JP3970813B2 - Film removing apparatus and film removing method - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フィルム除去装置及びフィルム除去方法に関し、例えば、ガラス基板のフィルムを除去するための剥離、捕集、体積減量(または圧縮)などの一連の工程を効率よく行うことのできるフィルム除去装置及びフィルム除去方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
周知のように、TFT−LCD(薄膜トランジスタ駆動カラー液晶ディスプレイ)、PDP(プラズマディスプレイパネル)、EL(エレクトロルミネセンス)などの平面ディスプレイ(フラットディスプレイ)の製造分野で用いられるガラス基板は、ガラス溶解炉で溶解された水ガラスを溶解成形器に供給してガラス基板を製造した後、1次規格に合うように切断し、その表面に保護用フィルムをコーティングしてガラス基板の加工ラインに運ぶ。ガラス基板の加工ラインでは、ガラス基板からフィルムを剥離した後、ガラス基板を平面ディスプレイの規格に合うサイズに再切断する。そして、その後のコーティング工程で、ガラス基板の表面に、例えば絶縁膜としてシリカ(SiO)膜及び導電膜としてITO(Indium tin oxide)膜をコーティングする。
【0003】
一般のガラス基板のフィルム除去装置においては、ローラコンベヤを用いてガラス基板を移送させながら、粘着性のあるウレタンローラの表面に、移送されるガラス基板のフィルムを粘着して剥離している。
【0004】
一方、特許文献1には、プレッサーロールの外面に沿って粘着テープが巻かれるように供給し、プレッサーロールでガラス基板のフィルムを圧着しながら粘着テープにフィルムを粘着させた後、プレッサーロールを移動させながらプレッサーロールと連動するペーパーパイプでガラス基板からフィルムを除去する技術が開示されている。
【0005】
【特許文献1】
特開平4−189260号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述したウレタンローラの表面にダスト等のような異物が付着すると、ウレタンローラの粘着性が低下して機能を失うので、フィルム除去装置の稼動を周期的に停止し、ウレタンローラの表面を周期的に掃除しなければならないので、生産性が大きく低下する問題がある。特に、ウレタンローラの粘着性を再生するためには、人体に有害な例えばメチルエチルケトンなどの溶剤を用いて掃除しなければならないので、作業環境の阻害になる短所がある。そして、ウレタンローラによりガラス基板から剥離された廃フィルムは、作業者が別途に集めて廃棄するのに手間がかかり、廃フィルムの体積を減量させて廃棄することに多くの時間と努力が投入され、生産費が増加する問題がある。一般に、作業者は廃フィルムを効率良く収去するために、1時間に一回程度収去作業を行っており、作業者が廃フィルムを収去せず、加工ラインにそのまま放置する場合、加工ラインの周りに廃フィルムが散らばって、作業環境を阻害するのみではなく、加工ラインの装置に流れ込まれて故障を発生させるおそれがあるといった問題がある。
【0007】
また、上述した特許文献1の技術は、粘着テープの連続的な供給に多数の難題を有している。この技術においても、プレッサーロールの粘着テープに貼り付けられたフィルムを作業者が手作業で外して除去しなければならず、廃フィルムの廃棄のための収去及び圧縮または体積減量の作業が必要であるので、生産性が低下するだけではなく、生産費が増加する問題がある。
【0008】
本発明は、前記のような従来技術の様々な問題を解決するために案出されたものであり、本発明の目的は、板状部材からフィルムを除去するために剥離、捕集、体積減量などの一連の工程を効率的に行い、生産性を向上させることができ、生産費が大きく節減できるフィルム除去装置及びフィルム除去方法を提供することにある。
【0009】
本発明の他の目的は、板状部材から剥離されて排出される廃フィルムを直ちに捕集して作業環境が改善できるフィルム除去装置及びフィルム除去方法を提供することにある。
【0010】
本発明のさらに他の目的は、廃フィルムの体積を簡単に減量して、廃棄費用が節減できるフィルム除去装置及びフィルム除去方法を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するための本発明に係るフィルム除去方法は、フィルムがコーティングされた板状部材を移動させる工程と、前記板状部材が除去位置に達すれば、水平方向、垂直方向に移動自在な気体噴射手段を用いて、前記板状部材の先端に空気を噴射して前記フィルムを前記板状部材から剥離する工程と、前記板状部材から剥離された前記フィルムを吸着して前記板状部材から離脱させる工程とを含む
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明によるフィルム除去装置及びフィルム除去方法に対する好適な実施の形態について添付の図面を用いて詳細に説明する。
【0013】
まず、図1ないし図3を参照すれば、本発明のフィルム除去装置は、移送手段としてローラコンベヤ10を備えている。このローラコンベヤ10は、厚さが0.5〜1mm程度である薄板の板状部材であるガラス基板1を、その表面にコーティングされているフィルム2を除去する除去位置P1に、フィルム2が下を向くようにして移送する。なお、ガラス基板1は、縦(mm)×横(mm)のサイズが例えば370×470〜1,150×1,300程度である。
【0014】
図1および図3に示すように、ローラコンベヤ10のフレーム11には、ガラス基板1を回転運動により移送する多数の移送ローラ(フィーディングローラ)12が所定の間隔を置いて配列されている。ローラコンベヤ10の移送ローラ12は、周知のモーターと、このモーターの駆動力を伝達する動力伝導用チェーン、動力伝導用ベルトなどの伝達手段とにより回転しながらガラス基板1を移送方向13に沿って移送する。また、図1に示すように、ローラコンベヤ10のフレーム11には、ガラス基板1の移送方向先端がローラコンベヤ10の除去位置P1に達したか否かを感知するセンサ14が配置されている。センサ14は、光信号を発信する発光センサ14aと、この発光センサ14aから発信される光信号を受信する受光センサ14bとから構成されている。本実施例において、センサ14は近接センサで構成することもできる。
【0015】
図1ないし図3、図7(A)及び図7(B)を参照すれば、ローラコンベヤ10の除去位置P1には、ガラス基板1の移送方向先端に圧縮空気を噴射してガラス基板1からフィルム2を剥離する空気噴射手段としてエアブラスター20が設けられている。エアブラスター20は、ローラコンベヤ10の移送ローラ12と平行に配置されている。エアブラスター20は、空気供給装置21に連結されて空気の流路を形成する中空型エアパイプ22と、ガラス基板1の移送方向先端に対して圧縮空気を噴射できるようにエアパイプ22の外面に取り付けられている多数のエアノズル23とから構成されている。空気供給装置21は、圧縮空気を発生させるエアコンプレッサーと、このエアコンプレッサーからの空気の供給を制御するエアコントローラーと、エアパイプ22とエアコントローラーとを連結するエアラインに取り付けられて空気の圧力及び流量を制御するバルブ及び圧力計などの付属装置とから構成することができる。本実施例において、空気供給装置21のエアコンプレッサーの代わりに、ブロワを用いても良い。
【0016】
また、エアブラスター20は、作動手段である一対の第1のエアシリンダ24の作動により、ローラコンベヤ10の除去位置P1とガラス基板1の移送を許容する待機位置P2(図7(B)参照)との間を乗降運動する。一対の第1のエアシリンダ24は、マウンティングブラケット25によりフレームの両上部に各々配置されている。第1のエアシリンダ24のシリンダーロッド24aにはジョイントブラケット26が連結されている。
【0017】
ジョイントブラケット26の側端には、除去位置P1に位置するガラス基板1の移送方向先端に対してエアブラスター20を水平方向に運動させて近接または離隔させる第2のエアシリンダ27が取り付けられている。この第2のエアシリンダ27のシリンダーロッド27aは、エアパイプ22の側端に連結されている。
【0018】
ジョイントブラケット26の下部には、ピンチローラ28の側端がベアリング29を通して回転可能に取り付けられている。ピンチローラ28は、ガラス基板1の損傷が防止できるように柔軟性を有する素材、例えばウレタンで製作されている。
【0019】
図7(A)に示すように、ピンチローラ28は、第1のエアシリンダ24の作動によりエアブラスター20が待機位置P2から除去位置P1に下降すると、ローラコンベヤ10の移送ローラ12に沿って移送されるガラス基板1が通過できる程度の間隔を置いて、真空吸着ローリング装置30(後述)に近接される。図7(B)に示すように、エアブラスター20が待機位置P2に位置されていれば、ピンチローラ28はローラコンベヤ10の作動によりガラス基板1を自在に移送できるように、真空吸着ローリング装置30から離隔される。
【0020】
図1ないし図6を参照すれば、ローラコンベヤ10の除去位置P1には、エアブラスター20の作動によりガラス基板1から剥離された廃フィルム2a(図8(B)参照)を吸着してガラス基板1から離脱させ、フレーム11の下部に排出する真空吸着ローリング装置30が設けられている。真空吸着ローリング装置30は、ローラコンベヤ10の除去位置P1に回転可能に移送ローラ12と平行に設けられている中空型メインローラ31を備えている。このメインローラ31にはガラス基板1から剥離されたフィルム2aを空気の吸入により吸着する多数の吸引孔31aが長さ方向及び円周方向に沿って所定の間隔を置いて整列され、群をなすように形成されている。メインローラ31の吸引孔31aは、長さ方向に沿って細くて長いスロットとして形成されている。メインローラ31の両側端には、ベアリング32が嵌合される中空型カップラー31bが各々結合されている。
【0021】
また、メインローラ31の内側には中空型吸引パイプ33が取り付けられている。ローラコンベヤ10の除去位置P1と近接する吸引パイプ33の上部には、メインローラ31の吸引孔31a等に連通されて、空気の流路を形成する吸引孔33a等が吸引パイプ33の長さ方向に沿って一列に形成されている。吸引パイプ33の両端には、アダプタ33bが結合されている。アダプタ33bはローラコンベヤ10のフレーム11に固定されているマウンティングブラケット34を貫通して固定されている。メインローラ31のカップラー31bに取り付けられているベアリング32は、アダプタ33bの外面に支持されている。また、吸引パイプ33は、少なくとも吸引孔33aが形成された吸引パイプ33の外面がメインローラ31の内面と離隔されるように、メインローラ31の内側に挿入されている。
【0022】
図4に詳細に示すように、吸引パイプ33のアダプタ33bはエアライン35aにより第1の空気吸引装置35と連結されている。第1の空気吸引装置35は吸引パイプ33を通して空気を吸入して排出するブロワ36で構成されている。第1の空気吸引装置35は、ブロワ36の代わりに真空ポンプで構成しても良い。メインローラ31の外面には、ガラス基板1を保護し、廃フィルム2aに対する吸着力が増大するように、摩擦係数の大きい素材、例えばウレタン、ゴム、軟性を有するポリエステル等で製造される多数のサブローラ37等がメインローラ31の吸引孔31aを取り囲むように所定の間隔を置いて取り付けられている。
【0023】
サブローラ37には、メインローラ31の吸引孔31aに各々対応されるように吸引孔37aが形成されている。そして、互いに隣接しているサブローラ37の間には、サブローラ37の間隔を維持するためのスペーサーリング38aが各々介在されている。メインローラ31の左右側端部に位置するサブローラ37は、各々異なる長さを有するスペーサーリング38bにより、メインローラ31の端部と適切な間隔を維持するように取り付けられている。
【0024】
一方、図8(A)および図8(B)に示すように、真空吸着ローリング装置30のメインローラ31は、駆動装置40(図3参照)が作動することによりガラス基板1の移送方向に一方向に回転する。図3に示すように、駆動装置40は、ローラコンベヤ10のフレーム11に固定され、駆動力を提供するモーター41と、このモーター41の駆動力をメインローラ31に伝達する動力伝導用ベルト42とから構成されている。動力伝導用ベルト42は、モーター41の駆動軸41aに取り付けられている駆動プーリー(ドライビングプーリー)42aと、メインローラ31の一側端に取り付けられている従動プーリー(ドリブンプーリー)42bと、駆動プーリー42a及び従動プーリー42bに巻かれるベルト42cとから構成されている。
【0025】
図9を参照すれば、本発明のフィルム除去装置は、真空吸着ローリング装置30の真空吸着により、ローラコンベヤ10の除去位置P1から排出される廃フィルム2aを捕集する捕集装置50を備えている。捕集装置50は、吸入フード(サクションフード)51と、サイクロン53とから構成されている。吸入フード51は、真空吸着ローリング装置30によりガラス基板1から剥離、離脱され、除去位置P1から排出される廃フィルム2aを受容する。サイクロン53は、吸入フード51に第1のフィルム移送ライン52で連結されている。このサイクロン53は、廃フィルム2aを吸入する入口53a及び廃フィルム2aを排出する出口53bが上下に形成されている。
【0026】
吸入フード51の入口51aは、真空吸着ローリング装置30の下部に近接するように配置されている。吸入フード51の一側端に形成されている出口51bには、第1のフィルム移送ライン52が連結されている。サイクロン53の入口53a及び出口53bには、第1のフィルム移送ライン52が連結されている。サイクロン53の入口53a及び出口53bは垂直に配列されている。サイクロン53の入口53aは第1のフィルム移送ライン52により吸入フード51の出口51に連結されている。
【0027】
図9には、1つの吸入フード51が示されているが、吸入フード51は複数のガラス基板加工ラインに構成されるローラコンベヤ10の除去位置P1に対応する数だけ提供され、第1のフィルム移送ライン52によりサイクロン53の入口53aに連結することもできる。本実施例において、吸入フード51と第1のフィルム移送ライン52とを用いる代わりに、サイクロン53の入口53aで廃フィルム2aを直接吸入して捕集することも可能である。
【0028】
図9を参照すれば、サイクロン53の出口53bにはサイクロン53から廃フィルム2aを排出するロータリーゲート54が取り付けられている。図10に示すように、このロータリーゲート54は、駆動力を提供するモーター55と、サイクロン53の出口53bに回転可能に近接され、互いに平行に取り付けられている第1のロータ56及び第2のロータ57と、モーター55の駆動力を第1及び第2のロータ56,57のうち1つ、例えば第1のロータ56に伝達する動力伝導用ベルト58と、第1のロータ56の回転力を第2のロータ57に伝達するギア列59とから構成されている。
【0029】
第1及び第2のロータ56,57は、各々円筒型ドラム56a,57aを有し、ドラム56a,57aの外面に互いに協働して廃フィルム2aを送出するように多数の翼56b,57bが長さ方向に沿って放射状に形成されている。ドラム56a,57aの両側端にはサイクロン53の両側壁を貫通して突出できるように軸56c,57cが延在されている。第1及び第2のロータ56,57の各々の軸56c,57cは、周知のベアリングにより、サイクロン53の両側壁に回転できるように支持されている。動力伝導用ベルト58は、モーター55の駆動軸55aに取り付けられている駆動プーリー58aと、第1のロータ56の軸56cに取り付けられている従動プーリー58bと、駆動プーリー58a及び従動プーリー58bに巻かれるベルト58cとから構成されている。ギア列59は、駆動プーリー58aに対して反対位置の第1のロータ56の軸56cに取り付けられる駆動歯車59aと、第2のロータ57の軸57cに駆動歯車59aに噛合わされて回転するように取り付けられる従動ギア59bとから構成されている。
【0030】
動力伝導用ベルト58によりモーター55の駆動力が伝達されて第1のロータ56が回転すると、第1のロータ56の回転力はギア列59により第2のロータ57に伝達され、第2のロータ57は第1のロータ56に対して反対方向に回転され、第1及び第2のロータ56,57の翼56b,57bはサイクロン53の出口53bで廃フィルム2aを送出する。
【0031】
図9をさらに参照すれば、サイクロン53の入口53aに近接する位置には、第2の空気吸引装置60の第1のターボブロワ61がエアライン60aにより連結されている。第2の空気吸引装置60のエアライン60aには第1のターボブロワ61と同じ構成を有する第2のターボブロワ62が並列に連結されている。本実施例において、第1及び第2のターボブロワ61,62の各々の風量は14m/min、風圧は250mmAgとして設計されている。
【0032】
本発明のフィルム除去装置を稼動する場合、第2の空気吸引装置60の第1及び第2のターボブロワ61,62のうち1つ、例えば第1のターボブロワ61のみが作動される。第2のターボブロワ62は、第1のターボブロワ61に故障が発生した場合、廃フィルム2aの捕集を中断することなく、連続的に行うために予備されたものである。サイクロン53の出口53bに近接する位置には、第3の空気吸引装置63のブロワ64がエアライン63aにより連結されている。本実施例において、ブロワ64の風量は23m/min、風圧は190mmAgとして設計されている。第1及び第2のターボブロワ61,62及びブロワ64は、各々真空ポンプで構成しても良い。
【0033】
また、サイクロン53の出口53bには、サイクロン53から供給される廃フィルム2aを圧縮(コンプレッション)、バインディングして排出(イジェクション)する自動圧縮機70が第2のフィルム移送ライン71により連結されている。自動圧縮機70は、ドイツAncove社(Ancove enterprise limited)で製品名Welger SB2000シリーズとして市販されている自動圧縮機で構成されており、第1及び第2のフィルム移送ライン52,71は各々ダクトで構成されている。
【0034】
図1に示すように、本発明のフィルム除去装置は、ローラコンベヤ10と、エアブラスター20と、第1の空気吸引装置35のブロワ36と、駆動装置40と、ロータリーゲート54と、第2の空気吸引装置60及び第3の空気吸引装置63などの作動を制御するコントローラー80とを備えている。コントローラー80にはセンサ14が連結されており、センサ14から入力される信号によりエアブラスター20の作動を制御する。コントローラー80は、各装置の動作をシーケンスプログラムにより制御できるプログラム可能なコントローラー(プログラマブルコントローラー)又はコンピューターで構成することができる。
【0035】
以下、このような構成を有する本発明に係るガラス基板のフィルム除去装置によるフィルムの除去方法を図11及び図12を用いて説明する。
【0036】
図1、図4及び図9を参照すれば、まずコントローラー80の制御により第1の空気吸引装置35のブロワ36、ロータリーゲート54のモーター55、第2の空気吸引装置60の第1のターボブロワ61及び第3の空気吸引装置63のブロワ64を作動させて、ガラス基板1から剥離されて排出される廃フィルム2aを捕集する準備をする(S100)。
【0037】
図3及び図7(A)に示すように、第1のエアシリンダ24の作動によりシリンダーロッド24aを前進させて、エアブラスター20を待機位置P2からローラコンベヤ10の除去位置P1に下降させて準備する(S101)。エアブラスター20の下降により、ピンチローラ28は、真空吸着ローリング装置30のサブローラ37に対してガラス基板1が通過できる間隔を置いて離隔される。
【0038】
図1及び図4を参照すれば、ローラコンベヤ10の移送ローラ12にフィルム2が下を向くようにガラス基板1を供給した後、ローラコンベヤ10を作動させると、ガラス基板は移送ローラ12の回転運動により移送方向13に沿って除去位置P1に移送される(S102)。
【0039】
ローラコンベヤ10の作動により移送されるガラス基板1はセンサ14により感知され、センサ14はガラス基板1の感知信号をコントローラー80に入力し、コントローラー80はセンサ14から入力される感知信号によりガラス基板の移送方向先端が除去位置P1に達したか否かを判断する(S103)。
【0040】
コントローラー80は、ガラス基板1の移送方向先端が除去位置P1に達した(YES)と判断すれば、ローラコンベヤ10の作動を停止させる(S104)。本実施例において、ローラコンベヤ10の停止は、図7(A)に示すように、ガラス基板1の移送方向先端がピンチローラ28と真空吸着ローリング装置30のサブローラ37との間を通過した時点に設定されている。
【0041】
図3及び図7(A)をさらに参照すれば、コントローラー80は、ローラコンベヤ10の作動を停止させれば、第2のエアシリンダ27の作動によりシリンダーロッド27aを前進させ、エアブラスター20のエアノズル23をガラス基板1の移送方向先端に近接させ(図7(A)に一点鎖線で示す)、エアブラスター20のエアノズル23を通して圧縮空気を噴射させ、ガラス基板1からフィルム2を剥離させる(S105)。エアブラスター20のエアノズル23を用いてガラス基板1の移送方向先端に圧縮空気を噴射する時、圧縮空気の噴射力によりガラス基板1の移送方向先端が真空吸着ローリング装置30のサブローラ37から浮かぶ現象が発生する場合もあるが、図7(A)に示すように、サブローラ37の上方に位置されているピンチローラ28がガラス基板1の上面を支持するので、ガラス基板1の浮かぶ現象が防止される。
【0042】
次に、図7(B)に示すように、フィルム2の剥離後には、移送されるガラス基板1がエアブラスター20に干渉しないように、第2のエアシリンダ27の作動によりシリンダーロッド27aを後退させて、エアブラスター20のエアノズル23をガラス基板1の移送方向先端から離隔させ、第1のエアシリンダ24の作動によりシリンダーロッド24aを後退させて、エアブラスター20を除去位置P1から待機位置P2に復帰させる(S106)。
【0043】
エアブラスター20が待機位置P2に復帰すると、ローラコンベヤ10の作動によりガラス基板1を再移送し、除去位置P1から排出する(S107)。
【0044】
図3、図4、図8(A)及び図8(B)を参照すれば、ローラコンベヤ10の作動によりガラス基板1を排出する間、エアブラスター20の作動によりガラス基板1から剥離された廃フィルム2aはサブローラ37の吸引孔37a等、メインローラ31の吸引孔31a等及び吸引パイプ33の吸引孔33a等によって伝達される吸入力により、サブローラ37の表面に吸着される。動力伝導用ベルト42によりモーター41の駆動力が伝達される真空吸着ローリング装置30のメインローラ31はガラス基板1の移送方向に回転され、メインローラ31の回転によりサブローラ37の表面に吸着されている廃フィルム2aは、ガラス基板1から離脱され、ローラコンベヤ10の除去位置P1から排出される(S108)。また、図8(B)に示すように、メインローラ31の回転により、廃フィルム2aが吸着されているサブローラ37の吸引孔37aが吸引パイプ33の吸引孔33aから遠くなると、該当サブローラ37の吸引孔37aに作用する吸引力が弱化されて、サブローラ37の表面に吸着されていた廃フィルム2aがサブローラ37から円滑に剥がれる。このようにローラコンベヤ10を作動させることにより、フィルム2がコーティングされているガラス基板1を連続的に移送させ、エアブラスター20の作動によりガラス基板1の移送方向先端に圧縮空気を噴射して、ガラス基板1にコーティングされているフィルム2を剥離した後、ガラス基板1から剥離された廃フィルム2aを真空吸着ローリング装置30の作動によりガラス基板1から迅速に排出することにより生産性を大きく向上させ、フィルム2の除去が容易になるように自動化して生産費を節減することができる。そして、真空吸着ローリング装置30の真空吸着方式による廃フィルム2aの迅速な自動排出により作業環境を改善することができ、廃フィルム2aがガラス基板加工ラインに残留して誘発させる加工ラインの故障を効果的に防止することができる。
【0045】
図9及び図10に示すように、サブローラ37により剥がれて排出される廃フィルム2aは、捕集装置50の吸入フード51に受容される。このとき、吸入フード51の入口51aには、第1のターボブロワ61の作動により発生される吸引力がサイクロン53に第1のフィルム移送ライン52を経由して作用されるので、真空吸着ローリング装置30のサブローラ37から剥がれた廃フィルム2aは吸入フード51の入口51aに直ちに受容される。そして、廃フィルム2aは、吸入フード51の出口51b、第1のフィルム移送ライン52及びサイクロン53の入口53aを経てサイクロン53の内側に吸入されて捕集される(S109)。ブロワ64の作動により発生される2次吸引力は、サイクロン53の入口53aで吸入される廃フィルム2aが出口53bで排出できるように、サイクロン53の入口53a及び出口53bに作用する内圧を制御する。即ち、ブロワ64によりサイクロン53の入口53a側で発生する内圧より出口53bで発生する内圧が小さくなる。従って、サイクロン53の入口53a側に対して出口53a側には低い内圧が発生するので、サイクロン53の入口53aで吸入される廃フィルム2aを出口53bに円滑に移動させて排出することができる。
【0046】
続いて、サイクロン53の出口53bに移動される廃フィルム2aは、モーター55の駆動力が動力伝導用ベルト58により伝達されて回転する第1及び第2のロータ56,57の翼56a,57aの作用により、サイクロン53の出口53bで排出され、サイクロン53の出口53bから排出される廃フィルム2aは第2のフィルム移送ライン71を経て自動圧縮機70に供給される(S110)。
【0047】
自動圧縮機70は、廃フィルム2aを塊に圧縮する(S111)。
【0048】
圧縮された廃フィルムの塊2bを結束手段、例えば針金でバインディングして排出する(S112)。このとき、自動圧縮機70は、供給される廃フィルム2aが所定の量に達すると自動的に圧縮を行って体積を減少させ、自動圧縮機70の作動により結束される廃フィルムの塊2bの重さは40〜60kg程度、体積(cm)は500×400×600〜1200程度である。従って、作業者は自動圧縮機70から排出される廃フィルムの塊2bを容易に廃棄することができる。
【0049】
なお、この実施の形態では、ガラス基板について説明したが、その他の材質、例えばプラスチック材などの基板でも同様に適用される。
【0050】
上記において、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明の精神及び請求範囲から逸脱することなく、種々の変更及び修正がなされてもよいことは当業者にはご理解いただけるであろう。
【0051】
【発明の効果】
以上で説明したように、本発明によるフィルム除去装置及びフィルム除去方法によれば、板状部材の表面にコーティングされているフィルムを除去するための剥離、離脱、捕集、圧縮などの一連の工程を効率良く行い、生産性を大きく向上させ、生産費を節減することができる。また、板状部材から剥離されて排出される廃フィルムを直ちに捕集して作業環境を改善することができ、廃フィルムの塊の体積を減少させて廃棄費用を大きく節減できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の好ましい実施の形態に係わるフィルム除去装置における、ローラコンベヤ、エアブラスター、真空吸着ローリング装置及び駆動装置の構成を示す平面図。
【図2】 本発明の好ましい実施の形態に係わるフィルム除去装置における、ローラコンベヤ、エアブラスター、真空吸着ローリング装置及び駆動装置の構成を示す正面図。
【図3】 本発明の好ましい実施の形態に係わるフィルム除去装置における、ローラコンベヤ、エアブラスター、真空吸着ローリング装置及び駆動装置の構成を示す側面図。
【図4】 本発明の好ましい実施の形態に係わるフィルム除去装置における真空吸着ローリング装置及び第1の空気吸引装置の構成を示す正面図。
【図5】 本発明の好ましい実施の形態に係わるフィルム除去装置における真空吸着ローリング装置の構成を部分的に拡大して示す断面図。
【図6】 図5に示すI−I線に沿う断面図。
【図7】 (A)および(B)は、本発明の好ましい実施の形態に係わるフィルム除去装置におけるエアブラスターの作動を説明するための側面図。
【図8】 (A)および(B)は、本発明の好ましい実施の形態に係わるフィルム除去装置における真空吸着ローリング装置の作動を説明するための断面図。
【図9】 本発明の好ましい実施の形態に係わるフィルム除去装置における捕集装置の吸入フード、サイクロン、第1及び第2の空気吸引装置、並びに自動圧縮機の構成を示す系統図。
【図10】 本発明の好ましい実施の形態に係わるフィルム除去装置におけるサイクロンの出口に取り付けられるロータリーゲートの構成を示す斜視図。
【図11】 本発明の好ましい実施の形態におけるガラス基板のフィルム除去方法を説明するためのフローチャート。
【図12】 本発明の好ましい実施の形態におけるガラス基板のフィルム除去方法を説明するための図11から続くフローチャート。
【符号の説明】
1…ガラス基板、2…フィルム、10…ローラコンベヤ、14…センサ、20…エアブラスター、21…空気供給装置、22…エアパイプ、23…エアノズル、24…第1のエアシリンダ、27…第2のエアシリンダ、28…ピンチローラ、30…真空吸着ローリング装置、31…メインローラ、33…吸引パイプ、35…第1の空気吸引装置、36…ブロワ、37…サブローラ、40…駆動装置、41…モーター、42…動力伝導用ベルト、50…捕集装置、51…吸入フード、53…サイクロン、54…ロータリーゲート、55…モーター、56,57…第1及び第2のロータ、58…動力伝導用ベルト、59…ギア列、60…第2の空気吸引装置、61,62…第1及び第2のターボブロワ、63…第3の空気吸引装置、64…ブロワ、70…自動圧縮機、80…コントローラー
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a film removal apparatus and a film removal method, for example, a film removal apparatus capable of efficiently performing a series of steps such as peeling, collection, volume reduction (or compression) for removing a film on a glass substrate. And a film removal method.
[0002]
[Prior art]
As is well known, glass substrates used in the field of manufacturing flat displays such as TFT-LCD (Thin Film Transistor Driven Color Liquid Crystal Display), PDP (Plasma Display Panel), EL (Electroluminescence) and the like are glass melting furnaces. After the water glass melted in step 1 is supplied to a melt molding machine to produce a glass substrate, the glass substrate is cut so as to meet the primary standard, and a protective film is coated on the surface of the glass substrate and conveyed to the glass substrate processing line. In the glass substrate processing line, after the film is peeled off from the glass substrate, the glass substrate is re-cut into a size that meets the standard of the flat display. In the subsequent coating process, for example, silica (SiO 2 ) An ITO (Indium tin oxide) film is coated as the film and the conductive film.
[0003]
In a general glass substrate film removing apparatus, a glass substrate film to be transferred is adhered and peeled to the surface of an adhesive urethane roller while the glass substrate is transferred using a roller conveyor.
[0004]
On the other hand, in Patent Document 1, the pressure-sensitive adhesive tape is supplied so as to be wound along the outer surface of the presser roll, and the presser roll is moved after the film is adhered to the pressure-sensitive adhesive tape while pressing the film of the glass substrate with the presser roll. A technique for removing a film from a glass substrate with a paper pipe interlocked with a presser roll is disclosed.
[0005]
[Patent Document 1]
JP-A-4-189260
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, if foreign matter such as dust adheres to the surface of the urethane roller described above, the adhesiveness of the urethane roller is reduced and the function is lost. Therefore, the operation of the film removing device is periodically stopped, and the surface of the urethane roller is removed. Since it must be periodically cleaned, there is a problem that productivity is greatly reduced. In particular, in order to regenerate the adhesiveness of the urethane roller, it is necessary to clean it using a solvent such as methyl ethyl ketone that is harmful to the human body. The waste film peeled off from the glass substrate by the urethane roller takes time and labor for the operator to separately collect and dispose of it, and much time and effort is put into reducing the waste film volume and disposing it. There is a problem that the production cost increases. Generally, in order to efficiently remove the waste film, the worker performs the removal work about once an hour. If the worker does not remove the waste film and leaves it in the processing line, There is a problem that the waste film is scattered around the line and not only hinders the work environment but also flows into the processing line apparatus and may cause a failure.
[0007]
Moreover, the technique of patent document 1 mentioned above has many difficult problems in the continuous supply of an adhesive tape. Even in this technology, the operator must manually remove and remove the film attached to the pressure tape of the presser roll, and it is necessary to remove and compress or reduce the volume of the waste film. Therefore, there is a problem that not only productivity is lowered but also production costs are increased.
[0008]
The present invention has been devised to solve the various problems of the prior art as described above, and the object of the present invention is to remove, collect, and reduce the volume in order to remove the film from the plate-like member. It is an object of the present invention to provide a film removing apparatus and a film removing method that can efficiently perform a series of processes such as the above, improve productivity, and greatly reduce production costs.
[0009]
Another object of the present invention is to provide a film removal apparatus and a film removal method that can immediately collect waste films that are peeled off and discharged from a plate-like member to improve the working environment.
[0010]
Still another object of the present invention is to provide a film removing apparatus and a film removing method that can easily reduce the volume of waste film and reduce the cost of disposal.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
The present invention for achieving such an object Pertaining to The film removal method is The step of moving the plate-shaped member coated with the film, and when the plate-shaped member reaches the removal position, air is blown to the tip of the plate-shaped member using a gas jetting means that is movable in the horizontal and vertical directions. Spraying and peeling the film from the plate member; and sucking the film peeled from the plate member and separating from the plate member. .
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, preferred embodiments of a film removing apparatus and a film removing method according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
[0013]
First, referring to FIGS. 1 to 3, the film removing apparatus of the present invention includes a roller conveyor 10 as a transfer means. This roller conveyor 10 has a glass substrate 1 that is a thin plate member having a thickness of about 0.5 to 1 mm at a removal position P1 where the film 2 coated on the surface of the glass substrate 1 is removed. Move it to face. The glass substrate 1 has a size of length (mm) × width (mm) of about 370 × 470 to 1,150 × 1,300, for example.
[0014]
As shown in FIGS. 1 and 3, a large number of transfer rollers (feeding rollers) 12 that transfer the glass substrate 1 by rotational movement are arranged on the frame 11 of the roller conveyor 10 at predetermined intervals. The transfer roller 12 of the roller conveyor 10 moves the glass substrate 1 along the transfer direction 13 while being rotated by a known motor and a transmission means such as a power transmission chain and a power transmission belt for transmitting the driving force of the motor. Transport. As shown in FIG. 1, a sensor 14 that detects whether or not the front end of the glass substrate 1 in the transfer direction has reached the removal position P <b> 1 of the roller conveyor 10 is disposed on the frame 11 of the roller conveyor 10. The sensor 14 includes a light emitting sensor 14a that transmits an optical signal and a light receiving sensor 14b that receives an optical signal transmitted from the light emitting sensor 14a. In the present embodiment, the sensor 14 can also be constituted by a proximity sensor.
[0015]
Referring to FIGS. 1 to 3, 7 </ b> A and 7 </ b> B, compressed air is sprayed from the glass substrate 1 to the removal position P <b> 1 of the roller conveyor 10 at the front end in the transfer direction of the glass substrate 1. An air blaster 20 is provided as an air jetting means for peeling the film 2. The air blaster 20 is disposed in parallel with the transfer roller 12 of the roller conveyor 10. The air blaster 20 is attached to the outer surface of the air pipe 22 so that the compressed air can be injected to the hollow air pipe 22 that is connected to the air supply device 21 to form an air flow path and to the front end of the glass substrate 1 in the transfer direction. And a number of air nozzles 23. The air supply device 21 is attached to an air compressor that generates compressed air, an air controller that controls the supply of air from the air compressor, and an air line that connects the air pipe 22 and the air controller. It can comprise from the attached devices, such as a valve and a pressure gauge, for controlling. In this embodiment, a blower may be used instead of the air compressor of the air supply device 21.
[0016]
Further, the air blaster 20 operates by the operation of the pair of first air cylinders 24 which are the operating means, and the removal position P1 of the roller conveyor 10 and the standby position P2 that allows the glass substrate 1 to be transferred (see FIG. 7B). Get on and off. The pair of first air cylinders 24 are respectively disposed on both upper portions of the frame by mounting brackets 25. A joint bracket 26 is connected to the cylinder rod 24 a of the first air cylinder 24.
[0017]
A second air cylinder 27 is attached to the side end of the joint bracket 26 to move the air blaster 20 in the horizontal direction toward or away from the front end in the transfer direction of the glass substrate 1 located at the removal position P1. . The cylinder rod 27 a of the second air cylinder 27 is connected to the side end of the air pipe 22.
[0018]
A side end of a pinch roller 28 is rotatably attached to the lower portion of the joint bracket 26 through a bearing 29. The pinch roller 28 is made of a flexible material such as urethane so that the glass substrate 1 can be prevented from being damaged.
[0019]
As shown in FIG. 7A, the pinch roller 28 moves along the transfer roller 12 of the roller conveyor 10 when the air blaster 20 is lowered from the standby position P2 to the removal position P1 by the operation of the first air cylinder 24. The glass substrate 1 is placed close to a vacuum suction rolling device 30 (described later) at an interval that allows the glass substrate 1 to pass therethrough. As shown in FIG. 7B, if the air blaster 20 is positioned at the standby position P2, the vacuum chucking rolling device 30 allows the pinch roller 28 to freely transfer the glass substrate 1 by the operation of the roller conveyor 10. Separated from.
[0020]
1 to 6, the waste film 2 a (see FIG. 8B) peeled off from the glass substrate 1 by the operation of the air blaster 20 is adsorbed to the removal position P <b> 1 of the roller conveyor 10. There is provided a vacuum suction rolling device 30 that is separated from 1 and discharged to the lower part of the frame 11. The vacuum suction rolling device 30 includes a hollow main roller 31 that is rotatably provided at a removal position P1 of the roller conveyor 10 and parallel to the transfer roller 12. A large number of suction holes 31a for adsorbing the film 2a peeled off from the glass substrate 1 by suction of air are arranged in the main roller 31 at predetermined intervals along the length direction and the circumferential direction to form a group. It is formed as follows. The suction hole 31a of the main roller 31 is formed as a long and narrow slot along the length direction. A hollow coupler 31b to which a bearing 32 is fitted is coupled to both ends of the main roller 31.
[0021]
A hollow suction pipe 33 is attached inside the main roller 31. In the upper part of the suction pipe 33 adjacent to the removal position P1 of the roller conveyor 10, a suction hole 33a and the like that communicate with the suction hole 31a of the main roller 31 and form an air flow path are arranged in the length direction of the suction pipe 33. It is formed in a line along. Adapters 33 b are coupled to both ends of the suction pipe 33. The adapter 33 b is fixed through the mounting bracket 34 fixed to the frame 11 of the roller conveyor 10. The bearing 32 attached to the coupler 31b of the main roller 31 is supported on the outer surface of the adapter 33b. The suction pipe 33 is inserted inside the main roller 31 so that at least the outer surface of the suction pipe 33 in which the suction hole 33 a is formed is separated from the inner surface of the main roller 31.
[0022]
As shown in detail in FIG. 4, the adapter 33b of the suction pipe 33 is connected to the first air suction device 35 by an air line 35a. The first air suction device 35 includes a blower 36 that sucks and discharges air through the suction pipe 33. The first air suction device 35 may be constituted by a vacuum pump instead of the blower 36. On the outer surface of the main roller 31, a large number of sub-rollers are made of a material having a high coefficient of friction, such as urethane, rubber, soft polyester, etc., so as to protect the glass substrate 1 and increase the adsorption force to the waste film 2a. 37 etc. are attached at a predetermined interval so as to surround the suction hole 31 a of the main roller 31.
[0023]
A suction hole 37 a is formed in the sub roller 37 so as to correspond to the suction hole 31 a of the main roller 31. A spacer ring 38a for maintaining the distance between the sub rollers 37 is interposed between the sub rollers 37 adjacent to each other. The sub rollers 37 positioned at the left and right end portions of the main roller 31 are attached so as to maintain an appropriate distance from the end portion of the main roller 31 by spacer rings 38b having different lengths.
[0024]
On the other hand, as shown in FIGS. 8A and 8B, the main roller 31 of the vacuum suction rolling device 30 is moved in the transfer direction of the glass substrate 1 by operating the driving device 40 (see FIG. 3). Rotate in the direction. As shown in FIG. 3, the driving device 40 is fixed to the frame 11 of the roller conveyor 10, and provides a motor 41 that provides driving force, and a power transmission belt 42 that transmits the driving force of the motor 41 to the main roller 31. It is composed of The power transmission belt 42 includes a drive pulley (driving pulley) 42a attached to the drive shaft 41a of the motor 41, a driven pulley (driven pulley) 42b attached to one end of the main roller 31, and a drive pulley. 42a and a belt 42c wound around a driven pulley 42b.
[0025]
Referring to FIG. 9, the film removal apparatus of the present invention includes a collection device 50 that collects the waste film 2 a discharged from the removal position P <b> 1 of the roller conveyor 10 by the vacuum suction of the vacuum suction rolling device 30. Yes. The collection device 50 includes an intake hood (suction hood) 51 and a cyclone 53. The suction hood 51 receives the waste film 2a which is peeled and detached from the glass substrate 1 by the vacuum suction rolling device 30 and discharged from the removal position P1. The cyclone 53 is connected to the suction hood 51 by a first film transfer line 52. The cyclone 53 has an inlet 53a for sucking the waste film 2a and an outlet 53b for discharging the waste film 2a.
[0026]
The inlet 51 a of the suction hood 51 is disposed so as to be close to the lower part of the vacuum suction rolling device 30. A first film transfer line 52 is connected to an outlet 51 b formed at one end of the suction hood 51. A first film transfer line 52 is connected to the inlet 53 a and the outlet 53 b of the cyclone 53. The inlet 53a and the outlet 53b of the cyclone 53 are arranged vertically. The inlet 53 a of the cyclone 53 is connected to the outlet 51 of the suction hood 51 by a first film transfer line 52.
[0027]
Although one suction hood 51 is shown in FIG. 9, as many suction hoods 51 as the number corresponding to the removal positions P1 of the roller conveyor 10 configured in a plurality of glass substrate processing lines are provided. The transfer line 52 can be connected to the inlet 53a of the cyclone 53. In this embodiment, instead of using the suction hood 51 and the first film transfer line 52, the waste film 2a can be directly sucked and collected at the inlet 53a of the cyclone 53.
[0028]
Referring to FIG. 9, a rotary gate 54 for discharging the waste film 2 a from the cyclone 53 is attached to the outlet 53 b of the cyclone 53. As shown in FIG. 10, the rotary gate 54 includes a motor 55 that provides a driving force and a first rotor 56 and a second rotor that are rotatably adjacent to the outlet 53 b of the cyclone 53 and are mounted in parallel to each other. The rotor 57, the power transmission belt 58 that transmits the driving force of the motor 55 to one of the first and second rotors 56, 57, for example, the first rotor 56, and the rotational force of the first rotor 56 The gear train 59 is transmitted to the second rotor 57.
[0029]
The first and second rotors 56 and 57 have cylindrical drums 56a and 57a, respectively, and a plurality of blades 56b and 57b are fed to the outer surfaces of the drums 56a and 57a so as to send out the waste film 2a. It is formed radially along the length direction. Shafts 56c and 57c are extended at both ends of the drums 56a and 57a so as to protrude through both side walls of the cyclone 53. The shafts 56 c and 57 c of the first and second rotors 56 and 57 are supported on both side walls of the cyclone 53 by a known bearing so as to be rotatable. The power transmission belt 58 is wound around a drive pulley 58a attached to the drive shaft 55a of the motor 55, a driven pulley 58b attached to the shaft 56c of the first rotor 56, and the drive pulley 58a and the driven pulley 58b. Belt 58c to be worn. The gear train 59 is engaged with the drive gear 59a attached to the shaft 56c of the first rotor 56 opposite to the drive pulley 58a and the shaft 57c of the second rotor 57 so as to rotate. And a driven gear 59b to be attached.
[0030]
When the driving force of the motor 55 is transmitted by the power transmission belt 58 and the first rotor 56 rotates, the rotational force of the first rotor 56 is transmitted to the second rotor 57 by the gear train 59, and the second rotor 56 57 is rotated in the opposite direction with respect to the first rotor 56, and the blades 56 b and 57 b of the first and second rotors 56 and 57 send out the waste film 2 a at the outlet 53 b of the cyclone 53.
[0031]
Referring further to FIG. 9, the first turbo blower 61 of the second air suction device 60 is connected to the position close to the inlet 53a of the cyclone 53 by the air line 60a. A second turbo blower 62 having the same configuration as that of the first turbo blower 61 is connected in parallel to the air line 60 a of the second air suction device 60. In this embodiment, the air volume of each of the first and second turbo blowers 61 and 62 is 14 m. 3 / Min, and the wind pressure is designed as 250 mmAg.
[0032]
When the film removing apparatus of the present invention is operated, only one of the first and second turbo blowers 61 and 62 of the second air suction apparatus 60, for example, the first turbo blower 61 is operated. The second turbo blower 62 is reserved for continuously performing the collection of the waste film 2a without interruption when a failure occurs in the first turbo blower 61. A blower 64 of the third air suction device 63 is connected to the position close to the outlet 53b of the cyclone 53 by an air line 63a. In this embodiment, the blower 64 has an air volume of 23 m. 3 / Min, the wind pressure is designed as 190 mmAg. The first and second turbo blowers 61 and 62 and the blower 64 may each be constituted by a vacuum pump.
[0033]
An automatic compressor 70 that compresses (compresses), binds and discharges (ejits) the waste film 2 a supplied from the cyclone 53 is connected to the outlet 53 b of the cyclone 53 by a second film transfer line 71. Yes. The automatic compressor 70 is composed of an automatic compressor marketed under the product name Welger SB2000 series by Ancove GmbH (Germany), and the first and second film transfer lines 52 and 71 are respectively ducts. It is configured.
[0034]
As shown in FIG. 1, the film removing apparatus of the present invention includes a roller conveyor 10, an air blaster 20, a blower 36 of a first air suction device 35, a driving device 40, a rotary gate 54, and a second gate. And a controller 80 for controlling the operation of the air suction device 60 and the third air suction device 63. A sensor 14 is connected to the controller 80, and the operation of the air blaster 20 is controlled by a signal input from the sensor 14. The controller 80 can be configured by a programmable controller (programmable controller) or a computer that can control the operation of each device by a sequence program.
[0035]
Hereinafter, a method for removing a film by the glass substrate film removing apparatus according to the present invention having such a configuration will be described with reference to FIGS.
[0036]
Referring to FIGS. 1, 4, and 9, first, the blower 36 of the first air suction device 35, the motor 55 of the rotary gate 54, and the first turbo blower 61 of the second air suction device 60 are controlled by the controller 80. And the blower 64 of the 3rd air suction apparatus 63 is operated, and the preparation which collects the waste film 2a peeled and discharged | emitted from the glass substrate 1 is made (S100).
[0037]
As shown in FIGS. 3 and 7A, the cylinder rod 24a is advanced by the operation of the first air cylinder 24, and the air blaster 20 is lowered from the standby position P2 to the removal position P1 of the roller conveyor 10 to prepare. (S101). As the air blaster 20 descends, the pinch roller 28 is separated from the sub roller 37 of the vacuum suction rolling device 30 with an interval through which the glass substrate 1 can pass.
[0038]
Referring to FIGS. 1 and 4, when the glass substrate 1 is supplied to the transfer roller 12 of the roller conveyor 10 so that the film 2 faces downward, when the roller conveyor 10 is operated, the glass substrate is rotated by the transfer roller 12. It is transferred to the removal position P1 along the transfer direction 13 by the movement (S102).
[0039]
The glass substrate 1 transferred by the operation of the roller conveyor 10 is detected by the sensor 14, and the sensor 14 inputs a detection signal of the glass substrate 1 to the controller 80, and the controller 80 detects the glass substrate by the detection signal input from the sensor 14. It is determined whether or not the leading end in the transfer direction has reached the removal position P1 (S103).
[0040]
If the controller 80 determines that the front end of the glass substrate 1 in the transfer direction has reached the removal position P1 (YES), the controller 80 stops the operation of the roller conveyor 10 (S104). In this embodiment, the roller conveyor 10 is stopped when the tip of the glass substrate 1 in the transfer direction passes between the pinch roller 28 and the sub roller 37 of the vacuum suction rolling device 30 as shown in FIG. Is set.
[0041]
3 and 7A, when the operation of the roller conveyor 10 is stopped, the controller 80 advances the cylinder rod 27a by the operation of the second air cylinder 27, and the air nozzle of the air blaster 20 23 is brought close to the front end of the glass substrate 1 in the transfer direction (indicated by a one-dot chain line in FIG. 7A), compressed air is jetted through the air nozzle 23 of the air blaster 20, and the film 2 is peeled off from the glass substrate 1 (S105). . When compressed air is ejected to the tip of the glass substrate 1 in the transport direction using the air nozzle 23 of the air blaster 20, the phenomenon that the tip of the glass substrate 1 in the transport direction floats from the sub roller 37 of the vacuum suction rolling device 30 due to the jet force of the compressed air. Although it may occur, as shown in FIG. 7A, the pinch roller 28 positioned above the sub-roller 37 supports the upper surface of the glass substrate 1, so that the phenomenon of the glass substrate 1 floating is prevented. .
[0042]
Next, as shown in FIG. 7B, after the film 2 is peeled off, the cylinder rod 27a is moved backward by the operation of the second air cylinder 27 so that the glass substrate 1 to be transferred does not interfere with the air blaster 20. Then, the air nozzle 23 of the air blaster 20 is separated from the front end of the glass substrate 1 in the transfer direction, the cylinder rod 24a is moved backward by the operation of the first air cylinder 24, and the air blaster 20 is moved from the removal position P1 to the standby position P2. Return (S106).
[0043]
When the air blaster 20 returns to the standby position P2, the glass substrate 1 is transferred again by the operation of the roller conveyor 10, and discharged from the removal position P1 (S107).
[0044]
Referring to FIGS. 3, 4, 8 </ b> A, and 8 </ b> B, waste discharged from the glass substrate 1 by the operation of the air blaster 20 while the glass substrate 1 is discharged by the operation of the roller conveyor 10. The film 2a is attracted to the surface of the sub-roller 37 by the suction input transmitted by the suction hole 37a of the sub roller 37, the suction hole 31a of the main roller 31, and the suction hole 33a of the suction pipe 33. The main roller 31 of the vacuum suction rolling device 30 to which the driving force of the motor 41 is transmitted by the power transmission belt 42 is rotated in the transfer direction of the glass substrate 1, and is attracted to the surface of the sub roller 37 by the rotation of the main roller 31. The waste film 2a is detached from the glass substrate 1 and discharged from the removal position P1 of the roller conveyor 10 (S108). 8B, when the suction hole 37a of the sub-roller 37 to which the waste film 2a is sucked away from the suction hole 33a of the suction pipe 33 due to the rotation of the main roller 31, the suction of the corresponding sub-roller 37 is performed. The suction force acting on the hole 37 a is weakened, and the waste film 2 a adsorbed on the surface of the sub roller 37 is smoothly peeled off from the sub roller 37. By operating the roller conveyor 10 in this way, the glass substrate 1 coated with the film 2 is continuously transferred, and the air blaster 20 is operated to inject compressed air at the front end of the glass substrate 1 in the transfer direction. After peeling the film 2 coated on the glass substrate 1, the waste film 2 a peeled off from the glass substrate 1 is quickly discharged from the glass substrate 1 by the operation of the vacuum suction rolling device 30, thereby greatly improving productivity. The production cost can be reduced by automating the removal of the film 2. And the working environment can be improved by the rapid automatic discharge of the waste film 2a by the vacuum suction method of the vacuum suction rolling device 30, and the failure of the processing line that causes the waste film 2a to remain in the glass substrate processing line is effective. Can be prevented.
[0045]
As shown in FIGS. 9 and 10, the waste film 2 a peeled off and discharged by the sub roller 37 is received by the suction hood 51 of the collection device 50. At this time, the suction force generated by the operation of the first turbo blower 61 is applied to the inlet 51a of the suction hood 51 to the cyclone 53 via the first film transfer line 52. Therefore, the vacuum suction rolling device 30 The waste film 2 a peeled off from the sub-roller 37 is immediately received at the inlet 51 a of the suction hood 51. The waste film 2a is sucked and collected inside the cyclone 53 through the outlet 51b of the suction hood 51, the first film transfer line 52, and the inlet 53a of the cyclone 53 (S109). The secondary suction force generated by the operation of the blower 64 controls the internal pressure acting on the inlet 53a and the outlet 53b of the cyclone 53 so that the waste film 2a sucked at the inlet 53a of the cyclone 53 can be discharged at the outlet 53b. . That is, the internal pressure generated at the outlet 53b is smaller than the internal pressure generated at the inlet 53a side of the cyclone 53 by the blower 64. Accordingly, a low internal pressure is generated on the outlet 53a side with respect to the inlet 53a side of the cyclone 53, so that the waste film 2a sucked at the inlet 53a of the cyclone 53 can be smoothly moved to the outlet 53b and discharged.
[0046]
Subsequently, the waste film 2a moved to the outlet 53b of the cyclone 53 is rotated by the wings 56a and 57a of the first and second rotors 56 and 57 rotated by the driving force of the motor 55 being transmitted by the power transmission belt 58. As a result, the waste film 2a discharged from the outlet 53b of the cyclone 53 and discharged from the outlet 53b of the cyclone 53 is supplied to the automatic compressor 70 through the second film transfer line 71 (S110).
[0047]
The automatic compressor 70 compresses the waste film 2a into a lump (S111).
[0048]
The compressed waste film lump 2b is bound by a binding means, for example, a wire, and discharged (S112). At this time, the automatic compressor 70 automatically compresses and reduces the volume when the supplied waste film 2a reaches a predetermined amount, and the waste film lump 2b bound by the operation of the automatic compressor 70. Weight is about 40-60kg, volume (cm 3 ) Is about 500 × 400 × 600 to 1200. Therefore, the operator can easily discard the waste film lump 2b discharged from the automatic compressor 70.
[0049]
In this embodiment, the glass substrate has been described. However, other materials, for example, a substrate made of a plastic material, can be similarly applied.
[0050]
While preferred embodiments of the invention have been described above, it will be appreciated by those skilled in the art that various changes and modifications may be made without departing from the spirit and scope of the invention. .
[0051]
【The invention's effect】
As explained above, according to the film removal apparatus and the film removal method of the present invention, a series of steps such as peeling, separation, collection, and compression for removing the film coated on the surface of the plate-like member. Can be performed efficiently, productivity can be greatly improved, and production costs can be reduced. In addition, the waste film that is peeled off and discharged from the plate member can be immediately collected to improve the working environment, and the volume of the waste film can be reduced to greatly reduce the disposal cost.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view showing configurations of a roller conveyor, an air blaster, a vacuum suction rolling device, and a driving device in a film removing apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a front view showing configurations of a roller conveyor, an air blaster, a vacuum suction rolling device, and a driving device in a film removing apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a side view showing a configuration of a roller conveyor, an air blaster, a vacuum suction rolling device, and a driving device in a film removing apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a front view showing a configuration of a vacuum suction rolling device and a first air suction device in a film removing apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a cross-sectional view showing a partially enlarged configuration of a vacuum suction rolling device in a film removing apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view taken along the line II shown in FIG.
FIGS. 7A and 7B are side views for explaining the operation of the air blaster in the film removing apparatus according to the preferred embodiment of the present invention. FIGS.
8A and 8B are cross-sectional views for explaining the operation of the vacuum suction rolling device in the film removing apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.
FIG. 9 is a system diagram showing configurations of a suction hood, a cyclone, first and second air suction devices, and an automatic compressor of a collecting device in a film removing device according to a preferred embodiment of the present invention.
FIG. 10 is a perspective view showing a configuration of a rotary gate attached to an outlet of a cyclone in a film removing apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.
FIG. 11 is a flowchart for explaining a glass substrate film removing method according to a preferred embodiment of the present invention.
FIG. 12 is a flowchart continued from FIG. 11 for explaining a glass substrate film removing method according to a preferred embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Glass substrate, 2 ... Film, 10 ... Roller conveyor, 14 ... Sensor, 20 ... Air blaster, 21 ... Air supply device, 22 ... Air pipe, 23 ... Air nozzle, 24 ... First air cylinder, 27 ... Second Air cylinder 28 ... Pinch roller 30 ... Vacuum suction rolling device 31 ... Main roller 33 ... Suction pipe 35 ... First air suction device 36 ... Blower 37 ... Sub roller 40 ... Drive device 41 ... Motor , 42 ... Power transmission belt, 50 ... Collection device, 51 ... Suction hood, 53 ... Cyclone, 54 ... Rotary gate, 55 ... Motor, 56, 57 ... First and second rotors, 58 ... Power transmission belt , 59 ... gear train, 60 ... second air suction device, 61, 62 ... first and second turbo blowers, 63 ... third air suction device, 64 ... blower 70 ... automatic compressor, 80 ... controller

Claims (14)

フィルム除去装置であって、
フィルムがコーティングされた板状部材を移送させる移送手段と、
前記板状部材が除去位置に達すれば、前記板状部材の先端に気体を噴射して前記板状部材から前記フィルムを剥離させる気体噴射手段と、
前記板状部材から剥離された前記フィルムを吸着して、前記板状部材から離脱させる吸着ローリング装置と、
前記気体噴射手段を前記板状部材の表面に対して水平方向に移送させる第1の作動手段と、
前記気体噴射手段を前記板状部材の表面に対して垂直方向に移送させる第2の作動手段と
前記板状部材から離脱された前記フィルムを捕集する捕集装置と
を含み、
前記捕集装置は、前記板状部材から剥離された前記フィルムを吸入して捕集するサイクロンを備え、
前記サイクロンは、第1のロータ及び第2のロータを備え、
前記第1及び第2のロータは、各々円筒型ドラムと、この円筒型ドラムの外面に長さ方向に沿って放射状に形成され、互いに協働して前記剥離されたフィルムを前記サイクロンの外部に送出するための多数の翼とを有することを特徴とするフィルム除去装置。
A film removal device comprising:
Transfer means for transferring a plate-like member coated with a film;
If the plate-like member reaches the removal position, gas jetting means for jetting gas to the tip of the plate-like member and peeling the film from the plate-like member;
An adsorption rolling device that adsorbs the film peeled from the plate-like member and separates it from the plate-like member;
First operating means for transferring the gas injection means in a horizontal direction with respect to the surface of the plate-like member;
Second operating means for transferring the gas injection means in a direction perpendicular to the surface of the plate-like member ;
A collecting device for collecting the film detached from the plate-like member;
Including
The collection device includes a cyclone that sucks and collects the film peeled from the plate-like member,
The cyclone includes a first rotor and a second rotor,
Each of the first and second rotors is formed in a cylindrical drum and radially on the outer surface of the cylindrical drum along the length direction, and cooperates with each other to release the peeled film to the outside of the cyclone. A film removing apparatus comprising a plurality of wings for delivery .
前記気体噴射手段は、空気供給装置に連結されて空気の流路を形成する中空型パイプと、前記板状部材の先端に気体が噴射できるように前記パイプの外面に取り付けられている多数のノズルとを備えていることを特徴とする請求項1に記載のフィルム除去装置。  The gas injection means includes a hollow pipe connected to an air supply device to form an air flow path, and a number of nozzles attached to the outer surface of the pipe so that gas can be injected to the tip of the plate-like member. The film removing apparatus according to claim 1, further comprising: 前記吸着ローリング装置は中空型ローラを備え、
前記中空型ローラの周りには、前記板状部材から剥離された前記フィルムを吸引するための複数の孔が形成されていることを特徴とする請求項1に記載のフィルム除去装置。
The suction rolling device includes a hollow roller,
The film removing apparatus according to claim 1, wherein a plurality of holes for sucking the film peeled off from the plate-like member are formed around the hollow roller.
前記吸着ローリング装置は、前記中空型ローラの外周に結合されているとともに、複数の孔が形成された少なくとも1つ以上のサブローラをさらに備え、
前記サブローラに形成された孔のうち少なくとも一部は、前記中空型ローラに形成された少なくとも一部の孔と連通されていることを特徴とする請求項3に記載のフィルム除去装置。
The suction rolling device further includes at least one sub-roller coupled to the outer periphery of the hollow roller and having a plurality of holes formed therein,
The film removing apparatus according to claim 3, wherein at least a part of the holes formed in the sub-roller communicates with at least a part of the holes formed in the hollow roller.
前記吸着ローリング装置は、前記中空型ローラの内部に挿入され、中空型ローラの長さ方向に一列に配列された複数の孔が形成された吸引パイプをさらに備え、
前記吸引パイプに形成された複数の孔は、前記板状部材にコーティングされた前記フィルムに向くように位置され、前記中空型ローラに形成された複数の孔のうち前記板状部材にコーティングされた前記フィルムに向く孔に連通され、
前記吸引パイプは固定され、前記吸引パイプの両端のうち少なくとも一方は空気吸引装置に連結されていることを特徴とする請求項4に記載のフィルム除去装置。
The suction rolling device further includes a suction pipe inserted into the hollow roller and formed with a plurality of holes arranged in a line in the length direction of the hollow roller,
The plurality of holes formed in the suction pipe are positioned to face the film coated on the plate-like member, and the plate-like member is coated among the plurality of holes formed in the hollow roller. Communicated with a hole facing the film,
5. The film removing apparatus according to claim 4, wherein the suction pipe is fixed, and at least one of both ends of the suction pipe is connected to an air suction device.
前記吸引パイプの外面は、前記中空型ローラの内面との接触が防止されるように前記中空型ローラの内側に挿入されていることを特徴とする請求項5に記載のフィルム除去装置。  6. The film removing apparatus according to claim 5, wherein an outer surface of the suction pipe is inserted inside the hollow roller so as to prevent contact with an inner surface of the hollow roller. 前記移送手段は、前記板状部材の先端が前記中空型ローラの上部に達すれば、前記板状部材の移送を停止する停止手段を含むことを特徴とする請求項3ないし請求項6のいずれか1に記載のフィルム除去装置。  7. The transfer means according to claim 3, further comprising a stop means for stopping the transfer of the plate-like member when the tip of the plate-like member reaches the upper part of the hollow roller. 2. The film removing apparatus according to 1. 前記中空型ローラの上部に位置する前記板状部材を前記中空型ローラに対して押す加圧手段をさらに含み、
前記気体噴射手段は、前記板状部材が前記加圧手段により前記中空型ローラの上部に固定された後から、気体を噴射することを特徴とする請求項7に記載のフィルム除去装置。
A pressure means for pressing the plate-like member positioned on the upper part of the hollow roller against the hollow roller;
8. The film removing apparatus according to claim 7, wherein the gas ejecting unit ejects gas after the plate-like member is fixed to the upper portion of the hollow roller by the pressurizing unit.
前記サイクロンは、前記板状部材から剥離された前記フィルムが入る入口及び捕集された前記フィルムが送出される出口を備え、
前記入口の内圧は、前記出口の内圧より高いことを特徴とする請求項1に記載のフィルム除去装置。
The cyclone includes an inlet for entering the film peeled from the plate-like member and an outlet for feeding the collected film.
The film removing apparatus according to claim 1 , wherein an internal pressure of the inlet is higher than an internal pressure of the outlet.
前記捕集装置から排出された前記フィルムを圧縮及びバインディングして排出する自動圧縮器をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載のフィルム除去装置。The film removing apparatus according to claim 1 , further comprising an automatic compressor that compresses and binds the film discharged from the collecting device and discharges the film. 請求項1に記載のフィルム除去装置を用いたフィルム除去方法であって、
フィルムがコーティングされた板状部材を移動させる工程と、
前記板状部材が除去位置に達すれば、水平方向、垂直方向に移動自在な気体噴射手段を用いて、前記板状部材の先端に空気を噴射して前記フィルムを前記板状部材から剥離する工程と、
前記板状部材から剥離された前記フィルムを吸着して前記板状部材から離脱させる工程と
を含むことを特徴とするフィルム除去方法。
A film removal method using the film removal apparatus according to claim 1 ,
Moving the plate-like member coated with the film;
When the plate-like member reaches the removal position, the step of separating the film from the plate-like member by jetting air to the tip of the plate-like member using a gas jetting means movable in a horizontal direction and a vertical direction. When,
And a step of adsorbing the film peeled off from the plate-like member and releasing it from the plate-like member.
前記板状部材に空気を噴射する間、前記板状部材を固定する工程を含むことを特徴とする請求項11に記載のフィルム除去方法。The film removing method according to claim 11 , further comprising a step of fixing the plate-like member while injecting air to the plate-like member. 前記板状部材から剥離された前記フィルムを離脱させながら、前記板状部材を続けて移送させる工程を含むことを特徴とする請求項12に記載のフィルム除去方法。The film removing method according to claim 12 , further comprising a step of continuously transferring the plate-like member while detaching the film peeled from the plate-like member. 前記板状部材から離脱されたフィルムを吸引力を用いて捕集する工程を含むことを特徴とする請求項11に記載のフィルム除去方法。The film removing method according to claim 11 , comprising a step of collecting the film detached from the plate-like member using a suction force.
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Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4445457B2 (en) * 2005-11-11 2010-04-07 株式会社アドテックエンジニアリング Film peeling device
CN100388063C (en) * 2006-02-28 2008-05-14 友达光电股份有限公司 Collecting device
KR100759214B1 (en) 2006-06-07 2007-09-14 주식회사 포스코 Device for removing scale in hot press forming die
JP5278247B2 (en) * 2009-08-28 2013-09-04 旭硝子株式会社 Glass substrate spacer separating apparatus and glass substrate manufacturing method
KR101182171B1 (en) * 2010-06-30 2012-09-12 에이피시스템 주식회사 Device of removing film for laser induced thermal imaging
KR101182169B1 (en) * 2010-06-30 2012-09-12 에이피시스템 주식회사 Device of removing film for laser induced thermal imaging
CN102485357B (en) * 2010-12-03 2014-11-05 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 Method and device for cleaning support plate and substrate film-plating device
CN102556739A (en) * 2010-12-27 2012-07-11 镇江现代印刷机器厂 Roller device for folding and distributing bag bottoms of three-dimensional bags
CN102756536B (en) * 2012-07-13 2015-07-22 深圳市华星光电技术有限公司 Method and device for tearing off polarizer
TWI542470B (en) * 2012-11-14 2016-07-21 財團法人工業技術研究院 Film debonding apparatus and method of the same
JP6365086B2 (en) * 2014-08-05 2018-08-01 日本電気硝子株式会社 Method for peeling glass film and method for manufacturing electronic device
CN106341955B (en) * 2016-10-14 2023-07-21 广东思沃先进装备有限公司 Waste film collecting device and film sticking machine
CN108176677A (en) * 2017-12-27 2018-06-19 安徽中能电源有限公司 A kind of method of quick removal battery surface film paper
CN108819205B (en) * 2018-05-10 2020-06-30 深圳市志凌伟业技术股份有限公司 Large-scale film pressing machine capable of treating waste films
CN112992690B (en) * 2021-02-08 2024-03-19 杭州航鹏机电科技有限公司 Integrated circuit manufacturing process
CN113002904B (en) * 2021-02-22 2023-03-24 河北光兴半导体技术有限公司 Film removing machine for glass substrate

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1015381B (en) * 1987-07-27 1992-02-05 江汉石油管理局钻头厂 Tooth strengthening process of steel toothed annular bit
JPH02221336A (en) * 1989-02-21 1990-09-04 Nkk Corp Smelting reduction method of ni ore
JPH04189260A (en) * 1990-11-20 1992-07-07 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Film peeling device for glass plate
CN1151405C (en) * 2000-07-25 2004-05-26 友达光电股份有限公司 Thin-film transistor LCD and its manufacture
CN1151541C (en) * 2000-08-29 2004-05-26 友达光电股份有限公司 Technology for manufacturing electronic elements of thin-film transistor display

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