタする際の前記処理室内を、圧力が0.2〜2.0Paの範囲であって、前記還元性ガスの分圧を、5×10-4〜5×10-3Paの範囲にすることを特徴とするAl薄膜形成方法。 - 前記基板上にTi薄膜を形成した後、該Ti薄膜上に前記純Al薄膜を形成することを特徴とする請求項1記載のAl薄膜形成方法。
- 前記基板には、ガラス基板又はシリコン基板を用いることを特徴とする請求項1又は2のいずれか1項記載のAl薄膜形成方法。
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