JP3961190B2 - Coating apparatus and electrophotographic photoreceptor manufacturing apparatus - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は塗布装置及び電子写真感光体製造装置に関し、詳細には電子写真感光体の塗布工程を行うブースの構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
電子写真感光体の塗布装置は、省エネ、低コストのために清浄度の低いクリーンルームである塗布室の中で、高清浄度、必要に応じて高精度温湿度状態にした小容量のクリーンブースを設け、そのブース中に設置されて、塗布工程を行っている。電子写真感光体の塗布液には多種の有機溶剤が使用され、塗布時にそれらの有機溶剤から発生するガスは有害な或いは可燃性、またその両方の性質を有する溶剤ガスであるために、その溶剤ガスが作業者の通常作業エリアであるクリーンルームに出ないように、室圧のバランスをクリーンブース≦クリーンルームにしなければならない。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この状態でクリーンブース内の高清浄度、高精度温湿度を維持するには、クリーンブースを完全密閉するしかなく、それは電子写真感光体の搬入出があるので不可能に近い。故に、この状態で電子写真感光体の塗布を行うと、清浄度の低下によるゴミの付着や湿度の上昇によるブラッシング等の欠陥が発生する問題点がある。
【0004】
本発明はこれらの問題点を解決するためのものであり、低コストで、かつ作業者への影響を防ぐことができる塗布装置、更に良質な電子写真感光体を製造できる電子写真感光体製造放置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
前記問題点を解決するために、本発明に係る塗布装置は、塗布体上に塗膜を形成する塗布機を設置する第1のクリーンブースと、1のクリーンブースの外側に設けられた中間室としての第2のクリーンブースと、該第2のクリーンブースの外側に設けられた作業エリアとしてのクリーンルームとを含んで構成される塗布室と、第1、第2のクリーンブース及びクリーンルームの室圧バランスを調整する室圧調整手段とを有する。そして、第1、第2のクリーンブース及びクリーンルームの各室圧バランスの関係が、第1のクリーンブース>クリーンルーム>第2のクリーンブースとなるように室圧調整手段によって各室圧を調整する。上記室圧調整手段は第1、第2のクリーンブース及びクリーンルームの各室内のエア排気量の調整による。また、第2のクリーンブースの構造は完全密閉型でなく、クリーンルームと第2のクリーンブースとの間に出入り用の開口部と、該開口部を開閉する開閉自在の封止部材とを設けた。よって、このような構成を有する塗布装置によれば、第1のクリーンブースとクリーンルーム間の気体の流れが直結にならず、第2のクリーンブースに流入するため、クリーンルームにおける作業者への影響を防ぐことができ、構造が簡単で低コスト化が図れる。
【0006】
また、別の発明として、塗布室内で基体上に感光体塗膜を形成して電子写真感光体を製造する電子写真感光体製造装置によれば、体上に感光体塗膜を形成する電子写真感光体塗布装置を設置する第1のクリーンブースと、1のクリーンブースの外側に設けられた中間室としての第2のクリーンブースと、該第2のクリーンブースの外側に設けられた作業エリアとしてのクリーンルームとを含んで構成される塗布室と、第1、第2のクリーンブース及びクリーンルームの室圧バランスを調整する室圧調整手段とを有し、第1、第2のクリーンブース及びクリーンルームの各室圧バランスの関係が、第1のクリーンブース>クリーンルーム>第2のクリーンブースとなるように室圧調整手段によって各室圧を調整することに特徴がある。また、上記室圧調整手段は第1、第2のクリーンブース及びクリーンルームの各室内のエア排気量の調整による。よって、このような構成を有する電子写真感光体製造装置よれば、第1のクリーンブースとクリーンルーム間の気体の流れが直結にならず、第2のクリーンブースに流入するため、クリーンルームにおける作業者への影響を防ぐことができる。また、クリールームからの空気の流入よる急激な第1のクリーンブースの清浄度の低下および温湿度管理の低下を防ぐことができる。更に、第1のクリーンブースの高清浄度、必要に応じて高精度温湿度状態を維持して、電子写真感光体塗布時のゴミの付着やブラッシングによる欠陥の発生を防ぐことができ、このことによりクリーンルームの清浄度を更に低くすることができ、省エネ、ランニングコスト低減を図ることができる。
【0007】
更に、第2のクリーンブースの構造は完全密閉型でないことにより、気体の流入が自由に行われる。
【0008】
また、第2のクリーンブースの少なくとも天井及び壁の材質の一部は導電性樹脂であることにより、第2のクリーンブースの中がクリーンルーム内から見えるようにし、かつ静電気による発火やゴミ吸着の要因をなくし、低コストで製作できる。
【0009】
更に、クリーンルームと第2のクリーンブースとの間に出入り用の開口部と、該開口部を開閉する開閉自在の、例えばファスナーチャックなどの封止部材とを設けたことにより、第2のクリーンブースの構造を簡単にして、低コストで製作する。
【0010】
【発明の実施の形態】
本発明の塗布装置は、塗布体上に塗膜を形成する塗布機を設置する第1のクリーンブースと、1のクリーンブースの外側に設けられた中間室としての第2のクリーンブースと、該第2のクリーンブースの外側に設けられた作業エリアとしてのクリーンルームとを含んで構成される塗布室と、第1、第2のクリーンブース及びクリーンルームの室圧バランスを調整する室圧調整手段とを有する。そして、第1、第2のクリーンブース及びクリーンルームの各室圧バランスの関係が、第1のクリーンブース>クリーンルーム>第2のクリーンブースとなるように室圧調整手段によって各室圧を調整する。
【0011】
【実施例】
図1は本発明の一実施例に係る電子写真感光体製造装置の構造を示す断面図である。同図では電子写真感光体の浸漬による塗布装置を示すが、本発明は、浸漬による塗布ばかりでなく、スプレー、巻き付け等電子写真感光体のあらゆる製造装置に適用できる。同図において、本実施例に係る電子写真感光体製造装置は、主に、塗布室1内に、作業者が装置を操作する操作室又は作業エリアとして使用されるクリーンルーム2と、クリーンルーム2内に設置された第1のクリーンブース3及び第2のクリーンブース4とを設けて構成されている。また、浸漬塗布装置は、第1のクリーンブース3内に設置され、基体5を塗布槽7に浸漬させるための昇降させる昇降機6と、第2のクリーンブース4内に設置され、塗布槽7に塗布液を供給循環する塗布液撹拌タンク8を含んで構成する。第2のクリーンブース4は第1のクリーンブース3の開閉可能部分(扉等)と塗布液撹拌タンク8を包み込む最小容量になっている。また、第2のクリーンブース4は、天井及び壁部の材質の一部が導電性ビニールシートで作成されているので、第2のクリーンブース4の中がクリーンルーム2から見ることができ、かつ静電気による発火やゴミ吸着を防止できる。第1のクリーンブース3には、空調された空気がクリーンブース給気ファン9により天井裏のクリーンブース給気ダクト10を通り、第1のクリーンブース3上に設置されているHEPAフィルタ11を通過してクリーンエアとなって供給される。同時に第1のクリーンブース3の下部よりクリーンブース排気エアがクリーンブース排気ファン12によりフリーアクセスフロア13の下のクリーンブース排気ダクト14を通って排出される。第2のクリーンブース4にはそれぞれ第2のクリーンブース排気ダクト15があり、クリーンブース排気ダクト14に連通している。クリーンルーム2、第1のクリーンブース3及び第2のクリーンブース4の室圧バランスの関係は、クリーンブース給気ダンパー16、第1のクリーンブース排気ダンパー17及び第2のクリーンブース排気ダンパー18を調整する、つまり各室の給気と排気の流量を調整することにより、第1のクリーンブース3>クリーンルーム2>第2のクリーンブース4に設定されている。なお、第2のクリーンブース4には給気機構がなく、わずかの隙間からクリーンルーム2や第1のクリーンブース3から室圧差により流入するエアで給気している。これにより、給気機構が不要で低コストを実現している。第2のクリーンブース4には、クリーンルーム2の開閉部(図示せず)がファスナーチャックで構成され、シール部分はマジックテープになっている。そのため、取り外しが容易でかつ低コストで製作できる。
【0012】
なお、上記実施例では画像形成装置等で使用される電子感光体の基体に塗布する例を示して説明したが被塗布対象物を限定する必要はない。つまり、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲内の記載であれば多種の変形や置換可能であることは言うまでもない。
【0013】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る塗布装置は、塗布体上に塗膜を形成する塗布機を設置する第1のクリーンブースと、1のクリーンブースの外側に設けられた中間室としての第2のクリーンブースと、該第2のクリーンブースの外側に設けられた作業エリアとしてのクリーンルームとを含んで構成される塗布室と、第1、第2のクリーンブース及びクリーンルームの室圧バランスを調整する室圧調整手段とを有する。そして、第1、第2のクリーンブース及びクリーンルームの各室圧バランスの関係が、第1のクリーンブース>クリーンルーム>第2のクリーンブースとなるように室圧調整手段によって各室圧を調整する。上記室圧調整手段は第1、第2のクリーンブース及びクリーンルームの各室内のエア排気量の調整による。また、第2のクリーンブースの構造は完全密閉型でなく、クリーンルームと第2のクリーンブースとの間に出入り用の開口部と、該開口部を開閉する開閉自在の封止部材とを設けた。よって、このような構成を有する塗布装置によれば、第1のクリーンブースとクリーンルーム間の気体の流れが直結にならず、第2のクリーンブースに流入するため、クリーンルームにおける作業者への影響を防ぐことができる。また、簡単な構造であり、低コスト化が図れる。
【0014】
また、別の発明として、塗布室内で基体上に感光体塗膜を形成して電子写真感光体を製造する電子写真感光体製造装置によれば、体上に感光体塗膜を形成する電子写真感光体塗布装置を設置する第1のクリーンブースと、1のクリーンブースの外側に設けられた中間室としての第2のクリーンブースと、該第2のクリーンブースの外側に設けられた作業エリアとしてのクリーンルームとを含んで構成される塗布室と、第1、第2のクリーンブース及びクリーンルームの室圧バランスを調整する室圧調整手段とを有し、第1、第2のクリーンブース及びクリーンルームの各室圧バランスの関係が、第1のクリーンブース>クリーンルーム>第2のクリーンブースとなるように室圧調整手段によって各室圧を調整することに特徴がある。また、上記室圧調整手段は第1、第2のクリーンブース及びクリーンルームの各室内のエア排気量の調整による。よって、このような構成を有する電子写真感光体製造装置よれば、第1のクリーンブースとクリーンルーム間の気体の流れが直結にならず、第2のクリーンブースに流入するため、クリーンルームにおける作業者への影響を防ぐことができる。また、クリールームからの空気の流入よる急激な第1のクリーンブースの清浄度の低下および温湿度管理の低下を防ぐことができる。更に、第1のクリーンブースの高清浄度、必要に応じて高精度温湿度状態を維持して、電子写真感光体塗布時のゴミの付着やブラッシングによる欠陥の発生を防ぐことができ、このことによりクリーンルームの清浄度を更に低くすることができ、省エネ、ランニングコスト低減を図ることができる。
【0015】
更に、第2のクリーンブースの構造は完全密閉型でないことにより、気体の流入が自由に行われる。
【0016】
また、第2のクリーンブースの少なくとも天井及び壁の材質の一部は導電性樹脂であることにより、第2のクリーンブースの中がクリーンルーム内から見えるようにし、かつ静電気による発火やゴミ吸着の要因をなくし、低コストで製作できる。
【0017】
更に、クリーンルームと第2のクリーンブースとの間に出入り用の開口部と、該開口部を開閉する開閉自在の封止部材とを設けたことにより、第2のクリーンブースの構造を簡単にして、低コストで製作する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係る電子写真感光体製造装置の構造を示す断面図である。
【符号の説明】
1:塗布室、2:クリーンルーム、3:第1のクリーンブース、
4:第2のクリーンブース、5:基体(電子写真感光体)、
6:昇降機、7:塗布槽、8:塗布液攪拌タンク、
9:クリーンブース給気ファン、10:クリーンブース給気ダクト、
11:HEPAフィルタ、12:クリーンブース排気ファン、
13:フリーアクセスフロア、14:クリーンブース排気ダクト、
15:第2のクリーンブース排気ダクト、
16:クリーンブース給気ダンパー、
17:第1のクリーンブース排気ダンパー、
18:第2のクリーンブース排気ダンパー。
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a coating apparatus and an electrophotographic photoreceptor manufacturing apparatus, and more particularly to a booth structure for performing a coating process of an electrophotographic photoreceptor.
[0002]
[Prior art]
The electrophotographic photoconductor coating device has a small clean booth with high cleanliness and high precision temperature and humidity as required in the coating room, which is a clean room with low cleanliness for energy saving and low cost. It is installed and installed in the booth to perform the coating process. A variety of organic solvents are used in the coating solution for electrophotographic photoreceptors, and the gas generated from these organic solvents during coating is a harmful or flammable solvent gas. The balance of the room pressure must be set to clean booth ≦ clean room so that gas does not go into the clean room which is the normal work area of the worker.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
However, in order to maintain high cleanliness and high precision temperature and humidity in the clean booth in this state, the clean booth must be completely sealed, which is almost impossible because of the loading and unloading of the electrophotographic photosensitive member. Therefore, when the electrophotographic photosensitive member is applied in this state, there is a problem that defects such as dust adhesion due to a decrease in cleanliness and brushing due to an increase in humidity occur.
[0004]
The present invention is intended to solve these problems, and is a low-cost coating apparatus that can prevent the influence on the operator, and an electrophotographic photosensitive member that can produce a high-quality electrophotographic photosensitive member. The purpose is to provide.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-described problems, the coating apparatus according to the present invention is provided outside the first clean booth and the first clean booth in which a coating machine for forming a coating film is formed on the object to be coated. A coating chamber including a second clean booth as an intermediate chamber, and a clean room as a work area provided outside the second clean booth, and the first and second clean booths and clean rooms. Chamber pressure adjusting means for adjusting the chamber pressure balance. Each room pressure is adjusted by the room pressure adjusting means so that the relationship between the pressure balances of the first and second clean booths and the clean room is as follows: first clean booth> clean room> second clean booth. The chamber pressure adjusting means is based on adjusting the air exhaust amount in each of the first and second clean booths and clean rooms. Further, the structure of the second clean booth is not completely sealed, and an opening for entering and exiting between the clean room and the second clean booth and an openable / closable sealing member for opening and closing the opening are provided. . Therefore, according to the coating apparatus having such a configuration, the gas flow between the first clean booth and the clean room is not directly connected, and flows into the second clean booth. It can be prevented, the structure is simple, and the cost can be reduced.
[0006]
Further, as another invention, according the coating chamber to form a photoconductor coating on a substrate the electrophotographic photosensitive member manufacturing apparatus for manufacturing the electrophotographic photosensitive member, the electrons forming the photoconductor coating on the base body A first clean booth for installing the photoconductor coating apparatus, a second clean booth as an intermediate chamber provided outside the first clean booth, and an operation provided outside the second clean booth A coating room configured to include a clean room as an area ; first and second clean booths; and chamber pressure adjusting means for adjusting the room pressure balance of the clean room; It is characterized in that each room pressure is adjusted by the room pressure adjusting means so that the relationship between the room pressure balances in the clean room is as follows: first clean booth> clean room> second clean booth. The chamber pressure adjusting means is based on adjusting the air exhaust amount in each of the first and second clean booths and clean rooms. Therefore, according to the electrophotographic photosensitive member manufacturing apparatus having such a configuration, the gas flow between the first clean booth and the clean room is not directly connected, but flows into the second clean booth. Can prevent the influence. In addition, it is possible to prevent a sudden decrease in the cleanliness of the first clean booth and a decrease in temperature and humidity management due to the inflow of air from the clean room. In addition, the high cleanliness of the first clean booth and the high-precision temperature / humidity state can be maintained as necessary to prevent the occurrence of defects due to dust adhering or brushing when the electrophotographic photosensitive member is applied. As a result, the cleanliness of the clean room can be further reduced, and energy saving and running cost can be reduced.
[0007]
Furthermore, since the structure of the second clean booth is not completely sealed, the gas can freely flow in.
[0008]
In addition, at least part of the ceiling and wall material of the second clean booth is made of conductive resin, so that the inside of the second clean booth can be seen from inside the clean room, and causes of ignition and dust adsorption due to static electricity Can be manufactured at low cost.
[0009]
Furthermore, the second clean booth is provided by providing an opening for entering and exiting between the clean room and the second clean booth and a sealing member such as a fastener chuck that can be opened and closed to open and close the opening. The structure is simplified and manufactured at low cost.
[0010]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The coating apparatus of the present invention includes a first clean booth in which a coating machine for forming a coating film on an object to be coated is installed, and a second clean booth as an intermediate chamber provided outside the first clean booth, A coating chamber comprising a clean room as a work area provided outside the second clean booth, and a chamber pressure adjusting means for adjusting the chamber pressure balance between the first and second clean booths and the clean room And have. Each room pressure is adjusted by the room pressure adjusting means so that the relationship between the pressure balances of the first and second clean booths and the clean room is as follows: first clean booth> clean room> second clean booth.
[0011]
【Example】
FIG. 1 is a sectional view showing the structure of an electrophotographic photoreceptor manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention. Although the drawing shows a coating apparatus by dipping of an electrophotographic photosensitive member, the present invention can be applied not only to coating by dipping but also to any manufacturing apparatus for an electrophotographic photosensitive member such as spraying and winding. In the figure, the electrophotographic photoreceptor manufacturing apparatus according to the present embodiment is mainly provided in a coating room 1, a clean room 2 used as an operation room or a work area where an operator operates the apparatus, and a clean room 2. The installed first clean booth 3 and second clean booth 4 are provided. Further, the dip coating apparatus is installed in the first clean booth 3, installed in the second clean booth 4, and the elevator 6 for moving up and down for immersing the substrate 5 in the coating tank 7. A coating liquid stirring tank 8 for supplying and circulating the coating liquid is included. The second clean booth 4 has a minimum capacity for enclosing the openable / closable part (door or the like) of the first clean booth 3 and the coating liquid stirring tank 8. In addition, since the second clean booth 4 is made of a conductive vinyl sheet in part of the material of the ceiling and walls, the inside of the second clean booth 4 can be seen from the clean room 2 and is static. Can prevent ignition and dust adsorption. In the first clean booth 3, the conditioned air passes through the clean booth air supply duct 10 behind the ceiling by the clean booth air supply fan 9 and passes through the HEPA filter 11 installed on the first clean booth 3. And supplied as clean air. At the same time, clean booth exhaust air is discharged from the lower portion of the first clean booth 3 through the clean booth exhaust duct 14 below the free access floor 13 by the clean booth exhaust fan 12. Each of the second clean booths 4 has a second clean booth exhaust duct 15 that communicates with the clean booth exhaust duct 14. The relationship between the room pressure balance of the clean room 2, the first clean booth 3 and the second clean booth 4 is adjusted for the clean booth air supply damper 16, the first clean booth exhaust damper 17 and the second clean booth exhaust damper 18. In other words, the first clean booth 3> the clean room 2> the second clean booth 4 is set by adjusting the supply and exhaust flow rates of the respective chambers. Note that the second clean booth 4 has no air supply mechanism, and is supplied with air flowing from the clean room 2 and the first clean booth 3 due to the difference in the room pressure through a slight gap. Thereby, an air supply mechanism is unnecessary and low cost is realized. In the second clean booth 4, an opening / closing part (not shown) of the clean room 2 is constituted by a fastener chuck, and a seal part is a magic tape. Therefore, it is easy to remove and can be manufactured at low cost.
[0012]
In the above-described embodiment, an example in which coating is performed on a substrate of an electrophotographic photoreceptor used in an image forming apparatus or the like has been described. However, it is not necessary to limit an object to be coated. That is, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and it goes without saying that various modifications and substitutions can be made within the scope of the claims.
[0013]
【The invention's effect】
As described above, the coating apparatus according to the present invention includes a first clean booth that installs a coating machine that forms a coating film on an object to be coated, and an intermediate chamber that is provided outside the first clean booth. A coating chamber including a second clean booth, and a clean room as a work area provided outside the second clean booth, and a chamber pressure balance between the first and second clean booths and the clean room Chamber pressure adjusting means for adjusting the pressure. Each room pressure is adjusted by the room pressure adjusting means so that the relationship between the pressure balances of the first and second clean booths and the clean room is as follows: first clean booth> clean room> second clean booth. The chamber pressure adjusting means is based on adjusting the air exhaust amount in each of the first and second clean booths and clean rooms. Further, the structure of the second clean booth is not completely sealed, and an opening for entering and exiting between the clean room and the second clean booth and an openable / closable sealing member for opening and closing the opening are provided. . Therefore, according to the coating apparatus having such a configuration, the gas flow between the first clean booth and the clean room is not directly connected, and flows into the second clean booth. Can be prevented. In addition, the structure is simple and the cost can be reduced.
[0014]
Further, as another invention, according the coating chamber to form a photoconductor coating on a substrate the electrophotographic photosensitive member manufacturing apparatus for manufacturing the electrophotographic photosensitive member, the electrons forming the photoconductor coating on the base body A first clean booth for installing the photoconductor coating apparatus, a second clean booth as an intermediate chamber provided outside the first clean booth, and an operation provided outside the second clean booth A coating room configured to include a clean room as an area ; first and second clean booths; and chamber pressure adjusting means for adjusting the room pressure balance of the clean room; It is characterized in that each room pressure is adjusted by the room pressure adjusting means so that the relationship between the room pressure balances in the clean room is as follows: first clean booth> clean room> second clean booth. The chamber pressure adjusting means is based on adjusting the air exhaust amount in each of the first and second clean booths and clean rooms. Therefore, according to the electrophotographic photosensitive member manufacturing apparatus having such a configuration, the gas flow between the first clean booth and the clean room is not directly connected, but flows into the second clean booth. Can prevent the influence. In addition, it is possible to prevent a sudden decrease in the cleanliness of the first clean booth and a decrease in temperature and humidity management due to the inflow of air from the clean room. In addition, the high cleanliness of the first clean booth and the high-precision temperature / humidity state can be maintained as necessary to prevent the occurrence of defects due to dust adhering or brushing when the electrophotographic photosensitive member is applied. As a result, the cleanliness of the clean room can be further reduced, and energy saving and running cost can be reduced.
[0015]
Furthermore, since the structure of the second clean booth is not completely sealed, the gas can freely flow in.
[0016]
In addition, at least a part of the material of the ceiling and wall of the second clean booth is made of conductive resin, so that the inside of the second clean booth can be seen from inside the clean room, and causes of static electricity ignition and dust adsorption Can be manufactured at low cost.
[0017]
Furthermore, the structure of the second clean booth can be simplified by providing an opening for entering and exiting between the clean room and the second clean booth and an openable / closable sealing member for opening and closing the opening. Produced at low cost.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view showing the structure of an electrophotographic photoreceptor manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
1: coating chamber, 2: clean room, 3: first clean booth,
4: Second clean booth, 5: Substrate (electrophotographic photosensitive member),
6: elevator, 7: coating tank, 8: coating liquid stirring tank,
9: Clean booth air supply fan, 10: Clean booth air supply duct,
11: HEPA filter, 12: Clean booth exhaust fan,
13: Free access floor, 14: Clean booth exhaust duct,
15: Second clean booth exhaust duct,
16: Clean booth air supply damper
17: First clean booth exhaust damper,
18: Second clean booth exhaust damper.

Claims (7)

塗布体上に塗膜を形成する塗布機を設置する第1のクリーンブースと、記第1のクリーンブースの外側に設けられた中間室としての第2のクリーンブースと、該第2のクリーンブースの外側に設けられた作業エリアとしてのクリーンルームとを含んで構成される塗布室と
前記第1、第2のクリーンブース及び前記クリーンルームの室圧バランスを調整する室圧調整手段とを有し、
前記第1、第2のクリーンブース及び前記クリーンルームの各室圧バランスの関係が、第1のクリーンブース>クリーンルーム>第2のクリーンブースとなるように前記室圧調整手段によって各室圧を調整することを特徴とする塗布装置。
A first clean booth installing a coater to form a coating film on the medium to be coated, a second clean booth as before Symbol intermediate chamber provided outside the first clean booth, the second A coating chamber configured to include a clean room as a work area provided outside the clean booth ;
A chamber pressure adjusting means for adjusting a chamber pressure balance of the first and second clean booths and the clean room;
Each room pressure is adjusted by the room pressure adjusting means so that the relationship between the room pressure balances of the first and second clean booths and the clean room is as follows: first clean booth> clean room> second clean booth. An applicator characterized by that.
前記第2のクリーンブースの構造は完全密閉型でない請求項1記載の塗布装置。  The coating apparatus according to claim 1, wherein the second clean booth is not completely sealed. 前記クリーンルームと前記第2のクリーンブースとの間に出入り用の開口部と、該開口部を開閉する開閉自在の封止部材とを設けた請求項1又は2に記載の塗布装置。  The coating apparatus of Claim 1 or 2 which provided the opening part for entrance / exit between the said clean room and the said 2nd clean booth, and the openable-closable sealing member which opens and closes this opening part. 塗布室内で基体上に感光体塗膜を形成して電子写真感光体を製造する電子写真感光体製造装置において、
体上に感光体塗膜を形成する電子写真感光体塗布装置を設置する第1のクリーンブースと、記第1のクリーンブースの外側に設けられた中間室としての第2のクリーンブースと、該第2のクリーンブースの外側に設けられた作業エリアとしてのクリーンルームとを含んで構成される塗布室と
前記第1、第2のクリーンブース及び前記クリーンルームの室圧バランスを調整する室圧調整手段とを有し、
前記第1、第2のクリーンブース及び前記クリーンルームの各室圧バランスの関係が、第1のクリーンブース>クリーンルーム>第2のクリーンブースとなるように前記室圧調整手段によって各室圧を調整することを特徴とする電子写真感光体製造装置。
In an electrophotographic photoreceptor manufacturing apparatus for producing an electrophotographic photoreceptor by forming a photoreceptor coating film on a substrate in a coating chamber,
A first clean booth installing an electrophotographic photoreceptor coating apparatus for forming a photoconductor coating on a base body, a second clean booth as before Symbol intermediate chamber provided outside the first clean booth A coating chamber including a clean room as a work area provided outside the second clean booth ;
A chamber pressure adjusting means for adjusting a chamber pressure balance of the first and second clean booths and the clean room;
Each room pressure is adjusted by the room pressure adjusting means so that the relationship between the room pressure balances of the first and second clean booths and the clean room is as follows: first clean booth> clean room> second clean booth. An apparatus for producing an electrophotographic photosensitive member.
前記第2のクリーンブースの構造は完全密閉型でない請求項4記載の電子写真感光体製造装置。  5. The electrophotographic photoreceptor manufacturing apparatus according to claim 4, wherein the structure of the second clean booth is not completely sealed. 前記第2のクリーンブースの少なくとも天井及び壁の材質の一部は、導電性樹脂である請求項4又は5に記載の電子写真感光体製造装置。  The electrophotographic photosensitive member manufacturing apparatus according to claim 4 or 5, wherein at least a part of a material of the ceiling and the wall of the second clean booth is a conductive resin. 前記クリーンルームと前記第2のクリーンブースとの間に出入り用の開口部と、該開口部を開閉する開閉自在の封止部材とを設けた請求項4〜6のいずれかに記載の電子写真感光体製造装置。  The electrophotographic photosensitive member according to any one of claims 4 to 6, further comprising an opening for entering and exiting between the clean room and the second clean booth and an openable / closable sealing member for opening and closing the opening. Body manufacturing equipment.
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