JP2023018757A - 検査装置、検査方法、検査装置を用いた物品の製造方法、プログラムおよび記録媒体 - Google Patents

検査装置、検査方法、検査装置を用いた物品の製造方法、プログラムおよび記録媒体 Download PDF

Info

Publication number
JP2023018757A
JP2023018757A JP2021123000A JP2021123000A JP2023018757A JP 2023018757 A JP2023018757 A JP 2023018757A JP 2021123000 A JP2021123000 A JP 2021123000A JP 2021123000 A JP2021123000 A JP 2021123000A JP 2023018757 A JP2023018757 A JP 2023018757A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
inspection
inspection device
light
image
tubular portion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2021123000A
Other languages
English (en)
Inventor
孝徳 小関
Takanori Koseki
瑞樹 大沼
Mizuki Onuma
英治 高木
Eiji Takagi
高明 中川
Takaaki Nakagawa
貴之 前田
Takayuki Maeda
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2021123000A priority Critical patent/JP2023018757A/ja
Publication of JP2023018757A publication Critical patent/JP2023018757A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

【課題】 明瞭な検査対象物の像を得ることにより、検査対象物の欠陥の確実な検出を可能とする検査装置および検査方法を提供する。【解決手段】 照明装置によって検査対象物を照明し、検査対象物を検査する検査装置において、照明装置に設けられた発光部を検査対象物の内側に配置し、前記発光部は前記検査対象物の内側から照明する、ことを特徴とする検査装置を採用した。【選択図】 図1

Description

本発明は、検査装置、検査方法に関する。
外観検査装置とは、検査対象物を撮影した画像から、傷、汚れ、異物の付着などの検査対象物の欠陥を検出することにより、検査対象物が良品か不良品であるかの判別を行う検査装置である。このような外観検査においては、様々な検査対象物に適応させた方法が、従来から多く考案されている。例えば、検査対象物の側部全周を検査する外観検査では、検査対象物を撮影する撮影装置に対して検査対象物を回転させ、撮影装置で検査対象物の側面を複数回撮影することにより、検査対象物の側部全周の検査を行う方法が知られている。
特許文献1には、検査対象物の側部の像を反射鏡としての円錐ミラーで反射し、検査対象物の全周を一度に撮影し、検査することによって、検査に要する時間を短縮化する例が開示されている。
特許文献2には、検査対象を透明な容器内の液面とした、円錐ミラーを用いた外観検査装置の例が開示されている。このように、検査対象物が光を通す透明容器である場合には、照明装置の利用によって、その外観から内容物の状態についての検査が可能である。また、外観検査により検査対象物の外面の欠陥だけでなく、検査対象物の内部に発生した傷や、内部に混入した異物や気泡なども検査可能である。
また円錐ミラーは使用しないが、特許文献3には、外観検査の対象物を人工透析に使用されるダイアライザとした例が開示されている。従来からダイアライザの品質管理のための検査の一部として、ダイアライザを構成する透明または半透明の容器に対して、傷、汚れ、変色、異物の付着や混入などの欠陥の有無を判別する外観検査が行われている。
特開平09-119818号公報 特開2013-104659号公報 特開2017-83381号公報
外観検査装置においては、検査対象物の欠陥が明瞭に撮影画像に映るように、照明装置と撮像装置を設置する位置などの条件を、適切に設定する必要がある。ダイアライザを構成する容器の外観検査を、円錐ミラーを用いて行う場合、最も簡単な方法は、特許文献1のように、容器に対して照明装置と撮像装置とを同じ側に配置して、検査を行うことである。図7に特許文献1における検査装置を説明するために検査装置1を示す。図7のような検査装置1において、検査対象物(ダイアライザの容器)6は、特許文献1における不透明な検査対象物とは異なり、透明または半透明の材料で形成されている。そのため、撮影画像が不明瞭なものとなり、検査対象物6の欠陥の判別が困難であることが実験によって判明している。このような不具合が生じるのは、撮影画像には、照明装置2から容器に反射する反射光L1による検査対象物6の像と、照明装置2から検査対象物6を透過する透過光L2による容器の像の両方が映りこむためであると考えられる。これら反射光L1と透過光L2による迷光によって、検査対象物が不明瞭な状態で撮像装置3によって撮影されてしまい、検査対象物6の欠陥の判別が困難となっていると考えられる。
また特許文献2では、特許文献1と同じく円錐ミラーを使用した外観検査装置であるが、検査対象が光を透過させない不透明な物質だけでなく、光を透過させる透明な物質としての透明容器を含む点が特許文献1とは異なる。特許文献2では照明装置を透明容器に対して撮影装置の反対側に配置し、透明容器は底面から照明される。しかしながらこの照明方法は容器内に充填された液体の液面を照明するためには有効であるが、透明容器それ自体の外観検査にそのまま適用することは困難と考えられる。
上記課題を鑑み、本発明の目的は、明瞭な検査対象物の像を得ることにより、検査対象物の欠陥の確実な検出を可能とする検査装置および検査方法を提供することである。
上記課題を解決するために本発明は、照明装置によって検査対象物を照明し、前記検査対象物を検査する検査装置において、前記照明装置に設けられた発光部が前記検査対象物の内側に配置され、前記発光部によって前記検査対象物の内側から照明する、ことを特徴とする検査装置を採用した。
本発明によれば、明瞭な検査対象物の像を得ることができ、検査対象物の欠陥の確実な検出を可能とする検査装置および検査方法を提供することができる。
実施形態における外観検査装置1の全体を示す正面図。 実施形態におけるダイアライザ6の全体図および部品図。 実施形態における外観検査装置1の検査部の正面図。 実施形態における撮像装置3に撮影される反射像の概略図。 実施形態における外観検査装置1の正面図。 実施形態における外観検査装置1の検査部の上面図と正面図。 比較例における外観検査装置の検査部を示す正面図。
以下、添付図面を参照して本発明を実施するための形態について説明する。なお、以下に示す実施形態はあくまでも一例であり、例えば細部の構成については本発明の趣旨を逸脱しない範囲において当業者が適宜変更することができる。また、本実施形態で取り上げる数値は、参考数値であって、本発明を限定するものではない。
(第1の実施形態)
本発明の第1の実施形態について図1から図4を用いて説明する。図1は、第1の実施形態における外観検査装置1の全体図を示す。図2は、検査対象物6としてのダイアライザを示す。図3は、外観検査装置1で検査対象物6が検査される部位の詳細図を示す。図4は撮像装置によって撮像される反射像の概略図を示す。
まず、外観検査装置1および検査対象物6の構成を説明する。図1において、外観検査装置1は、検査対象物6を照明する照明装置2と、検査対象物6を撮像する撮像装置3と、撮像装置3によって撮像された画像を処理して検査対象物6に欠陥がないかを判別するための画像処理装置4とを有する。上記検査対象物6の検査を行うことで、物品となる検査対象物6の製造を行う工程の一部を外観検査装置1によって実行する。
撮像装置3は、レンズを有し、レンズによって結像された像を撮影する撮像素子を有するカメラである。撮像装置3としてのカメラは、画像処理装置4であるコンピュータに接続され、撮影された画像をコンピュータに出力する。
画像処理装置4は、CPU(Central Processing Unit)、ROM(Read Only Memory)を有している。さらにRAМ(Random Access Memory)、HDD(Hard Disk Drive)などから成るコンピュータである。さらに、マウスおよびキーボード等の入力装置と通信、接続するためのインターフェース、ディスプレイと通信、接続するためのインターフェース、撮像装置3と接続するためのインターフェースを有するものとする。
また外観検査装置1は、検査対象物6の像を撮像装置3に反射する反射鏡としての円錐ミラー(反射鏡)5を有する。また外観検査装置1による検査時に、検査対象物6は、支持台11によって支持される。また外観検査装置1の周りには遮蔽壁8が配置されている。撮像装置3と画像処理装置4とは、遮蔽壁8を貫通するケーブルによって通信可能なように接続される。なお、本実施形態では遮蔽壁8を配置するが、撮像装置3によって外光の影響なく確実に照明装置2の光を検出することができる環境であればこの限りではない。また、図1では検査対象物6として後述するダイアライザ6のヘッダ6bを配置している。
検査対象物6としてのダイアライザ6を図2に示す。図2(a)はダイアライザ6の正面図であり、図2(b)は斜視図である。図2(c)は容器本体6aとヘッダ6bとを分離させた状態の図である。
ダイアライザ6は、人工透析において、患者の血液をろ過する人工腎臓である。ダイアライザ6は、ダイアライザ6の容器内部に、半透膜からなる中空糸が詰められて構成される。ダイアライザ6による血液のろ過の際には、この中空糸の内部に血液が流通し、中空糸の周壁に形成された複数の微小な孔から血液の老廃物が抜け出て、この老廃物が中空糸の外を流通する透析液に回収されることで血液がろ過される。
図2(a)(b)(c)より、ダイアライザ6の容器は、容器本体6aと、容器本体6aの両端部にヘッダ6bと呼ばれるキャップ部品を結合して構成される。また、ヘッダ6bには、血液をダイアライザ6内に流入させる流入口6baと、もう一端のヘッダ6bに血液をダイアライザ6外へ流出させる流出口6bbが形成される。また容器本体6aには、ダイアライザ6に対して透析液を流出入させるための流入口6aaと、流出口6abが形成される。図中矢印はこれらの流出入方向である。容器本体6aおよびヘッダ6bは、ポリプロピレンなどの樹脂材料を成型することにより透明または半透明な部材として形成される。
次に外観検査装置1によって外観検査される際の、ダイアライザ6のヘッダ6bを示す。図3(a)は、外観検査装置1の検査部の正面図である。図3(b)は、ライトガイド2bの概略図である。図3(a)より、ヘッダ6bには、血液の流入口6baまたは流出口6bbがヘッダ本体6bcから突出するように筒状部で形成され、その内側(または内部)を血液が通過可能に構成される。
また、流入口6baまたは流出口6bbは、外観検査装置1の被検査部としての検査部位6bdである。検査部位6bdの周り(周囲)を囲むように、円錐ミラー5が配置される。円錐ミラー5は検査部位6bdの像を反射するように、円錐状に形成された反射面5aを有する。反射面5aは、筒状に形成された検査部位6bdの側部の像を、図1の撮像装置3に向かって、筒状の検査部位6bdの延びる矢印D1方向に反射するように、検査部位6bdの延びる方向に対して略45°傾斜して構成される。
筒状の検査部位6bdの内側に、検査部位6bdを照明するライトガイド2bが配置される。図1において照明装置2は、光源2aと、光源2aからの光を検査部位6bdに導き照明する導光部材としてのライトガイド2bを有する。また図1に示すように、ライトガイド2bは、検査部位6bdから離れる方向に延びた部位に湾曲部2bbを有している。ライトガイド2bは、湾曲部2bbから延びた先が光源2aと接続され、光源2aが検査装置1の支持台に支持されることによって、間接的に検査装置1に設置される。
図3(b)に示すように、ライトガイド2bは棒状に形成され、一端から光源2aからの光が入射し、入射した光がライトガイド2b内を反射する反射光L3となり、棒状のライトガイド2bの延びる矢印D2方向に導かれる。
ライトガイド2bには、ライトガイド2b内を反射する反射光L3を散乱させることによって、ライトガイド2bの側面部から出射する出射光L4を生じさせ、ライトガイド2bの側面を発光させるための発光部2baが形成される。発光部2baは、発光部2baに到達した反射光L3を散乱させるように、不図示の細かな溝や、粗い面などからなる。また図3(a)より、ライトガイド2bの発光部2baは、円錐ミラー5の反射面5aと、筒状の検査部位6bdの延びる矢印D1方向に重なるように配置されている。
次に、以上で説明した構成を有する外観検査装置1における、検査方法および検査の作用について説明する。外観検査装置1による検査を行うにあたり、まず外観検査装置1に検査対象物であるダイアライザ6のヘッダ6bを設置する。図1においてヘッダ6bは、外観検査装置1上に固定されて設置されたライトガイド2bに対して、筒状の検査部位6bdの内側にライトガイド2bを通すようにして、支持台7上に設置される。結果として、ライトガイド2bは、筒状の検査部位6bdに対して、撮像装置3の配置されている側の反対側から、筒状の検査部位6bdの内側を通過するようにして配置される。
ヘッダ6bに続いて、円錐ミラー5を外観検査装置1に設置する。円錐ミラー5は、円錐ミラー5の内側の空間に、検査対象物の検査部位6bdを通すようにして、外観検査装置1上に設けられた不図示の支持部材の上に設置される。このようにしてヘッダ6bと円錐ミラー5を外観検査装置1に設置した後、続いて検査に要する作業が行われる。
はじめに検査部位6bdを照明するため、光源2aに電力を供給し、光源2aを点灯させる。光源2aからの光は図3(b)に示したように、ライトガイド2bの内部で反射してライトガイド2bが延びる方向に導かれる反射光L3となる。そして図3(a)より、反射光L3は発光部2baで散乱し、ライトガイド2bの側面部から出射される出射光L4となる。そして図3(a)より、この出射光L4は検査部位6bdを照明するとともに、透明な検査部位6bdを通過する透過光L2となる。さらに円錐ミラー5の反射面5aによって、円筒状の検査部位6bdが延びる方向であって、撮像装置3が設置された方向に反射される反射光L5となる。
以上のようにして、照明装置2によって照明された検査部位6bdの像が、円錐ミラー5の反射光L5として撮像装置3により撮影される。図4は撮像装置3によって撮像される反射像の概略図である。反射像は円錐ミラー5aを撮像装置3の方から見た同心円状の像である。
前述のように撮像装置3で撮影される検査部位6bdの像は、照明装置2からの光が検査部位6bdを透過した透過光L2による像である。透過光L2は検査部位6bdの傷や異物によって遮られるため、検査部位6bdの傷や異物の付着などの欠陥は、他の欠陥のない場所と比較して、明るさの暗い像9となって撮影される。検査部位6bdの欠陥は、欠陥が検察部位6bdの外面にあるのか、検査部位6bdの内部にあるのかに関わらず、暗い像となって撮影される。
撮像装置3によって撮像された像は、画像処理装置4によって解析される。画像処理装置4によって、撮影された像にヘッダ6bの欠陥を示す暗い像9があるか否かの判定がなされ、その結果としてヘッダ6bが良品であるか否かの判定が行われる。
ダイアライザ6は人工透析の過程において患者の血液に触れる装置であることから、高い品質が要求されており、ダイアライザ6の容器に傷や変色や異物の付着、混入などの欠陥がある場合は使用することができない。よって、ヘッダ6bの検査画像に欠陥を示す暗い像9が認められる場合は、ヘッダ6bは不良品であるとして廃棄される。以上説明したようにして、検査対象物であるヘッダ6bの外観検査が行われる。
次に本実施形態の外観検査装置および検査方法による効果を説明する。本実施形態の外観検査装置は、照明装置2としてのライトガイド2bが、筒状の検査部位6bdの内側に配置される。ライトガイド2bからの光は、筒状の検査部位6bdを透過した後、前述のように円錐ミラー5で反射され、撮像装置3に到達して、撮影される。このため、撮像装置3に撮影される照明装置2の光は、前述の光路によって検査部位6bdを透過する光が支配的なものとなるので、比較例として示した図7の検査装置1の場合とは異なり、迷光を抑制することができる。よって、検査部位6bdに生じた欠陥を、撮像装置3で明瞭に撮影することができ、検査対象物6が良品であるか不良品であるかの判定を確実に行うことができる。
また、本実施形態の外観検査装置1では、筒状の検査部位6bdの側部の像は、円錐ミラー5の反射面5aに筒状の検査部位6bdの延びる方向であって、撮像装置3に向かう方向に反射され、この反射像が撮像装置3に撮影される。このため、検査部位6bdの側部全周を検査するため、撮像装置3で検査部位の側部の回りを複数の方向から撮影する必要がない。よって、検査部位6bdの側部の外観検査のため、撮像装置3で検査部位6bdの側部の像を撮影する回数を減少させることができ、検査に要する時間を短縮化することができる。
また本実施形態では、ライトガイド2bの発光部2baは、円錐ミラー5の反射面5aと、筒状の検査部位6bdの延びるD1方向に重なるように配置されている。このように、発光部2baと反射面5aを配置することにより、発光部2baと反射面5aの間の距離を最短とすることができる。発光部2baから出射される光は必ずしも反射面5aの方に向かっているわけではないため、発光部2baと反射面5aの距離が遠くなるほど、反射面5aで反射される発光部2baからの光量は減少する。発光部2baと反射面5aとの距離を近づけることにより、反射面5aで反射される光量の減少を抑制し、明瞭な検査対象物の像を得ることができる。
次に本実施形態における他の変形例について説明する。本実施形態では、検査対象物をダイアライザの容器部品とした例を説明したが、検査対象物はこれに限らない。検査対象物が、外観検査装置の検査部位として、光を透過可能な透明または半透明な筒状の部位を有していれば、本実施例の場合と同様に、本実施形態の適用が可能である。よって検査対象物は、例えば透明な筒状の部位を有するガラスびんや、PETボトルであってもよい。
また本実施形態では、反射鏡を円錐ミラーとした例を説明したが、反射鏡はこれに限らない。反射鏡は筒状の検査部位の側面部の像を、筒状の検査部位の延びる方向であって、撮像装置に向かう方向に反射するように構成されていればよい。そして、反射鏡の反射面が筒状の検査部位の回りに配置されていればよい。よって、反射鏡の反射面は、円錐状だけでなく、三角錘や、四角錐であってもよい。また、複数の平面上の反射鏡が、筒状の検査部位の回りに配置されていてもよい。いずれの場合においても同様に本実施形態の適用が可能である。
また本実施形態では、筒状の検査部位の内側に配置され、検査部位を照明する照明装置の部位を、光源からの光を導いて発光するライトガイドとして説明したが、それ自身が発光する小型のLEDとしてもよい。このようにしても本実施例の場合と同様に、本実施形態の適用が可能である。
また本実施形態では、反射鏡からの反射像から検査対象物の欠陥を検出する方法として、反射像を撮像装置によって撮影し、撮影した画像を画像処理装置で解析する方法を説明したが、検出方法はこれに限らない。検査対象粒の欠陥の検出方法としては、撮像装置を使用せず反射像を直接目視で確認する方法でもよく、また撮像装置によって撮影された画像を目視で確認する方法でもよい。このようにしても本実施形態の適用は可能である。
(第2の実施形態)
次に第2の実施形態について、図5、図6を用いて説明する。なお、以下では必要に応じ、第1の実施形態とは異なるハードウェアや制御系の構成の部分について図示し説明する。また、第1の実施形態と同様の部分については上記と同様の構成ならびに作用が可能であるものとし、その詳細な説明は省略するものとする。
図5は、第2の実施形態における外観検査装置1の正面図を示す。図6は、検査対象物が検査される部位の上面図と正面図を示す。図6(a)が上面図、図6(b)が正面図である。本実施形態が上述の第1の実施形態と異なるのは、検査対象物がダイアライザ6の容器本体6aであることと、照明装置2における検査対象物に対する配置である。これらの相違点について詳細に説明する。
検査対象物となるダイアライザ6の容器本体6aについて説明する。図2に示すように、容器本体6aは、透析液の流入口6aaと流出口6abとを有する。透析液の流入口6aaと流出口6abは、容器本体6aから突出するように筒状に形成されており、その内側を透析液が通過可能に構成される。本実施形態では図5に示すように、これらが検査部位6adとなる。
次に本実施形態における外観検査装置1の構成について説明する。円錐ミラー5は、第1の実施形態の場合と同様に、反射面5aが検査部位6bdの周りを囲むように配置される。また、ライトガイド2bは、筒状の検査部位6adの内側に配置される。
一方で本実施形態が第1の実施形態とは異なるのは、照明装置2としてのライトガイド2bの配置である。具体的には、照明装置2は支持装置7に支持され、照明装置2としてのライトガイド2bは、検査部位6adに対して、撮像装置3の配置されている側と同じ側から、筒状の検査部位6adの内側に挿入されるように配置される。このライトガイド2bが配置される方向が、第1の実施形態とは異なる。
ライトガイド2bをこのような方向から配置することの必要性は、容器本体6aの形状の特徴から生じたものである。すなわち容器本体6aには、検査部位6adの撮像装置3に対する反対側に壁面6acが形成されていることから、第1の実施形態におけるヘッダ6bとは異なり、この領域からライトガイド2bを挿入する空間がない。このため、ライトガイド2bを検査部位6adに対して、撮像装置3と同じ側から挿入して配置する必要がある。
図6(a)は外観検査装置1の検査部の上面図であるが、検査部の上方に配置された撮影装置3で撮影される像を同様に示す。上述のようにライトガイド2bは撮像装置3と同じ側から配置されることから、撮像装置3の撮影画像上には、撮像装置3と反射面5aの間に配置されたライトガイド2bの湾曲部2bbが、反射面5aの遮蔽物10として映りこむ。よって、この遮蔽物10の裏側に隠された反射面5aの部分は、撮影画像上には映らないため、この部分での検査部位6adの欠陥の検査が困難となる。
本実施形態では、このような状態においても検査部位6adの側部全周の検査を行うため、一部が遮蔽物10となっているライトガイド2bを、図6(b)に示す軸О周りに支持装置7によって回転移動させる。これにより、検査部位6adに対する遮蔽物10の位置を変化させて、そのたびごとに撮影を行い、結果として複数の撮影画像を得ることよって、第1の実施形態の場合と同様に、検査部位6adの側部全周の検査が可能となる。このよう支持装置7の制御および撮影装置3による撮像は画像処理装置4によって統合的に制御させても構わない。
本実施形態における他の変形例について説明する。本実施形態では、撮像装置に映り込むことで撮影の障害となる遮蔽物として、ライトガイドの湾曲部を例として説明したが、これに限らない。遮蔽物が何であるかは、照明装置やその周辺をどのように構成するかによって異なるため、遮蔽物が照明装置の一部としての光源や、光源に電力を供給するケーブルなどの照明装置に連結された部材であることが考えられる。また照明装置を支持する支持装置が遮蔽物となることも考えられる。このような場合においても、遮蔽物を移動可能または回転可能なように構成し、回転移動のその都度、複数の撮影画像を得ることを可能とすれば、本実施形態の適用は可能である。
また、本実施形態では、ライトガイドを移動可能に支持するものとして説明したが、これに限らない。撮像装置に映り込む遮蔽物であるライトガイドの位置を、検査部位に対して変化させるためには、検査部位に対する遮蔽物の相対的な位置を変化させればよい。よってライトガイドではなく、検査部位の方を移動可能に支持するように構成してもよい。
(その他の実施形態)
以上述べた実施形態の検査方法の処理手順は具体的には画像処理装置4により実行されるものである。従って上述した機能を実行可能なソフトウェアのプログラムを記録した記録媒体を、各制御装置を統合する装置に供給し、統合的に処理を行うCPUが記録媒体に格納されたプログラムを読み出し実行することによって達成されるよう構成することができる。この場合、記録媒体から読み出されたプログラム自体が上述した各実施形態の機能を実現することになり、プログラム自体およびそのプログラムを記録した記録媒体は本発明を構成することになる。
また、各実施形態では、コンピュータで読み取り可能な記録媒体が各ROM或いは各RAM或いは各フラッシュROMであり、ROM或いはRAM或いはフラッシュROMにプログラムが格納される場合について説明した。しかしながら本発明はこのような形態に限定されるものではない。本発明を実施するためのプログラムは、コンピュータ読み取り可能な記録媒体であれば、いかなる記録媒体に記録されていてもよい。例えば、制御プログラムを供給するための記録媒体としては、HDD、外部記憶装置、記録ディスク等を用いてもよい。
なお本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想内で多くの変形が可能である。また、本発明の実施形態に記載された効果は、本発明から生じる最も好適な効果を列挙したに過ぎず、本発明による効果は、本発明の実施形態に記載されたものに限定されない。
1 外観検査装置
2 照明装置
2a 光源
2b ライトガイド
2ba 発光部
2bb 湾曲部
3 撮像装置
4 画像処理装置
5 円錐ミラー(反射鏡)
5a 反射面
6 検査対象物(ダイアライザ)
6a 容器本体
6aa 透析液の流入口
6ab 透析液の流出口
6ac 壁面
6ad、6bd 検査部位
6b ヘッダ
6ba 血液の流入口
6bb 血液の流出口
6bc ヘッダ本体
7 支持装置
8 遮蔽壁
9 暗い像(検査部位の欠陥の像)
10 遮蔽物
11 支持台
D1 筒状の検査部位が延びる方向
D2 棒状のライトガイドが延びる方向
L1 検査対象物の反射光
L2 検査対象物の透過光
L3 ライトガイド内の反射光
L4 ライトガイドからの出射光

Claims (17)

  1. 照明装置によって検査対象物を照明し、前記検査対象物を検査する検査装置において、
    前記照明装置に設けられた発光部が前記検査対象物の内側に配置され、前記発光部によって前記検査対象物の内側から照明する、
    ことを特徴とする検査装置。
  2. 請求項1に記載の検査装置において、
    前記検査対象物の周囲に反射面を配置し、前記発光部による前記内側からの像を反射する反射鏡を備え、
    前記反射鏡からの反射像によって前記検査対象物の検査を行う、
    ことを特徴とする検査装置。
  3. 請求項2に記載の検査装置において、
    前記検査対象物は、筒状部を備え、
    前記反射面は、前記発光部からの前記筒状部を照明する光路に沿い、かつ前記筒状部を透過する光を反射する、
    ことを特徴とする検査装置。
  4. 請求項3に記載の検査装置において、
    前記反射鏡は、前記像を、前記筒状部が伸びる方向に反射する、
    ことを特徴とする検査装置。
  5. 請求項3または4に記載の検査装置において、
    前記筒状部は、前記光が透過できるように透明または半透明である、
    ことを特徴とする検査装置。
  6. 請求項4に記載の検査装置において、
    前記発光部は、前記反射鏡の前記反射面と、前記筒状部の延びる方向に重なるように配置される、
    ことを特徴とする検査装置。
  7. 請求項1から6のいずれか1項に記載の検査装置において、
    前記検査対象物は、人工透析において患者の血液をろ過するダイアライザの容器である、ことを特徴とする検査装置。
  8. 請求項2から6のいずれか1項に記載の検査装置において、
    前記反射鏡は円錐ミラーであって、
    前記円錐ミラーは、前記反射面が円錐状に形成される、
    ことを特徴とする検査装置。
  9. 請求項3から6のいずれか1項に記載の検査装置において、
    前記照明装置は前記発光部として光源と導光部材とを備え、
    前記導光部材は、前記光源からの光を内部で反射させることによって、前記導光部材が延びる方向に光を導き、
    前記導光部材が前記筒状部の内側に配置されて、前記導光部材によって前記筒状部の内側を照明する、
    ことを特徴とする検査装置。
  10. 請求項3から6のいずれか1項に記載の検査装置において、
    前記反射像を撮像するための撮像装置を備え、
    前記照明装置は、前記筒状部に対して、前記撮像装置が配置される側とは反対側から、前記筒状部の内側に配置される、
    ことを特徴とする検査装置
  11. 請求項10に記載の検査装置において、
    前記撮像装置を支持する支持装置を備え、
    前記支持装置は、前記筒状部に対して、前記筒状部の周りに相対的に回転可能である、
    ことを特徴とする検査装置。
  12. 請求項11に記載の検査装置において、
    前記照明装置は、前記筒状部に対して、前記撮像装置が配置される側と同じ側から、前記筒状部の内側に配置されている、
    ことを特徴とする検査装置。
  13. 請求項11または12に記載の検査装置において、
    前記支持装置の位置のそれぞれで、前記撮像装置により前記反射像の撮影を行い、当該撮影により得られる複数の前記反射像によって前記検査対象物の検査を行う、
    ことを特徴とする検査装置。
  14. 請求項1から13のいずれか1項に記載の検査装置を用いて、前記検査対象物の検査を行い、物品として前記検査対象物の製造を行うことを特徴とする物品の製造方法。
  15. 照明装置によって検査対象物を照明し、前記検査対象物を検査する検査方法において、
    前記照明装置に設けられた発光部が前記検査対象物の内側に配置され、前記発光部によって前記検査対象物の内側から照明し、
    前記発光部による前記内側からの像に基づき、前記検査対象物の検査を行う、
    ことを特徴とする検査方法。
  16. 請求項15に記載の検査方法を実行可能なプログラム。
  17. 請求項16に記載のプログラムを格納した、コンピュータで読み取り可能な記録媒体。
JP2021123000A 2021-07-28 2021-07-28 検査装置、検査方法、検査装置を用いた物品の製造方法、プログラムおよび記録媒体 Pending JP2023018757A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021123000A JP2023018757A (ja) 2021-07-28 2021-07-28 検査装置、検査方法、検査装置を用いた物品の製造方法、プログラムおよび記録媒体

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021123000A JP2023018757A (ja) 2021-07-28 2021-07-28 検査装置、検査方法、検査装置を用いた物品の製造方法、プログラムおよび記録媒体

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2023018757A true JP2023018757A (ja) 2023-02-09

Family

ID=85160409

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021123000A Pending JP2023018757A (ja) 2021-07-28 2021-07-28 検査装置、検査方法、検査装置を用いた物品の製造方法、プログラムおよび記録媒体

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2023018757A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6654139B2 (ja) 濡れた眼用レンズの検査システムおよび検査方法
JP7490655B2 (ja) 医薬品容器における粒子検出のためのシート照明
JP2015510121A (ja) 光ファイバの視覚的検査方法
JP2009529370A (ja) ステントの内径部を照明および撮像する方法
JP2010112786A (ja) 照明装置及びそれを有する外観検査装置
JP5043571B2 (ja) 内面検査装置
KR20190122160A (ko) 용액에 잠겨있는 안과용 렌즈의 광학 배율 및 두께 검사 시스템 및 방법
JP2007171149A (ja) 表面欠陥検査装置
JP2010016048A (ja) ウエハ用検査装置
JP2017083381A (ja) 円筒体の外観検査装置および外観検査方法
JP2004028930A (ja) 容器内異物検出装置および容器内異物検出方法
JP2017166903A (ja) 欠陥検査装置及び欠陥検査方法
JP6518911B2 (ja) 容器検査装置及び検査方法
JP2023018757A (ja) 検査装置、検査方法、検査装置を用いた物品の製造方法、プログラムおよび記録媒体
JP4429177B2 (ja) 透明容器の欠陥検査方法及び装置
JPH09325122A (ja) 透明容器内の異物検査方法
KR20110125906A (ko) 레티클 검사장치
JP2014025884A (ja) 外観検査方法及び外観検査装置
WO2017104201A1 (ja) 光学素子および光学装置、光学素子および光学装置の検査装置、並びに光学素子および光学装置の検査方法
US20070121109A1 (en) Lens inspection
JP2017129523A (ja) 内面検査システム、アセンブリ、および導光部品
KR20160048515A (ko) 관 내부 검사 장치
WO2023276555A1 (ja) 光学レンズ検査装置、および光学レンズ検査方法
JP2005345425A (ja) 外観検査装置及び紫外光照明装置
JP2002014058A (ja) 検査方法及び装置

Legal Events

Date Code Title Description
RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20231213