JP3979524B2 - 試料検査用ケース - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、ICデバイス等の被検査体を肉眼で検査するために使用される試料検査用ケースに関する。
【0002】
【従来の技術】
被検査体としてのICデバイスは、バーンインテスト等の通電テスト時に、▲1▼ICソケットのコンタクトピンに接触してデバイス表面又は接続端子が傷付けられることがあったり、▲2▼ラッチ,ヒートシンク等の押圧部材によって、ICソケットに押圧固定される際にデバイス表面に打痕等の傷が付くことがあり、その傷の程度を通電テスト終了後に作業者の目でチェックするようになっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このICデバイスの傷のチェックは、傷自体が微小であるため、傷であるのか又は金属粉等の異物の付着であるのかの判断が困難な場合があった。このような場合、ICデバイスの観察面を洗浄できたり、また、その洗浄した観察面に照明光を当て、しかもその観察面を拡大して見ることができれば、作業者がICデバイスの傷のチェックを容易且つ確実に行うことが可能になる。
【0004】
そこで、本発明は、ICデバイスに形成された微小な傷のチェックは勿論のこと、ICデバイス以外の被検査体の観察に使用することにより、被検査体の検査作業を容易且つ確実なものとする試料検査用ケースを提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
請求項1の発明は、被検査体を載置するための試料載置台と、この試料載置台上の被検査体に照明光を照射する光路変換光学手段と、前記試料載置台上の被検査体によって反射された光を通過させて被検査体の像を拡大させる像拡大レンズと、前記試料載置台が形成された第1のケースと、前記光路変換光学手段及び前記像拡大レンズが形成された第2のケースと、前記第1のケースと前記第2のケースを開閉可能に接続するヒンジ部と、を備えた試料検査用ケースに関するものである。この発明において、前記第1のケースと前記第2のケースを閉じた際に、前記第1のケースと前記第2のケースとによって密閉された空間内に前記試料載置台が位置するようになっている。また、前記試料載置台上に載置した被検査体に塗布した塗布液のうちの前記試料載置台から流下する余剰塗布液を収容するスペースが、前記第1のケースの前記試料載置台の周囲に形成されている。そして、前記スペース内には、前記塗布液の余剰分を吸収する廃液吸収体が配置されている。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき詳述する。
【0009】
[第1の実施の形態]
図1〜図4は、本発明の実施の形態に係る試料検査用ケース1を示すものである。このうち、図1は、下部ケース2と上部ケース3を開いた状態を示す平面図である。また、図2は、下部ケース2に上部ケース3を重ねて閉じた状態を示す断面図である。また、図3は図1のA方向から見た側面図であり、図4は図1のB方向から見た側面図である。
【0010】
これらの図に示すように、試料検査用ケース1は、下部ケース2と上部ケース3とがヒンジ部4を介して接続され、ヒンジ部4を中心として開閉できるようになっている。この試料検査用ケース1は、少なくとも、上部ケース3が外部から観察可能な透明性樹脂材料で形成されており、下部ケース2が洗浄液や試薬を収容・保持できる耐薬品性を有する樹脂材料で形成されている。尚、上部ケース3は、少なくとも後述するプリズムカット部14及び像拡大レンズ15が、観察可能な透明性樹脂材料で形成されていればよい。また、特に洗浄液や試薬を使用しない場合や耐薬品性を考慮しなくても良い場合には、試料検査用ケース1の全体を上部ケース3用の透明性樹脂材料で一体成形するようにしてもよい。
【0011】
下部ケース2は、洗浄液や試薬等の液体(塗布液)の余剰分を充分に収容できる深さ(スペース)に形成され、そのほぼ中央部に試料載置台5が側壁6よりも上方へ出っ張るように突出形成されている(図2及び図3参照)。下部ケース2の試料載置台5は、略円錐形状の先端部分を斜めに切り落としたような形状に形成されており、試料載置面7が図2のように約15度傾斜(試料検査用ケースの中心線L0と試料載置面7の法線L1とのなす角が約15度になるように傾斜)している。そして、この下部ケース2の底面8には廃液吸収体10が固定(例えば、接着固定)されるようになっており、試料載置台5上に載置した被検査体11に塗布した洗浄液や試薬等の廃液(余剰塗布液)を廃液吸収体10で吸収するようになっている。尚、試料載置面7上にICパッケージ等の被検査体11を位置決めする位置決め突起12を形成しておき、その位置決め突起12内に被検査体11を係合すれば、試料検査用ケース1を傾けても被検査体11が試料載置面7上からずれ落ちるようなことがない。
【0012】
上部ケース3は、図2に示すように、試料載置台5の中心部の法線L1と上面13との交点Q1の近傍から上面13とのなす角度αが約15度となるように傾斜する光路変換光学手段としてのプリズムカット部14が形成されると共に、レンズ中心線L2が試料載置台5の中心部の法線L1と約30度の傾斜角度で交差する像拡大レンズ15とが形成されている。このうち、プリズムカット部14は、図2の上下方向に沿って上から下に進行する光の進行方向を試料載置台5上の被検査体11の表面に向かうように変換し、室内蛍光灯等の照明手段からの光を効率的に被検査体11の照明光として利用できるようになっている。また、像拡大レンズ15は、被検査体11の表面で反射された光を透過させ、観察者の網膜上に拡大した像を結像させるようになっている。尚、図1において、プリズムカット部14及び像拡大レンズ15は、その幅寸法W1が少なくとも被検査体11の幅寸法W2よりも大きな寸法になるように形成されている。
【0013】
ここで、プリズムカット部14は、図5に詳細を示すように、その上面16が鏡面状に形成されており、その上面16と上部ケースの上面13とのなす角αが約15度になるように形成されている。また、プリズムカット部14の下面全域には、断面略三角形状の微小突起17が一定ピッチで多数形成されている。プリズムカット部14の微小突起17は、頂角がθ(例えば約61度)で且つプリズムカット部14の上面16に対してβ(例えば約29度)の傾斜面18を備えた断面略三角形状に形成されている。
【0014】
そして、上部ケース3をヒンジ部4を中心として回動させて下部ケース2上に重ね合わせ、上部ケース3の側面20に形成された係合突起21と下部ケース2の側面22に形成された係合突起23とを凹凸係合させることにより、下部ケース2の上に上部ケース3を重ね合わせて閉じることができ、試料載置台5上に載置された被検査体11を下部ケース2と上部ケース3とによって密閉された空間内に収容・保持することができる。尚、図2に示すように、上部ケース3の下部ケース2との重ね合わせ面側に吸収体押さえ用リブ24を形成しておき、上部ケース3を下部ケース2に重ね合わせた際に、吸収体押さえ用リブ24で廃液吸収体10を下部ケース2の底面8に押さえつけて固定するようにしてもよい。
【0015】
以上のように構成された本実施の形態の試料検査用ケース1は、上部ケース3を開いた状態において、試料載置台5の試料載置面7上に被検査体11を載置し、その後、被検査体11の観察面に洗浄液や試薬等の液体を塗布する。この際、試料載置台5から流下する余分な液体が下部ケース2の底部に溜まり、その液体が廃液吸収体10に吸収される。次いで、上部ケース3を下部ケース2に重ね合わせ、上部ケース3の係合突起21と下部ケース2の係合突起23とを凹凸係合させる。これにより、下部ケース2と上部ケース3とで密閉された空間内の試料載置台5上に被検査体11が収容・保持される。次いで、この状態の試料検査用ケース1を観察者(作業者)が手に持ち、蛍光灯等の照明手段からの光をプリズムカット部14を介して試料載置台5上の被検査体11に照射し、その被検査体11からの反射光を像拡大レンズ15を介して観察者が観察する。
【0016】
以上のような本実施の形態によれば、洗浄液や試薬を塗布されて観察面の異物が除去された状態の被検査体11を、下部ケース2と上部ケース3とによって密閉された空間内に収容・保持することができるため、観察時に大気中のゴミや不純物が被検査体11の観察面に付着するようなことがなく、正確な検査作業を行うことができる。
【0017】
また、本実施の形態によれば、試料載置台5上の被検査体11にプリズムカット部14を介して効率的に光を照射し、その反射光を像拡大レンズ15を介して観察することにより、被検査体11の観察面を拡大した状態で見ることができるため、被検査体11の検査作業が容易化する。
【0018】
例えば、本実施の形態の試料検査用ケース1を被検査体11としてのICデバイスの傷の検査に使用すれば、ICデバイスの傷の程度を容易且つ正確に観察することができる。また、本実施の形態の試料検査用ケース1は、ICデバイス以外の被検査体11の試薬に対する反応等を光学的に検査する(被検査体11の色を観察等する)場合に使用しても、被検査体11の検査作業を容易且つ正確に行うことができる。
【0019】
また、本実施の形態によれば、下部ケース2内に廃液吸収体10が配置されているため、洗浄液や試薬等の余剰塗布液が廃液吸収体10に吸収され、余剰塗布液が試料検査用ケース1から外部に漏出するようなことがない。
【0020】
尚、本実施の形態は、光路変換光学手段としてプリズムカット部14を例示したが、これに限られず、レンズや反射鏡で光路を変換するようにしてもよい。
【0021】
また、本実施の形態は、試料載置台5として円錐形状の先端を斜めに切り落とした態様のものを例示したが、これに限られず、多角錐形状の先端を斜めに切り落とした態様のものを下部ケース2に突出形成するようにしてもよい。
【0022】
また、本実施の形態は、蓋として機能する上部ケース3と下部ケース2をヒンジ部4を介して一体成形(例えば、射出成形)する態様を例示したが、これに限られず、下部ケース2と上部ケース3を別々に形成するようにしてもよい。
【0023】
また、本実施の形態は、蛍光灯の光や太陽光等の照明光をプリズムカット部14から採り入れるように構成されているが、上部ケース3に発光ダイオード(LED)等の光源を取り付けて、その光源からの光を照明光として使用するようにしてもよい。このようにすれば、室内灯や自然光のみでは充分な明るさの照明光を得ることができない場合でも、被検査体11を肉眼で検査できるような十分な明るさで照明することが可能になる。
【0024】
また、本実施の形態は、下部ケース2と上部ケース3とを閉じた状態で固定する手段として係合突起21,23を例示したが、これに限られず、下部ケース2と上部ケース3とを閉じた状態で保持できるものであればよい。例えば、下部ケース2と上部ケース3を閉じた状態で輪ゴムを巻き付け、下部ケース2と上部ケース3とを閉じた状態で保持するようにしてもよい。また、図6に示すように、下部ケース2と上部ケース3の少なくとも一方に形成した棒状突起25を下部ケース2と上部ケース3の少なくとも他方に形成した穴26にテーパ嵌合させ、棒状突起25と穴26の摩擦抵抗で下部ケース2と上部ケース3を一体化するようにしてもよい。
【0025】
また、本実施の形態の試料載置台5に、被検査体11を試料載置台5に固定させるための固定手段を付加すれば、試料検査用ケース1が机上から落下するなどして、試料検査用ケース1に多大な衝撃が加わったとしても、被検査体11を試料載置台5から脱落することなく確実に固定させることができる。
【0026】
このような固定手段は、図示はしないが、例えば、試料載置台5の試料載置面7と略同一の大きさを有する透明な板状の蓋体を準備し、この蓋体の一端側を試料載置台5に回転可能に取り付けると共に、他端側を試料載置台5に対して係脱可能に形成すること等により構成することができる。このような構成とすることにより、試料載置台5の試料載置面7上に被検査体11を載置した後、蓋体を試料載置面7と重なるように回転させ、蓋体の他端側を試料載置台5に係合させれば、蓋体により、試料載置面7を覆うことができ、被検査体11を試料載置台5に固定することができる。なお、この場合、プリズムカット部14からの照明光が蓋体の表面にて反射されてしまい、被検査体11の表面を観察しにくくなる場合があるので、蓋体の表面に反射防止処理を施すことが好ましい。
【0027】 また、試料載置面7に両面テープを貼付しておき、この両面テープ上に被検査体11を載置することによっても固定手段とすることができる。
【0028】
また、本実施の形態において、各部の角度寸法は例示であって、被検査体11や使用条件等に応じて最適な数値が設定される。
【0029】
[第2の実施の形態]
図7〜図8は、本発明の第2の実施の形態に係る試料検査用ケース30を示すものである。これらの図に示すように、本実施の形態の試料検査用ケース30は、ケース本体31内部に試料載置台32を出し入れ可能に構成し、ケース本体31のプリズムカット部33を介して採り入れた光を試料載置台32上の被検査体34に照射し、その被検査体34からの反射光を像拡大レンズ35を介してケース本体31の外部に取り出し、像拡大レンズ35によって拡大された像を観察者が観察できるようになっている。
【0030】
ここで、試料載置台32は、下部載置台36上の被検査体34を密閉できる蓋37が取り付けられており、ケース本体31の外部で保管する場合に、下部載置台36上に蓋37を被せ、大気中の浮遊ゴミや不純物が被検査体34の表面に付着するのを防止するようになっている。一方、この試料載置台32は、被検査体34を検査する場合であって、ケース本体31内に挿入する際に、蓋37を開けて、被検査体34を露出させた状態にする。したがって、本実施の形態の試料検査用ケース30は、下部ケース2と上部ケース3を常時閉じた状態で取り扱う(検査する)前記第1の実施の形態に比較して、不純物や浮遊ゴミが被検査体34表面に付着しやすいので、試料載置台32をケース本体31内に挿入する際にゴミ等の被検査体34への付着に充分注意する必要がある。
【0031】
また、本実施の形態の試料検査用ケース30は、試料載置台32を出し入れすることを前提に形成されているため、全体が構造が前記第1の実施の形態よりも大きくなるので、保管場所や検査場所を充分に確保できる場合に使用すると効果的である。
【0032】
このような構成の本実施の形態の試料検査用ケース30によれば、前記第1の実施の形態と同様に、被検査体34表面の検査を容易且つ確実に行うことができる。
【0033】
【発明の効果】
以上のように、本発明は、試料載置台上に被検査体を載置し、この被検査体の表面に光路変換光学手段を介して照明光を照射し、この被検査体からの反射光を像拡大レンズを透過させることにより、被検査体表面を明るく照らした状態で且つ拡大して観察することができる。したがって、本発明によれば、被検査体を正確且つ容易に検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係る試料検査用ケースの開いた状態を示す平面図である。
【図2】本発明の第1の実施の形態に係る試料検査用ケースの閉じた状態を示す縦断面図である。
【図3】図1のA方向から見た図である。
【図4】図1のB方向から見た図である。
【図5】本発明の第1の実施の形態に係る試料検査用ケースのプリズムカット部の一部を拡大して示す図である。
【図6】本発明の第1の実施の形態に係る試料検査用ケースの変形例を示す平面図である。
【図7】本発明の第2の実施の形態に係る試料検査用ケースの縦断面図である。
【図8】本発明の第2の実施の形態に係る試料検査用ケースの平面図である。
【符号の説明】
1,30……試料検査用ケース、2……下部ケース(第1のケース)、3……上部ケース(第2のケース)、4……ヒンジ部、5,32……試料載置台、11,34……被検査体、14,33……プリズムカット部(光路変換光学手段)、15,35……像拡大レンズ
Claims (1)
- 被検査体を載置するための試料載置台と、
この試料載置台上の被検査体に照明光を照射する光路変換光学手段と、
前記試料載置台上の被検査体によって反射された光を通過させて被検査体の像を拡大させる像拡大レンズと、
前記試料載置台が形成された第1のケースと、
前記光路変換光学手段及び前記像拡大レンズが形成された第2のケースと、
前記第1のケースと前記第2のケースを開閉可能に接続するヒンジ部と、を備えた試料検査用ケースであって、
前記第1のケースと前記第2のケースを閉じた際に、前記第1のケースと前記第2のケースとによって密閉された空間内に前記試料載置台が位置し、
前記試料載置台上に載置した被検査体に塗布した塗布液のうちの前記試料載置台から流下する余剰塗布液を収容するスペースが、前記第1のケースの前記試料載置台の周囲に形成されており、
前記スペース内には、前記余剰塗布液を吸収する廃液吸収体が配置された、
ことを特徴とする試料検査用ケース。
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