JP3984820B2

JP3984820B2 - Vertical vacuum CVD equipment

Info

Publication number: JP3984820B2
Application number: JP2001351579A
Authority: JP
Inventors: 眞基濱口
Original assignee: Kobe Steel Ltd
Current assignee: Kobe Steel Ltd
Priority date: 2001-11-16
Filing date: 2001-11-16
Publication date: 2007-10-03
Anticipated expiration: 2021-11-16
Also published as: US20030094451A1; KR100503544B1; KR20030041084A; TW200300648A; TWI221397B; JP2003151737A; US6932872B2

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体基板であるウェハ上に薄膜を形成する縦型減圧ＣＶＤ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
周知のように、半導体集積回路製造プロセスでは、酸化・拡散処理装置、気相エピタキシャル成長装置、減圧ＣＶＤ装置（ＬＰＣＶＤ装置）、アニール装置などの種々のＩＣプロセス装置が使用されている。そして、これらでは、ＩＣを形成する（ＩＣを形成中又は形成しようとする）ウェハを加熱するための加熱手段が備えられている。
【０００３】
図２は、従来技術を説明するためのものであって、加熱手段として抵抗加熱によるヒータを備えた縦型減圧ＣＶＤ装置の一例を示す模式的構成説明図である。減圧ＣＶＤでは、一般に、温度４００〜８００℃で、０．１〜３０Ｔｏｒｒ（約
０．０１３ｋＰａ〜４．０ｋＰａ）の圧力下で成膜が行われる。
【０００４】
このバッチ式の縦型減圧ＣＶＤ装置は、図２に示すように、空断面円形で上部がドーム状をなす石英製の反応容器５１と、この反応容器５１内に配され、円筒状をなす石英製の内管５４と、さらにこの内管５４の内側に配され、ウェハ５２を多数枚（例えば１００〜１５０枚程度）縦に並べて搭載するウェハ搭載ボード５３と、マニホールド５６とを備えている。さらに、この縦型減圧ＣＶＤ装置は、反応容器５１の外側に本例ではこれを囲繞する状態で同心状に配設された円筒状をなすヒータ５５を備えている。前記反応容器５１、内管５４、ウェハ搭載ボード５３及びヒータ５５は、軸線を同じにして設けられる。マニホールド５６には、反応容器５１と内管５４が載置されるとともに、ウェハ搭載ボード５３が図示しない保温筒を介して載置されるようになっている。また、マニホールド５６は、内管５４の内側に反応ガスなどを導入するガスインジェクタ５７ａ，５７ｂを備えるとともに、反応後のガスあるいは未反応ガスを反応容器５１から排出させるガス排気口５８を有している。
【０００５】
このような抵抗加熱によるヒータ５５を備えた縦型減圧ＣＶＤ装置を用いて、ウェハ５２に例えばポリシリコン膜を形成する場合について説明する。まず、各ウェハ５２をウェハ搭載ボード５３に搭載し、このウェハ搭載ボード５３を載置した保温筒（図示省略）とともに該ウェハ搭載ボード５３を、マニホールド５６下端側の開口部（図示省略）から内管５４の内側に収容する。マニホールド５６の開口部は図示しないハッチによって塞がれるようになっている。次いで、抵抗加熱によるヒータ５５により内管５４の内側空間を所定の温度に加熱するとともに、内管５４内にガスインジェクタ５７ａからシランガスを供給する。このシランガスが加熱されてウェハ５２表面上で熱分解反応することにより、ウェハ５２表面上にポリシリコン膜を形成する。反応後のガスあるいは未反応ガスは、内管５４と反応容器５１との間の空間通路を経てガス排気口５８から外部に排出される。このように、この縦型減圧ＣＶＤ装置では、ウェハ上に成膜を行うに際し、加熱手段として抵抗加熱によるヒータ５５を用いてウェハ５２の加熱を行っている。
【０００６】
図３は、参考例としてのものであって、加熱手段として赤外線ランプを備えた枚葉式の気相エピタキシャル成長装置の一例を示す模式的構成説明図である。シリコンの気相エピタキシャル成長は、使用する原料ガス（四塩化ケイ素ガス、二塩化シランガス、三塩化シランガス及びシランガスの４種類）によって異なるが、その反応は温度１１００〜１２００℃くらいで行われるものである。
【０００７】
図３に示すように、石英からなる反応容器６１内には、ウェハ６２が一枚ずつ載置されて該ウェハ６２を支持する円盤状のサセプタ６３が配置されている。サセプタ６３は、表面が炭化珪素の被膜でコーティングされた黒鉛基材からなるものである。反応容器６１の外側には、これと同心状に加熱装置としての複数個の赤外線ランプ６４が配設されている。反応容器６１内の上部空間６１ａでは、ガス供給口６５からキャリアガスである水素ガスとともに導入された原料ガス（ドーパントを含む）がウェハ６２の表面をほぼ層流を形成しながら流れ、反対側の排気口６６から排出される。また、反応容器６１内の下部空間６１ｂでは、原料ガス（反応ガス）よりも高圧にてパージガスである水素ガスが供給される。この気相エピタキシャル成長装置では、反応容器６１内に載置されたウェハ６２を上下より反応容器６１を通して赤外線ランプ６４によって所定の温度に放射加熱（輻射加熱）しながら、気相成長によるシリコンエピタキシャル層の形成を行っている。このように、この気相エピタキシャル成長装置では、気相成長によるシリコンエピタキシャル層の形成を行うに際し、加熱手段として赤外線ランプ６４を用いてウェハ６２の加熱を行っている。
【０００８】
図４は、参考例としてのものであって、加熱手段として高周波誘導コイルを備えた枚葉式の気相エピタキシャル成長装置の一例を示す模式的構成説明図である。
【０００９】
図４に示すように、石英からなる反応容器７１内には、ウェハ７２が一枚ずつ載置される円盤状をなす黒鉛製のサセプタ７３が配置されている。反応容器７１の外側におけるサセプタ７３の下方位置には、ウェハ７２を支持するサセプタ７３を発熱させることにより該ウェハ７２を加熱するための高周波誘導コイル７４が配設されている。高周波誘導コイル７４とサセプタ７３は、ウェハ７２を加熱するための加熱装置を構成している。反応容器７１内では、ガス供給口７５から原料ガス（反応ガス）などが導入されてウェハ７２の表面をほぼ層流を形成しながら流れ、反対側の排気口７６から排出される。この気相エピタキシャル成長装置では、高周波誘導コイル７４によってサセプタ７３を発熱させることによりウェハ７２を所定の温度に加熱しながら、気相成長によるシリコンエピタキシャル層の形成を行っている。このように、この気相エピタキシャル成長装置では、気相成長によるシリコンエピタキシャル層の形成を行うに際し、加熱手段として高周波誘導コイル７４と黒鉛製のサセプタ７３とを用いてウェハ７２の加熱を行っている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、前述したヒータによる輻射あるいは伝導熱による加熱を行う手段では、ヒータの出力と被加熱物であるウェハとの間の熱伝導に規制されるため、表１に示すように、原理的に急速な昇温・降温には不向きである。このため、ウェハの昇温と降温に時間がかかってスループットが悪いという欠点がある。
【００１１】
【表１】

【００１２】
一方、前述した赤外線ランプによる放射加熱を行う手段では、被加熱物であるウェハとの距離依存性が大きいことから、数枚のウェハに対して１０個単位のランプを用意することが必要であり、表１に示すように、ウェハの大量処理ができないという欠点がある。また、前述した高周波誘導コイルによる加熱を行う手段では、ウェハを加熱するために発熱させるサセプタが円盤状をなしており、この円盤状をなすサセプタ上にウェハを載置するようにしたものであるから、ウェハの大量処理ができないという欠点がある。
【００１３】
そこで、本発明の目的は、ウェハの均一な加熱とウェハの急速な昇温・降温を行うことができるとともに、ウェハの大量処理が行えるようにした縦型減圧ＣＶＤ装置を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本願発明は次のような構成としている。請求項１の発明は、反応容器と、前記反応容器内に配され、熱硬化性樹脂成形体を炭化焼成してなる円筒状をなすガラス状炭素製内管と、前記ガラス状炭素製内管の内側に収容され、ウェハを複数枚縦に並べて搭載するウェハ搭載ボードと、前記反応容器の外側に配設され、前記ガラス状炭素製内管を発熱させることにより前記ウェハを加熱するための高周波誘導コイルと、前記ガラス状炭素製内管内にその下方より反応ガスを導入するとともに、前記ガラス状炭素製内管の上端側開口より導出された反応後のガスを前記反応容器と前記ガラス状炭素製内管との間の空間通路を下降させて前記反応容器から排出するためのマニホールドと、を備えていることを特徴とする縦型減圧ＣＶＤ装置である。
【００１５】
請求項２の発明は、前記請求項１の記載の縦型減圧ＣＶＤ装置において、ガラス状炭素製内管と高周波誘導コイルとの間に、又は前記高周波誘導コイルの外側周りに断熱体が配設されていることを特徴とするものである。
【００１６】
本発明による縦型減圧ＣＶＤ装置は、反応容器内に配される内管として、従来の石英製とは違ってガラス状炭素製内管を備え、反応容器の外側に配設された高周波誘導コイルに交流高周波電力を供給してガラス状炭素製内管を発熱させることにより、該ガラス状炭素製内管の内側に収容されたウェハ搭載ボードに縦に並べられている各ウェハを加熱するとともに、ガラス状炭素製内管内へ導入された反応ガスを熱エネルギーにより熱分解反応させて、各ウェハ上に成膜を行うように構成されている。
【００１７】
本発明による縦型減圧ＣＶＤ装置は、内管がこれをガラス状炭素製とすることで発熱体を兼ねている。ガラス状炭素（ＧＬＣ）は、熱硬化性樹脂を原料とし、これを硬化した後、不活性雰囲気中又は真空中で焼成炭化して得られるものである。ガラス状炭素は、一般の炭素材料が有する軽量、耐熱性、耐食性、導電性などの性質を備えているほか、高純度、高強度（鏡面加工可能）、ガス不透過性、低発塵性などの優れた特徴を持っている。そのため、反応容器内に配されるガラス状炭素製内管は、不純物粒子やガスを放出することがなく、また、ガス吸着が少なく、さらに化学的に安定であることから、高温、腐食性の反応条件下でもウェハを汚染することがない。なお、ガラス状炭素が無定形の均質な連続緻密組織を持つものであるのに対して、黒鉛材はカーボン粉末粒子の集合体からなる組織を持つものである。このため、黒鉛材ではカーボン粉末が発生したり、反応中に吸蔵ガスを放出したりするという不具合がある。
【００１８】
また、ガラス状炭素製内管は、高周波誘導で生じる電流による発熱であることから急速な昇温が可能である一方、熱容量が小さいという性質を持つガラス状炭素で構成されているので急速な降温が可能である。さらに、無定形の均質な連続緻密組織を持ち熱伝導に優れるという性質を持つガラス状炭素で構成されているので、ガラス状炭素製内管は均熱性に優れている。また、ガラス状炭素製内管は、一度に多数枚のウェハを処理するバッチ式が可能な大きさのものが製作できる。このように、本発明による縦型減圧ＣＶＤ装置によれば、ウェハの均一な加熱とウェハの急速な昇温・降温を行うことができるとともに、ウェハの大量処理をなしうる。
【００１９】
また、ガラス状炭素製内管と高周波誘導コイルとの間に、又は高周波誘導コイルの外側周りに断熱体が配設されている縦型減圧ＣＶＤ装置では、ガラス状炭素製内管からの熱が反応容器の外部へ逃げる量を減らすことができ、加熱効率（熱利用率）を高めることができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明の縦型減圧ＣＶＤ装置の一例を示す模式的構成説明図である。
【００２１】
このバッチ式の縦型減圧ＣＶＤ装置は、図１に示すように、空断面円形で上部がドーム状をなして閉じられた石英製の反応容器１１と、この反応容器１１内に配され、円筒状をなすガラス状炭素製内管１と、さらにこのガラス状炭素製内管１の内側に配され、ウェハ（シリコンウェハ）１２を多数枚縦に並べて搭載するウェハ搭載ボード１３と、マニホールド１４とを備えている。さらに、この縦型減圧ＣＶＤ装置は、反応容器１１の外側を覆う炭素繊維フェルトからなる断熱体６と、該断熱体６で覆われた反応容器１１の外側にこれと同心状をなして配設された空心コイル型の高周波誘導コイル２と、整合器４を介して高周波誘導コイル２に交流高周波電力を供給する高周波交流電源３と、制御器５とを備えている。制御器５は、センサとして本例では熱電対（図示省略）で反応容器１１内の温度を検出し、その値を高周波交流電源３の出力にフィードバックして温度制御を行うものである。
【００２２】
前記反応容器１１、ガラス状炭素製内管１、ウェハ搭載ボード１３、及び高周波誘導コイル２は、軸線を同じにして設けられる。前記マニホールド１４には、反応容器１１とガラス状炭素製内管１が載置されるとともに、ウェハ搭載ボード１３が図示しない保温筒を介して載置されるようになっている。また、マニホールド１４は、ガラス状炭素製内管１の内側に反応ガスなどを導入するガスインジェクタ１５ａ，１５ｂを備えるとともに、反応後のガスあるいは未反応ガスを反応容器１１から排出させるガス排気口１６を有している。
【００２３】
前記ガラス状炭素製内管１、高周波誘導コイル２、高周波交流電源３、整合器４、制御器５及び断熱体６は、この縦型減圧ＣＶＤ装置における加熱手段を構成している。ここで、ガラス状炭素製内管１は、熱硬化性樹脂、例えばフェノール樹脂を原料として公知の方法により製作することができる。ガラス状炭素製内管１の前駆体である樹脂成形体は遠心成形により製作することが好ましい。該樹脂成形体を１０００℃以上、好ましくは１５００℃以上の温度で焼成して、ガラス状炭素製内管１に転化させるようにすればよい。そして必要により、所要の長さ、内径及び外径寸法になるように機械加工すればよい。
【００２４】
次に、この縦型減圧ＣＶＤ装置を用いて、ウェハ１２に例えばポリシリコン膜を形成する場合について説明する。まず、各ウェハ１２をウェハ搭載ボード１３に搭載し、このウェハ搭載ボード１３を載置した保温筒（図示省略）とともに該ウェハ搭載ボード１３を、マニホールド１４下端側の開口部（図示省略）からガラス状炭素製内管１の内側に収容する。マニホールド１４の開口部は図示しないハッチによって塞がれるようになっている。次いで、高周波誘導コイル２に交流高周波電流を流しガラス状炭素製内管１を発熱させて該ガラス状炭素製内管１の内側空間を所定の温度に加熱するとともに、ガラス状炭素製内管１内にガスインジェクタ１５ａからシランガスを供給する。このシランガスが加熱されて熱分解反応することにより、ウェハ１２表面上にポリシリコン膜を形成する。反応後のガスあるいは未反応ガスは、ガラス状炭素製内管１と反応容器１１との間の空間通路を経てガス排気口１６から外部に排出される。ポリシリコン膜の形成を終了すると、高周波誘導コイル２への通電を停止する。
【００２５】
このように、本実施形態による縦型減圧ＣＶＤ装置は、反応容器１１内に配される内管として、従来の石英製とは違ってガラス状炭素製内管１を備え、反応容器１１の外側に配設された高周波誘導コイル２に交流高周波電力を供給してガラス状炭素製内管１を発熱させることにより、該ガラス状炭素製内管１の内側に収容されたウェハ搭載ボード１３に縦に並べられている各ウェハ１２を加熱するとともに、ガラス状炭素製内管１内へマニホールド１４によって導入された反応ガスを熱エネルギーにより熱分解反応させて、各ウェハ１２上に成膜を行うように構成されている。これにより本実施形態による縦型減圧ＣＶＤ装置によれば、内管としてガラス状炭素製内管１を備え、これを高周波誘導加熱により発熱させるようにしたものであるから、ウェハの均一な加熱とウェハの急速な昇温・降温を行うことができるとともに、ウェハの大量処理を行うことができる。よって、従来の石英製内管と抵抗加熱式ヒータを備えたものに比べて、ウェハの急速な昇温・降温を行えるので、ウェハの大量処理の時間短縮を図ることができる。
【００２６】
また、本発明による縦型減圧ＣＶＤ装置は、ＣＶＤ装置のｉｎ−ｓｉｔｕ装置クリーニングを行えるという利点がある。この点について説明する。ＣＶＤ（化学的気相成長）処理に際し、ウェハ搭載ボードを収容する前記内管などのような装置構成パーツには、ＣＶＤ工程を繰り返すにしたがい、その表面に不要な膜が堆積していく。この堆積膜の膜厚が限度以上になると、膜剥れによるパーティクルが発生してウェハの歩留りが低下するので、その前に、これまで使用していた内管を新しいものに取り替え、取り外したものはフッ酸などによる薬液洗浄が行われる。このような内管取替えのためには、装置の運転を停止する必要があり、また、新しい内管をセットすると成膜条件を安定させるために空運転が必要となる。このような一連の操作のため、実操業時間が減って生産性が低下することになる。そこで、最近では、取替えによる装置の運転停止時間を減らすため、三フッ化塩素などのガスをＣＶＤ装置内に導入し、不要の堆積膜と反応させることで該堆積膜をガス状態で除去するようにしたｉｎ−ｓｉｔｕ装置クリーニング（「そのままで」行える装置クリーニング）が行われるようになってきている。ところが、従来の石英製あるいは炭化珪素（ＳｉＣ）製の内管では、耐食性が十分でないため、このようなｉｎ−ｓｉｔｕ装置クリーニングの適用には大きな制限があった。
【００２７】
これに対して、ガラス状炭素製内管は、その耐食性が極めて優れているので、前記三フッ化塩素などの強腐食性ガスによっても侵されることがなく、また、従来の内管とは違ってガラス状炭素製内管自体が発熱することから、顕著なガスによるクリーニング効果が得られる。このように、本発明による縦型減圧ＣＶＤ装置は、ｉｎ−ｓｉｔｕ装置クリーニングを容易に行えるという利点がある。
【００２８】
なお、前記本実施形態による縦型減圧ＣＶＤ装置では、反応容器１１の外側を覆う炭素繊維フェルト製の断熱体６を設けているので、ガラス状炭素製内管１からの熱が反応容器１１の外部へ逃げる量を減らすことができる。断熱体６を配設しない場合、ガラス状炭素製内管１の発熱量の約１／２が反応容器１１の外部へ逃げることになる。本実施形態では、反応容器１１と高周波誘導コイル２との間に断熱体６を配設したが、高周波誘導コイル２の外側に該コイル２及び反応容器１１を取り囲むように断熱体を配設するようにしてもよい。
【００２９】
次に、本発明の縦型減圧ＣＶＤ装置における前記加熱手段についての、具体的な実験結果の一例について紹介する。石英製の反応容器内にガラス状炭素製内管を収容し、該反応容器の外側に高周波誘導コイルを配設して、反応容器内に窒素ガスを通しながらガラス状炭素製内管を発熱させた。断熱体は設けていない。この実験用のガラス状炭素製内管は、厚み２ｍｍ×外径６０ｍｍφ×長さ１１０ｍｍである。水冷が施される空心コイル型の高周波誘導コイルは、内径８５ｍｍ×４ターン（コイルピッチ１０ｍｍ）のものを、外径６ｍｍφの水冷銅管を用いて作製した。高周波誘導コイルに周波数４３０ｋＨｚ、出力１．２ｋＷ、電流６Ａの条件で電流を流した。その結果、ガラス状炭素製内管の長手方向中心位置における内周面の温度を室温から８５０℃に昇温させるのにかかる時間は、わずか３分であった。
【００３０】
表２は、縦型減圧ＣＶＤ装置に備えられる加熱手段の一具体例を示したものである。
【００３１】
【表２】

【００３２】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明による縦型減圧ＣＶＤ装置は、反応容器内に配される内管として、従来の石英製とは違ってガラス状炭素製内管を備え、反応容器の外側に配設された高周波誘導コイルに交流高周波電力を供給してガラス状炭素製内管を発熱させることにより、該ガラス状炭素製内管の内側に収容されたウェハ搭載ボードに縦に並べられている各ウェハを加熱するとともに、ガラス状炭素製内管内へ導入された反応ガスを熱エネルギーにより熱分解反応させて、各ウェハ上に成膜を行うように構成されている。したがって、ウェハの均一な加熱とウェハの急速な昇温・降温を行うことができるとともに、ウェハの大量処理を行うことができる。よって、従来の石英製内管と抵抗加熱式ヒータを備えたものに比べて、ウェハの急速な昇温・降温を行えるので、ウェハの大量処理の時間短縮を図って生産性を高めることができる。また、断熱体を備えたものでは、ガラス状炭素製内管からの熱が反応容器の外部へ逃げる量を減らすことができ、加熱効率（熱利用率）を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の縦型減圧ＣＶＤ装置の一例を示す模式的構成説明図である。
【図２】従来技術を説明するためのものであって、加熱手段として抵抗加熱によるヒータを備えた縦型減圧ＣＶＤ装置の一例を示す模式的構成説明図である。
【図３】参考例としてのものであって、加熱手段として赤外線ランプを備えた枚葉式の気相エピタキシャル成長装置の一例を示す模式的構成説明図である。
【図４】参考例としてのものであって、加熱手段として高周波誘導コイルを備えた枚葉式の気相エピタキシャル成長装置の一例を示す模式的構成説明図である。
【符号の説明】
１…ガラス状炭素製内管２…高周波誘導コイル３…高周波交流電源４…整合器
５…制御器６…断熱体１１…反応容器１２…シリコンウェハ１３…ウェハ搭載ボード１４…マニホールド１５ａ，１５ｂ…ガスインジェクタ１６…ガス排気口[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a vertical reduced pressure CVD apparatus for forming a thin film on a wafer which is a semiconductor substrate .
[0002]
[Prior art]
As is well known, various IC process apparatuses such as an oxidation / diffusion processing apparatus, a vapor phase epitaxial growth apparatus, a low pressure CVD apparatus (LPCVD apparatus), and an annealing apparatus are used in a semiconductor integrated circuit manufacturing process. In these, a heating means for heating a wafer for forming an IC (during or about to form an IC) is provided.
[0003]
FIG. 2 is a schematic configuration explanatory view showing an example of a vertical reduced pressure CVD apparatus provided with a heater by resistance heating as a heating means for explaining the prior art. In low-pressure CVD, film formation is generally performed at a temperature of 400 to 800 ° C. and a pressure of 0.1 to 30 Torr (about 0.013 kPa to 4.0 kPa).
[0004]
As shown in FIG. 2, the batch type vertical reduced pressure CVD apparatus includes a quartz reaction vessel 51 having a circular cross section and a dome shape at the top, and a quartz quartz plate disposed in the reaction vessel 51 and having a cylindrical shape. An inner tube 54 made of a product, a wafer mounting board 53 that is arranged inside the inner tube 54, and on which a large number of wafers 52 (for example, about 100 to 150) are vertically arranged and mounted, and a manifold 56 are provided. Further, this vertical reduced pressure CVD apparatus is provided with a cylindrical heater 55 which is concentrically disposed outside the reaction vessel 51 in a state surrounding the reaction vessel 51 in this example. The reaction vessel 51, the inner tube 54, the wafer mounting board 53, and the heater 55 are provided with the same axis. A reaction vessel 51 and an inner tube 54 are placed on the manifold 56, and a wafer mounting board 53 is placed via a heat insulating cylinder (not shown). The manifold 56 includes

gas injectors

57 a and 57 b for introducing a reaction gas and the like inside the inner pipe 54, and a gas exhaust port 58 for discharging the reacted gas or the unreacted gas from the reaction vessel 51. Yes.
[0005]
A case will be described in which, for example, a polysilicon film is formed on the wafer 52 using such a vertical reduced pressure CVD apparatus provided with the heater 55 by resistance heating. First, each wafer 52 is mounted on a wafer mounting board 53, and the wafer mounting board 53 is inserted into an inner end of an opening (not shown) on the lower end side of the manifold 56 together with a heat insulating cylinder (not shown) on which the wafer mounting board 53 is placed. It is accommodated inside the tube 54. The opening of the manifold 56 is blocked by a hatch (not shown). Next, the inner space of the inner pipe 54 is heated to a predetermined temperature by the heater 55 by resistance heating, and silane gas is supplied into the inner pipe 54 from the gas injector 57a. The silane gas is heated to cause a thermal decomposition reaction on the surface of the wafer 52, thereby forming a polysilicon film on the surface of the wafer 52. The gas after reaction or unreacted gas is discharged to the outside from the gas exhaust port 58 through a space passage between the inner tube 54 and the reaction vessel 51. As described above, in this vertical reduced pressure CVD apparatus, when the film is formed on the wafer, the wafer 52 is heated using the resistance heater 55 as a heating means .
[0006]
FIG. 3 is a schematic configuration explanatory view showing an example of a single-wafer type vapor phase epitaxial growth apparatus provided as a reference example and provided with an infrared lamp as a heating means . The vapor phase epitaxial growth of silicon differs depending on the raw material gas used (four types of silicon tetrachloride gas, silane dichloride gas, silane trichloride gas, and silane gas), but the reaction is performed at a temperature of about 1100 to 1200 ° C.
[0007]
As shown in FIG. 3, in a reaction vessel 61 made of quartz, a disk-shaped susceptor 63 for placing wafers 62 one by one and supporting the wafers 62 is disposed. The susceptor 63 is made of a graphite substrate whose surface is coated with a silicon carbide film. A plurality of infrared lamps 64 serving as heating devices are disposed outside the reaction vessel 61 concentrically with the reaction vessel 61. In the upper space 61a in the reaction vessel 61, the source gas (including the dopant) introduced together with the hydrogen gas as the carrier gas from the gas supply port 65 flows on the surface of the wafer 62 while forming a substantially laminar flow. It is discharged from the exhaust port 66. In the lower space 61b in the reaction vessel 61, hydrogen gas that is a purge gas is supplied at a pressure higher than that of the source gas (reaction gas). In this vapor phase epitaxial growth apparatus, a wafer 62 placed in a reaction vessel 61 is radiatively heated (radiant heating) to a predetermined temperature by an infrared lamp 64 through a reaction vessel 61 from above and below, and a silicon epitaxial layer formed by vapor phase growth is formed. Forming. Thus, in this vapor phase epitaxial growth apparatus, the wafer 62 is heated by using the infrared lamp 64 as a heating means when forming the silicon epitaxial layer by vapor phase growth.
[0008]
FIG. 4 is a schematic configuration explanatory view showing an example of a single wafer type vapor phase epitaxial growth apparatus provided as a reference example and provided with a high frequency induction coil as a heating means .
[0009]
As shown in FIG. 4, in a reaction vessel 71 made of quartz, a susceptor 73 made of graphite having a disk shape on which wafers 72 are placed one by one is disposed. A high-frequency induction coil 74 for heating the wafer 72 by heating the susceptor 73 that supports the wafer 72 is disposed below the susceptor 73 outside the reaction vessel 71. The high frequency induction coil 74 and the susceptor 73 constitute a heating device for heating the wafer 72. In the reaction vessel 71, a raw material gas (reaction gas) or the like is introduced from the gas supply port 75, flows on the surface of the wafer 72 while forming a substantially laminar flow, and is discharged from the exhaust port 76 on the opposite side. In this vapor phase epitaxial growth apparatus, a silicon epitaxial layer is formed by vapor phase growth while heating the wafer 72 to a predetermined temperature by causing the susceptor 73 to generate heat by the high frequency induction coil 74. Thus, in this vapor phase epitaxial growth apparatus, when the silicon epitaxial layer is formed by vapor phase growth, the wafer 72 is heated using the high frequency induction coil 74 and the graphite susceptor 73 as heating means .
[0010]
[Problems to be solved by the invention]
However, the above-described means for heating by radiation or conduction heat is regulated by heat conduction between the output of the heater and the wafer that is the object to be heated. It is not suitable for temperature rise / fall. For this reason, there is a drawback that it takes time to raise and lower the temperature of the wafer and the throughput is poor.
[0011]
[Table 1]

[0012]
On the other hand, the means for performing radiant heating with the infrared lamp described above has a large distance dependency with the wafer to be heated, and therefore it is necessary to prepare 10 units of lamps for several wafers. As shown in Table 1, there is a drawback that a large amount of wafers cannot be processed. Further, in the means for heating by the high-frequency induction coil described above, the susceptor that generates heat to heat the wafer has a disk shape, and the wafer is placed on the susceptor having the disk shape. Therefore, there is a drawback that a large amount of wafers cannot be processed.
[0013]
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a vertical reduced pressure CVD apparatus capable of performing uniform heating of a wafer and rapid heating / falling of the wafer, as well as mass processing of the wafer.
[0014]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the present invention has the following configuration. The invention according to claim 1 is a reaction vessel, a glassy carbon inner tube that is disposed in the reaction vessel and is formed by carbonizing and baking a thermosetting resin molded body, and the glassy carbon inner tube. A wafer mounting board that is housed inside and mounts a plurality of wafers vertically and mounted on the outside of the reaction vessel, and a high frequency for heating the wafer by heating the glassy carbon inner tube The reaction coil is introduced into the induction coil and the glassy carbon inner tube from below, and the reaction gas derived from the upper end opening of the glassy carbon inner tube is supplied to the reaction vessel and the glassy carbon. A vertical reduced pressure CVD apparatus comprising: a manifold for lowering a space passage between the inner tube and discharging from the reaction vessel .
[0015]
According to a second aspect of the present invention, in the vertical reduced pressure CVD apparatus according to the first aspect , a heat insulator is disposed between the glassy carbon inner tube and the high frequency induction coil or around the outside of the high frequency induction coil. It is characterized by being.
[0016]
The vertical reduced pressure CVD apparatus according to the present invention has a glassy carbon inner tube as an inner tube arranged in a reaction vessel, unlike a conventional quartz, and is arranged on the outside of the reaction vessel. While heating each wafer vertically arranged on the wafer mounting board accommodated inside the glassy carbon inner tube by supplying AC high frequency power to heat the glassy carbon inner tube, The reaction gas introduced into the glassy carbon inner tube is subjected to a thermal decomposition reaction with thermal energy to form a film on each wafer.
[0017]
In the vertical reduced pressure CVD apparatus according to the present invention , the inner tube is made of glassy carbon so that it also serves as a heating element . Glassy carbon (GLC) is obtained by using a thermosetting resin as a raw material and curing it, followed by firing and carbonization in an inert atmosphere or vacuum. Glassy carbon has properties such as lightness, heat resistance, corrosion resistance, and conductivity that common carbon materials have, as well as high purity, high strength (mirror finish), gas impermeability, low dust generation, etc. Has excellent features. Therefore, the glassy carbon inner tube placed in the reaction vessel does not release impurity particles or gas, has little gas adsorption, and is chemically stable. The wafer is not contaminated even under reaction conditions. Glassy carbon has an amorphous, uniform and continuous dense structure, whereas graphite material has a structure composed of an aggregate of carbon powder particles. For this reason, in the graphite material, there is a problem that carbon powder is generated or occluded gas is released during the reaction.
[0018]
In addition, the glassy carbon inner tube is made of glassy carbon with the property that its heat capacity is small, while it can be rapidly heated because it generates heat due to the current generated by high frequency induction, so it can rapidly cool down. Is possible. Furthermore, since it is composed of glassy carbon having an amorphous uniform continuous dense structure and excellent heat conductivity, the glassy carbon inner tube is excellent in heat uniformity. In addition, the glassy carbon inner tube can be manufactured in a size that allows batch processing to process a large number of wafers at once. As described above, according to the vertical reduced pressure CVD apparatus according to the present invention , the wafer can be uniformly heated, the wafer can be rapidly heated and lowered, and a large number of wafers can be processed.
[0019]
In a vertical reduced pressure CVD apparatus in which a heat insulator is disposed between the glassy carbon inner tube and the high frequency induction coil or around the outside of the high frequency induction coil, the heat from the glassy carbon inner tube is reduced. The amount of escape to the outside of the reaction vessel can be reduced, and the heating efficiency (heat utilization rate) can be increased.
[0020]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic explanatory view showing an example of a vertical reduced pressure CVD apparatus according to the present invention .
[0021]
As shown in FIG. 1, this batch type vertical reduced pressure CVD apparatus includes a quartz reaction vessel 11 having a circular cross section and an upper dome-shaped closed portion, and a cylindrical reaction vessel 11 disposed in the reaction vessel 11. A glass-like carbon inner tube 1, a wafer mounting board 13 which is arranged inside the glass-like carbon inner tube 1 and mounts a plurality of wafers (silicon wafers) 12 vertically, a manifold 14 It has. Further, this vertical reduced pressure CVD apparatus is provided with a heat insulator 6 made of carbon fiber felt covering the outside of the reaction vessel 11 and a concentric arrangement on the outside of the reaction vessel 11 covered with the heat insulator 6. The air-core coil type high-frequency induction coil 2, the high-frequency AC power source 3 that supplies AC high-frequency power to the high-frequency induction coil 2 through the matching unit 4, and a controller 5 are provided. In this example, the controller 5 detects the temperature in the reaction vessel 11 with a thermocouple (not shown) as a sensor, and feeds back the value to the output of the high-frequency AC power source 3 to perform temperature control.
[0022]
The reaction vessel 11, the glassy carbon inner tube 1, the wafer mounting board 13, and the high frequency induction coil 2 are provided with the same axis. A reaction vessel 11 and a glassy carbon inner tube 1 are placed on the manifold 14, and a wafer mounting board 13 is placed via a heat insulating cylinder (not shown). The manifold 14 includes

gas injectors

15 a and 15 b for introducing a reaction gas and the like inside the glassy carbon inner tube 1, and a gas exhaust port 16 for discharging the reacted gas or the unreacted gas from the reaction vessel 11. have.
[0023]
The glassy carbon inner tube 1, high frequency induction coil 2, high frequency AC power supply 3, matching unit 4, controller 5, and heat insulator 6 constitute a heating means in this vertical reduced pressure CVD apparatus. Here, the glassy carbon inner tube 1 can be manufactured by a known method using a thermosetting resin, for example, a phenol resin as a raw material. The resin molded body, which is a precursor of the glassy carbon inner tube 1, is preferably manufactured by centrifugal molding. The resin molded body may be fired at a temperature of 1000 ° C. or higher, preferably 1500 ° C. or higher, and converted into the glassy carbon inner tube 1. Then, if necessary, it may be machined to have the required length, inner diameter and outer diameter.
[0024]
Next, a case where, for example, a polysilicon film is formed on the wafer 12 using this vertical reduced pressure CVD apparatus will be described. First, each wafer 12 is mounted on a wafer mounting board 13, and the wafer mounting board 13 together with a heat insulating cylinder (not shown) on which the wafer mounting board 13 is placed is glass-opened from an opening (not shown) on the lower end side of the manifold 14. It is accommodated inside the inner carbon tube 1. The opening of the manifold 14 is blocked by a hatch (not shown). Next, an AC high frequency current is passed through the high frequency induction coil 2 to cause the glassy carbon inner tube 1 to generate heat, thereby heating the inner space of the glassy carbon inner tube 1 to a predetermined temperature, and the glassy carbon inner tube 1. Silane gas is supplied from the gas injector 15a. The silane gas is heated to undergo a thermal decomposition reaction, thereby forming a polysilicon film on the surface of the wafer 12. The reacted gas or unreacted gas is discharged to the outside from the gas exhaust port 16 through a space passage between the glassy carbon inner tube 1 and the reaction vessel 11. When the formation of the polysilicon film is finished, the energization to the high frequency induction coil 2 is stopped.
[0025]
As described above, the vertical reduced pressure CVD apparatus according to the present embodiment includes the glassy carbon inner tube 1 as an inner tube disposed in the reaction vessel 11, unlike the conventional quartz, and is provided outside the reaction vessel 11. By supplying AC high-frequency power to the high-frequency induction coil 2 disposed on the inner surface of the glass-like carbon inner tube 1 to generate heat, the wafer-mounted board 13 accommodated inside the glass-like carbon inner tube 1 is vertically Each of the wafers 12 arranged on the wafer 12 is heated, and the reaction gas introduced into the glassy carbon inner tube 1 by the manifold 14 is thermally decomposed by thermal energy to form a film on each wafer 12. It is configured. Thereby, according to the vertical reduced pressure CVD apparatus according to the present embodiment, the inner tube 1 made of glassy carbon is provided as the inner tube, and this is heated by high frequency induction heating. The wafer can be rapidly heated and lowered, and the wafer can be processed in a large amount. Therefore, compared with a conventional quartz inner tube and a resistance heating heater, the temperature of the wafer can be rapidly increased and decreased, so that the time required for mass processing of the wafer can be reduced.
[0026]
Further, the vertical reduced pressure CVD apparatus according to the present invention has an advantage that the in-situ apparatus cleaning of the CVD apparatus can be performed. This point will be described. During the CVD (chemical vapor deposition) process, an unnecessary film is deposited on the surface of the apparatus constituent parts such as the inner tube for accommodating the wafer mounting board as the CVD process is repeated. If the thickness of the deposited film exceeds the limit, particles will be generated due to film peeling and the yield of the wafer will be reduced. Before that, the old inner tube was replaced with a new one and removed. Chemical cleaning with hydrofluoric acid is performed. In order to replace such an inner pipe, it is necessary to stop the operation of the apparatus, and when a new inner pipe is set, an empty operation is required to stabilize the film forming conditions. Because of such a series of operations, the actual operation time is reduced and productivity is lowered. Therefore, recently, in order to reduce the operation stop time of the apparatus due to replacement, a gas such as chlorine trifluoride is introduced into the CVD apparatus and reacted with an unnecessary deposited film so that the deposited film is removed in a gas state. In-situ apparatus cleaning (equipment cleaning that can be performed "as is") has been performed. However, the conventional inner tube made of quartz or silicon carbide (SiC) is not sufficiently resistant to corrosion, and thus there is a great limitation in the application of such in-situ apparatus cleaning.
[0027]
On the other hand, the glassy carbon inner tube is extremely resistant to corrosion, so it is not affected by the strong corrosive gas such as chlorine trifluoride and is different from the conventional inner tube. Since the glassy carbon inner tube itself generates heat, a remarkable gas cleaning effect is obtained. Thus, the vertical reduced pressure CVD apparatus according to the present invention has an advantage that in-situ apparatus cleaning can be easily performed.
[0028]
In the vertical reduced pressure CVD apparatus according to the present embodiment, since the heat insulating body 6 made of carbon fiber felt that covers the outside of the reaction vessel 11 is provided, the heat from the glassy carbon inner tube 1 is transferred to the reaction vessel 11. The amount of escape to the outside can be reduced. When the heat insulator 6 is not provided, about ½ of the calorific value of the glassy carbon inner tube 1 escapes to the outside of the reaction vessel 11. In the present embodiment, the heat insulator 6 is disposed between the reaction vessel 11 and the high frequency induction coil 2, but the heat insulator is disposed outside the high frequency induction coil 2 so as to surround the coil 2 and the reaction vessel 11. You may do it.
[0029]
Next, an example of specific experimental results on the heating means in the vertical vacuum CVD apparatus of the present invention will be introduced. A glassy carbon inner tube is housed in a quartz reaction vessel, and a high frequency induction coil is disposed outside the reaction vessel to heat the glassy carbon inner tube while passing nitrogen gas through the reaction vessel. It was. There is no insulation. This experimental glassy carbon inner tube has a thickness of 2 mm, an outer diameter of 60 mm, and a length of 110 mm. An air-core coil type high-frequency induction coil subjected to water cooling was manufactured using a water-cooled copper tube having an inner diameter of 85 mm × 4 turns (coil pitch of 10 mm) and an outer diameter of 6 mmφ. A current was passed through the high-frequency induction coil under the conditions of a frequency of 430 kHz, an output of 1.2 kW, and a current of 6 A. As a result, it took only 3 minutes to raise the temperature of the inner peripheral surface at the center position in the longitudinal direction of the glassy carbon inner tube from room temperature to 850 ° C.
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Table 2 shows one specific example of the heating means provided in the vertical reduced pressure CVD apparatus.
[0031]
[Table 2]

[0032]
【The invention's effect】
As described above, the vertical reduced pressure CVD apparatus according to the present invention includes a glassy carbon inner tube, which is different from the conventional quartz, as the inner tube disposed in the reaction vessel, and is disposed outside the reaction vessel. By supplying AC high frequency power to the installed high frequency induction coil to cause the glassy carbon inner tube to generate heat, each of the components arranged vertically on the wafer mounting board housed inside the glassy carbon inner tube While the wafer is heated, the reaction gas introduced into the glassy carbon inner tube is thermally decomposed by thermal energy to form a film on each wafer. Therefore, uniform heating of the wafer and rapid heating / falling of the wafer can be performed, and mass processing of the wafer can be performed. Therefore, compared with a conventional quartz inner tube and a resistance heating heater, the temperature of the wafer can be rapidly increased and decreased, so the productivity of the wafer can be shortened and the productivity can be increased. . Moreover, in the thing provided with the heat insulating body, the quantity which the heat | fever from a glass-like carbon inner tube escapes outside the reaction container can be reduced, and heating efficiency (heat utilization factor) can be improved.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic explanatory view showing an example of a vertical reduced pressure CVD apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is a schematic configuration explanatory view showing an example of a vertical reduced pressure CVD apparatus provided with a heater by resistance heating as a heating means for explaining the conventional technique.
FIG. 3 is a schematic configuration explanatory view showing an example of a single-wafer type vapor phase epitaxial growth apparatus that is provided as a reference example and includes an infrared lamp as a heating means .
FIG. 4 is a schematic configuration explanatory view showing an example of a single wafer type vapor phase epitaxial growth apparatus provided as a reference example and provided with a high frequency induction coil as a heating means .
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Glass-like carbon inner tube 2 ... High frequency induction coil 3 ... High frequency alternating current power supply 4 ... Matching device 5 ... Controller 6 ... Thermal insulator 11 ... Reaction container 12 ... Silicon wafer 13 ... Wafer mounting board 14 ... Manifold 15a, 15b ... Gas injector 16 ... Gas exhaust port

Claims

A glass vessel carbon inner tube formed by carbonizing and firing a reaction vessel and a thermosetting resin molded body. Wafer mounting that is housed inside the glassy carbon inner tube and a plurality of wafers are mounted vertically. A board, a high-frequency induction coil for heating the wafer by heating the glassy carbon inner tube, and a reaction gas from below the glassy carbon inner tube. The reaction gas derived from the upper end opening of the glassy carbon inner tube is lowered from the reaction vessel by lowering the space passage between the reaction vessel and the glassy carbon inner tube. A vertical reduced pressure CVD apparatus comprising a manifold for discharging .

2. The vertical reduced pressure CVD apparatus according to claim 1, wherein a heat insulator is disposed between the glassy carbon inner tube and the high frequency induction coil or around the outside of the high frequency induction coil.