JP3964556B2

JP3964556B2 - Air knife and drying apparatus using the same

Info

Publication number: JP3964556B2
Application number: JP27767098A
Authority: JP
Inventors: 勝則金子; 明典磯
Original assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Current assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Priority date: 1998-09-30
Filing date: 1998-09-30
Publication date: 2007-08-22
Anticipated expiration: 2018-09-30
Also published as: JP2000105078A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は被処理物に付着した処理液を除去するためのエア−ナイフおよびそのエア−ナイフを用いた処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
たとえば、液晶表示装置や半導体装置の製造工程においては、被処理物としての液晶用ガラス基板や半導体ウエハなどの基板に回路パタ−ンを形成する成膜プロセスやフォトプロセスがある。これらのプロセスにおいては、上記基板をそれぞれの処理室で順次異なる処理液で処理することがある。
【０００３】
そのような場合、最初の処理室で用いられた処理液が、上記基板に付着してつぎの処理室に持ち込まれたり、その持ち込まれた処理液が他の処理液に混合するのを防止するために、基板が最初の処理室からつぎの処理室に搬送される際、上記基板にエア−ナイフによって圧縮空気を吹き付けて除去乾燥し、上記処理液が他の処理室に持ち込まれたり、他の処理液と混合するのを防止するようにしている。
【０００４】
従来、図６（ａ），（ｂ）に示すように、基板１に付着した処理液２を確実に乾燥処理するため、搬送ローラ３によって矢印方向に搬送される上記基板１の上下面に対向してそれぞれエア−ナイフ４を先端が基板１の搬送方向後端側に向くよう傾斜させ、かつ基板１の搬送方向に対して交差する幅方向に対しても図６（ｂ）に示すよう所定の角度で傾斜させて配置し、その先端から圧縮空気を噴射させることで、上記基板１の上下面から処理液を除去するようにしている。
【０００５】
エアーナイフ４を搬送方向後端側に向けて傾斜させることで、基板１に付着した処理液２を図６（ａ）に矢印で示す基板１の搬送方向の後端側へ吹き寄せて除去することが可能となる。しかしながら、エアーナイフ４の先端から噴出される圧縮空気は、その長手方向全長にわたって均一な圧力で噴射されるものでなく、しかも基板の幅方向における処理液の付着量が均一でないなどのことによって処理液が確実に除去乾燥されずに部分的に残留したり、十分に乾燥されないなどのことがある。
【０００６】
そこで、図７（ａ），（ｂ）に示すように基板１の上下面に、それぞれ２つのエアーナイフ４を基板の搬送方向に対して所定の間隔で離間させて配置し、基板１の上下面に圧縮空気を二段階で噴射することで、処理液２の除去乾燥を行うようにしている。つまり、第一段のエアーナイフ４で処理液２を基板１から除去し、第二段のエアーナイフ４で残留する処理液２の除去や除去された部分の乾燥を行うようにしている。
【０００７】
このように、基板１の上下面にそれぞれ２つのエアーナイフ４を配置すれば、１つの場合に比べて処理液２の除去乾燥を確実に行うことが可能となる。しかしならが、基板１の上下面にそれぞれ２つのエアーナイフ４を配置しなければならないことによって構成の複雑化を招いたり、２つのエアーナイフを配置するスペースを確保するために装置が大型化するなどのことがあり、さらに使用するエアーナイフの数が多くなることでコストの増大を招くなどのことがあった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
このように、被処理物に付着した処理液を確実に除去乾燥するために、従来は被処理物の上下面にそれぞれ２つのエアーナイフを所定間隔で離間させて配置するようにしていたので、装置の大型化やコストの増大を招くなどのことがあった。
【０００９】
この発明は装置の大型化やコストの増大を招くなどのことなく被処理物から処理液を良好に除去乾燥させることができるようにしたエアーナイフおよびそれを用いた処理装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は被処理物に付着した処理液をエアーの圧力で除去するエアーナイフにおいて、
圧縮空気が導入される空間部が形成されたナイフ本体を有し、このナイフ本体には一端が上記空間部に連通し他端がナイフ本体の下端側に開放して上記圧縮空気を噴出する一対のスリットが上記ナイフ本体の厚さ方向に離間しかつ上記ナイフ本体の長手方向に沿って形成されていることを特徴とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、被処理物に付着した処理液をエアーの圧力で除去するエアーナイフにおいて、
一端から圧縮空気が導入され他端が所定方向に傾斜した傾斜部を介して下端面に開放する空間部が形成されたナイフ本体と、
このナイフ本体の傾斜部にスペーサを介して設けられその一対の側面と上記傾斜部の一対の内面との間に上記空間部に供給された圧縮空気を所定方向に向けて噴射する一対のスリットを上記ナイフ本体の厚さ方向に離間しかつ上記ナイフ本体の長手方向に沿って形成するスリット部材と
を具備したことを特徴とする。
【００１２】
請求項３の発明は、請求項１の発明において、上記一対のスリットは、逆方向に向って傾斜していることを特徴とする。
【００１３】
請求項４の発明は、処理槽を有し、この処理槽に搬入される被処理物にエアーナイフから噴出される圧縮空気を吹き付けて乾燥処理する処理装置において、
上記エアーナイフは請求項１に記載された構成であることを特徴とする。
【００１４】
請求項１乃至請求項３の発明によれば、ナイフ本体に圧縮空気が供給される空間部に連通した一対のスリットを形成したことで、１つのエアーナイフによって２つのエアーナイフと同等の機能を備えることができる。
【００１５】
請求項４の発明によれば、請求項１に記載されたエアーナイフを用いることで、大型化や構成の複雑化を招くことなく処理装置を構成することができる。
【００１６】
【実施の形態】
以下、この発明の一実施の形態を図１乃至図３を参照して説明する。図３に示す処理装置は処理槽１１を備えている。この処理槽１１は上面が開放した箱型状をなしていて、その一側には搬入口１２が形成され、他側には搬出口１３が形成されている。
【００１７】
処理槽１１の内部、搬入口１２側の外部及び搬出口１３側の外部にはそれぞれ搬送機構を構成するローラ１４が同じ高さレベルで回転自在に配設されている。これらローラ１４は図示しない駆動源によって回転駆動されるようになっている。それによって、上記処理槽１１内には上記搬入口１２から被処理物としての半導体ウエハや液晶用ガラス基板などの基板１５が搬入され、矢印方向へ搬送されるようになっている。
【００１８】
処理槽１１に搬入される基板１５はその前工程で薬液や純水などの処理液によって処理されており、その上下面には処理液Ｌが付着している。処理槽１１には上記基板１５の上下面に対向してそれぞれ基板１５の幅寸法よりもわずかに長尺なエアーナイフ１６が配設され、このエアーナイフ１６によって処理液Ｌが後述するように除去乾燥されるようになっている。
【００１９】
上記エアーナイフ１６は図１と図２に示すように直方体状のナイフ本体１７を有する。このナイフ本体１７には、その上端面に一端が開放した空間部１８が形成されている。この空間部１８の他端はナイフ本体１７の厚さ方向一端側に傾斜した傾斜部１９を介して上記ナイフ本体１７の下端面に開放している。
【００２０】
上記ナイフ本体１７の上端面にはパッキング２１を介して供給ヘッド２２が気密に接合され、ねじ２３によって固定されている。この供給ヘッド２２は中空状をなしていて、その下端面には内部空間を上記空間部１８に連通させる開口部２４が形成されている。
【００２１】
上記供給ヘッド２２の一側面にはその内部空間に連通する複数の接続口体２５が所定間隔で設けられている。各接続口体２５にはＬ字状の供給短管２６が接続され、この供給短管２６には図示しない圧縮空気の供給ホースが接続されるようになっている。
【００２２】
上記ナイフ本体１７の傾斜部１９には、この傾斜部１９の厚さ寸法よりも薄い帯板状のスリット部材２８が長手方向両端部の両側面に所定の厚さのスペーサ２７を介在させて装着されている。このスペーサ２７はねじ２９によって上記ナイフ本体１７に固定されている。それによって、上記スリット部材２８の両側面と上記傾斜部１９の内側面との間には、ナイフ本体１７の長手方向ほぼ全長にわたる一対のスリット３１が同じ方向に所定の角度で傾斜して平行に形成されている。
【００２３】
したがって、供給配管２６から供給された圧縮空気は図２に矢印で示すように流れて一対のスリット３１から噴出するようになっている。
【００２４】
上記構成のエアーナイフ１６は、ローラ１４によって搬送される基板１５の上面と下面とにそれぞれ１つずつ配設されている。すなわち、各エアーナイフ１６は、スリット３１を基板１５の板面に対向させるとともにスリット３１を基板１５の後端側に向って傾斜させ、さらにナイフ本体１７の長手方向が基板１５の搬送方向に対して所定の角度をなす状態で配設されている。
【００２５】
このような構成の処理装置においては、前工程で処理されて処理液Ｌが付着した基板１５が処理槽１１の搬入口１２からその内部に搬送されてきて、エアーナイフ１６に対向位置すると、まず上記エアーナイフ１６の搬入口１２側に位置するスリット３１から噴射される圧縮空気によって上記基板１５の上下面に付着した処理液Ｌが除去され、ついで基板１５が搬送されることによって上記エアーナイフ１６の搬出口１３側に位置するスリット３１から噴出される圧縮空気によって最初に処理液が除去された部分に圧縮空気が再度、噴射される。
【００２６】
すなわち、基板１５は同じ部分が二度にわたる圧縮空気の噴射を受けることになるから、最初の噴射で処理液Ｌが確実に除去されなくとも、二度目の噴射で確実に除去され、さらには乾燥されることになるから、上記基板１５からの処理液Ｌの除去乾燥処理を確実に行うことができる。
【００２７】
上記エアーナイフ１６には２つのスリット３１が形成されているから、１つのエアーナイフ１６が従来の２つのエアーナイフと同等の機能を有することになる。したがって、従来であれば基板１５の乾燥処理を確実に行うために、基板１５の上下面に対向するようそれぞれ２つのエアーナイフを配置しなければならなかったが、この発明のエアーナイフ１６を用いれば、基板の１５の上下面に対向するようそれぞれ１つずつ配置すればよいから、構成の簡略化や処理装置の小型化を計ることができ、さらにはコストの低減を図ることもできる。
【００２８】
図４と図５はこの発明の他の実施の形態のエアーナイフ１６Ａを示す。なお、上記一実施の形態と同一部分には同一記号を付して説明を省略する。すなわち、この実施の形態のエアーナイフ１６Ａはナイフ本体１７Ａに形成された空間部１８の他端が漸次拡幅するテーパ状のスカート部３５を介して上記ナイフ本体１７Ａの下端面に開放している。
【００２９】
上記スカート部３５には、このスカート部３５の開き角度とほぼ同じ角度の頂角を有する三角柱状のスリット部材３６が装着されている。このスリット部材３６の頂角を挟む２つの側面の長手方向両端部にはそれぞれスペーサ３７が接合固定され、そしてこのスリット部材３６はナイフ本体１７Ａの外面から螺合されたねじ３８によって固定されている。
【００３０】
それによって、上記スカート部３５の両側内面とスリット部材３６の２つの側面との間には上記スペーサ３７の厚さに相当する一対のスリット３１Ａがナイフ本体１７Ａの長手方向ほぼ全長にわたり、しかも異なる方向に傾斜して形成されている。
【００３１】
上記構成のエアーナイフ１６Ａによれば、上記一実施の形態と同様、２つのスリット３１Ａを有するから、１つのエアーナイフで２つのエアーナイフと同等の機能を有することになる。
【００３２】
一対のスリット３１Ａが異なる方向を向いているという点で上記一実施の形態のエアーナイフ１６と構成が異なるが、一方のスリット３１Ａから噴射される圧縮空気によって基板１５に付着した処理液Ｌを除去し、他方のスリット３１Ａから噴射される圧縮空気によって基板１５に残留する処理液Ｌを乾燥させたり、処理液Ｌが除去された基板１５の表面を乾燥させることができる。したがって、機能的には上記一実施の形態のエアーナイフ１６とほとんど異なることはない。
【００３３】
【発明の効果】
請求項１乃至請求項３の発明によれば、ナイフ本体に圧縮空気が供給される空間部を形成するとともに、この空間部に連通する一対のスリットを形成するようにした。
【００３４】
そのため、２つのスリットを有するエアーナイフは、１つで２つのエアーナイフと同等の機能を備えることができるから、被処理物から処理液を良好に除去乾燥させることができるばかりか、２つのエアーナイフを用いる場合に比べて構成の簡略化や小型化あるいはコストの低減などを計ることができる。
【００３５】
請求項４の発明によれば、請求項１に記載されたエアーナイフを用いることで、大型化や構成の複雑化を招くことなく処理装置を構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施の形態のエアーナイフを示す分解斜視図。
【図２】同じく組立て状態の縦断面図。
【図３】同じく処理装置の概略的構成図。
【図４】この発明の第２の実施の形態を示すエアーナイフの分解斜視図。
【図５】同じく組立て状態の縦断面図。
【図６】（ａ）は１つのエアーナイフによって基板の乾燥処理を行う従来の方法を示す側面図、（ｂ）は同じく平面図。
【図７】（ａ）は２つのエアーナイフによって基板の乾燥処理を行う従来の方法を示す側面図、（ｂ）は同じく平面図。
【符号の説明】
１１…処理槽
１５…基板（被処理物）
１６…エアーナイフ
１７…ナイフ本体
１８…空間部
３１…スリット。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an air knife for removing a treatment liquid adhering to a workpiece and a processing apparatus using the air knife.
[0002]
[Prior art]
For example, in a manufacturing process of a liquid crystal display device or a semiconductor device, there are a film forming process and a photo process for forming a circuit pattern on a substrate such as a liquid crystal glass substrate or a semiconductor wafer as a processing object. In these processes, the substrate may be processed with different processing liquids sequentially in each processing chamber.
[0003]
In such a case, the processing liquid used in the first processing chamber is prevented from adhering to the substrate and brought into the next processing chamber, or the introduced processing liquid is not mixed with other processing liquids. Therefore, when the substrate is transported from the first processing chamber to the next processing chamber, the substrate is blown away with compressed air by an air-knife to be removed and dried, and the processing liquid is brought into another processing chamber. It prevents mixing with the processing liquid.
[0004]
Conventionally, as shown in FIGS. 6A and 6B, in order to reliably dry the treatment liquid 2 attached to the substrate 1, it faces the upper and lower surfaces of the substrate 1 conveyed in the direction of the arrow by the conveyance roller 3. Each of the air knives 4 is inclined so that the front end faces the rear end side of the substrate 1 in the transport direction, and the width direction intersecting the transport direction of the substrate 1 is also predetermined as shown in FIG. The processing liquid is removed from the upper and lower surfaces of the substrate 1 by injecting the compressed air from the tip thereof.
[0005]
By inclining the air knife 4 toward the rear end side in the transport direction, the processing liquid 2 adhering to the substrate 1 is blown toward the rear end side in the transport direction of the substrate 1 indicated by an arrow in FIG. Is possible. However, the compressed air ejected from the tip of the air knife 4 is not ejected with a uniform pressure over the entire length in the longitudinal direction, and the treatment liquid is not uniformly applied in the width direction of the substrate. In some cases, the liquid is not removed and dried reliably and remains partially or not sufficiently dried.
[0006]
Therefore, as shown in FIGS. 7A and 7B, two air knives 4 are arranged on the upper and lower surfaces of the substrate 1 so as to be spaced apart from each other at a predetermined interval in the substrate transport direction. The treatment liquid 2 is removed and dried by injecting compressed air into the lower surface in two stages. That is, the processing liquid 2 is removed from the substrate 1 by the first-stage air knife 4, and the remaining processing liquid 2 is removed by the second-stage air knife 4 and the removed portion is dried.
[0007]
In this manner, if two air knives 4 are arranged on the upper and lower surfaces of the substrate 1, it is possible to reliably remove and dry the processing liquid 2 as compared with the case of one. However, since the two air knives 4 must be arranged on the upper and lower surfaces of the substrate 1 respectively, the configuration becomes complicated, and the apparatus becomes large in order to secure a space for arranging the two air knives. In addition, the increase in the number of air knives to be used may increase the cost.
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
Thus, in order to reliably remove and dry the processing liquid adhering to the object to be processed, conventionally, two air knives were arranged on the upper and lower surfaces of the object to be processed at a predetermined interval. In some cases, the size of the apparatus is increased and the cost is increased.
[0009]
An object of the present invention is to provide an air knife capable of satisfactorily removing and drying a processing liquid from an object to be processed without causing an increase in size and cost of the apparatus, and a processing apparatus using the air knife. .
[0010]
[Means for Solving the Problems]
The invention of claim 1 is an air knife for removing the treatment liquid adhering to the object to be treated by the pressure of air,
A pair of knife bodies each having a space into which compressed air is introduced, one end communicating with the space and the other open to the lower end of the knife body and ejecting the compressed air; The slits are separated in the thickness direction of the knife body and are formed along the longitudinal direction of the knife body.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
The invention of claim 1 is an air knife that removes the treatment liquid adhering to the object to be treated by air pressure.
A knife body in which a compressed air is introduced from one end and the other end is inclined in a predetermined direction and a space portion is opened at the lower end surface through an inclined portion;
A pair of slits that are provided in the inclined portion of the knife body via a spacer and inject the compressed air supplied to the space portion in a predetermined direction between the pair of side surfaces and the pair of inner surfaces of the inclined portion. A slit member spaced apart in the thickness direction of the knife body and formed along the longitudinal direction of the knife body;
It is characterized by comprising .
[0012]
According to a third aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the pair of slits are inclined in opposite directions.
[0013]
Invention of Claim 4 has a processing tank, and in the processing apparatus which blows the compressed air which blows off from the air knife to the processed material carried in to this processing tank,
The air knife has the structure described in claim 1.
[0014]
According to the first to third aspects of the invention, the pair of slits communicating with the space to which the compressed air is supplied is formed in the knife body, so that the function equivalent to two air knives can be obtained by one air knife. Can be provided.
[0015]
According to the invention of claim 4, by using the air knife described in claim 1, it is possible to configure the processing apparatus without causing an increase in size or complication of the configuration.
[0016]
[Embodiment]
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The processing apparatus shown in FIG. 3 includes a processing tank 11. The processing tank 11 has a box shape with an open upper surface, and a carry-in port 12 is formed on one side, and a carry-out port 13 is formed on the other side.
[0017]
Rollers 14 constituting a transport mechanism are rotatably disposed at the same height level inside the processing tank 11, outside the carry-in entrance 12 side, and outside the carry-out exit 13 side. These rollers 14 are rotationally driven by a driving source (not shown). Thereby, a substrate 15 such as a semiconductor wafer or a liquid crystal glass substrate as a processing object is carried into the processing tank 11 from the carry-in port 12 and is conveyed in the direction of the arrow.
[0018]
The substrate 15 carried into the treatment tank 11 is treated with a treatment solution such as a chemical solution or pure water in the previous process, and the treatment solution L is attached to the upper and lower surfaces thereof. An air knife 16 slightly longer than the width of the substrate 15 is disposed in the processing tank 11 so as to face the upper and lower surfaces of the substrate 15, and the processing liquid L is removed by the air knife 16 as will be described later. It is supposed to be dried.
[0019]
The air knife 16 has a rectangular parallelepiped knife body 17 as shown in FIGS. The knife body 17 is formed with a space 18 having one end open at the upper end surface. The other end of the space 18 is open to the lower end surface of the knife body 17 via an inclined portion 19 that is inclined toward one end in the thickness direction of the knife body 17.
[0020]
A supply head 22 is hermetically joined to the upper end surface of the knife body 17 via a packing 21 and fixed by screws 23. The supply head 22 has a hollow shape, and an opening 24 is formed on the lower end surface of the supply head 22 to communicate the internal space with the space 18.
[0021]
On one side surface of the supply head 22, a plurality of connection port bodies 25 communicating with the internal space are provided at predetermined intervals. An L-shaped supply short pipe 26 is connected to each connection port body 25, and a compressed air supply hose (not shown) is connected to the supply short pipe 26.
[0022]
A strip-like slit member 28 thinner than the thickness of the inclined portion 19 is attached to the inclined portion 19 of the knife body 17 with spacers 27 having a predetermined thickness on both side surfaces of both ends in the longitudinal direction. Has been. The spacer 27 is fixed to the knife body 17 with a screw 29. Thereby, between the both side surfaces of the slit member 28 and the inner side surface of the inclined portion 19, a pair of slits 31 extending over almost the entire length in the longitudinal direction of the knife body 17 are inclined in parallel at a predetermined angle in the same direction. Is formed.
[0023]
Therefore, the compressed air supplied from the supply pipe 26 flows as shown by arrows in FIG. 2 and is ejected from the pair of slits 31.
[0024]
One air knife 16 having the above configuration is disposed on each of the upper surface and the lower surface of the substrate 15 conveyed by the roller 14. That is, each air knife 16 causes the slit 31 to face the plate surface of the substrate 15, tilts the slit 31 toward the rear end side of the substrate 15, and the longitudinal direction of the knife body 17 is relative to the conveyance direction of the substrate 15. Are disposed at a predetermined angle.
[0025]
In the processing apparatus having such a configuration, when the substrate 15 processed in the previous step and having the processing liquid L attached thereto is transferred into the processing tank 11 from the carry-in port 12 and is opposed to the air knife 16, first, The processing liquid L adhering to the upper and lower surfaces of the substrate 15 is removed by the compressed air ejected from the slit 31 located on the carry-in entrance 12 side of the air knife 16, and then the substrate 15 is transported, whereby the air knife 16. Compressed air is again injected into the portion where the processing liquid is first removed by the compressed air ejected from the slit 31 located on the side of the outlet 13.
[0026]
That is, since the same portion of the substrate 15 is jetted with compressed air twice, even if the treatment liquid L is not reliably removed by the first jet, it is surely removed by the second jet and further dried. Thus, the treatment liquid L can be removed and dried from the substrate 15 with certainty.
[0027]
Since two slits 31 are formed in the air knife 16, one air knife 16 has the same function as two conventional air knives. Therefore, conventionally, two air knives had to be arranged so as to face the upper and lower surfaces of the substrate 15 in order to surely dry the substrate 15, but the air knife 16 of the present invention is used. For example, since it is only necessary to arrange one each so as to face the upper and lower surfaces of the substrate 15, the configuration can be simplified and the processing apparatus can be reduced in size, and further, the cost can be reduced.
[0028]
4 and 5 show an air knife 16A according to another embodiment of the present invention. Incidentally, omitted description is in the form of the same portion of the one embodiment are given the same symbols. That is, the air knife 16A of this embodiment is open to the lower end surface of the knife body 17A through the tapered skirt portion 35 where the other end of the space 18 formed in the knife body 17A gradually widens.
[0029]
The skirt portion 35 is fitted with a triangular prism-shaped slit member 36 having an apex angle substantially equal to the opening angle of the skirt portion 35. Spacers 37 are joined and fixed to both ends in the longitudinal direction of the two side surfaces sandwiching the apex angle of the slit member 36, and the slit member 36 is fixed by a screw 38 screwed from the outer surface of the knife body 17A. .
[0030]
As a result, a pair of slits 31A corresponding to the thickness of the spacer 37 extends between the inner surface on both sides of the skirt portion 35 and the two side surfaces of the slit member 36 over almost the entire length in the longitudinal direction of the knife body 17A and in different directions. It is formed to be inclined.
[0031]
According to the air knife 16A having the above configuration, since the two slits 31A are provided as in the above-described embodiment, one air knife has a function equivalent to that of two air knives.
[0032]
Although the configuration differs from that of the air knife 16 of the above-described embodiment in that the pair of slits 31A are directed in different directions, the processing liquid L adhering to the substrate 15 is removed by the compressed air ejected from one slit 31A. Then, the processing liquid L remaining on the substrate 15 can be dried by the compressed air jetted from the other slit 31A, or the surface of the substrate 15 from which the processing liquid L has been removed can be dried. Accordingly, there is almost no functional difference from the air knife 16 of the above embodiment.
[0033]
【The invention's effect】
According to the first to third aspects of the invention, the space for supplying the compressed air to the knife body is formed, and a pair of slits communicating with the space is formed.
[0034]
Therefore, since one air knife having two slits can have the same function as two air knives, not only can the treatment liquid be removed and dried well from the object to be treated, but also two air knives. Compared to the case of using a knife, the configuration can be simplified, downsized, or cost can be reduced.
[0035]
According to the invention of claim 4, by using the air knife described in claim 1, it is possible to configure the processing apparatus without causing an increase in size or complication of the configuration.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an exploded perspective view showing an air knife according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a longitudinal sectional view of the assembled state.
FIG. 3 is a schematic configuration diagram of the processing apparatus.
FIG. 4 is an exploded perspective view of an air knife showing a second embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a longitudinal sectional view of the assembled state.
6A is a side view showing a conventional method for drying a substrate with one air knife, and FIG. 6B is a plan view of the same.
7A is a side view showing a conventional method for drying a substrate with two air knives, and FIG. 7B is a plan view of the same.
[Explanation of symbols]
11 ... Processing tank 15 ... Substrate (object to be processed)
16 ... Air knife 17 ... Knife body 18 ... Space 31 ... Slit.

Claims

In an air knife that removes the processing liquid adhering to the workpiece with the pressure of air,
A knife body in which a compressed air is introduced from one end and the other end is inclined in a predetermined direction and a space portion is opened at the lower end surface through an inclined portion;
A pair of slits that are provided in the inclined portion of the knife body via a spacer and inject the compressed air supplied to the space portion in a predetermined direction between the pair of side surfaces and the pair of inner surfaces of the inclined portion. A slit member spaced apart in the thickness direction of the knife body and formed along the longitudinal direction of the knife body;
An air knife characterized by comprising:

The air knife according to claim 1, wherein the pair of slits are inclined in the same direction.

The air knife according to claim 1, wherein the pair of slits are inclined in opposite directions.

In a processing apparatus having a processing tank and spraying compressed air ejected from an air knife onto an object to be carried into the processing tank,
The said air knife is the structure described in Claim 1, The drying tank processing apparatus characterized by the above-mentioned.