JP3964570B2 - 電子写真感光体の製造方法及びそれに基づく電子写真感光体 - Google Patents
電子写真感光体の製造方法及びそれに基づく電子写真感光体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3964570B2 JP3964570B2 JP10171999A JP10171999A JP3964570B2 JP 3964570 B2 JP3964570 B2 JP 3964570B2 JP 10171999 A JP10171999 A JP 10171999A JP 10171999 A JP10171999 A JP 10171999A JP 3964570 B2 JP3964570 B2 JP 3964570B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photosensitive member
- electrophotographic photosensitive
- undercoat layer
- conductive support
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、導電性支持体表面を粗面化し、さらに該粗面化表面に下引き層を形成し、該下引き層上に感光層を設ける電子写真感光体の製造方法及び前記構成からなる電子写真感光体に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、露光光源としてレーザ光などの可干渉光を用いる電子写真装置に使用される感光体は、前記光源によって露光したときに感光層への入射光と層界面からの反射光などによって干渉を起こし、形成される画像上に干渉縞を発生させるという重大な欠陥を防止するため、導電性支持体の表面を粗面化することが行われている。また、該粗面化表面に感光層を直接設けると接着不足による剥離、導電性支持体からの電荷注入による帯電性の低下、導電性支持体の欠陥に基づく画像不良の発生などの理由から、感光層と導電性支持体との間に下引き層あるいは中間層を設けるのが一般的である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
上述の導電性支持体の粗面化や下引き層の形成に関しては、これまで数多くの提案がなされており、たとえば特開平6−67441号公報には湿式ホーニング処理により無切削アルミニウム素管表面を粗面化し、かかるホーニング処理されたアルミニウム管を導電性支持体として使用し、これに感光層を直接設けるか、あるいはジルコニウムなどの塗布液からなる下引き層を介して感光層を設ける電子写真感光体が提案されている。また、特開平5−88395号公報には無切削素管を導電性支持体として用い、該導電性支持体上に1種もしくは複数種の樹脂による中間層を形成すると共に該中間層の膜厚及び表面粗さを規定することが提案されいる。
しかしながら、これらの提案による導電性支持体の粗面化と下引き層もしくは中間層の形成は、いずれも別々のプロセスにより行うためブロセスコストの上昇を招くのみならず得られる効果も十分ではない。
本発明はこのような背景に鑑みてなされたもので、導電性支持体表面の均一な粗面化とその表面に形成する下引き層とを一連のプロセスとすることにより、プロセスコストの上昇を防ぐと共に両者の密着性を向上させて感光層の剥離を防ぎ、さらに導電性支持体の欠陥に基づく画像不良などの発生を抑制することができる電子写真感光体の製造方法及びそれによる電子写真感光体を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、第一に、導電性支持体上に下引き層、感光層を順次設ける電子写真感光体の製造方法において、前記導電性支持体表面をブラスト処理により粗面化し、その後、プラズマ溶射によりアルミナ(Al 2 O 3 )を用いて下引き層を形成することを特徴とする電子写真感光体の製造方法が提供される。
第二に、導電性支持体上に下引き層、感光層を順次設ける電子写真感光体の製造方法において、前記導電性支持体表面をブラスト処理により粗面化し、その後、プラズマ溶射により酸化亜鉛(ZnO)を用いて下引き層を形成した後、該下引き層上にプラズマ溶射により酸化亜鉛(ZnO)からなる感光層を形成することを特徴とする電子写真感光体の製造方法が提供される。
第三に、請求項1又は2記載の電子写真感光体の製造方法において、前記ブラスト処理とプラズマ溶射をプラズマ溶射装置を用いて行うことを特徴とする電子写真感光体の製造方法が提供される。
第四に、請求項1乃至3の何れか一項に記載の電子写真感光体の製造方法において、前記導電性支持体がアルミニウムを主成分とする合金で構成されていることを特徴とする電子写真感光体の製造方法が提供される。
第五に、請求項1乃至3の何れか一項に記載の電子写真感光体の製造方法において、前記ブラスト処理に用いる研磨材がアルミナ微粉末であることを特徴とする電子写真感光体の製造方法が提供される。
第六に、請求項1記載の電子写真感光体の製造方法により形成された導電性支持体表面及び下引き層を用い、該下引き層上に感光層を設けたことを特徴とする電子写真感光体が提供される。
【0005】
【発明の実施の形態】
以下に本発明を詳細に説明する。
上述のように、本発明は、導電性支持体上に下引き層、感光層を順次設ける電子写真感光体の製造方法において、前記導電性支持体表面をブラスト処理により微細に粗面化し、その後、プラズマ溶射により下引き層を形成するものであり、ブラスト処理により可干渉光の露光による干渉縞の発生を抑えることができると共に、その後プラズマ溶射によって形成される下引き層との密着性をも向上させることができ、さらに該プラズマ溶射による下引き層を形成し、その上に感光層を形成することにより、感光層との密着性を向上させ、また導電性支持体上の欠陥に起因するような画像不良の発生もない感光体が得られることを見出したものである。
上記本発明において、ブラスト処理による導電性支持体表面の粗面化とプラズマ溶射による下引き層の形成は、プラズマ溶射装置を用いて行うことができ、これにより該二つのプロセスを同一装置により行うことができるため、プロセスの簡略化を行うことができ、コスト上昇の抑制に貢献することができる。
また、上記ブラスト処理による粗面化は、導電性支持体としてアルミニウムを主成分とする合金の素管を用いることによりブラスト処理を容易に行うことができる。また、上記ブラスト処理にアルミナ微粉末を研磨材として用いるときは硬度の高いアルミナ微粉末を用いることができるため支持体の粗面化を確実に行うことができる。さらにまた上記プラズマ溶射による下引き層をアルミナ(Al2O3)微粉末により形成するときは上記ブラスト処理をアルミナ(Al2O3)微粉末を研磨材として用いることとあいまってプロセスの簡略化を行うことができる。さらに同様な考え方から上記プラズマ溶射により酸化亜鉛(ZnO)からなる下引き層を形成し、該下引き層上にプラズマ溶射により酸化亜鉛(ZnO)からなる感光層を形成することによりプロセスの簡略化を大きく進めることができる。
【0006】
【実施例】
以下に本発明を実施例により具体的に説明する。
〔実施例1〕
図1は本発明による電子写真感光体の製造方法の第一工程を例示するものである。図において、10は導電性支持体であるアルミニウム製円筒形基板、一点鎖線で囲んだ部分は高温プラズマ発生部を有するプラズマ溶射部6であり、2はノズル(陽極)、3は電極(陰極)、4は粒子(粉末)導入口、5はプラズマガスの導入部である。
導電性支持体として長さ300mm、直径180mmのアルミニウム製円筒形基板10を使用した。この円筒形基板10はDI法で形成された表面を鏡面切削したものである。ここで、DI法とは、アルミニウムを主成分とする板材を深絞り加工によって引き抜き、次いで外側の表面をしごき加工し、片側に底のある円筒を製造する方法であり、一般には底を切断、端面処理し使用する。
プラズマ発生装置には図示するような高温プラズマ発生部を持つプラズマ溶射部6と、それに対向する基材ホルダー(図示せず)を持つ装置を用いた。雰囲気は大気開放である。該装置の基板ホルダーは、円筒形基板を支持することができ、内部にヒーターがあり、加熱できるようになっている。また、円筒全面を処理するために自転するようにしてある。
まず、アルミナ(Al2O3)微粒子を用いてブラスト処理を行うため、プラズマ溶射部6内へブラズマガス導入部5より圧縮空気またはアルゴンを導入し、粒子導入口4より導入したアルミナ(Al2O3)微粒子を75rpmで回転しているアルミニウム製円筒形基板10上に吹き付けて、その表面を粗面化した(図2(b)参照)。これによりアルミニウム製円筒形基板表面は微細に粗面化された。
なお、従来のホーニング処理では、主に溶液中に研磨材を懸濁させ、この懸濁液をポンプに送液しながら、空気導入管から圧送される圧縮気体を研磨材と共にガンから基板上に吹き付けている。そのため装置が複雑となる。さらに懸濁液を処理する機能も必要となる。また、吹き付けた研磨材の一部は懸濁液が水であっても粘性を持つため基板上に付着してしまう。これに対して本発明のブラスト処理では懸濁液を用いていないため装置は簡単である。また、本例で研磨材として用いたアルミナ(Al2O3)微粒子は基板上に付着しにくく、付着している場合でも有機溶剤等で容易に除去することができる。
上記のようにして得た微細に粗面化されたアルミニウム製円筒形基板表面を有機溶剤を吹き付けて脱脂洗浄を行った。次いで、プラズマ発生部内へアルゴンガスを導入し、プラズマ点火を行った。 また、該円筒形基板10を基板ホルダー内に設けたヒーターにより加熱した。加熱温度は150℃とした。円筒全面に成膜するため円筒が20rpmで回転するように設定し、プラズマ発生部と円筒形基板との距離を30cmとした。図示するような原料導入口4より粒径0.5μmのアルミナ(Al2O3)粒子を導入し、RFプラズマ投入電力、アルゴンガス流量を制御して、高温プラズマ中でアルミナ(Al2O3)粒子を溶融させ前記粗面化された円筒形基板10上に供給して膜厚5μmのアルミナ(Al2O3)層を成膜し下引き層30aとした(図2(c)参照)。
次に、得られた下引き層30a上に従来のCVD法により水素化アモルファスシリコン(a−si:H)からなる感光層40aを形成し電子写真感光体とした(図2(d)参照)。
上記のようにして得られた電子写真感光体を複写機に装填して画像評価試験を行った。波長を740nm、光量を30μW/cm2、光ビーム径を60μmとし、帯電はスコロトロン方式で、印加電圧を6KVとした。また、二成分現像剤を用い磁気ブラシ法で現像した。感光体の回転速度(線速度)は150mm/sとした。その結果、得られた画像はオリジナル原稿のパターンを忠実に再現しており、干渉縞や、黒点、カブリなどの画像欠陥の発生はなかった。
【0007】
〔実施例2〕
アルミニウム製円筒形基板としてDI法により形成した表面無切削のものを用いた。該無切削円筒形基板は、実施例1の鏡面切削した基板と比べ表面粗さが大きいため、ブラスト処理は無切削基板表面の表面粗さを低くする条件と基板表面を微細に粗面化する条件とに分けて、処理を行った。それ以外は実施例1と同様にして電子写真感光体を得た。この電子写真感光体について実施例1と同様の画像評価試験を行ったところ、得られた画像はオリジナル原稿のパターンを忠実に再現しており、干渉縞や、黒点、カブリなどの画像欠陥の発生もなかった。このように無切削表面の基板にも本発明を適用できるためコスト低減に大きく貢献することができる。
〔実施例3〕
プラズマ溶射による下引き層の形成に酸化亜鉛(ZnO)を用いた以外は実施例1と同様にして電子写真感光体を得た(図3参照)。この電子写真感光体について実施例1とは光源部分のみ改造した(波長380nm、光量30μW/cm2 、光ビーム径60μm)複写機を用いて画像評価試験を行った。
その結果、得られた画像はオリジナル原稿のパターンを忠実に再現しており、干渉縞や、黒点、カブリなどの画像欠陥の発生もなかった。本例のように下引き層が酸化亜鉛(ZnO)からなるため、プラズマ溶射によって容易に形成することができる。
【0008】
〔実施例4〕
プラズマ溶射により下引き層及び感光層を酸化亜鉛(ZnO)で形成した以外は実施例1と同様にして電子写真感光体を得た(図4参照)。図1に示すように原料導入口4より酸化亜鉛(ZnO)粒子を導入し、高温プラズマ中で溶融させて、円筒形基板10上へ供給し、酸化亜鉛からなる下引き層30bを成膜した。次にRFプラズマ投入電力、アルゴンガス流量を制御し、5分間で膜厚100μmの感光層40bを成膜した。使用した酸化亜鉛粒子の粒径は5μmである。このようにして得られた電子写真感光体について、実施例1とは光源部分のみ改造した(波長380nm、光量30μW/cm2 、光ビーム径60μm)複写機を用いて、印加電圧−6KVで画像評価試験を行った。その結果、得られた画像はオリジナル原稿のパターンを忠実に再現しており、干渉縞や、黒点、カブリなどの画像欠陥の発生もなかった。本例のようにプラズマ溶射により下引き層と感光層を酸化亜鉛(ZnO)粒子で形成することができるため、同一の素材で下引き層と感光層を形成することができ、プロセスを簡略化することができる。
本例では酸化亜鉛(ZnO)粒子を用いたが、これのみでなく、前記酸化亜鉛粒子中に感光波長域が広くなる元素または抵抗率が高くなる元素を含む不純物がドーピングされた、いわゆる物理増感された酸化亜鉛粒子を用いてもよい。 また、実施例は全てアルミナ(Al2O3)微粒子によりブラスト処理を行ったが、酸化亜鉛(ZnO)粒子によってもブラスト処理は可能である。
【0009】
【発明の効果】
以上のように請求項1の発明は、導電性支持体上に下引き層、感光層を順次設ける電子写真感光体の製造方法において、前記導電性支持体表面をブラスト処理により粗面化し、その後、プラズマ溶射によりアルミナ(Al 2 O 3 )を用いて下引き層を形成する、とするものであり、この製造方法によれば、導電性支持体表面をブラスト処理により微細に粗面化しているので可干渉光の露光による干渉縞の発生を抑えることができると共に、その後プラズマ溶射によって形成される下引き層との密着性をも向上させることができ、さらに該プラズマ溶射により下引き層を形成し、その上に感光層を形成するので、感光層との密着性も向上し、さらに導電性支持体上の欠陥に起因するような画像不良を発生させることがない電子写真感光体を得ることができる。
請求項2の発明は、導電性支持体上に下引き層、感光層を順次設ける電子写真感光体の製造方法において、導電性支持体表面をブラスト処理により粗面化し、その後、プラズマ溶射により酸化亜鉛(ZnO)を用いて下引き層を形成した後、該下引き層上にプラズマ溶射により酸化亜鉛(ZnO)からなる感光層を形成するので、これによればプラズマ溶射により形成された下引き層が酸化亜鉛であり、感光層がブラズマ溶射により形成された酸化亜鉛であるので、下引き層形成と感光層形成に用いる微粒子を同一にすることができ、プロセスの簡略化を大きく進めることができる。
請求項3の発明は、請求項1又は2の構成において、上記ブラスト処理とプラズマ溶射をプラズマ溶射装置を用いて行う、とするものであり、これによればブラスト処理とプラズマ溶射を同一の装置を用いて行うことができるためプロセスの簡略化を行うことができ、プロセスコストの上昇を抑制することができる。
請求項4の発明は、請求項1乃至3の何れか一項の構成において、上記導電性支持体がアルミニウムを主成分とする合金で構成されている、とするものであり、これによれば導電性支持体にアルミニウム素管を用いることができるためブラスト処理を容易に行うことができる。
請求項5の発明は、請求項1乃至3の何れか一項の構成において、上記ブラスト処理に用いる研磨材がアルミナ(Al2O3)微粉末である、とするものであり、これによれば硬度の高いアルミナ(Al2O3)微粉末を用いてブラスト処理をするので支持体表面の粗面化を確実に行うことができる。
請求項6の発明は、請求項1の製法に基づいて形成された導電性支持体表面及び下引き層を用い、該下引き層上に感光層を設けた電子写真感光体であり、この構成によれば導電性支持体表面がブラスト処理により微細に粗面化されているので、可干渉光により露光されても干渉縞の発生を見ることがなく、さらに次にプラズマ溶射により積層される下引き層との密着性をも向上させることができる。また該プラズマ溶射による下引き層を介して感光層が形成されるため、感光層との密着性も向上し、さらに導電性支持体の欠陥に起因するような画像不良を発生させることがない電子写真感光体を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明における電子写真感光体の第一の製造工程を例示する説明図。
【図2】実施例における電子写真感光体の製造プロセスを説明するための図。
【図3】実施例における電子写真感光体の製造プロセスを説明するための図。
【図4】実施例おける電子写真感光体の製造プロセスを説明するための図。
【符号の説明】
2:ノズル(陽極)
3:電極(陰極)
4:粒子(粉末)導入口
5:プラズマガス導入部
6:プラズマ溶射部
10:アルミニウム製円筒形基板
20:粗面化表面
30a:アルミナ下引き層
30b:酸化亜鉛下引き層
40a:アモルファスシリコン感光層
40b:酸化亜鉛感光層
Claims (6)
- 導電性支持体上に下引き層、感光層を順次設ける電子写真感光体の製造方法において、前記導電性支持体表面をブラスト処理により粗面化し、その後、プラズマ溶射によりアルミナ(Al 2 O 3 )を用いて下引き層を形成することを特徴とする電子写真感光体の製造方法。
- 導電性支持体上に下引き層、感光層を順次設ける電子写真感光体の製造方法において、前記導電性支持体表面をブラスト処理により粗面化し、その後、プラズマ溶射により酸化亜鉛(ZnO)を用いて下引き層を形成した後、該下引き層上にプラズマ溶射により酸化亜鉛(ZnO)からなる感光層を形成することを特徴とする電子写真感光体の製造方法。
- 請求項1又は2記載の電子写真感光体の製造方法において、前記ブラスト処理とプラズマ溶射をプラズマ溶射装置を用いて行うことを特徴とする電子写真感光体の製造方法。
- 請求項1乃至3の何れか一項に記載の電子写真感光体の製造方法において、前記導電性支持体がアルミニウムを主成分とする合金で構成されていることを特徴とする電子写真感光体の製造方法。
- 請求項1乃至3の何れか一項に記載の電子写真感光体の製造方法において、前記ブラスト処理に用いる研磨材がアルミナ微粉末であることを特徴とする電子写真感光体の製造方法。
- 請求項1記載の電子写真感光体の製造方法により形成された導電性支持体表面及び下引き層を用い、該下引き層上に感光層を設けたことを特徴とする電子写真感光体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10171999A JP3964570B2 (ja) | 1999-04-08 | 1999-04-08 | 電子写真感光体の製造方法及びそれに基づく電子写真感光体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10171999A JP3964570B2 (ja) | 1999-04-08 | 1999-04-08 | 電子写真感光体の製造方法及びそれに基づく電子写真感光体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000292944A JP2000292944A (ja) | 2000-10-20 |
JP3964570B2 true JP3964570B2 (ja) | 2007-08-22 |
Family
ID=14308123
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10171999A Expired - Fee Related JP3964570B2 (ja) | 1999-04-08 | 1999-04-08 | 電子写真感光体の製造方法及びそれに基づく電子写真感光体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3964570B2 (ja) |
-
1999
- 1999-04-08 JP JP10171999A patent/JP3964570B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000292944A (ja) | 2000-10-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2006267507A (ja) | 電子写真感光体、並びに、これを用いたプロセスカートリッジおよび画像形成装置 | |
JP2000066428A (ja) | 電子写真感光体およびその製造方法 | |
JP3964570B2 (ja) | 電子写真感光体の製造方法及びそれに基づく電子写真感光体 | |
US4091145A (en) | Support for electrophotographic sensitive plate | |
JP2005099637A (ja) | 感光体用基体及び感光体、並びに画像形成装置 | |
JPH11102080A (ja) | 感光体および画像形成装置 | |
JP3010199B2 (ja) | 光導電体 | |
JP2000221719A (ja) | 電子写真感光体 | |
JP3168815B2 (ja) | 現像装置および現像剤担持体の製造方法 | |
JP4298401B2 (ja) | 堆積膜形成装置、及び堆積膜形成方法 | |
JPH0764312A (ja) | 電子写真感光体の表面処理方法 | |
JP2956947B2 (ja) | 電子写真用感光体 | |
US6040106A (en) | Porous photoreceptor and method for manufacturing the same | |
JP5446659B2 (ja) | 電子写真感光体、プロセスカートリッジ、および画像形成装置 | |
JPH0895273A (ja) | 感光ドラム用アルミニウム管の製造方法 | |
JP3215829B2 (ja) | 感光ドラム用アルミニウム基体の製造方法 | |
JP3895072B2 (ja) | 電子写真感光体及びその製造方法 | |
JP3857160B2 (ja) | 感光体および画像形成装置 | |
JPH11305472A (ja) | 電子写真感光体用支持体とその製造方法および電子写真感光体 | |
JP2019159181A (ja) | 電子写真感光体、プロセスカートリッジ、及び画像形成装置 | |
JP2001337471A (ja) | 電子写真感光体、その製造方法及び電子写真装置 | |
JP2005015877A (ja) | 堆積膜形成装置及び堆積膜形成方法 | |
JPH05232734A (ja) | 電子写真感光体およびその製造方法 | |
JP2002328482A (ja) | 電子写真感光体、該電子写真感光体の製造方法、及び該電子写真感光体を有するプロセスカートリッジ及び電子写真装置 | |
JP2005163163A (ja) | 堆積膜形成装置、及び堆積膜形成方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050125 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20050315 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061207 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061212 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070213 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070515 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070524 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110601 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110601 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120601 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130601 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |