JP3977308B2 - スリットノズル - Google Patents

Description

本発明は、搬送手段によって搬送される基板に対して、液体を吹き付けるために用いるスリットノズルにおいて、スリット状の流路の幅を調整するための調整機構に関するものである。

一般に液晶パネルなどの基板製造工程には、基板上に薬剤を塗布する塗布工程、搬送手段によって基板を洗浄処理槽内で処理する洗浄工程、処理液を純水で置換する純水置換工程、最後に濡れた基板に空気を吹き付けて乾燥させる乾燥工程がある。

近年は生産性向上のため、以上の各工程において、スピーディーかつ強力な処理能力のツールが求められている。特にｍ角サイズに大型化の進む基板の処理には、アクアナイフやエアナイフなどのようなスリットノズルによって基板に対して流体（液体または気体）を噴射する平流し型の装置が一般的に用いられる。

このようなスリットノズルの流路幅（スリット幅、スリットギャップともいう）は通常数十〜数百μｍに設定されている。しかし、スリットノズルの長辺が１ｍを超える場合、工作機械の加工精度だけで、全幅に渡って数十〜数百μｍの流路幅を達成するのは困難である。また、流路幅を可変にするためにも、流路幅の調整機構を別に設ける必要がある。

そこで、特許文献１では、上記流路幅を調整する機構として、ネジによりスリットノズルの外壁面を押し引きする機構が提案されている。なお、上記ネジは、回転可能な状態で、スリットノズルに併設された流路幅調整板に取り付けられている。以下、図１７を用いてその機構について説明する。

図１７は、スリットノズルとしてのエクストルージョン型の塗布装置を示した断面図である。塗布装置１００は、内部に塗料溜１０１と、塗料溜１０１に接続されるスリット状流路１０２とを有した一体型のダイ１０３から構成されている。そして、塗布装置１００は、スリット状流路の開口部１０２Ａと、図示しない非磁性支持体の塗布対象物（図示せず）とが対向するように配置されている。

さらに、スリット状流路１０２を形成している側壁構成部１０３Ａ・１０３Ｂのうち、一方の側壁構成部１０３Ａの外壁（塗布装置１００の外壁）に、流路の流れ方向と平行方向を長手とする補助板１０４が備えられている。この補助板１０４には、側壁構成部１０３Ａの外壁に向けて貫通穴１０４Ａ・１０４Ｂが形成されている。なお、貫通穴１０４Ａの内面には雌ネジ部１０４Ｃが形成されている。さらに、貫通穴１０４Ｂと同軸上であって、側壁構成部１０３Ａの外壁に雌ネジ孔１０３Ｃが形成されている。

ここで、貫通穴１０４Ａには、流路幅縮小用ネジ１０５が挿入されていて、貫通穴１０４Ｂには流路幅拡大用ネジ１０６が支持されている。この流路幅縮小用ネジ１０５および流路幅拡大用ネジ１０６が流路幅調整機構１０７を構成している。

流路幅縮小用ネジ１０５は、頭部１０５Ａと円筒部１０５Ｂと雄ネジ部１０５Ｃとから構成される。そして、雄ネジ部１０５Ｃが、雌ネジ部１０４Ｃと螺合している。さらに、雄ネジ部１０５Ｃの先端部は側壁構成部１０３Ａの外壁面に当接している。

以上の構成において、雌ネジ部１０４Ｃに対して流路幅縮小用ネジ１０５を締めこむように回転させると、流路幅縮小用ネジ１０５が側壁構成部１０３Ａ側に移動するようになっている。これにより、流路幅縮小用ネジ１０５が側壁構成部１０３Ａの外壁を押圧し、側壁構成部１０３Ａをスリット状流路１０２側に変位させることができ、スリット状流路１０２の幅を縮小調整できる。

流路幅拡大用ネジ１０６は、頭部１０６Ａと円筒部１０６Ｂと雄ネジ部１０６Ｃとから構成される。そして、流路幅拡大用ネジ１０６は、雄ネジ部１０６Ｃが側壁構成部１０３Ａ側に位置するように、貫通穴１０４Ｂを貫通している。さらに、雄ネジ部１０６Ｃは、雌ネジ孔１０３Ｃと螺合している。

以上の構成において、雌ネジ孔１０３Ｃに対して、流路幅拡大用ネジ１０６を締めこむように回転させると、流路幅拡大用ネジ１０６の位置は移動せず、側壁構成部１０３Ａが補助板１０４側に引き寄せられるようになっている。これにより、側壁構成部１０３Ａを補助板１０４側に変位させることができ、スリット状流路１０２の幅を拡大調整できる。

つまり、以上のような塗布装置１００において、流路幅縮小用ネジ１０５および流路幅拡大用ネジ１０６によって側壁構成部１０３Ａを変位させない状態では、スリット状流路１０２の幅は変化せず、側壁構成部１０３Ａの内壁は基準の位置にある。そして、この状態から、流路幅縮小用ネジ１０５を締めることにより、側壁構成部１０３Ａの内壁を基準の位置より側壁構成部１０３Ｂ側に変位させて、スリット状流路１０２の流路幅を縮小調整できる。また、流路幅拡大用ネジ１０６を締めることにより、側壁構成部１０３Ａの内壁を基準の位置より補助板１０４側に変位させて、スリット状流路１０２の流路幅を拡大調整できる。
特開平１０−１５４６１号公報（１９９８年１月２０日公開）

ここで、上記の構成の塗布装置１００によれば、図１７から明らかなように、流路幅調整機構１０７が、ダイ１０３の外壁（側壁構成部１０３Ａの外壁）を押圧または引き寄せるように構成されているので、流路幅調整機構１０７を支持するための補助板１０４が必要になる。

しかしながら、補助板１０４によって流路幅縮小用ネジ１０５および流路幅拡大用を支持するためには、側壁構成部の厚みと同じぐらいの厚みを有する補助板１０４を構成する必要がある。このような補助板１０４をダイ１０３に併設すると、装置全体として補助板１０４分の厚みが加わることから、装置全体の大型化および重量増加という問題が生じていた。特に、流路方向におけるダイ１０３の長さが２ｍ近くになると、装置全体の重量は数十ｋｇになる。このような、装置全体の大型化および重量増加によって、スリットノズルの設置や流路幅調整等の作業性に直接影響を及ぼすという問題が生じていた。

本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、流路幅調整機構を備えても、装置の大型化および重量増加を抑制できるスリットノズルを提供することにある。

本発明のスリットノズルは、上記課題を解決するために、断面Ｕ字形状のスリット状流路を備えたスリットノズルにおいて、上記スリット状流路は、互いに対向する第１片の内壁と第２片の内壁との間に形成され、上記第１片の外壁から内壁を貫通する貫通穴が形成され、上記貫通穴を上記第２片の方向に沿って進退移動することにより、上記第２片を押圧または引き寄せて、上記スリット状流路の幅を調整する流路幅調整手段が備えられていることを特徴とする。

本発明のスリットノズルは、上記構成に加えて、上記貫通穴の内面に第１雌ネジが形成され、上記流路幅調整手段は、上記第１雌ネジに螺合され、先端が上記第２片の内壁と当接する第１雄ネジであってもよい。

本発明のスリットノズルは、上記構成に加えて、上記第１片の外壁における上記貫通穴の開口部が、漏洩防止用弾性部材に覆われていてもよい。

本発明のスリットノズルは、上記構成に加えて、上記第１雄ネジは、先端側から頭部に向けて、上記第１雌ネジと螺合される第１ネジ山領域、ネジ山よりも滑らかな弾性部材密着領域が少なくとも形成されている構成であってもよい。

本発明のスリットノズルは、上記構成に加えて、上記第１ネジ山形成領域の外径が、上記弾性部材密着領域の外径以下であってもよい。

本発明のスリットノズルは、上記構成に加えて、上記第一片の外壁には座グリが形成され、上記座グリの底面部に上記貫通穴の開口部が形成されていてもよい。

本発明のスリットノズルは、上記構成に加えて、さらに、上記座グリの側面部に第２雌ネジが形成され、上記開口部は漏洩防止用弾性部材に覆われ、上記第２雌ネジに、上記第１雌ネジの開口部に対して上記洩防止用弾性部材を押止するための第２雄ネジが螺合されていてもよい。

本発明のスリットノズルは、上記構成に加えて、上記貫通穴および上記第１雄ネジが複数備えられていると共に、上記座グリも複数備えられていて、互いに隣り合う座グリを連結する流路が形成されていてもよい。

本発明のスリットノズルは、上記構成に加えて、上記貫通穴とほぼ同軸上であって、上記第２片の内壁に第３雌ネジが形成され、上記流路幅調整手段は、上記貫通穴に支持され、上記第３雌ネジに螺合される第３雄ネジであってもよい。

本発明のスリットノズルは、上記構成に加えて、上記第１片の外壁における上記貫通穴の開口部が、漏洩防止用弾性部材に覆われていてもよい。

本発明のスリットノズルは、上記構成に加えて、上記第３雄ネジは、先端側から、上記第３雌ネジと螺合される第２ネジ山領域、ねじ山よりも滑らかな弾性部材密着領域が少なくとも形成されていてもよい。

本発明のスリットノズルは、上記構成に加えて、上記第２ネジ山形成領域の外径が、上記弾性部材密着領域の外径以下であってもよい。

本発明のスリットノズルは、上記構成に加えて、上記第一片の外壁には座グリが形成され、上記座グリの底面部に上記貫通穴の開口部が形成されていてもよい。

本発明のスリットノズルは、上記構成に加えて、さらに、上記座グリの側面部に第４雌ネジが形成され、上記開口部は漏洩防止用弾性部材に覆われ、上記第４雌ネジに、上記貫通穴の開口部に対して上記洩防止用弾性部材を押止するための第３雄ネジが螺合されていてもよい。

本発明のスリットノズルは、上記構成に加えて、上記貫通穴および上記第３雄ネジが複数備えられていると共に、上記座グリも複数備えられていて、互いに隣り合う座グリを連結する流路が形成されていてもよい。

本発明のスリットノズルは、以上のように、上記スリット状流路が互いに対向する第１片の内壁と第２片の内壁との間に形成され、上記第１片の外壁から内壁を貫通する貫通穴が形成され、上記貫通穴を上記第２片の方向に沿って進退移動することにより、上記第２片を押圧または引き寄せて、上記スリット状流路の幅を調整する流路幅調整手段が備えられている。

これにより、流路幅調整手段が、上記第１片の外壁から内壁を貫通する貫通穴を進退移動することにより、上記第２片を押圧または引き寄せるため、上記第１片に対する上記第２片の相対位置を調整することができる。よって、断面Ｕ字形状であって、互いに対向する第１片の内壁と第２片の内壁との間に形成されているスリット状流路の幅を調整できる。

ここで、流路幅調整手段は上記第１片の外壁から内壁を貫通している構成である。したがって、該流路幅調整手段をスリットノズル自体で支持することが可能になる。これにより、流路幅調整手段を支持するための補助板や治具をスリットノズルに併設する必要がなく、該補助板や治具をスリットノズルに併設する必要のあった従来のスリットノズルに比べて、装置全体の重量増加および大型化を抑制できるという効果を奏する。

本発明のスリットノズルは、以上のように、さらに上記貫通穴の内面に第１雌ネジが形成され、上記流路幅調整手段が、上記第１雌ネジに螺合され、先端が上記第２片の内壁と当接する第１雄ネジであるため、上記第１雄ネジを上記第２片の方向へ締めこむことにより、上記第１雄ネジを第２片の方向へ変位させることができる。これにより、上記第１雄ネジの先端によって上記第２片に押圧力が付加され、上記第２片が上記第１片から離れるように変位するため、上記スリット状流路の幅を拡大調整できる。

つまり、スリットノズルに雄ネジと雌ネジとを構成するだけで流路幅調整手段を備えることができ、流路幅調整手段に対する補助板や治具をスリットノズルに併設する必要がないという効果を奏する。

本発明のスリットノズルは、以上のように、さらに、上記第１片の外壁における上記貫通穴の開口部が、漏洩防止用弾性部材に覆われているため、上記スリット状流路から上記貫通穴に液体が流れ込んでも、該液体が上記貫通穴より漏れることを抑制できる。

本発明のスリットノズルは、以上のように、さらに上記第１雄ネジは、先端側から頭部に向けて、上記第１雌ネジと螺合される第１ネジ山領域、ネジ山よりも滑らかな弾性部材密着領域が少なくとも形成されている。これにより、上記第１雄ネジの頭部が上記開口部から突出している構成であっても、上記第１雄ネジと上記第１雌ネジとを螺合させることができ、上記第１雄ネジの弾性部材密着領域に上記漏洩防止用弾性部材を密着させることができる。ここで、弾性部材密着領域はねじ山よりも滑らかな領域である。

したがって、上記第１雄ネジと上記開口部との間にクリアランスが形成されるのを抑制でき、液体が上記貫通穴より漏れることを抑制できる。なお、上記弾性部材密着領域は、弾性部材が密着しやすい形状であればよく、例えば円柱形状が好ましい。

本発明のスリットノズルは、以上のように、さらに、上記第１ネジ山形成領域の外径が、上記弾性部材密着領域の外径以下である。仮に上記第１ネジ山形成領域の外径が、上記弾性部材密着領域の外径以上である場合、上記第２片への方向と逆方向に上記第１雄ネジを変位させると、上記漏洩防止用弾性部材が上記第１ネジ山形成領域と係合し、上記漏洩防止用弾性部材が破損する恐れがある。この点、上記構成によれば、上記第１ネジ山形成領域の外径を、上記弾性部材密着領域の外径以下にしている。これにより、上記漏洩防止用弾性部材が上記第１ネジ山形成領域に係合することを抑制でき、上記漏洩防止用弾性部材の破損を抑制できるという効果を奏する。

本発明のスリットノズルは、以上のように、さらに上記第一片の外壁には座グリが形成され、上記座グリの底面部に上記貫通穴の開口部が形成されているため、上記座グリの底面部に形成されている上記貫通穴に上記第１雄ネジが挿入されることになる。

したがって、上記第１雄ネジの頭部が上記開口部から突出するように構成される場合であっても、上記第１雄ネジの頭部が、上記第１片の壁面より突出しないように構成できる。これにより、例えば、スリットノズルの搬送時に、上記第１雄ネジが破損するのを抑制できるという効果を奏する。

本発明のスリットノズルは、以上のように、さらに上記座グリの側面部に第２雌ネジが形成され、上記開口部は漏洩防止用弾性部材に覆われ、上記第２雌ネジに、上記第１雌ネジの開口部に対して上記洩防止用弾性部材を押止するための第２雄ネジが螺合されている。したがって、上記第２雄ネジを上記貫通穴の開口部側へ締めこむと、上記第２雄ネジが漏洩防止用弾性部材を押圧する。この押圧力の作用により、上記洩防止用弾性部材が上記開口部を覆った状態で、該洩防止用弾性部材を上記座グリの底面部に対して密着できる。

つまり、上記構成によれば、上記第１雄ネジとは別の機構である第２雄ネジおよび上記座グリの側面部の第２雌ネジによって、上記洩防止用弾性部材を支持していることになる。よって、上記第１雄ネジを進退移動させる際、上記第１雄ネジ対して作用する上記洩防止用弾性部材の密着性を緩めることなく進退移動できる。これにより、上記洩防止用弾性部材による液体の漏れ防止作用とは独立して上記第１雄ネジの締め込み動作が可能となるという効果を奏する。

本発明のスリットノズルは、以上のように、さらに、上記貫通穴および上記第１雄ネジが複数備えられていると共に、上記座グリも複数備えられていて、互いに隣り合う座グリを連結する流路が形成されている。これにより、上記貫通穴および上記第１雄ネジが複数備えられていると共に、上記座グリも複数備えられている場合であっても、互いに隣り合う座グリを連結する流路が形成されているため、万が一、上記開口部から液体が漏れても、スリットノズルから噴出する液体と混合することを防止できるという効果を奏する。

本発明のスリットノズルは、以上のように、さらに、上記貫通穴とほぼ同軸上であって、上記第２片の内壁に第３雌ネジが形成され、上記流路幅調整手段は、上記貫通穴に支持され、上記第３雌ネジに螺合される第３雄ネジである。したがって、上記第３雄ネジを、上記第３雌ネジに対して締めこむように回転させると、上記第３雌ネジおよび第２片を上記第１片の方向へ引き寄せることができる。これにより、上記第２片が上記第１片に近づくように変位するため、上記スリット状流路の幅を縮小調整できる。

つまり、スリットノズルに雄ネジと雌ネジとを構成するだけで流路幅調整手段を備えることができ、流路幅調整手段に対する補助板や治具をスリットノズルに併設する必要がないという効果を奏する。

本発明のスリットノズルは、以上のように、さらに、上記第１片の外壁における上記貫通穴の開口部が、漏洩防止用弾性部材に覆われているため、上記スリット状流路から上記貫通穴に液体が流れ込んでも、該流体が上記貫通穴より漏れることを抑制できるという効果を奏する。

本発明のスリットノズルは、以上のように、さらに、上記第３雄ネジは、先端側から、上記第３雌ネジと螺合される第２ネジ山領域、ねじ山よりも滑らかな弾性部材密着領域が少なくとも形成されているため、上記第３雄ネジの頭部が上記開口部から突出している構成であっても、上記第３雄ネジと上記第３雌ネジとを螺合させることができ、上記第３雄ネジの弾性部材密着領域に上記漏洩防止用弾性部材を密着させることができる。ここで、弾性部材密着領域は、ネジ山よりも滑らかな領域である。

したがって、上記雄ネジと上記開口部との間にクリアランスが形成されるのを抑制でき、液体が上記貫通穴より漏れることを抑制できるという効果を奏する。

本発明のスリットノズルは、以上のように、さらに、上記第２ネジ山形成領域の外径が、上記弾性部材密着領域の外径以下である。

仮に上記第２ネジ山形成領域の外径が、上記弾性部材密着領域の外径以上である場合、上記第２片への方向と逆方向に上記第３雄ネジを変位させると、上記漏洩防止用弾性部材が上記第２ネジ山形成領域と係合し、上記漏洩防止用弾性部材が破損する恐れがある。そこで、上記構成によれば、上記第２ネジ山形成領域の外径を、上記弾性部材密着領域の外径以下にしている。これにより、上記漏洩防止用弾性部材が上記第２ネジ山形成領域に係合することを抑制でき、上記漏洩防止用弾性部材の破損を抑制できるという効果を奏する。

本発明のスリットノズルは、以上のように、さらに、上記第一片の外壁には座グリが形成され、上記座グリの底面部に上記貫通穴の開口部が形成されているため、上記座グリの底面部に形成されている上記貫通穴に上記第３雄ネジが挿入されることになる。したがって、上記第３雄ネジの頭部が上記開口部から突出するように構成される場合であっても、上記第３雄ネジの頭部が、上記第１片の壁面より突出しないように構成できる。これにより、スリットノズルの搬送時に、上記第１雄ネジが破損するのを抑制できるという効果を奏する。

本発明のスリットノズルは、以上のように、さらに、上記座グリの側面部に第４雌ネジが形成され、上記開口部は漏洩防止用弾性部材に覆われ、上記第４雌ネジに、上記貫通穴の開口部に対して上記洩防止用弾性部材を押止するための第３雄ネジが螺合されている。これにより、上記第４雄ネジを上記貫通穴の開口部側へ締めこむと、上記第４雄ネジが漏洩防止用弾性部材を押圧する。この押圧力の作用により、上記洩防止用弾性部材が上記開口部を覆った状態で、該洩防止用弾性部材を上記座グリの底面部に対してシールできる。

つまり、上記構成によれば、上記第３雄ネジとは別の機構である第４雄ネジおよび上記座グリの側面部の第４雌ネジによって、上記洩防止用弾性部材を上記座グリの底面部に対して密着させることになる。したがって、上記第３雄ネジを進退移動させる際、上記第３雄ネジ対して作用する上記洩防止用弾性部材の密着性を緩めることなく進退移動できる。これにより、上記洩防止用弾性部材による液体の漏れ防止作用とは独立して上記第３雄ネジの締め込み動作が可能となるという効果を奏する。

本発明のスリットノズルは、以上のように、さらに、上記貫通穴および上記第３雄ネジが複数備えられていると共に、上記座グリも複数備えられていて、互いに隣り合う座グリを連結する流路が形成されている。これにより、上記貫通穴および上記第３雄ネジが複数備えられていると共に、上記座グリも複数備えられている場合であっても、互いに隣り合う座グリを連結する流路が形成されているため、万が一、上記開口部から液体が漏れても、スリットノズルから噴出する液体と混合することを防止できるという効果を奏する。

〔実施の形態１〕
本発明の一実施形態を、図１乃至図６を用いて以下説明する。図２は、本実施の形態のスリットノズル５０を示した斜視図である。スリットノズル５０は、液晶パネルなどの基板製造工程に用いられるものであり、基板に対して液体を噴出するためのものである。

ここで、上記液体としては、パネル基板を洗浄するための洗浄液、パネル基板を純水置換するための純水等がある。

図２に示すように、スリットノズル５０は、内部に備えられた液体溜に貯められている液体を、内部のスリット状流路を介して噴出口６Ａから噴出するためのノズルである。ここで、スリット状流路は、噴出口６Ａから上記液体溜までの間に切り込まれている流路である。

図１は、図２に示すスリットノズル５０のＫ−Ｋ線断面図である。以下では、液体が噴出する方向をＡ方向と規定し、流体が噴出する方向と逆向きの方向をＢ方向と規定する。

図１に示すように、スリットノズル５０は、片１（第１片）と片２（第２片）とを互いに所定間隔で対向させ、一体化した構成である。なお、スリットノズル５０のＡ方向側端部には、液体を噴出するための噴出口６Ａが形成され、スリットノズル５０のＢ方向側端部には、片１と片２とを対向配置するための対向配置用ボルト５（対向配置手段）が備えられる。また、以下では、片１と片２とが対向している方向をＣＤ方向と規定し、片２に対して片１が備えられている方向をＣ方向、片１に対して片２が備えられている方向をＤ方向と規定する。

なお、スリットノズル５０の外壁であって、片１の壁面に相当する部分を片１の外壁とし、片２の壁面に相当する部分を片２の外壁とする。また、スリットノズル５０の内壁（流路壁）であって、片１の壁面に相当する部分を片１の内壁とし、片２の壁面に相当する部分を片２の内壁とする。

片２の内壁はＡＢ方向と平行に形成されている。また、片１の内壁は、大部分がＡＢ方向に沿って平行に形成されているものの、中央部分においてはＣＤ方向に沿って凹部が形成されている。

そして、図６に示すように、片１の内壁と片２の内壁とによってスペーサ４を挟持させる。なお、スペーサ４はコの字型であると共に、コの字型の開口４ａがＡ方向側に位置するように挟持させている。また、スペーサ４は弾性材料あるいは荷重により塑性変形可能な材料からなり、漏れ防止部材としても機能する。

さらに、対向配置用ボルト５によって、片１、スペーサ４、片２とを密着固定させる。これにより、片１の内壁と片２の内壁とを、ＣＤ方向におけるスペーサ４のサイズ分だけの間隔をあけて、対向配置できる。

片１と片２とをこのように一体化することにより、Ａ方向側からＢ方向に沿って、片１の内壁と片２との内壁とが上記間隔で平行に配置されることになる。これにより、片１の内壁と片２の内壁、およびスペーサ４によって、断面Ｕ字形状のスリット状流路６が形成されることになる。なお、スリットノズル５０のＡ方向側端部では、噴出口６Ａが形成されている。また、スリットノズル５０の中央部分においては、片２の内壁および上記凹部によって、液体溜６Ｂが形成されていることになる。

以上の構成により、液体溜６Ｂに貯められている液体を、スリット状流路６に流し込み、噴出口６Ａを介して噴出することができる。

なお、以上の構成においては、片１と片２とをあえて互いに別個独立の部材としてある。これは、片１と片２とが同一部材であったとすると、長尺材料（ノズル本体）の内部をくりぬく加工によりスリットノズルを製造しなければならず、煩雑な作業を要するが、本実施の形態によれば、このような煩雑な作業を行う必要がない。

また、内部をくりぬく加工によりスリットノズルを製造する場合、タップ切りによって内部に生じるバリを除去するという煩雑な作業が必要とされるが、本実施の形態によれば、この作業は容易である。

さらに、長尺材料の内部をくりぬく加工により製造されたスリットノズルでは、流路（内壁部）にバフ研磨等の表面処理を行うのが不可能である。また、スリットに異物が挟まった場合、長尺材料の内部をくりぬく加工により製造されたスリットノズルでは分解が不可能である。しかし、本実施の形態の構成によれば、片１と片２とを互いに別個独立の部材で構成しているため、スリットノズル５０の分解を容易に行うことができる。これにより、上記表面処理を容易に行うことができると共に、スリットに異物が挟まった場合でも分解メンテナンスを容易に行うことができる。

以上、説明したように、スリットノズル５０を製造するにあたり、片１と片２とを別個の部材で構成するのが理想である。しかし、本実施形態のように、ノズル本体を互いに別部材で構成する必然性はなく、長尺材料（ノズル本体）の内部をくりぬくことによりスリットノズルを製造しても本発明の作用効果を奏する事は可能である。

つぎに、本発明の実施の一形態である流路幅調整手段について説明する。図１に示すように、片１には、その内壁から外壁を貫通する貫通穴８が形成されていて、この貫通穴８の内面には雌ネジ９（第１雌ネジ）が形成されている。

そして、雌ネジ９に対して、流路幅調整手段としての雄ネジ１０（第１雄ネジ）が螺合されている。ここで、雄ネジ１０は、その先端が片２の内壁に当接（接合ともいえる）していると共に、頭部が片１の外壁から突出している状態で貫通穴８に支持されている。

以上の構成によれば、雄ネジ１０を雌ネジ９に対して締めこむように回転させると、雄ネジ１０をＤ方向へ変位させることができ、雄ネジ１０の先端によって片２に押圧力が付加させる。これにより、片２が片１から離れるように変位するため、ＣＤ方向におけるスリット状流路の幅を拡大調整できる。一方、一旦締めこんだ雄ネジ１０を元通りに緩めると、付勢力の働く範囲内で付勢作用により片２が片１に近づくように復元変位し、ＣＤ方向におけるスリット状流路の幅を縮小調整できる。なお、上記付勢力の働く範囲を超えて流路幅を縮小調整する場合は、後述する実施形態２における別の流路幅調整手段を利用する。

なお、雄ネジ１０によりスリットノズル５０の流路幅を調整しても、片１とスペーサ４との間、または片２とスペーサ４との間から液体が漏れることはない。これは、スペーサ４は漏れ防止用の部材であり、スリットノズル５０の流路幅を調整しても、対向配置用ボルト５を緩めない限り、流路幅調整による片２の変位はスペーサ４のシール部分に及ばないからである。つまり、スペーサ４のシール作用を保っておけば、片１とスペーサ４との間、または片２とスペーサ４との間からの液漏れは発生しない。

つぎに、雄ネジ１０の具体的な構成について説明すると以下の通りである。図３は、図１の雄ネジ１０の具体的構成を示した断面図である。雄ネジ１０には、図３に示すように、先端側から順に、ネジ山領域１０Ａ（第１ネジ山領域）、円柱状領域１０Ｂ（弾性部材密着領域）、ネジ山領域１０Ｃ、頭部１０Ｄが構成されている。なお、頭部１０Ｄの外周は、ネジ山領域１０Ａ、円柱状領域１０Ｂ、ネジ山領域１０Ｃの外周よりも大きく構成されている。

そして、雄ネジ１０に対し、ナット１１、サポートリング１２、シール材１３（漏洩防止用弾性部材）が、先端側から頭部側に向けてこの順序で装着される。

なお、ナット１１には、ネジ山領域１０Ｃと螺合する雌ネジ孔が形成されている。また、サポートリング１２には、ネジ山領域１０Ａ、円柱状領域１０Ｂ、ネジ山領域１０Ｃよりも径が大きく、頭部１０Ｄよりも径が小さい貫通孔が形成されている。また、シール材１３は、円柱状領域１０Ｂに密着するように形成されている。

つまり、雄ネジ１０のネジ山領域１０Ｃとナット１１の雌ネジ孔とが螺合し、サポートリング１２の内周に雄ネジ１０が挿入され、雄ネジ１０の円柱状領域１０Ｂにシール材１３が嵌められることになる。

そして、先端をＤ方向に向け、雄ネジ１０を貫通穴８に挿入すると、図４に示すように、ネジ山領域１０Ａは雌ネジ９と螺合し、円柱状領域１０Ｂにはシール材１３が嵌め込まれる。また、シール材１３は、片１の外壁における貫通穴８の開口部を覆っている。

さらに、ネジ山領域１０Ｃはナット１１と螺合している。なお、ナット１１とシール材１３との間には、雄ネジ１０を囲っているサポートリング１２が備えられている。つまり、片１の外壁からＣ方向に向かって、シール材１３、サポートリング１２、ナット１１が、この順序で隣り合うように配置されている。

ここで、上記流路幅調整手段としての雄ネジ１０によって、スリット状流路６の幅を調整した後、ナット１１をＤ方向に向けて締めこむ。これにより、ナット１１からの押圧力がサポートリング１２に付加される。さらに、このサポートリング１２の押圧力によって、シール材１３は、円柱状領域１０Ｂおよび片１の外壁に密着されると共に、片１の外壁における貫通穴８の開口部をシールする。なお、ナット１１は、サポートリング１２およびシール材１３が緩まないように、ネジ山領域１０Ｃに対して締めこまれる。

これにより、シール材１３が、片１の外壁における貫通穴８の開口部を覆うことになる。したがって、スリット状流路６から貫通穴８に液体が流れ込んでも、該液体が上記開口部より漏れることを抑制できる。

通常、スリットノズル５０において、スリット状流路６内の液体には数ＭＰａの高圧が印加されているため、以上のように、シール材１３によって液体の漏れを防止する事は有効である。

なお、図４の構成において、サポートリング１２を備えなくても、ナット１１からの押圧力をシール材１３に直接作用させることにより、片１の外壁および円柱状領域１０Ｂにシール材１３をシールすることができる。

また、上記弾性部材密着領域は、円柱状領域１０Ｂでなくてもよく、ネジ山よりも滑らかな面であれば、いかなる構成であっても構わない。つまり、ネジ山に対してはシール材を密着させにくいため、雄ネジ１０において、ネジ山よりも滑らかな面である弾性部材密着領域を構成すればよい。ただし、雄ネジ１０に弾性部材密着領域を構成しなくても、スリット状流路６の幅を調整することは可能である。

また、上記流路幅調整手段は、図４に示す雄ネジ１０の構造に限定されるものでない。上記流路幅調整手段は、片１に支持されていて、貫通穴８を片２の方向へ進退移動することにより、片２を押圧または引き寄せるものであれば、あらゆる態様に設計変更できる。

例えば、流路幅調整手段として、図５に示すような雄ネジ１４（第１雄ネジ）であってもよい。雄ネジ１４は、先端側から順に、ネジ山領域１４Ａ（第１ネジ山領域）、円柱状領域１４Ｂ（弾性部材密着領域）、ネジ山領域１４Ｃ、頭部１４Ｄが形成されている構成である。なお、頭部１４Ｄの径は、ネジ山領域１４Ａ、円柱状領域１４Ｂ、ネジ山領域１４Ｃの径よりも大きく構成されている。

また、図５に示す雄ネジ１４には、ロックナット１５、サポートリングナット１６、シール材１３が、先端側から頭部側に向け、この順序で装着される。

なお、サポートリングナット１６には、ネジ山領域１４Ｃと螺合する雌ネジ孔が形成されていると共に、シール材と密着する領域が形成されている。また、ロックナット１５には、ネジ山領域１４Ｃと螺合する雌ネジ孔が形成されている。

つまり、雄ネジ１４は、ネジ山領域１４Ａが雌ネジ９と螺合し、円柱状領域１４Ｂにはシール材１３が嵌め込まれ、ネジ山領域１４Ｃがサポートリングナット１６の雌ネジ孔およびロックナット１５の雌ネジ孔と螺合する。以下、図５の雄ネジ１４と図４に示す雄ネジ１０との相違を説明する。

図４に示す雄ネジ１０は、ネジ山領域１０Ａの外径が円柱状領域１０Ｂの外径以上になっているが、図５に示す雄ネジ１４は、ネジ山領域１４Ａの外径が円柱状領域１４Ｂの外径以下になっている。

図４に示す雄ネジ１０の場合、雄ネジ１０を緩めることによって、Ｃ方向側へ雄ネジ１０を変位させると、シール材１３がネジ山領域１０Ａと係合し、シール材１３がネジ山領域１０Ａによって傷つく恐れがある。また、スリットノズル５０の組み立て時であってシール材１３を雄ネジ１０に装着するときにも、同様の懸念がある。

ところが、図５に示す雄ネジ１４の場合、雄ネジ１４を緩めることによって、Ｃ方向側へ雄ネジ１４を変位させても、シール材１３とネジ山領域１４Ａとの間にクリアランスが生じる。これにより、シール材１３がネジ山領域１４Ａに係合することを抑制でき、シール材１３の破損を抑制できる。

また、図５に示す雄ネジ１４の構成によれば、サポートリングナット１６がシール材１３に密着していると共に、ネジ山領域１４Ｃと螺合している。つまり、サポートリングナット１６を締めこむと、シール材１３に対し押圧力が付加されることになる。

さらに、サポートリングナット１６は、シール材１３が緩まないように、ネジ山領域１４Ｃに対して締めこまれている。つまり、図５におけるサポートリングナット１６は、シール材１３の緩み止めと、サポートリングとしての機能を果たすことになる。この点、図４におけるナット１１は、シール材１３の緩み止めの機能を果たしているが、サポートリングとしての機能は果たさない。

〔実施の形態２〕
本発明に係る別の実施の形態について、図７乃至図９に基づいて説明する。なお、説明の便宜上、実施の形態１にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

まず、本実施の形態の流路幅調整手段について説明する。図７は、図１に示すスリットノズル５０において、異なる流路幅調整手段を備えている場合の断面図である。図７に示すように、片１には、その内壁から外壁を貫通する貫通穴３０が形成されている。また、貫通穴３０とほぼ同軸上であって、片２の内壁に雌ネジ３１（第３雌ネジ）が設けられている。

さらに、流路幅調整手段としての雄ネジ３２（第３雄ネジ）が、上記貫通穴３０を貫通していると共に、雌ネジ３１に螺合されている（接合されているともいえる）。具体的に、雄ネジ３２は、先端側のネジ山が雌ネジ３１に螺合していると共に、頭部が片２の外壁から突出している状態で貫通穴３０に支持されている。

以上の構成によれば、雄ネジ３２を雌ネジ３１に対して締めこむように回転させれば、雌ネジ３１および片２をＣ方向側へ引き寄せることができる。これにより、片２が片１に近づくように変位するため、上記スリット状流路の幅を縮小調整できる。また、一旦締めこんだ雄ネジ３２を元通りに緩めると、付勢力の働く範囲で片２は片１から遠ざかるように復元変位し、ＣＤ方向におけるスリット状流路の幅を拡大調整できる。この付勢力の働く範囲を超えて流路の幅を拡大調整する場合は、既に述べた実施形態１の機構を適用する。

ここで、本実施の形態における流路幅調整手段としての雄ネジ３２の構成を、図８に示す。図８は、図７の雄ネジ３２の具体的構成を示した断面図である。

雄ネジ３２には、図８に示すように、先端側から順に、ネジ山領域３２Ａ（第２ネジ山領域）、円柱状領域３２Ｂ（弾性部材密着領域）、ネジ山領域３２Ｃ、頭部３２Ｄが構成されている。なお、頭部３２Ｄの外周は、ネジ山領域３２Ａ、円柱状領域３２Ｂ、ネジ山領域３２Ｃの外周よりも大きく構成されている。

そして、ネジ山領域３２Ａは雌ネジ３１と螺合し、円柱状領域３２Ｂにはシール材１３（漏洩防止用弾性部材）が嵌め込まれる。また、シール材１３は、片１の外壁における貫通穴８の開口部を覆っている。さらに、ネジ山領域３２Ｃはナット１１と螺合する。

この雄ネジ３２は、先端側のネジ山領域３２Ａが雌ネジ３１と螺合している点のみ、実施の形態１の雄ネジ１０と異なるだけで、その他は雄ネジ１０と同様の構成である。したがって、図８の構成により奏する機能は、図４の構成により生じる機能と同様となる。

本実施の形態の流路幅調整手段として、図９に示す構成の雄ネジ３３（第３雄ネジ）であってもよい。図９は、雄ネジ３３の具体的構成を示した断面図である。この雄ネジ３３は、先端側から順に、ネジ山領域３３Ａ、円柱状領域３３Ｂ、ネジ山領域３３Ｃ、頭部３３Ｄが形成されている構成である。

そして、ネジ山領域３３Ａが雌ネジ３１と螺合し、円柱状領域３３Ｂにはシール材１３が嵌め込まれ、ネジ山領域３３Ｃがサポートリングナット１６およびロックナット１５と螺合する構成である。なお、ネジ山領域３３Ａの外径は、円柱状領域３３Ｂの外径以下になるように構成されている。

この雄ネジ３３は、先端側のネジ山領域３３Ａが雌ネジ３１と螺合している点のみ、実施の形態１の雄ネジ１４と異なるだけで、その他は雄ネジ１４と同様の構成である。したがって、図９の構成により奏する機能は、図５の構成により生じる機能と同様となる。

以上説明したように、実施の形態１の流路幅調整手段は流路幅縮小に適していて、実施の形態２の流路幅調整手段は流路幅拡大に適している。したがって、スリットノズル５０の流路幅を拡大・縮小調整を自在に行うためには、同一のスリットノズル５０に実施の形態１の流路幅調整手段と実施の形態２の流路幅調整手段との両方を設ければよい。

〔実施の形態３〕
本発明に係る別の実施の形態について、図１０乃至図１６に基づいて説明する。なお、説明の便宜上、実施の形態１、実施の形態２にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

実施の形態１、実施の形態２においては、流路幅調整機構としての雄ネジについて説明した。本実施の形態では、スリットノズル５０の片１の外壁に座グリを形成すると共に、上記座グリの内部に上記雄ネジが備えられる構成について説明する。

図１０は、図１のスリットノズル５０に対して座グリ４０を備えた構成を示した断面図である。図１１は、図１０の座グリ４０および座グリ４０内部に備えられる構成要素を示した断面図である。

図１０に示すように、スリットノズル５０の片１の外壁面には座グリ４０が形成されている。また、図１１に示すように、座グリ４０の底面部に、雌ネジ９の形成された貫通穴８の開口部が形成されている。さらに、座グリ４０の外周は、雄ネジ４１の頭部の外周以上になるように構成されている。また、座グリ４０の側面には雌ネジ４０Ａ（第２雌ネジ、第４雌ネジ）が形成されている。

また、本実施形態における雄ネジ４１（第１雄ネジ）は、先端側から、ネジ山領域４１Ａ（第１ネジ山領域）、円柱状領域４１Ｂ、頭部４１Ｃが構成されている。なお、頭部４１Ｃの外径は、ネジ山領域４１Ａ、円柱状領域４１Ｂの外径よりも大きく構成されている。

ここで、雄ネジ４１に対して、先端側から頭部側に向けて、リング状雄ネジ４３（第２雄ネジ、第４雄ネジ）、サポートリング４２、シール材１３を順に装着する。

リング状雄ネジ４３およびサポートリング４２の内周は、頭部４１Ｃの外周より小さく、ネジ山領域４１Ａおよび円柱状領域４１Ｂの外周より大きい。また、リング状雄ネジ４３およびサポートリング４２の外周には、雌ネジ４０Ａと螺合するネジ山が形成されている。シール材１３は、その外周が上記開口部の外周より大きく、円柱状領域４１Ｂと密着するように構成されている。また、雄ネジ４１の先端側から頭部側までのサイズは、片１のＣＤ方向における長さよりも短く設定されている。

つまり、雄ネジ４１の円柱状領域４１Ｂにはシール材１３が嵌め込まれ、リング状雄ネジ４３およびサポートリング４２の内周に雄ネジ４１の円柱状領域４１Ｂが挿入される。

以上の構成において、サポートリング４２、リング状雄ネジ４３を順に座グリ４０の雌ネジ４０Ａに螺合させると共に、雄ネジ４１を先端側から貫通穴８に形成された雌ネジ９に螺合させると、図１２に示すように、雄ネジ４１のネジ山領域４１Ａが雌ネジ９と螺合する。そして、座グリ４０の底面部において、シール材１３が貫通穴８の開口部を覆うように、円柱状領域４１Ｂおよび座グリ４０の底面部に密着される。

ここで、座グリ４０の外径は雄ネジ４１の頭部の外径以上であり、雄ネジ４１の長手は片１のＣＤ方向における長さよりも短いので、雄ネジ４１の頭部４１Ｃが、片１の外壁よりＣ方向に突出しないよう構成できる。これにより、例えば、スリットノズル５０を工場内に設置する際の運搬時に、雄ネジ４１が破損するのを抑制できる。

さらに、片１の外壁における貫通穴８の開口部は、シール材１３に覆われることになる。ここで、サポートリング４２をＤ方向側に向けて締めこむと、サポートリング４２がシール材１３を座グリ４０の底面部に対して押し付けることになる。よって、シール材１３は、上記開口部を覆った状態で、上記座グリの底面部および円柱状領域４１Ｂに対して密着される。それゆえ、貫通穴８に挿入されている雄ネジ４１を進退移動させる際、雄ネジ４１に対して作用するシール材１３の密着性を緩めることなく進退移動できる。これにより、シール材１３による液体の漏れ防止作用とは独立して雄ネジ４１の締め込み動作が可能となる。

さらに、リング状雄ネジ４３をＣ方向に向けて締め込むことで、サポートリング４２がシール材１３の弾性により緩むことを防止できる。

また、図１１に示すように、サポートリング４２およびリング状雄ネジ４３には、夫々のＤ方向側の面に窪み４２Ａ・４３Ａが備えられている。そして、窪み４２Ａ・４３Ａに対してピンレンチ（図示せず）を係合することにより、サポートリング４２およびリング状雄ネジ４３を回転させて、締めこむことが可能となる。

なお、図１０乃至図１２に示す構成では、流路幅拡大調整機構（流路幅調整機構）として片１の貫通穴８に形成されている雌ネジ９と螺合する雄ネジ４１（第１雄ネジ）を使用したが、流路幅縮小調整機構（流路幅調整機構）を構成する場合、図１３乃至図１５に示すように、片２に備えられている雌ネジ３１と螺合する雄ネジ４４（第３雄ネジ）を使用する必要がある。

なお、図１３は、図１０の座グリに対し、雄ネジ４４を備えた場合の断面図であり、図１４は、図１３の座グリの具体的構成を示した断面図であり、図１５は、図１４の座グリ内部に雄ネジ４４を備えた様子を示した断面図である。

さらに、スリットノズル５０の片１に対して、雄ネジ４４を用いた機構と雄ネジ４１を用いた機構とをＡＢ方向に沿って併設する構成であってもよい。図１６（ａ）は、図１のスリットノズル５０に対して、雄ネジ４４を用いた機構と雄ネジ４１を用いた機構とをＡＢ方向に沿って併設した場合における片１の外壁を示した図であって、図１６（ｂ）は、図１のスリットノズル５０に対して、互いに併設されている雄ネジ４４と雄ネジ４１とを示した断面図である。

以上の構成において、各雄ネジ４１・４４は、それぞれに対応する座グリ４６・４７の底面部に位置する貫通穴８・３０に支持されている。さらに、図１６（ａ）に示すように、互いに隣り合う座グリ４６・４７は、夫々が流路４８によって連結されている構成である。

これにより、座グリ４６・４７の底面部に位置する貫通穴８の開口部から液体が漏れても、片１の外壁のＡ、Ｂ方向側端部にまで漏れた液体が導かれるので、噴出口６Ａから噴出する液体と混合することを防止できる。

このように構成する理由を以下説明する。座グリ４６・４７の底面部に位置する貫通穴８・３０の開口部から漏れる液体には、シール材１３に付着している異物が混入している可能性がある。したがって、上記開口部から漏れる液体と、スリットノズル５０の噴出口６Ａから噴出する液体との混合を防止しなければいけないからである。

また、図１６の構成によれば、雄ネジ４１と雄ネジ４４とが併設されている構成であるが、雄ネジ４１・４１を併設してもよいし、雄ネジ４４・４４を併設してもよい。

なお、本発明は、以下に示すように構成することも可能である。断面Ｕ字形状のスリット状流路を備えたスリットノズルにおいて、上記スリット状流路は、互いに対向する第１片の内壁と第２片の内壁との間に形成され、上記第１片の外壁から内壁を貫通する貫通穴が形成され、上記貫通穴をスリット状流路の幅方向に進退移動することにより、上記第２片を上記第１片から遠ざかる方向へ押圧または上記第１片の方へ引き寄せて、上記スリット状流路の幅を調整する流路幅調整手段が備えられている。

さらに、以下に示すように構成する事も可能である。断面Ｕ字形状のスリット状流路を備えたスリットノズルにおいて、上記スリット状流路は、互いに対向する第１片の内壁と第２片の内壁との間に形成され、上記第１片の外壁から内壁を貫通する貫通穴が形成され、上記貫通穴をスリット状流路の幅方向に進退移動することにより、上記第１片に対して上記第２片を相対的に変位させて、上記スリット状流路の幅を調整する流路幅調整手段が備えられている。

本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

本発明のスリットノズルは、液晶パネルなどの基板製造工程に用いられるものであり、基板に対して液体を噴出する用途に適用できる。また、液晶パネル以外の基板製造工程にも用いることが可能である。

図２のスリットノズルのＫ−Ｋ線断面図であって、本発明の実施の形態に係る流路幅調整機構を示した断面図である。 スリットノズルを示した斜視図である。 図１に示した雄ネジの具体的構成を示した断面図である。 図３に示す雄ネジに対し、シール材、サポートリング、ナットを備えた構成を示した断面図である。 本発明の実施の一形態に係る雄ネジであって、図４に示す雄ネジとは異なる雄ネジを示した断面図である。 図２のスリットノズルの分解図である。 図２のスリットノズルのＫ−Ｋ線断面図であって、本発明の別の実施の形態に係る流路幅調整機構を示した断面図である。 図７に示す雄ネジの具体的構成を示した断面図である。 本発明の実施の一形態に係る雄ネジであって、図８に示す雄ネジとは異なる雄ネジを示した断面図である。 図１のスリットノズルに対して座グリを備えた場合の構成を示した断面図である。 図１１は、図１０の座グリの具体的構成を示した断面図である。 図１１の座グリ内部に雄ネジを備えた様子を示した断面図である。 図１０の座グリに対し、別の雄ネジを備えた場合の断面図である。 図１３の座グリの具体的構成を示した断面図である。 図１４の座グリ内部に雄ネジを備えた様子を示した断面図である。 （ａ）は、ＡＢ方向に沿って座グリが併設されているスリットノズルの外壁を示した図であって、（ｂ）は、図１６（ａ）の座グリの構造を示した断面図である。 従来のスリットノズルを示した断面図である。

符号の説明

１ 片（第１片）
２ 片（第２片）
６ スリット状流路
８ 貫通穴
９ 雌ネジ（第１雌ネジ）
１０ 雄ネジ（第１雄ネジ）
１０Ａ ネジ山領域（第１ネジ山領域）
１０Ｂ 円柱状領域（弾性部材密着領域）
１０Ｃ ネジ山領域
１０Ｄ 頭部
１１ ナット
１２ サポートリング
１３ シール材（漏洩防止用弾性部材）
１４ 雄ネジ（第１雄ネジ）
１４Ａ ネジ山領域（第１ネジ山領域）
１４Ｂ 円柱状領域（弾性部材密着領域）
１４Ｃ ネジ山領域
１４Ｄ 頭部
１５ ロックナット
１６ サポートリングナット
３０ 貫通穴
３１ 雌ネジ（第３雌ネジ）
３２ 雄ネジ（第３雄ネジ）
３２Ａ ネジ山領域（第２ネジ山領域）
３２Ｂ 円柱状領域
３２Ｃ ネジ山領域
３２Ｄ 頭部
３３ 雄ネジ
３３Ａ ネジ山領域
３３Ｂ 円柱状領域
３３Ｃ ネジ山領域
３３Ｄ 頭部
４０ 座グリ
４０Ａ 雌ネジ（第２雌ネジ、第４雌ネジ）
４１ 雄ネジ（第１雄ネジ）
４１Ａ ネジ山領域
４１Ｂ 円柱状領域
４１Ｃ 頭部
４２ サポートリング
４３ リング状雄ネジ（第２雄ネジ、第４雄ネジ）
４４ 雄ネジ（第３雄ネジ）
４８ 流路
５０ スリットノズル

Claims (6)

1. 断面Ｕ字形状のスリット状流路を備え、
   上記スリット状流路は、互いに対向する第１片の内壁と第２片の内壁との間に形成され、
   上記第１片の外壁から内壁を貫通する貫通穴が形成され、
   上記貫通穴を上記第２片の方向に沿って進退移動することにより、上記第２片を押圧または引き寄せて、上記スリット状流路の幅を調整する流路幅調整手段が備えられたスリットノズルにおいて、
   上記流路幅調整手段には、上記進退移動の方向を軸方向とした円柱面が形成され、
   この円柱面は、上記進退移動によって、第１片の外壁側の上記貫通穴の開口から上記貫通穴に出入りする部分であり、
   上記開口の周囲における上記第１片の外壁と上記円柱面とに密着することによって、上記開口を塞ぐ漏洩防止用弾性部材が備えられ、
   上記流路幅調整手段とは別部材であって、上記漏洩防止用弾性部材を押圧することによって、上記開口の周囲における上記第１片の外壁と上記円柱面とに当該漏洩防止用弾性部材を密着させる押圧手段が備えられ、
   上記貫通穴の内面に第１雌ネジが形成され、
   上記流路幅調整手段は、上記第１雌ネジに螺合され、先端が上記第２片の内壁と当接する第１雄ネジであり、
   上記第１片の外壁には座グリが形成され、上記座グリの底面部に上記開口が形成され、
   さらに、上記座グリの側面部に第２雌ネジが形成され、
   上記押圧手段は、上記第２雌ネジに螺合されていると共に、上記底面部に向けて上記漏洩防止用弾性部材を押圧するための第２雄ネジであることを特徴とするスリットノズル。
2. 上記貫通穴および上記第１雄ネジが複数備えられていると共に、上記座グリも複数備えられていて、
   互いに隣り合う座グリを連結する流路が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のスリットノズル。
3. 断面Ｕ字形状のスリット状流路を備え、
   上記スリット状流路は、互いに対向する第１片の内壁と第２片の内壁との間に形成され、
   上記第１片の外壁から内壁を貫通する貫通穴が形成され、
   上記貫通穴を上記第２片の方向に沿って進退移動することにより、上記第２片を押圧または引き寄せて、上記スリット状流路の幅を調整する流路幅調整手段が備えられたスリットノズルにおいて、
   上記流路幅調整手段には、上記進退移動の方向を軸方向とした円柱面が形成され、
   この円柱面は、上記進退移動によって、第１片の外壁側の上記貫通穴の開口から上記貫通穴に出入りする部分であり、
   上記開口の周囲における上記第１片の外壁と上記円柱面とに密着することによって、上記開口を塞ぐ漏洩防止用弾性部材が備えられ、
   上記流路幅調整手段とは別部材であって、上記漏洩防止用弾性部材を押圧することによって、上記開口の周囲における上記第１片の外壁と上記円柱面とに当該漏洩防止用弾性部材を密着させる押圧手段が備えられ、
   上記貫通穴とほぼ同軸上であって、上記第２片の内壁に、第３雌ネジが形成され、
   上記流路幅調整手段は、上記貫通穴に支持され、上記第３雌ネジに螺合される第３雄ネジであり、
   上記第１片の外壁には座グリが形成され、上記座グリの底面部に上記開口が形成され、
   さらに、上記座グリの側面部に第４雌ネジが形成され、
   上記押圧手段は、上記第４雌ネジに螺合されていると共に、上記底面部に向けて上記漏洩防止用弾性部材を押圧するための第４雄ネジであることを特徴とするスリットノズル。
4. 上記貫通穴および上記第３雄ネジが複数備えられていると共に、上記座グリも複数備えられていて、
   互いに隣り合う座グリを連結する流路が形成されていることを特徴とする請求項３に記載のスリットノズル。
5. 断面Ｕ字形状のスリット状流路を備えたスリットノズルにおいて、
   上記スリット状流路は、互いに対向する第１片の内壁と第２片の内壁との間に形成され、
   上記第１片の外壁から内壁を貫通する貫通穴が形成され、
   上記貫通穴を上記第２片の方向に沿って進退移動することにより、上記第２片を押圧または引き寄せて、上記スリット状流路の幅を調整する流路幅調整手段が備えられ、
   上記貫通穴の内面に第１雌ネジが形成され、
   上記流路幅調整手段は、上記第１雌ネジに螺合され、先端が上記第２片の内壁と当接する第１雄ネジであり、
   上記第１片の外壁には座グリが形成され、上記座グリの底面部に上記貫通穴の開口部が形成されており、
   さらに、上記座グリの側面部に第２雌ネジが形成され、上記開口部は漏洩防止用弾性部材に覆われ、
   上記第２雌ネジに、上記第１雌ネジの開口部に対して上記漏洩防止用弾性部材を押止するための第２雄ネジが螺合されていることを特徴とするスリットノズル。
6. 断面Ｕ字形状のスリット状流路を備えたスリットノズルにおいて、
   上記スリット状流路は、互いに対向する第１片の内壁と第２片の内壁との間に形成され、
   上記第１片の外壁から内壁を貫通する貫通穴が形成され、
   上記貫通穴を上記第２片の方向に沿って進退移動することにより、上記第２片を押圧または引き寄せて、上記スリット状流路の幅を調整する流路幅調整手段が備えられ、
   上記貫通穴とほぼ同軸上であって、上記第２片の内壁に第３雌ネジが形成され、
   上記流路幅調整手段は、上記貫通穴に支持され、上記第３雌ネジに螺合される第３雄ネジであり、
   上記第１片の外壁には座グリが形成され、上記座グリの底面部に上記貫通穴の開口部が形成され、
   さらに、上記座グリの側面部に第４雌ネジが形成され、上記開口部は漏洩防止用弾性部材に覆われ、
   上記第４雌ネジに、上記貫通穴の開口部に対して上記漏洩防止用弾性部材を押止するための第４雄ネジが螺合されていることを特徴とするスリットノズル。

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