JP3970938B2 - 一定流速の流体ポンプ装置 - Google Patents

Description

発明の技術分野
本発明は流体の流れをコントロールするシステムに関する。特に、本発明は治療中の患者に流体を注入及び患者から流体を引き出すシステムに関する。さらに、特に本発明は、一定流速で患者に流体を注入及び患者から流体を引き出すシステムに関する。
背景技術
フォトフェレーシスは、血液から白血球（white cells）を分離し、光活性剤を添加し、白血球にＵＶ照射し、その後患者に再び注入する処置である。既知のフォトフェレーシスシステムでは、血液は蠕動性ローラポンプで汲み上げられる。このようなローラポンプには複雑なチューブセットの使用が必要であり、高い出口圧力条件下で細胞が損傷する可能性がある。他の場合では、血液は別々のポンプチャンバとバルブによっても汲み上げられるが、これらも複雑なチューブセットを必要とする。このような別々のポンプチャンバとバルブは、高い出口圧力下でも、細胞を損傷することが少ないと考えられる。
駆動システムは永久設備であるがチューブセットは処置ごとに取り替えなくてはならないので、関連するチューブ系のサイズと複雑さを減らすことができるなら、その結果として、より複雑な駆動システムのコストを含めて、フォトフェレーシスシステムに非常に大きな進歩をもたらす。このような結果は、腹膜透析（peritoneal dialysis）システムにより達成されている。腹膜透析システムは、透析物の流れを、プラスチック膜を通って成形カセットに伝わる空気パルスにより駆動されるバルブとダイヤフラムポンプによって、全てコントロールする。カセットは、患者へのラインと透析物コンテナからの短い移送ラインを除いて、既存の複雑なチューブセットの全ての部材を含む。ダイヤフラムへ送る空気の圧力変化を継続して分析し、コンピュータでそれらを処理し、その結果継続して訂正することにより、空気パルスをコントロールする。このシステムは正確に移送流体を測定することができるが、流速は一定にできない。腹膜透析システムに対し、継続して血液細胞分離をするフォトフェレーシスシステム等のシステムは、一定の流速と、その流速のコントロール能力の両方が必要である。
従って、本発明の目的は正確で一定の流速（flow rate）が得られ、疾患のフォトフェレーシス処置の間、血液細胞の分離を容易にするポンプを提供することである。
本発明の上述及び他の目的と効果は、以下の説明と請求の範囲から明らかとなり、本発明の実施により理解されるであろう。
発明の開示
本発明は、一定速度（rate）の流体ポンプ装置に関する。可動外面を有する第一の駆動チャンバと、可動外面を有する第二の駆動チャンバが設けられる。この装置は、さらに、複数の内部通路を有するブロックを有し、内部通路は、流体をブロックに入れる第一の通路と、流体をブロックから一定速度で放出する第二の通路を有する。ブロックは第一の通路及び第二の通路とつながって流体が流れる第一の内側チャンバ及び第二の内側チャンバを有する。第一の内側チャンバは第一の駆動チャンバの可動外面と合う第一の流動面を有し、第二の内側チャンバは第二の駆動チャンバの可動外面と合う第二の流動面を有する。第一の流動面に負圧をかけると同時に第二の流動面に負圧をかけ、さらに第一の流動面に負圧をかけると同時に第二の流動面に負圧をかける少なくとも１つのアクチュエータが設けられる。アクチュエータは第一の駆動チャンバ及び第二の駆動チャンバにより第一の流動面及び第二の流動面にそれぞれ連結される。
【図面の簡単な説明】
図１は、本発明の好ましい実施形態による一定速度で流体を汲み上げるシステムを示す断面図である。
図２は、本発明の他の好ましい実施形態による一定速度で流体を汲み上げるシステムを示す断面図である。
図３は図２の一部拡大図である。
図４は図２の別の一部拡大図である。
図５は本発明の他の好ましい実施形態による一定速度で流体を汲み上げるシステムを示す断面図である。
図６は本発明の他の好ましい実施形態による一定速度で流体を汲み上げるシステムを示す断面図である。
発明を実施するための最良の形態
本発明の上記及び他の効果と目的の理解のために、図面に図示される特別の実施形態を参照して、本発明をより詳細に説明する。これらの図面は本発明の代表的な実施形態を示すだけであり、本発明の範囲を限定するものではない。これらの図面を用いて本発明とその最良の形態を詳細に説明する。
図１は、本発明の好ましい実施形態による一定速度で流体を汲み上げる（pumping）システム１００を示す図である。システム１００には、可動外面１０２ａを有する第一の駆動チャンバ１０２と、可動外面１０４ａを有する第二の駆動チャンバ１０４がある。可動外面１０２ａ，１０４ａは、例えば柔軟な膜等の柔軟物質から形成される。第一の駆動チャンバ１０２は一定量の駆動流体１０２ｂを含み、第二の駆動チャンバ１０４は一定量の駆動流体１０４ｂを含む。
また、システム１００は第一の通路１１２を有する一体ブロック１１０を含み、第一の通路１１２により流体をブロック１１０へ入れる。ブロック１１０は、ブロック１１０から流体を一定速度で放出するための第二の通路１１４も含む。ブロック１１０は、第一の内側チャンバ１２０と第二の内側チャンバ１３０を含む。内側チャンバ１２０および内側チャンバ１３０は、バルブ１７０，１７２，１７４，１７６を介して第一の通路１１２と第二の通路１１４に連結する。第一の内側チャンバ１２０は、第一の駆動チャンバ１０２の可動外面１０２ａと合う流動面１２０ａを有する。同様に第二の内側チャンバ１３０は、第二の駆動チャンバ１０４の可動外面１０４ａと合う流動面１３０ａを有する。好ましくは、流動面１２０ａおよび流動面１３０ａは柔軟膜物質から形成される。好ましくは、流動面１２０ａを可動外面１０２ａに対し機械的力により封止して、空気が面１０２ａおよび面１２０ａの間に入らないようにする。同様に好ましくは、流動面１３０ａを可動外面１０４ａに対し機械的力により封止して、空気が面１０４ａと面１３０ａの間に入らないようにする。図１に示す好ましい実施形態では、流動面１２０ａおよび流動面１３０ａは柔軟膜物質の連続する一片からひとまとめに形成されてブロック１１０の上面全てを覆い、ブロック１１０から流体が漏れずにブロック１１０を血液ポンプシステム１００の残り部分から外せるようにする。
図１に示すように、システム１００は、さらに、駆動チャンバ１０２と連結する第一のピストン１４０と、駆動チャンバ１０４と連結する第二のピストン１５０を含む。第一のリードネジ１４２は第一のピストン１４０に固定され、第二のリードネジ１５２は第二のピストン１５０に固定される。第一のリードネジ１４２と第二のリードネジ１５２は共通の螺旋ドライブギア１６２によりモータ１６０に連結される。モータ１６０が回転すると、共通の螺旋ドライブギア１６２が、第一のリードネジ１４２及び第二のリードネジ１５２（及びピストン１４０，１５０）を同じスピードで垂直方向で反対方向に動かす。従って、図１に示すように、リードネジ１４２がピストン１４０を上に動かすと、同時にリードネジ１５２はピストン１５０を下に動かす。同様に、リードネジ１４２がピストン１４０を下に動かすと、同時にリードネジ１５２はピストン１５０を上に動かす。モータ１６０はポンプコントローラ（図示せず）に連結される。
ピストン１４０が上に動くと、駆動チャンバ１０２の駆動流体１０２ｂが可動外面１０２ａを上に引き上げ、それにより流動面１２０ａに負圧がかかり、流動面１２０ａは上に伸びる。流動面１２０ａが上に伸びると、流体が通路１１２から内側チャンバ１２０に引き込まれる。上述したように、ピストン１４０が上に動くと同時に、ピストン１５０は下に動く。ピストン１５０が下に動くと、駆動チャンバ１０４の駆動流体１０４ｂが可動外面１０４ａを下に伸ばし、それにより流動面１３０ａに正圧がかかり、流動面１３０ａは下に伸びる。流動面１３０ａが下に伸びると、内側チャンバ１３０からの流体がブロック１１０から通路１１４を通って放出される。ピストン１４０がその最上位置に達し、同時にピストン１５０がその最下位置に達すると、モータ１６０とギアドライブ１６２は直ちにピストン１４０とピストン１５０の向きを反対にし、ピストン１４０は下に動き始め、同時にピストン１５０は上に動き始める。ピストン１４０が下に動くと、駆動チャンバ１０２の駆動流体１０２ｂが可動外面１０２ａを下に伸ばし、それにより流動面１２０ａに正圧がかかり、流動面１２０ａは下に伸びる。流動面１２０ａが下に伸びると、内側チャンバ１２０からの流体がブロック１１０から内側通路１１４を通って放出される。ピストン１５０が上に動くと（上述したように、このことはピストン１４０が下に動くと生じる）、駆動チャンバ１０４の駆動流体１０４ｂが可動外面１０４ａを上に引き上げ、それにより流動面１３０ａに負圧がかかり、流動面１３０ａは上に伸びる。流動面１３０ａが上に伸びると、流体が通路１１２から内側チャンバ１３０に引き込まれる。ピストン１４０がその最下位置に達し、同時にピストン１５０がその最上位置に達すると、モータ１６０とギアドライブ１６２は直ちにピストン１４０とピストン１５０の向きを反対にし、上記のプロセスが別のサイクルで繰り返される。ピストン１４０とピストン１５０が同じスピードで反対方向に連続して動くことにより、システム１００はブロック１１０を通して一定の流速で流体を汲み上げることができる。
図１に示すように、４つのバルブ１７０，１７２，１７４，１７６を用いてシステム１００の操作中ブロック１１０を通る流体の流れをコントロールする。各バルブ１７０，１７２，１７４，１７６が開く位置にあると、流体はバルブを通って流れ、閉じる位置にあると、流体がバルブの後に動くのが妨げられる。バルブ１７０は通路１１４と内側チャンバ１２０と連結し、通路１１４と内側チャンバ１２０の間の流体の動きをコントロールする。バルブ１７２は通路１１２と内側チャンバ１２０と連結し、通路１１２と内側チャンバ１２０の間の流体の動きをコントロールする。バルブ１７４は通路１１２と内側チャンバ１３０と連結し、通路１１２と内側チャンバ１３０の間の流体の動きをコントロールする。バルブ１７６は通路１１４と内側チャンバ１３０と連結し、通路１１４と内側チャンバ１３０の間の流体の動きをコントロールする。ソレノイドアクチュエータ１７０ａ，１７２ａ，１７４ａ，１７６ａはバルブ１７０，１７２，１７４，１７６にそれぞれ連結し、バルブを開く位置と閉じる位置の間を動かす。ソレノイドアクチュエータ１７０ａ，１７２ａ，１７４ａ，１７６ａの各々をポンプコントローラ（図示せず）に連結する。コントローラは、ピストン１４０およびピストン１５０がそれらのストロークの端に達したら、モータ１６０の向きとバルブ１７０，１７２，１７４，１７６の位置を反対にするために起動するシングルスイッチシステムでよい。
好ましい実施形態では、ポンプコントローラは、バルブ１７４が閉じた位置にあるとき、バルブ１７２を開いた位置に維持する。コントローラは、バルブ１７４が開いた位置にあるとき、バルブ１７２を閉じた位置に維持する。コントローラは、バルブ１７６が開いた位置にあるとき、バルブ１７０を開いた位置に維持する。コントローラは、バルブ１７６が開いた位置にあるとき、バルブ１７０を閉じた位置に維持する。バルブ１７０，１７２，１７４，１７６の操作をこのようにコントロールすることにより、本発明は、確実に、どの時点においても通路１１２からの流体を内側チャンバ１２０および内側チャンバ１３０の１つだけに入れ、どの時点においても流体を内側チャンバ１２０および内側チャンバ１３０の１つだけから（通路１１４を通って）放出する。また、好ましい実施形態では、コントローラ（モータ１６０に連結している）はバルブ１７２およびバルブ１７６が閉じた位置にありバルブ１７０およびバルブ１７４が開いた位置にあるときだけ、駆動チャンバ１０２の面１０２ａが流動面１２０ａに正圧をかけるように機能し、またコントローラは、バルブ１７２およびバルブ１７６が開いた位置にありバルブ１７０およびバルブ１７４が閉じた位置にあるときだけ、駆動チャンバ１０２の面１０２ａが流動面１２０ａに負圧をかけるように機能し、コントローラはバルブ１７２およびバルブ１７６が閉じた位置にあり、バルブ１７０と１７４が開いた位置にあるときだけ駆動チャンバ１０４の面１０４ａが流動面１３０ａに負圧をかけるように機能し、またコントローラはバルブ１７２およびバルブ１７６が開いた位置にあり、バルブ１７０およびバルブ１７４が閉じた位置にあるときだけ駆動チャンバ１０４の面１０４ａが流動面１３０ａに正圧をかけるように機能する。
図２は、本発明の他の好ましい実施形態による一定速度で流体を汲み上げるシステム２００の断面を示す図である。図２で使用する図１と同じ番号は、図１で既に説明した部材を示す。システム２００では、システム１００の駆動チャンバ１０２，１０４およびピストン１４０，１５０を、剛体駆動ブロック１０３，１０５および駆動部材１０６，１０７に置き換えたことを除くとシステム１００とほぼ同様に機能する。剛体駆動ブロック１０３は駆動部材１０６によりリードネジ１４２に機械的に連結し、剛体駆動ブロック１０５は駆動部材１０７によりリードネジ１５２に機械的に連結する。駆動チャンバ１０２が流動的な可動外面１０２ａを有するシステム１００に対して、システム２００の駆動ブロック１０３は堅い可動外面１０３ａを有する。同様に、システム２００の駆動ブロック１０５は堅い可動外面１０５ａを有する。好ましくは、駆動ブロック１０３，１０５の可動外面１０３ａ，１０５ａはそれぞれ面１２０ａ，１３０ａに結合する。図３に示すように、好ましくは、丸まった（rolling）ダイヤフラム１２１を使用して、ブロック１０３，１０５をブロック１１０に封止する。これらの丸まったダイヤフラム１２１は、ブロック１０３，１０５をブロック１１０に封止するのと同時に、ブロック１０３，１０５をブロック１１０に対して可動とするように機能する。図４に示すように、各バルブ１７０，１７２，１７４，１７６は丸まったダイヤフラム１２１とＯ−リング１２２によりブロック１１０に同様に封止される。図４に示す丸まったダイヤフラム１２１とＯ−リング１２２は、バルブ１７０，１７２，１７４，１７６をブロック１１０に封止するのと同時に、これらのバルブをブロック１１０に対して可動とするように機能する。システム２００の好ましい実施形態では、丸まったダイヤフラム１２１と流動面１２０および流動面１３０ａは柔軟膜物質の連続する一片からひとまとめに形成されてブロック１１０の上面全てを覆い、ブロック１１０から流体が漏れずにブロック１１０をシステム２００の残り部分から外せるようにする。
図５は、本発明の他の好ましい実施形態による一定速度で流体を汲み上げるシステム３００の断面を示す図である。図５で使用する図１と同じ番号は、図１で既に説明した部材を示す。システム３００では、システム１００のネジ１４２，１５２，１６２とピストン１４０，１５０を、駆動ネジ１６３，１６４とシリンダ１８０に置き換えたことを除くとシステム１００とほぼ同様に機能する。シリンダ１８０は、シリンダ１８０の内部を２つの別々の区画１８０ａ，１８０ｂに分ける可動壁１８１を含む。区画１８０ａは流体導管１０２ｃにより駆動チャンバ１０２に連結し、区画１８０ｂは流体導管１０４ｃにより駆動チャンバ１０４に連結する。システム３００の操作の間、一定量の駆動流体１０２ｂが駆動チャンバ１０２、流体導管１０２ｃ及び区画１８０ａを満たす。同様にシステム３００の操作の間、一定量の駆動流体１０４ｂが駆動チャンバ１０４、流体導管１０４ｃ及び区画１８０ｂを満たす。区画１８０ａ，１８０ｂは可動部材１８１により互いに隔離され、区画１８０ａの駆動流体１０２ｂは区画１８０ｂへ入らず、区画１８０ｂの駆動流体１０４ｂは区画１８０ａへ入らない。システム３００では、区画１８０ａ，１８０ｂの個々の容積は可動壁１８１を「Ｘ」軸に沿って前後に移動することにより周期的に変動する。可動壁１８１が周期的に動くことにより、図１について上述したよう駆動流体１０２ｂ，１０４ｂは流動面１０２ａ，１０４ａを伸ばしたり引き込んだりして、面１２０ａ，１３０ａに正または負の圧力を均しい大きさだが反対の方向に周期的にかける。ドライブネジ１６３，１６４がモータ１６０に連結し、可動壁１８１を「Ｘ」軸に沿って移動させる。
図６は本発明の他の好ましい実施形態による、一定速度で流体を汲み上げるシステム４００の断面を示す図である。図６で使用する図１及び図５と同じ番号は、図１及び図５で既に説明した部材を示す。システム４００では、システム３００のネジ１６２，１６３を、モータを可動壁１８１に直接連結する１つのダイレクトドライブネジ１６５に置き換えたことを除くとシステム３００とほぼ同様に機能する。
本発明の好ましい実施形態では、図１乃至図６に示すシステムを、患者に注入する又は患者から抽出する血液をポンプするのに使用する。本発明を血液をポンプするのに使用するとき、一体ブロック１１０は使い捨て物質から製造し、血液ポンプシステムの残りの部分に取り外し可能に固定される。この実施形態では、患者の血流をポンプする前で、処置の始めに、新しい滅菌一体ブロック１１０を血液ポンプシステムの残りの部分に取りつけ、処置が終了した後、使用したブロック１１０を血液ポンプの残りの部分から外して廃棄する。
上記の好ましい実施形態では、本発明は血液又は血液成分を含む他の流体を汲み上げるのに使用するか、当業者は本発明は他の種類の流体を汲み上げるのに使用できることを理解するであろう。さらに、本発明は好ましい実施形態を参照して説明したが、請求の範囲に記載される発明から離れることなく、構造及び方法の工程に、当業者に知られている様々な変更を加えることができる。

Claims (17)

1. 一定速度の流体ポンプ装置において、
   （Ａ）可動外面を有する第一の駆動チャンバと、
   （Ｂ）可動外面を有する第二の駆動チャンバと、
   （Ｃ）複数の内部通路を有するブロックであって、前記内部通路は流体を前記ブロックに入れる第一の通路と前記流体を前記ブロックから一定速度で放出する第二の通路を有し、前記ブロックは前記第一の通路及び第二の通路と流体連通している第一の内側チャンバ及び第二の内側チャンバを有し、前記第一の内側チャンバは前記第一の駆動チャンバの可動外面と合う第一の流動面を有し、前記第二の内側チャンバは前記第二の駆動チャンバの可動外面と合う第二の流動面を有し、
   （Ｄ）前記第一の流動面に正圧をかけると同時に前記第二の流動面に負圧をかけ、さらに前記第一の流動面に負圧をかけると同時に前記第二の流動面に正圧をかける少なくとも１つのアクチュエータであって、前記少なくとも１つのアクチュエータは前記第一の駆動チャンバ及び第二の駆動チャンバにより前記第一の流動面及び第二の流動面にそれぞれ連結され、前記少なくとも１つのアクチュエータは、前記第一の駆動チャンバに連結する第一のピストンと、前記第二の駆動チャンバに連結する第二のピストンから形成され、前記第一のピストンはそこに固定される第一のリードネジを有し、前記第二のピストンはそこに固定される第二のリードネジを有し、前記第一のリードネジ及び第二のリードネジは共通の螺旋ドライブギアにより１つのモータに連結される
   一定速度の流体ポンプ装置。
2. 前記第一の駆動チャンバの可動外面と前記第二の駆動チャンバの可動外面は堅い壁から形成され、前記第一の流動面及び第二の流動面は柔軟膜から形成され、前記第一の駆動チャンバの可動外面は前記第一の流動面に封止され、前記第二の駆動チャンバの可動外面は前記第二の流動面に封止される請求の範囲１記載の装置。
3. 前記第一の駆動チャンバの可動外面と前記第二の駆動チャンバの可動外面は柔軟膜から形成され、前記第一の流動面及び第二の流動面は一片の柔軟膜から形成される請求の範囲１記載の装置。
4. 前記第一の駆動チャンバはそこに含まれる駆動流体の第一の容量を有し、前記第二の駆動チャンバはそこに含まれる駆動流体の第二の容量を有し、前記第一の容量及び第二の容量は一定である請求の範囲３記載の装置。
5. 一定速度の流体ポンプ装置において、
   （Ａ）可動外面を有する第一の駆動チャンバと、
   （Ｂ）可動外面を有する第二の駆動チャンバと、
   （Ｃ）複数の内部通路を有するブロックであって、前記内部通路は流体を前記ブロックに入れる第一の通路と前記流体を前記ブロックから一定速度で放出する第二の通路を有し、前記ブロックは前記第一の通路及び第二の通路と流体連通している第一の内側チャンバ及び第二の内側チャンバを有し、前記第一の内側チャンバは前記第一の駆動チャンバの可動外面と合う第一の流動面を有し、前記第二の内側チャンバは前記第二の駆動チャンバの可動外面と合う第二の流動面を有し、
   （Ｄ）前記第一の流動面に正圧をかけると同時に前記第二の流動面に負圧をかけ、さらに前記第一の流動面に負圧をかけると同時に前記第二の流動面に正圧をかける少なくとも１つのアクチュエータであって、前記少なくとも１つのアクチュエータは前記第一の駆動チャンバ及び第二の駆動チャンバにより前記第一の流動面及び第二の流動面にそれぞれ連結され、
   （Ｅ）さらに、可動壁により隔離される第一のチャンバ及び第二のチャンバを有するシリンダを有し、前記シリンダの第一のチャンバは前記第一の駆動チャンバと流体連通し、前記シリンダの第二のチャンバは前記第二の駆動チャンバと流体連通し、前記少なくとも１つのアクチュエータは前記可動壁と連結するモータから構成されて、前記シリンダ内の前記可動壁の位置を変える
   一定速度の流体ポンプ装置。
6. 前記モータと前記可動壁は少なくとも１つの螺旋ドライブギアにより連結している請求の範囲５記載の装置。
7. 前記第一の駆動チャンバの可動外面と前記第二の駆動チャンバの可動外面は柔軟膜から形成され、前記第一の流動面及び第二の流動面は一片の柔軟膜から形成される請求の範囲５記載の装置。
8. 前記第一の駆動チャンバ、前記シリンダの第一のチャンバ及び前記第一の駆動チャンバと前記シリンダの第一のチャンバを連結する第一の導管は、ひとまとめに、そこに含まれる駆動流体の第一の容量を有し、前記第二の駆動チャンバ、前記シリンダの第二のチャンバ及び前記第二の駆動チャンバと前記シリンダの第二のチャンバを連結する第二の導管は、ひとまとめに、そこに含まれる駆動流体の第二の容量を有し、前記第一の容量及び第二の容量は一定である請求の範囲７記載の装置。
9. 一定速度の流体ポンプ装置において、
   （Ａ）可動外面を有する第一の駆動チャンバと、
   （Ｂ）可動外面を有する第二の駆動チャンバと、
   （Ｃ）複数の内部通路を有するブロックであって、前記内部通路は流体を前記ブロックに入れる第一の通路と前記流体を前記ブロックから一定速度で放出する第二の通路を有し、前記ブロックは前記第一の通路及び第二の通路と流体連通している第一の内側チャンバ及び第二の内側チャンバを有し、前記第一の内側チャンバは前記第一の駆動チャンバの可動外面と合う第一の流動面を有し、前記第二の内側チャンバは前記第二の駆動チャンバの可動外面と合う第二の流動面を有し、
   （Ｄ）前記第一の流動面に正圧をかけると同時に前記第二の流動面に負圧をかけ、さらに前記第一の流動面に負圧をかけると同時に前記第二の流動面に正圧をかける少なくとも１つのアクチュエータであって、前記少なくとも１つのアクチュエータは前記第一の駆動チャンバ及び第二の駆動チャンバにより前記第一の流動面及び第二の流動面にそれぞれ連結され、前記流体は患者からの血液細胞を含む
   一定速度の流体ポンプ装置。
10. 前記装置を前記患者に使用した後、前記ブロックは廃棄するのに適合し、前記第一の駆動チャンバ及び第二の駆動チャンバと前記少なくとも１つのアクチュエータは次の患者に再使用するのに適合した請求の範囲９記載の装置。
11. 前記少なくとも１つのアクチュエータは前記第一の駆動チャンバ及び第二の駆動チャンバと流体連通している請求の範囲１、５または９記載の装置。
12. 前記少なくとも１つのアクチュエータは前記第一の駆動チャンバ及び第二の駆動チャンバの可動外面と流体連通している請求の範囲１１記載の装置。
13. さらに、前記第一の通路と前記第一の内側チャンバの間の流体の動きをコントロールする前記第一の通路に連結する第一のバルブと、前記第一の通路と前記第二の内側チャンバの間の流体の動きをコントロールする前記第一の通路に連結する第二のバルブと、前記第二の通路と前記第一の内側チャンバの間の流体の動きをコントロールする前記第二の通路に連結する第三のバルブと、前記第二の通路と前記第二の内側チャンバの間の流体の動きをコントロールする前記第二の通路に連結する第四のバルブとを有し、前記第一、第二、第三のバルブ及び第四のバルブは各々開いた位置と閉じた位置がある請求の範囲１、５または９記載の装置。
14. さらに、前記第二のバルブが閉じた位置にあるとき前記第一のバルブを開いた位置に維持し、前記第二のバルブが開いた位置にあるとき前記第一のバルブを閉じた位置に維持し、前記第四のバルブが閉じた位置にあるとき前記第三のバルブを開いた位置に維持し、前記第四のバルブが開いた位置にあるとき前記第三のバルブを閉じた位置に維持するコントローラを有する請求の範囲１３記載の装置。
15. 前記コントローラは前記少なくとも一つのアクチュエータに連結し、前記第一のバルブ及び第四のバルブが閉じた位置にあって前記第二のバルブ及び第三のバルブが開いた位置にあるときだけ、前記少なくとも１つのアクチュエータが前記第一の流動面に正圧をかけるように機能し、さらに前記コントローラは、前記第一のバルブ及び第四のバルブが開いた位置にあって前記第二のバルブ及び第三のバルブが閉じた位置にあるときだけ、前記少なくとも１つのアクチュエータが前記第一の流動面に負圧をかけるように機能する請求の範囲１４記載の装置。
16. 前記コントローラは、前記第一のバルブ及び第四のバルブが閉じた位置にあって前記第二のバルブ及び第三のバルブが開いた位置にあるときだけ、前記少なくとも１つのアクチュエータが前記第二の流動面に負圧をかけるように機能し、さらに前記コントローラは、前記第一のバルブ及び第四のバルブが開いた位置にあって前記第二のバルブ及び第三のバルブが閉じた位置にあるときだけ、前記少なくとも１つのアクチュエータが前記第二の流動面に正圧をかけるように機能する請求の範囲第１５項記載の装置。
17. さらに、第一、第二、第三のソレノイド及び第四のソレノイドが前記コントローラに連結し、それぞれ前記第一、第二、第三のバルブ及び第四のバルブを作動する請求の範囲第１４項記載の装置。

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