JP4416521B2 - Heat treatment equipment - Google Patents
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Description
この発明は、比較的大型の半導体基板や液晶基板等に対する熱処理装置に関する。 The present invention relates to a heat treatment apparatus for relatively large semiconductor substrates, liquid crystal substrates, and the like.
多数の半導体基板等を支持体上に載置して熱処理を行う従来の縦型の熱処理装置では、たとえば熱処理装置本体内に石英の熱処理容器を配置し、不活性ガスによりガスパージした後、この容器内に半導体ウエハー等の被処理基板を多数枚重ねて配置し(積層し又は並設する)、その後、処理ガスを注入して熱処理を行う(たとえば、特許文献1参照)。
従来の縦型の熱処理装置は、上記特許文献1に示されるように、底部が開口している円筒状の断熱ブロックからなる熱処理装置本体内に石英の熱処理容器を配置して構成されるが、熱処理装置本体を一体で構成していたために、大型の被処理基板には十分に対応できない不都合があった。
A conventional vertical heat treatment apparatus is configured by disposing a quartz heat treatment vessel in a heat treatment apparatus body composed of a cylindrical heat insulation block having an open bottom, as shown in
すなわち、装置の外壁となる底部が開口している円筒状の断熱ブロックを一体で構成した従来の熱処理装置では、大型の被処理基板に対応出来るようにすると、断熱ブロック全体が大型化し、且つ重量が極めて大きくなるために、運搬及び設置に困難が伴い、作業性が極めて悪くなる問題があった。また、断熱ブロックの大型化は、組み立て時の精度を一定の水準にすることも困難にしていた。 That is, in a conventional heat treatment apparatus in which a cylindrical heat insulation block having an open bottom as an outer wall of the apparatus is integrally formed, if the heat treatment block can be used for a large substrate, the entire heat insulation block is increased in size and weight. Therefore, there is a problem that workability is extremely deteriorated due to difficulty in transportation and installation. In addition, increasing the size of the heat insulation block has made it difficult to achieve a certain level of accuracy during assembly.
この発明の目的は、組み立てに際して作業性がよく、且つ一定の精度で組み立てることを可能にする熱処理装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a heat treatment apparatus that has good workability during assembly and that can be assembled with a certain degree of accuracy.
この発明は、ヒーティングエレメントを断熱材表面近傍に一体成型した複数のヒーティングユニット、及び前記複数のヒーティングユニットを垂直方向に固定した平板状の金属シェルから構成される複数の側部断熱ブロック体と、
前記複数の側部断熱ブロック体の下端部を、前記金属シェルが外側に位置するように保持する周囲が多角形の保持部と、
前記複数の側部断熱ブロック体の上端部を保持する単一又は複数個で構成される上部断熱ブロック体と、
前記上部断熱ブロック体の上部を覆うトッププレートと、
を備え、
前記複数の側部断熱ブロック体の下端部を前記多角形の保持部に組み付け、さらに、前記側部断熱ブロック体の上端部に前記上部断熱ブロック体と前記トッププレートを組み付けて熱処理装置本体を構成したことを特徴とする。
The present invention relates to a plurality of heating units in which a heating element is integrally molded in the vicinity of the surface of a heat insulating material, and a plurality of side heat insulating blocks composed of a flat metal shell in which the plurality of heating units are fixed in a vertical direction. Body,
A holding portion having a polygonal periphery for holding the lower end portions of the plurality of side heat insulating block bodies so that the metal shell is positioned outside;
An upper heat insulating block body constituted by a single or plural holding the upper end portions of the plurality of side heat insulating block bodies;
A top plate covering the upper part of the upper heat insulating block body;
With
A lower end portion of the plurality of side heat insulating block bodies is assembled to the polygonal holding portion , and further, the upper heat insulating block body and the top plate are assembled to the upper end portion of the side heat insulating block body to constitute a heat treatment apparatus main body. It is characterized by that.
この発明に係る熱処理装置は、少なくとも4つの構成体、すなわち、側部断熱ブロック体、多角形保持部、上部断熱ブロック体、トッププレートで構成される。これらの各構成体は、それぞれ熱処理装置組み立て前に熱処理装置製造工場等で個別に製造され、且つ必要に応じて組み付けられ、クリーンルーム内等の所定の場所に個別に運搬され、次の順番で組み立てられる。 The heat treatment apparatus according to the present invention includes at least four components, that is, a side heat insulating block body, a polygon holding portion , an upper heat insulating block body, and a top plate. Each of these components is individually manufactured at a heat treatment device manufacturing factory or the like before assembling the heat treatment device, and is assembled as necessary, and individually transported to a predetermined place such as in a clean room, and assembled in the following order. It is done.
まず、複数の側部断熱ブロック体の下端部を多角形保持部に組み付けて断熱ブロックの側部全体を組み立てる。次に、側部断熱ブロック体の上端部に上部断熱ブロック体とトッププレートを組み付けて断熱ブロックの上部全体を組み立てる。 First, the lower end part of a some side part heat insulation block body is assembled | attached to a polygon holding part, and the whole side part of a heat insulation block is assembled. Next, the upper heat insulating block body and the top plate are assembled to the upper end portion of the side heat insulating block body to assemble the entire upper portion of the heat insulating block.
各断熱ブロック体等の構成体は、全体の断熱ブロックの一部であるため、熱処理装置本体が非常に大型のものであっても、その運搬が容易であり、また、重量が重くない分組み立ても容易となる。また、大型で大重量の部品を扱う必要がなくなるために、一定の精度で組み立てることができる。 Since the components such as each heat insulation block are a part of the whole heat insulation block, even if the heat treatment device main body is very large, it is easy to transport and is not heavy. Is also easier. In addition, since it is not necessary to handle large and heavy parts, it can be assembled with a certain degree of accuracy.
この発明によれば、作業性を悪くしないで大型の熱処理装置を一定の精度で組み立てることができる。 According to the present invention, a large heat treatment apparatus can be assembled with a certain accuracy without deteriorating workability.
図1は、この発明の実施形態である熱処理装置の概略構成図である。 FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a heat treatment apparatus according to an embodiment of the present invention.
本実施形態の熱処理装置は、全体として縦型に構成される所謂縦型熱処理装置である。熱処理装置本体内には石英の熱処理容器が配置され、この中に複数枚の大型基板を並設して熱処理を行うように構成されている。 The heat treatment apparatus of the present embodiment is a so-called vertical heat treatment apparatus configured as a vertical type as a whole. A quartz heat treatment container is disposed in the heat treatment apparatus main body, and a plurality of large substrates are arranged in parallel in the heat treatment apparatus to perform heat treatment.
図1において、上記熱処理装置本体を構成する断熱ブロック1は、後述するように、8つの側部断熱ブロック体と、4つの上部断熱ブロック体とで構成される。この断熱ブロック1内に頂部がドーム状となっている石英の熱処理容器2は、炉口構造物15に保持されており、基板保持治具3と、同基板保持治具3の架台4と、熱を下部に逃がさないためのヒートバリア5とを配置する。これらは、エレベータ6により昇降自在であり、下降させた状態で多数の被処理物である基板7を基板保持治具3に並設させ、その後全体を上昇させて断熱ブロック1内に収納させる。
In FIG. 1, the
上記のように、熱処理装置本体を構成する断熱ブロック1に対して、基板7を並設させるための基板保持治具3をエレベータ6で昇降できるようにすることで、他の場所で基板保持治具3内の被処理物である基板7を取り替えながら、それらの熱処理を順次行うことができる。なお、吸引口8からは処理前に真空引きし、図外のガス注入口からは不活性ガスを注入してガスパージを行い、続いて、加熱処理前に処理ガスを注入する。
As described above, the substrate holding jig 3 for juxtaposing the substrate 7 with respect to the
以上の構成において、断熱ブロック1は、8つの側部断熱ブロック体10と、4つの上部断熱ブロック体110を含む上部断熱ブロック11とで構成されている。また、それぞれの側部断熱ブロック体10は、4つのヒーティングユニット100と、これらを垂直方向に固定した平板状のアルミニウムシェル101とで構成される。また、上部断熱ブロック11は、4つに分割された上部断熱ブロック体110と、これらを水平方向に固定した平板状のトッププレート111と、各上部断熱ブロック体110の側部を覆うシェルリテイナー112とで構成されている。ヒーティングユニット100は、カンタルA1等の材料を使用した抵抗発熱線(ヒーティングエレメント)をセラミックファイバ等の断熱材の表面近傍に一体成型したものである。また、アルミニウムシェル101は、熱サイクルの繰り返しを原因とするヒーティングユニット100からの発塵を防ぐためのものである。なお、アルミニュウムシェル101に4つのヒーティングユニット100を固定することによって、熱処理装置内を垂直方向に4つの熱ゾーンに分け、各ゾーン別に図示しない温度センサの出力に基づいて温度制御を出来るようにしている。
In the above configuration, the
図2は、断熱ブロック1の構成及びその組み立て図を示している。
FIG. 2 shows a configuration of the
側部断熱ブロック体10は、合計8つで構成され、それぞれの側部断熱ブロック体10は、1枚の平板状のアルミニウムシェル101に、4つのヒーティングユニット100を垂直方向に固定することによって構成される。各ヒーティングユニット100の端子102は、アルミニウムシェル101に形成されている端子孔105に挿入され、図3に示すように、ターミナルスペーサ103を介してヒータ端子104とネジ固定されている。したがって、アルミニウムシェル101の外側には、合計16個のヒータ端子104が露出し、このヒータ端子間を図外のヒータ電力供給ラインで接続し、これに所定の電流を供給することによってヒーティングユニット100を加熱し、熱処理容器2内を所定の温度に制御する。
The side heat
各側部断熱ブロック体10は、熱処理装置組み立て前に別途組み付けられ、それらの組み付け後の側部断熱ブロックが、それぞれ個別に熱処理装置設置場所P(図1参照)に運搬される。
Each side heat
前記8つの側部断熱ブロック10体の下方には各側部断熱ブロック体10の下端部を保持するためのシェルリテーナ(保持部)12が配置される。このシェルリテーナ12は、図示するように正8角形の形状を有し、金属により一体成形される。このシェルリテーナ12に対して、ベスティブル13、各側部断熱ブロック体10を取り付ける。この時、アルミニウムシェル101が外側に位置するように、すなわちヒーティングユニット100が内側に位置するように各側部断熱ブロック体10をシェルリテーナ12に取り付ける。また、シェルリテーナ12に対して、8つの側部断熱ブロック体10を取り付けた後は、各側部断熱ブロック体10の継ぎ目となる位置にアルミニウム製の継ぎ板14を取り付ける。この継ぎ板14も合計8個である。
A shell retainer (holding portion) 12 for holding the lower end portion of each side heat
シェルリテーナ12に対して、それぞれ8つの側部断熱ブロック体10とベスティブル13を組み付けた後は、側部断熱ブロック体10の上端部に1つの上部断熱ブロック体を組み付ける。
After assembling the eight side heat
上部断熱ブロック11は、4分割された上部断熱ブロック体110と、この上部を覆う金属性のトッププレート111と、4分割された各上部断熱ブロック体110の周囲を覆うシェルリテーナ112とで構成されており、この構造体も、組み立てられた状態で熱処理装置設置場所Pに個別に運搬される。そして、熱処理装置設置場所Pにおいて上記シェルリテーナ12に、8つの側部断熱ブロック体10を組み付けてから、この上部に、上部断熱ブロック11を組み付ける。
The upper
上記のように、クリーンルーム等の熱処理装置設置場所Pに対し、熱処理装置の一部をそれぞれ構成する複数の構造体を個別に運搬し、この熱処理装置設置場所Pにおいて、それぞれの構造体を組み付ける。これにより、熱処理装置全体が非常に大型のものであっても、各構造体の重量はそれほど重くなくなり、また形状も大きくならないために、運搬が容易であり、作業性がよくなる。また、断熱ブロックを一体型にする従来の装置と比較し、大型化しないために相対的に精度を高くすることができる。さらに、一部が破損した場合でも、その破損した部位を交換すればよいために、メンテナンス性に優れている。さらに、シェルリテーナ12を円状にすると、アルミニウムシェル101を円弧状に成形する必要がある等構造が複雑化し、また、一定の精度を確保しにくい欠点が生じるが、本実施形態では、シェルリテーナ12を正8角形にしているために、アルミニウムシェル101の形状は平板状であってよい。このため、構造が単純で、且つ一定の精度を確保するのも容易である。
As described above, a plurality of structures constituting each part of the heat treatment apparatus are individually conveyed to the heat treatment apparatus installation place P such as a clean room, and the respective structures are assembled at the heat treatment apparatus installation place P. Thereby, even if the heat treatment apparatus as a whole is very large, the weight of each structure is not so heavy and the shape does not become large. Therefore, transportation is easy and workability is improved. Moreover, compared with the conventional apparatus which integrates a heat insulation block, since it does not enlarge, a precision can be made relatively high. Furthermore, even if a part is damaged, it is only necessary to replace the damaged part, so that it is excellent in maintainability. Further, when the
なお、上記実施形態では、各側部断熱ブロック体10や上部断熱ブロック11を、熱処理装置組み立て前に別途組み付けた状態で個別に熱処理装置設置場所P(図1参照)に運搬されるようにしたが、各ブロックの部品を熱処理装置設置場所Pに運搬して、同場所においてそれぞれを組み付けるようにしても良い。また、上部断熱ブロック11の上部断熱ブロック体110を4分割しているが、これを単一のブロック片としても良い。
In addition, in the said embodiment, each side part heat
上記シェルリテーナ12は、正8角形の形状としたが、これに限らず正6角形等の多角形、好ましくは正多角形であれば良く、また、アルミニウムシェルに代えて、ステンレスシェル等の他の金属を使ったシェルを使用することも可能である。
The
1−熱処理装置本体
2−熱処理容器
7−被処理基板
10−側部断熱ブロック体
15−炉口構造物
100−ヒーティングユニット
101−アルミニウムシェル
11−上部断熱ブロック
110−上部断熱ブロック体
111−トッププレート
12−シェルリテーナ(保持部)
1-Heat treatment apparatus main body 2-Heat treatment vessel 7-Substrate 10-Side heat insulation block body 15 -Furnace structure 100-Heating unit 101-Aluminum shell 11-Upper heat insulation block 110-Upper heat insulation block body 111- Top plate 12-Shell retainer (holding part )
Claims (3)
前記複数の側部断熱ブロック体の下端部を、前記金属シェルが外側に位置するように保持する周囲が多角形の保持部と、
前記複数の側部断熱ブロック体の上端部を保持する単一又は複数個で構成される上部断熱ブロック体と、
前記上部断熱ブロック体の上部を覆うトッププレートと、
を備え、
前記複数の側部断熱ブロック体の下端部を前記多角形の保持部に組み付け、さらに、前記側部断熱ブロック体の上端部に前記上部断熱ブロック体と前記トッププレートを組み付けて熱処理装置本体を構成したことを特徴とする熱処理装置。 A plurality of heating units in which the heating elements are integrally molded in the vicinity of the surface of the heat insulating material, and a plurality of side heat insulating block bodies composed of a flat metal shell in which the plurality of heating units are fixed in the vertical direction;
A holding portion having a polygonal periphery for holding the lower end portions of the plurality of side heat insulating block bodies so that the metal shell is positioned outside;
An upper heat insulating block body constituted by a single or plural holding the upper end portions of the plurality of side heat insulating block bodies;
A top plate covering the upper part of the upper heat insulating block body;
With
A lower end portion of the plurality of side heat insulating block bodies is assembled to the polygonal holding portion , and further, the upper heat insulating block body and the top plate are assembled to the upper end portion of the side heat insulating block body to constitute a heat treatment apparatus main body. A heat treatment apparatus characterized by that.
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