JP3985589B2 - 成形装置 - Google Patents
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Description
【発明が属する技術分野】
本発明は、成形装置に関し、特に、駆動軸により駆動される被駆動体を用いて、より高精度な成形を行える成形装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば、近年における光情報記録分野の発達により、650nm前後の短波長レーザ光源を用いてDVDなどの光情報記録媒体に対して、高密度な情報記録を行えるようになってきている。ここで、高密度な光情報記録を達成するためには、光情報記録媒体上に照射されるレーザ光のスポット径を小さく絞り込むことが必要となる。従って、そのような用途の光ピックアップ装置の集光光学系に用いる光学素子は、収差などの光学特性のバラツキが少ないものを用いる必要がある。しかるに、設計上優れた光学特性を有する光学素子であっても、成形が精度良く成されなければ、その光学特性にバラツキが生じてしまうという問題がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
光学素子の素材としては樹脂材やガラスなどがあるが、射出成形あるいはプレス成形することで光学素子を得る場合、一般的な成形装置においては、溶融した素材を上型と下型との間に挟み込んで固化させることで、所望の形状を得るようになっている。従って、上型と下型の軸線が傾いている場合(ティルト偏心という)、或いは上型と下型の軸線が平行にずれている場合(シフト偏心という)、いずれも成形される光学素子の光学特性を劣化させる要因となっている。
【0004】
ここで、高精度な成形を行うには、上型や下型を高精度に保持するだけでは足らない。より具体的には、上型もしくは下型のうち移動させる方の型(可動成形型)を、進退可能な駆動軸を用いて近接又は離間させる場合、モータなどにより駆動される駆動軸の軸線の傾きや振れなどがあると、上述したようなティルト偏心やシフト偏心が発生するので、何らかの方法でそれを抑制する必要がある。ところが、駆動軸の軸線の傾きや振れは、機械的な構成要素の組み合わせから生じるものであるため、これを完全になくすことは困難である。そこで、駆動軸の軸線の傾きや振れがある程度あることを前提に、それらの影響を回避して可動成形型に、その移動方向の力のみを伝達するカップリングが必要となる。
【0005】
このような用途のカップリングにおいては、例えば駆動軸の振れの影響を回避するものは知られているが、特に傾きの影響を回避できるものについては、高精度な光学素子を成形するに十分な性能を有するものは未だ開発されておらず、現場合わせで手間をかけて傾き調整するしかないという実情がある。
【0006】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、可動成形型の軸線に対して駆動軸の軸線に傾きやズレがあっても、その傾きやズレの影響を回避して、可動成形型を高精度に移動させることができる成形装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の成形装置は、ハウジングに対して移動可能な駆動軸と、被駆動体とを連結するカップリング機構を有する成形装置において、前記カップリング機構が、前記駆動軸に保持された第1部材と、前記被駆動体に保持された第2部材と、中間部材と、前記第1部材と前記中間部材を連結する第1連結部と、前記第2部材と前記中間部材を連結する第2連結部と、を有し、前記第1連結部は、前記第1連結部に対して、前記被駆動体の駆動方向にある力を付与したときの弾性変形量が、前記駆動方向に対して傾く方向である第1の方向に同じ力を付与したときのネジレ変形量より小さいように、前記第1部材と前記中間部材とを連結し、前記第2連結部は、前記第2連結部に対して、前記被駆動体の駆動方向にある力を付与したときの弾性変形量が、前記駆動方向に対して傾く方向である第2の方向に同じ力を付与したときのネジレ変形量より小さいように、前記第2部材と前記中間部材とを連結し、前記第1の方向と前記第2の方向とは交差していることを特徴とする。
【0008】
カップリング機構を弾性変形しやすい部材から形成すれば、上述したティルト偏心を抑制することは容易であるが、前記駆動軸から前記被駆動体にプレス力を伝達する際に、そのカップリング機構の弾性変形による遅れが生じ、高精度な成形を行えない。一方、前記カップリング機構を剛性の高い部材から形成すれば、前記駆動軸から前記被駆動体に遅れなくプレス力を伝達できるが、ティルト偏心を抑制することは困難である。このような相反する問題に対し、本発明者は鋭意研究の結果、前記被駆動体の駆動方向には剛体部材(弾性変形量が微小な部材を含む)として作用し、前記被駆動体の駆動方向に対して傾く方向には弾性体として作用するカップリング機構を開発したのである。
【0009】
すなわち、前記カップリング機構における前記第1連結部は、前記第1連結部に対して、前記被駆動体の駆動方向にある力を付与したときの弾性変形量が、前記駆動方向に対して傾く方向である第1の方向に同じ力を付与したときのネジレ変形量より小さいように、前記第1部材と前記中間部材とを連結するので、前記駆動軸から前記第1部材を介して前記中間部材に、前記被駆動体の駆動方向の力を遅れなく伝達することができ、且つ前記駆動方向に対して傾く第1の方向には弾性体として連結するので、前記第1の方向に前記中間部材が傾くことを許容できる。
【0010】
更に、前記カップリング機構における前記第2連結部は、前記第2連結部に対して、前記被駆動体の駆動方向にある力を付与したときの弾性変形量が、前記駆動方向に対して傾く方向である第2の方向に同じ力を付与したときのネジレ変形量より小さいように、前記第2部材と前記中間部材とを連結するので、前記前記中間部材から前記第2部材を介して前記被駆動体へと、前記被駆動体の駆動方向の力を遅れなく伝達することができ、且つ前記駆動方向に対して傾く第2の方向には弾性体として連結するので、前記第2の方向に前記中間部材が傾くことを許容できる。加えて、前記第1の方向と前記第2の方向とが交差しているので、結果的に前記第1部材と前記第2部材とは任意の方向に相対的に傾くことができ、それにより前記駆動軸の軸線が、前記被駆動体の駆動方向に対して傾いていた場合でも、その傾きの影響を回避して前記被駆動体の駆動方向の力を伝達する際の遅れを抑制し、それにより高精度な成形を行うことができる。
【0011】
請求項2に記載の成形装置は、前記第1部材と、前記第2部材と、前記中間部材と、前記第1連結部と、前記第2連結部は、単一の部材で構成されていると、部品点数が減少し、組付性が向上するので好ましい。
【0012】
請求項3に記載の成形装置は、前記駆動軸と前記第1部材の一方は、圧力伝達媒体を吐出する吐出面を有し、その他方は、前記吐出面に対向し、吐出された前記圧力伝達媒体を受ける受け面を有し、前記吐出面と前記受け面との間に介在する前記圧力伝達媒体により、前記駆動軸と前記第1部材とは、非接触状態で前記駆動軸の軸線方向に略直交する方向に沿って相対変位可能に維持されると、前記駆動軸と前記第1部材とは、高い支持剛性を確保しながらも、前記吐出面に沿った方向に相対移動可能となるため、前記吐出面を前記駆動軸の軸線に略直交する方向に配置することで、前記駆動軸の軸線と前記被駆動体(例えば成形用型)の軸線との間にズレがある場合でも、その影響を回避できる。尚、本明細書中において用いる圧力伝達媒体は、油や水などの液体でも良く、空気や窒素ガスなどの気体であっても良い。但し、空気や窒素ガスを80mol%以上含有する気体は低価格で入手できるから、成形品の製造コストを低減できるので好ましい。
【0013】
請求項4に記載の成形装置は、前記被駆動体と前記ハウジングの一方は、圧力伝達媒体を吐出する吐出面を有し、その他方は、前記吐出面に対向し、吐出された前記圧力伝達媒体を受ける受け面を有し、前記吐出面と前記受け面との間に介在する前記圧力伝達媒体により、前記被駆動体と前記ハウジングとは、非接触状態で前記被駆動体の駆動方向及びそれに直交する方向に相対変位可能に維持されると、前記ハウジングに対する前記被駆動体の高い支持剛性を確保しながらも、前記被駆動体を駆動方向に相対移動可能に支持できる。更に、前記吐出面及び前記受け面を対向する側に設けて、前記ハウジングに対して前記被駆動体を支持する場合には、例えば前記被駆動体に取り付けた可動成形型の軸線が、前記ハウジングに取り付けた固定成形型の軸線に対してズレがあるようなときに、一方の側の前記吐出面と前記受け面との間における圧力伝達媒体の圧力を、他方の側の前記吐出面と前記受け面との間における圧力伝達媒体の圧力に対して異ならせることで、軸線同士が一致するように、前記ハウジングに対して前記被駆動体を変位させることも可能である。
【0014】
請求項5に記載の成形装置は、前記吐出面は、前記圧力伝達媒体の吐出口を、前記駆動軸の軸線を挟んで両側に形成しているので、前記受け面と前記吐出面との間に傾きが生じた場合、一方の前記吐出口近傍の圧力と他方の前記吐出口近傍の圧力との差を利用して、前記傾きを補正することが可能となる。
【0015】
請求項6に記載の成形装置は、前記吐出面は、多孔質材料の面であると、前記受け面と前記吐出面との間に均一な圧力分布を形成できるので好ましい。多孔質材料としては、アルミナや炭化珪素、窒化珪素などのセラミックやグラファイトなどが考えられるが、多孔を形成できる材料であれば、本発明はその素材の種類を問わない。
【0016】
請求項7に記載の成形装置は、光学素子を成形するものであると、高精度な成型品としての光学素子を成形できる。尚、光学素子としては、例えばレンズ、プリズム、回折格子光学素子(回折レンズ、回折プリズム、回折板)、光学フィルター(空間ローパスフィルター、波長バンドパスフィルター、波長ローパスフィルター、波長ハイパスフィルター等々)、偏光フィルター(検光子、旋光子、偏光分離プリズム等々)、位相フィルター(位相板、ホログラム等々)があげられるが、以上に限られることはない。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。図1は、本実施の形態にかかる光学素子成形用の成形装置の断面図である。かかる成形装置は、熱間プレス成形機構に適用されたものである。図1において、基板1の上部にハウジング2を介して、上型固定支持部材3が固定配置されている。上型固定支持部材3は、図2で下面が球面状となっており、ここに対向面が球面状となったキノコ状の揺動部材4を摺動可能に設置している。揺動部材4の下端面には、成形キャビティを構成する上型5(固定成形型)が、テーパー面嵌合により取り付けられ、上型抑え24により固定されている。上型5の内部には、ヒータ6と熱電対7とが上方より挿入されている。上型固定支持部材3の上方は、カバー30により覆われている。
【0018】
ハウジング2は、水平方向に開放した一対の開口2aを有し、その端部にそれぞれシャッタ21を設けている。各シャッタ21は、ハウジング2に取り付けられたエアシリンダ22に連結され、その駆動により開口2aを開放する開放位置と係止する閉止位置との間で移動可能となっている。
【0019】
基板1の下部において、四角いシリンダー状の下型嵌合支持部材8が取り付けられている。尚、基板1の内部には、冷却水が通過する冷却配管1aが設けられ、固定部材である下型嵌合支持部材8の上部内部にも、冷却水が通過する冷却配管8aが設けられている。
【0020】
下型嵌合支持部材8の内部には、スライダ10が配置されている。ピストン状スライダ10は四角柱状であって、下型嵌合支持部材8の内側に嵌合しており、それらの間の隙間は、約10μmである。スライダ10の上端には、下型固定支持体11が取り付けられ、下型固定支持体11の上部に、成形キャビティを構成する下型(可動成形型)12がテーパー面嵌合により下型抑え13を介して取り付けられている。下型12の内部にはヒーター23と熱電対25とが下方より挿入されており、下型固定支持体11はスライダ10に結合され、一体となって上下可動する。スライダ10と下型固定支持体11とで移動部材を構成する。又、基板1及び下型嵌合支持部材8とではハウジングを構成する。
【0021】
ハウジング2と、下型固定支持体11との間には、スライダ10の移動に関わらず、成形雰囲気を維持し且つ成形雰囲気からスライダ10と下型嵌合支持部材8とを熱的に隔離するための金属ベローズ16が伸縮自在に配置されている。
【0022】
スライダ10は、セラミック又はグラファイトなどの多孔質材料から形成されており、周面10b(吐出面になる)近い位置で、その下方から上端近傍まで、袋孔10aが複数本、全周に沿って形成されている。かかる袋孔10aは、不図示の圧縮エアの供給源に接続される供給口10fに接続されている。尚、スライダ10の上面、下面、及び内側をヒーター23と熱電対25が通過する内周面(これらが非吐出面になる)には、エポキシ樹脂が含浸された後固化されている。
【0023】
尚、本実施の形態では、外部のエア供給源より、圧力伝達媒体として常温の空気(空気圧5atm)がシリンダ10に供給され、エアの供給路である袋孔10aから多孔を通って、周(側)面10bよりプレス方向に対し略直交する方向に吐出されており、それにより下型嵌合支持部材8に対してスライダ10を非接触状態で支持している。尚、スライダ10を多孔質材料で形成する代わりに、緻密な素材から形成し、且つ圧力伝達媒体が内部を通過する通路と、吐出面である側面に圧力媒体を吐出するオリフィス絞りとを設けても同じような効果が得られる。
【0024】
被駆動体であるスライダ10の下部は、プレス力検出用のロードセンサ26を介して静圧カップリング30の上部に連結されている。静圧カップリング30の下部は、進退自在な駆動軸であるネジ軸41の上端に固定されている。略垂直に延在するネジ軸41は、ボールスクリューナット42に螺合しており、ボールスクリューナット42は、不図示の部分で基板1が固定された基盤43に対し、軸受48を介して回転自在に支持されている。ボールスクリューナット42の外周には、ギヤ44が嵌合取付され、基盤43に固定されたDCサーボモータ45の回転軸45aにはギヤ46が嵌合取付され、ギヤ44,46は、歯付きベルト47により動力伝達可能に連結されている。尚、ネジ軸41の下端には、基盤43の直線溝43aに係合する回り止め41aが形成されている。
【0025】
成形時には、エアシリンダ2を駆動制御してシャッタ21を開放することで、外部より開口2aを介して、上型5と下型12との間に、プリフォームと呼ばれる加熱軟化させたガラス又は樹脂などの光学素材を搬送する。更にシャッタ21を閉止した後、DCサーボモータ45を駆動して、ギヤ44,歯付きベルト47、ギヤ46を介してボールスクリューナット42を回転させる。ボールスクリューナット42が回転すると、その内部に配置されたボールが、直線溝43aに案内されることで回り止め41aにより回転を阻止されてなるネジ軸41のネジ溝に沿って転動し、基盤43に対して図1で上方に移動することとなる。
【0026】
ネジ軸41が上方に移動すると、ロードセンサ26を介してスライダ10と下型固定支持体11とが上方に移動させられるので、ロードセンサ26から出力される信号に基づき、プレス力を調整しながら上型5に下型12を近接させることで、光学素材をプレスし、型に応じた形状の光学素子を得ることができる。その後、DCサーボモータ45を逆転させ、上型5から下型12を離間させた後、エアシリンダ22を駆動制御してシャッタ21を開放することで、開口2aを介して、成形した光学素子を外部に搬送することができる。
【0027】
本実施の形態によれば、スライダ10の周面すなわち吐出面10bと、エア供給路10aとを連通する多孔質材料の個々の微小な孔が、オリフィス絞りの役目を果たして支持剛性を高くできるだけでなく、吐出面全体にわたって均一な圧力の圧力伝達媒体が吐出するので、高精度な支持を可能としながらも、より低コストな構成を提供することができる。又、対向する吐出面10bから吐出させる圧力伝達媒体の圧力を変えることで、スライダ10をその軸線に直交する方向に変位させ、上型5と下型12の軸線を一致させることができる。
【0028】
ところで、ネジ軸41は、基盤43に対して、ボールスクリューナット42と軸受48とを介して位置決めされるものであり、それらのボールが転動するためには、本来的にある程度の遊びを有している必要がある。又、ネジ軸41は細長い部材であり、ボールスクリューナット42だけで支持されると、撓みなどの影響も懸念される。以上から、上型5に対する下型12(すなわちスライダ10)の位置決めを精度良く行うには、基盤43の形状精度を高めるだけでは足らず、スライダ10の軸線に対して、ネジ軸41の軸線のズレ或いは傾きがあることを前提として、それらに起因した振れ回りなどの影響を排除しつつ遅れなく駆動を行う必要がある。本実施の形態によれば、かかる機能を静圧カップリング(カップリング装置)30が担っている。以下、静圧カップリング30について説明する。
【0029】
図2は、図1に示す静圧カップリング30の拡大図である。図3は、図1の構成をIII-III線で切断して矢印方向に見た図である。図4は、静圧カップリング30の構成要素である静圧パッドの斜視図である。
【0030】
図2において、静圧カップリング30は、円盤状の静圧パッド31を上板32と下板33とで挟持し、更に上板32と下板33とを、ボルト35により側板34を介して連結してなる。静圧パッド31の中央部31aは、上板32の中央開口32a内に配置されたボス36を介して、ボルト37により天板38に連結されている。下板33は、ネジ軸41の上端に接合されている。天板38は、図1に示すロードセンサ26に連結される。
【0031】
上板32と下板33とは、上板32のみが中央開口32aを有する以外は、構成が共通するため、以下においては、上板32を中心に説明する。上型32の内部を水平に延在する供給路32bが形成されている。供給路32bは、外部のエア供給源に対してホースで接続されたコネクタCの取り付け口32cから、吐出面32d(図2で下面)に開放した4つの開口32eまで延在してなる。開口32e内には、それぞれオリフィス絞り(中央に細い貫通孔を配した円筒部材)39が配置される。尚、本来的には、開口32e同士を直接連結するよう供給路32bを形成するのが好ましいが、孔加工が困難であるため、図3に示すように、上板32の外部から、2つの開口32eを通過するような細孔を4本、放電加工などで穿孔し、その開放端を封止蓋32fでふさぐようにしている。
【0032】
吐出面32dにおいて、各開口32eを始点として延在し、更に上板32の中心に対して同心円の一部を描くように3本の浅溝32g(深さ10μm程度)が形成されている。この浅溝32gは、表面絞りと呼ばれ、オリフィス絞り39から吐出される空気を、浅溝32gに沿って分配し、広範囲にわたって均一な圧力の形成を支援する機能を有する。
【0033】
図4において、静圧パッド31は、鋼又はステンレスからなる略円盤状を成しており、最も中央の円筒状である中央部31aと、それを内包するドーナツ状の中間部31bと、それを内包するドーナツ状の外方部31cとを有する。第1部材である外方部31cは、中間部材である中間部31bに対して、軸線を挟んで2カ所で連結されており、この連結部を第1連結部31dとする。更に、中間部31bは、第2部材である中央部31aに対して、軸線を挟んで2カ所で連結されており、この連結部を第2連結部31eとする。
【0034】
静圧パッド31は、単一の素材から形成され、より具体的には、素材に対して、外方部31cと中間部31bとの間をワイヤ放電加工などで、第1連結部31dを除いて周方向に切り取り、且つ中間部31bと中央部31aとの間をワイヤ放電加工などで、第2連結部31eを除いて周方向に切り取ることで形成できる。このような加工により、薄板状(例えば厚さ0.5mm程度)の第1連結部31dは、軸線方向(図で上下方向)に延在し、一側縁を外方部31cの内周面に接続し且つ他側縁を中間部31bの外周面に接続した構成を有する。又、薄板状(例えば厚さ0.5mm程度)の第2連結部31eは、軸線方向(図で上下方向)に延在し、一側縁を中間部31bの内周面に接続し且つ他側縁を中央部31aの外周面に接続した構成を有する。第1連結部31dと第2連結部32eの配置される位相は、本実施の形態では90度ずれているが、重なっていなければこの角度に限る必要はない。尚、静圧パッド31の外方部31cにおける上下面31fが受け面を構成するが、かかる上下面31fを平面とすることで、部品製作時の厚み管理を容易にでき、すなわち圧力伝達媒体を介した支持状態での隙間管理を容易にできる。以上述べた本実施の形態では、ネジ軸1に外方部31cがその軸線方向に略直交する方向に変位自在に保持されており、且つスライダ10にロードセンサ26を介して中央部31aが保持(ここでは結合)されている。
【0035】
静圧カップリング30の動作について説明する。まず、図2において、スライダ10(図1)の軸線X1に対して、ネジ軸41の軸線X2がズレている、或いは傾いているものとする。DCサーボモータ45の駆動により、ネジ軸41が図2で上方に向かって駆動されると、それに固定された下板33及び上型32も上方へと移動する。本実施の形態の静圧カップリング30は、以下のようにして、軸線X1に対する軸線X2のズレ、傾きをキャンセルして、力のみを伝達できる。
【0036】
上型32は、コネクタCから0.5Mpa程度で供給される圧縮空気を、供給路32bを介して、吐出面32dにおけるオリフィス絞り39を介して吐出させ、下型33は、コネクタCから供給される空気を、供給路33bを介して、吐出面33dにおけるオリフィス絞り39を介して吐出させるので、静圧パッド31の外方部31cにおける受け面31fは、その空気の圧力で吐出面32d、33dに対して5μm程度の隙間で非接触状態で、しかも支持剛性が高い状態で支持されることとなる。すなわち、上板32,下板33の軸線(ネジ軸41の軸線X2に一致)と、静圧パッド31の外方部31cの軸線は平行に維持されることとなる。
【0037】
ここで、スライダ10の軸線X1に対して、ネジ軸41の軸線X2がずれていたとしても、静圧パッド31が、上板32,下板33に対してスライダ10の軸線(すなわち駆動方向)に直交する方向に変位可能に保持されていることから、軸線のズレ(シフト偏心)をキャンセルして、ネジ軸41からの力をスライダ10へと伝達することができる。
【0038】
尚、本実施の形態のごとく、オリフィス絞り39を、上板32,下板33の軸線の両側に且つ離した状態で配置することで、静圧パッド31が傾いた場合に、各オリフィス絞り29周辺の圧力差を利用して、その傾きを自動的に補正できるようになっている。従って、安定した静圧パッド31の保持が可能となる。
【0039】
更に、図4において、静圧パッド31の外方部31cの軸線X2’(ネジ軸41の軸線X2に平行)が、スライダ10の軸線(駆動方向に延在)X1に対して傾いている場合を考える。第1連結部31dは、外方部31cに対して中間部31bを、スライダ10の駆動方向(剪断方向)には剛体(弾性係数が極めて高い弾性体を含む)として支持するので、ネジ軸31から外方部31cを介して中間部31bに、駆動力を遅れなく伝達することができる。一方、第1連結部31dは、わずかな力でネジレ変形を生じるので、弾性係数が低い弾性体として支持することで、外方部31cに対して中間部31bを、第1の方向(ここでは、一対の第1連結部31dの中心を結ぶ線周りの方向であり、図4では手前側もしくは奥側に傾く方向)に、外方部31cに対して中間部31bが傾くことを許容できる。
【0040】
第2連結部31eは、中間部31bに対して中央部31aを、スライダ10の駆動方向(剪断方向)には剛体(弾性係数が極めて高い弾性体を含む)として支持するので、ネジ軸31から伝達された駆動力を、中間部31bから中央部31aに遅れなく伝達することができる。一方、第2連結部31eは、わずかな力でネジレ変形を生じるので、弾性係数が低い弾性体として支持することで、中間部31bに対して中央部31aを、第2の方向(ここでは、一対の第2連結部31eの中心を結ぶ線周りの方向であり、図4では左方向又は右方向)に、中間部31bに対して中央部31aが傾くことを許容できる。更に、第1の方向と第2の方向とは交差していることから、外方部31cに対して中間部31bが傾き、更に中間部31bに対して中央部31aが異なる方向に傾くことで、外方部31cに対して、中央部31aが任意の方向に傾くことを許容できる。言い換えると、ネジ軸41の軸線X2がスライダ10の軸線X1に対して傾いていたとしても、静圧カップリング30がそれ(ティルト偏心)の影響を回避して、駆動力のみを遅れなく伝達できることとなる。すなわち、静圧カップリング30により、スライダ10が下型嵌合支持部材8に対して接触し、カジリやこじれなどを生じさせることがない。
【0041】
さらに重要なのは、駆動力を伝達する静圧パッド31の受け面31f(外方部31cの上下面)は、その面積を増やすことが極めて容易であり、またその隙間に供給する圧力伝達媒体としての空気の圧力も、一般的な工場においては、容易に0.5MPa程度は得られるので、極めて大きな駆動方向の剛性を確保できるということである。例えば、図4のように受け面31fを連結部31d、31eの外側に配置した場合、その内径を60mm、外形を200mmとすると、静圧受け面の面積は約286cm2となるから、空気の供給圧力を0.5MPaとし、その平均有効静圧がその1/2とすると、約7kNという力が静圧パッド31を挟み込む力として付与され、静圧パッド31にスライダ10等が連結されていても、高い剛性で保持することができる。
【0042】
しかしながら、吐出面32d、33dと受け面31fとは、非接触で5〜1 0μm程度の静圧隙間を介在させて非接触状態となるから、面に沿った方向に対しては、ほとんどゼロの剛性となるのである。
【0043】
例えば従来の機械的なカップリングでは、ティルト偏心やシフト偏心の除去能力を向上させると、一般的には駆動方向の剛性が低下するという問題が生じていたので、かかるカップリング部の低剛性により、高精度の送り機構やサーボ駆動では、系にバネを含んでしまうこととなり、サーボゲインを大きく取ることができず、その結果、高強度や精密な駆動運動が実現できなかったということがある。これに対し、本実施の形態では、上述したように静圧カップリング30の剛性を容易に増加することが可能であるため、駆動運動に位置検出や速度検出などのセンサーからのフィードバックをかけたサーボ駆動を行うというような場合でも、極めて高精度に駆動運動を制御できる。
【0044】
尚、吐出面32d、33dは、図1に示す実施の形態のように、オリフィス絞りや毛細管絞りなどを設けて圧力伝達媒体(空気)を吐出させ、さらに表面絞り32gなどを設けて、静圧を大きくし剛性を高めても良いが、多孔質材料を用いても良い。圧力伝達媒体を用いた支持(静圧支持)形態に関しては、従来技術の手段を用いれば良く、その作用については本発明の範囲外であるが、多孔質材料を吐出面側に用いると、単に材料を張り付けるだけで均一な圧力分布が形成され、また対向する受け面も平面で良い等、製作上のメリットが大きくコスト的に有利である。更にまた、受け面に供給する圧力伝達媒体は、対向する側から供給しても良いし、対向する面同士の間に側方から供給しても良い。どちらも静圧支持の効果は同じであるが、圧力伝達媒体の配管や吐出部の形態に違いが出るので、用途に応じて有利な仕様を選択すればよい。
【0045】
図5は、静圧パッドの変形例を示す図である。図5に示す変形例の静圧パッド31’では、中央部31a’の上下面が圧力伝達媒体を受ける受け面を構成し、外方部31c’がスライダ10(図1)に連結されるものである。本変形例は、上述した実施の形態と同様に作用する。尚、本変形例において、中央部31a’が第1部材を構成し、中間部31b’が中間部材を構成し、外方部31c’が第2部材を構成し、中央部31a’と中間部31b’とを連結する連結部31e’が第1連結部を構成し、中間部31b’と外方部31c’を連結する連結部31d’が第2連結部を構成する。
【0046】
以下、本発明者が、図5の変形例を用いて行った実験結果について説明する。ここで、連結部31d’、31e’の寸法を、厚み0.5mm、長さ20mm、幅4mmとした。連結部31d’、31e’を介して直径150mmの多孔質グラファイトによる静圧面を有し、圧力伝達媒体に0.3MPaの空気を用い、静圧隙間5μmで700N/μmの剛性を発生させた。ティルトによる干渉範囲は最大1°、シフトによる干渉範囲は1mmであるが、連結部31d’、31e’の厚みや長さ、中央部31a’の上下面(受け面)の面積を大きくすることで、さらに偏心緩衝範囲を大きくすることが容易にできる。
【0047】
このときに、被駆動体としてエアスライドによる非接触規制されたスライドテーブルに、レーザースケールを用いてその位置検出を1nm精度で行い、サーボアンプに位置フィードバックとして入力した。更に、タコゼネレーター付きDCサーボモータを用い、ボールスクリューのナットを回転してネジ軸を推進させ、そのネジ軸先端に、図5の静圧パッドを含む静圧力ップリングを介して、スライドテーブルを駆動した。スライドテーブルの送り方向は、レーザー干渉測長器によりモニタし、その直交方向についてはオートコリメータによりテーブルのふられ具合をモニタした所、送り精度は100mmのテーブルの移動においてプラスマイナス5nm以下に入り、テーブルのヨーイングとピッチングは3秒角以下であった。これらより、ボールスクリューの振れ周りがほとんどスライドテーブルに伝達されておらす、またテーブルの送りは充分高精度に、本発明の静圧カップリングを通して伝達されていることがわかった。
【0048】
更に、図2〜4の静圧カップリングを用いた実験結果によれば、サーボモータは、図には無いレーザースケールを用いて、スライダ10(図1)の位置を0.01μmの分解能で検出し、フィードバックループ制御を行うようにした。ネジ軸41のリードは4mmで、オーバーサイズボールによるプリロードをかけたシングルナット式のボールスクリューナット42を歯付きベルト47によって駆動し、ネジ軸41を上下させるようにした。ネジ軸41とスライダ10は、本発明の静圧力ッフリング30を介して結合された。この時、スライダ10の位置決め精度は、プラスマイナス0.03μm以下であり、300mm/minの送り速度までサーボが追従した。スライダ10の駆動に伴うティルト変動を、スライダ10端面に平面鏡を張り付けて、オートコリメータにより観察したところ、100mmのストロークを駆動して、10秒角以内に入った。この事実から、ネジ軸41が一般的に有する振れ回りを、本発明の力ップリング機構によって除去でき、且つスライダ10の駆動方向にのみ力を伝達できることがわかった。
【0049】
以上、本発明を実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定して解釈されるべきではなく、適宜変更・改良が可能であることはもちろんである。本発明のカップリング装置は、光学素子以外の成形装置にも適用可能である。
【0050】
【発明の効果】
本発明によれば、可動成形型の軸線に対して駆動軸の軸線に傾きやズレがあっても、その傾きやズレの影響を回避して、可動成形型を高精度に移動させることができる成形装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施の形態にかかる光学素子成形用の成形装置の断面図である。
【図2】図1に示す静圧カップリング30の拡大図である。
【図3】図1の構成をIII-III線で切断して矢印方向に見た図である。
【図4】静圧カップリング30の構成要素である静圧パッドの斜視図である。
【図5】変形例にかかる静圧カップリング30’を示す図である。
【符号の説明】
1 基板
3 上型固定保持部材
5 上型
8 下型嵌合保持部材
10 スライダ
12 下型
30 静圧カップリング
Claims (7)
- ハウジングに対して移動可能な駆動軸と、被駆動体とを連結するカップリング機構を有する成形装置において、
前記カップリング機構が、
前記駆動軸に保持された第1部材と、
前記被駆動体に保持された第2部材と、
中間部材と、
前記第1部材と前記中間部材を連結する第1連結部と、
前記第2部材と前記中間部材を連結する第2連結部と、を有し、
前記第1連結部は、前記第1連結部に対して、前記被駆動体の駆動方向にある力を付与したときの弾性変形量が、前記駆動方向に対して傾く方向である第1の方向に同じ力を付与したときのネジレ変形量より小さいように、前記第1部材と前記中間部材とを連結し、
前記第2連結部は、前記第2連結部に対して、前記被駆動体の駆動方向にある力を付与したときの弾性変形量が、前記駆動方向に対して傾く方向である第2の方向に同じ力を付与したときのネジレ変形量より小さいように、前記第2部材と前記中間部材とを連結し、
前記第1の方向と前記第2の方向とは交差していることを特徴とする成形装置。 - 前記第1部材と、前記第2部材と、前記中間部材と、前記第1連結部と、前記第2連結部は、単一の部材で構成されていることを特徴とする請求項1に記載の成形装置。
- 前記駆動軸と前記第1部材の一方は、圧力伝達媒体を吐出する吐出面を有し、その他方は、前記吐出面に対向し、吐出された前記圧力伝達媒体を受ける受け面を有し、前記吐出面と前記受け面との間に介在する前記圧力伝達媒体により、前記駆動軸と前記第1部材とは、非接触状態で前記駆動軸の軸線方向に略直交する方向に沿って相対変位可能に維持されることを特徴とする請求項1又は2に記載の成形装置。
- 前記被駆動体と前記ハウジングの一方は、圧力伝達媒体を吐出する吐出面を有し、その他方は、前記吐出面に対向し、吐出された前記圧力伝達媒体を受ける受け面を有し、前記吐出面と前記受け面との間に介在する前記圧力伝達媒体により、前記被駆動体と前記ハウジングとは、非接触状態で前記被駆動体の駆動方向及びそれに直交する方向に相対変位可能に維持されることすることを特徴とする請求項1又は2に記載の成形装置。
- 前記吐出面は、前記圧力伝達媒体の吐出口を、前記駆動軸の軸線を挟んで両側に形成していることを特徴とする請求項3又は4に記載の成形装置。
- 前記吐出面は、多孔質材料の面であることを特徴とする請求項3又は4に記載の成形装置。
- 光学素子を成形することを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の成形装置。
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