JP3954498B2 - 排熱利用システム、排熱利用方法及び半導体製造設備 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
【0002】
本発明は半導体製造設備の排熱利用システム、排熱利用方法及び半導体製造設備に係わり、特に各種半導体製造装置から排出される冷却水を他の半導体製造装置における冷却又は加熱に再利用する排熱利用システム及び排熱利用方法、及びそのような排熱利用システムを有する半導体製造設備に関する。
【従来の技術】
【0003】
半導体製造設備において使用される半導体製造装置及びこれらの周辺装置は、一般に装置の温度上昇を制御するために冷却を必要とする。また、これらの装置のなかには半導体製造工程において冷却を必要とする装置もある。一方、これらの装置のなかには、半導体製造工程において加熱処理を必要とする装置もあり、このような装置には加熱源が設けられる。
【0004】
従来の半導体製造設備において、装置の冷却は一般に装置に冷却水を供給し装置内を循環することにより行われる。すなわち、冷却水が流れる冷却水供給ラインから冷却水を装置に導き、装置から熱を吸収して温まった冷却水を冷却水回収ラインにもどす。冷却水回収ラインに戻った冷却水は冷凍機等を含む冷却装置により冷却された後、再び冷却水供給ラインに供給される。また、加熱処理を必要とする装置では、一般に電気ヒータを加熱源として用いて加熱が行われる。
【0005】
従来の半導体製造設備では、これら半導体製造装置における冷却及び加熱は装置個々について単独に行われており、装置間での熱の授受は行われていない。
【0006】
図1は従来の半導体製造設備における冷却システムの一例を示す簡略図である。図1に示す半導体製造設備はシリコンウェハ等を処理して半導体デバイスを製造する設備であり、縦型熱処理装置2、縦型熱処理装置4、ウェハ洗浄装置6、コータ・デベロッパ装置8及びエッチング装置10等が設置されている。
【0007】
縦型熱処理装置2、縦型熱処理装置4、ウェハ洗浄装置6、コータ・デベロッパ装置8及びエッチング装置10は、それぞれ装置の冷却を必要とする。これらの装置の冷却は冷却水循環システムを用いて行われる。冷却水循環システムは、冷却水供給ライン12と冷却水回収ライン14とを有する。各装置は冷却水供給ライン12から冷却水の供給を受け、冷却水が各装置内を循環して熱を吸収することにより装置は冷却される。熱を吸収して温められた冷却水は冷却水回収ライン14に排出され、冷却水回収ライン14を通って温冷却水タンク16に供給される。
【0008】
冷却水供給ライン12に供給される冷却水は、一般的に室温の範囲の温度、例えば23℃である。各装置に供給する冷却水の流量は、各装置が放出する熱量に応じて制御され、各装置から排出される温められた冷却水の温度は、約30℃である。各装置から排出される約30℃に温められた冷却水は、冷却水回収ライン14を介して温冷却水タンク16に一時的に貯蔵される。その後、温冷却水タンク16に貯蔵された温められた冷却水は、冷却水循環ライン18を通じて熱交換器20に送られ、熱交換器20により冷却された再び23℃の温度となる。そして、熱交換器20からの23℃の冷却水は、冷却水循環ポンプ22により冷却水供給ライン12供給される。
【発明が解決しようとする課題】
【0009】
上述の図1に示す従来の冷却システムにおいて、熱交換器20には、冷凍機等を含む冷却装置24により10℃以下に冷却された冷却水又は冷媒が供給され、30℃の冷却水と10℃以下に冷却された冷却水又は冷媒との間で熱交換することにより30℃の冷却水を23℃に冷却する。したがって、図1に示す従来の冷却システムでは、各装置2,4,6,8,10から冷却水を介して排出される熱の全てを冷却装置24により回収することとなり、冷却装置24(冷凍機)への負荷が非常に大きなものとなっていた。したがって、冷却装置24の設備コストは非常時に大きなものとなり、また、冷却装置24のランニングコストも増大していた。
【0010】
また、冷却装置24により回収された熱は、最終的に大気中に放出されるだけであり、各装置2,4,6,8,10から排出される膨大な熱量は再利用されることなく、省エネルギ化の観点からは何の対策も施されていなかった。
【0011】
本発明の総括的な目的は、上述の問題を解決した改良された有用な排熱利用システム、排熱利用方法及び半導体製造設備を提供することである。
【0012】
本発明のより具体的な目的は、半導体製造装置から排出される温められた冷却水を加熱源として再利用することにより、半導体製造設備の省エネルギ化を達成し得る排熱利用システム及び排熱利用方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0013】
上述の目的を達成するために、本発明の一つの面によれば、複数の半導体製造装置を有する半導体製造設備の排熱利用システムであって、半導体製造装置に室温と実質的に等しい温度の低温冷却水を供給するための低温冷却水供給ラインと、半導体製造装置から排出された室温より高い温度の中温冷却水を、第1の所定の半導体製造装置に供給するための中温冷却水供給ラインと、第2の所定の半導体製造装置から排出された中温冷却水よりさらに高い温度の高温冷却水を、第3の所定の半導体製造装置に加熱源として供給するための高温冷却水供給ラインとを有する排熱利用システムが提供される。
【0014】
上述の発明による排熱利用システムは、半導体製造装置から排出された中温冷却水を一時的に貯蔵する中温冷却水タンクと、前記中温冷却水タンクに貯蔵された中温冷却水を、前記中温冷却水供給ラインに供給するための中温冷却水循環ラインと、前記中温冷却水タンクに貯蔵された中温冷却水を、前記低温冷却水供給ラインに供給する低温冷却水循環ラインと、前記低温冷却水循環ラインに設けられ、前記中温冷却水タンクからの中温冷却水を冷却する水冷式冷却装置とを更に有することとしてもよい。
【0015】
また、上述の排熱利用システムは、前記低温冷却水循環ラインに設けられ、前記水冷式冷却装置からの冷却水を更に冷却して低温冷却水とする熱交換器を更に有することとしてもよい。さらに、上述の排熱利用システムは、半導体製造装置から排出された高温冷却水を一時的に貯蔵する高温冷却水タンクを更に有し、前記高温冷却水供給ラインは前記高温冷却水タンクに接続されることとしてもよい。
【0016】
本発明の実施例において、前記第1の所定の半導体製造装置は、コータ・デベロッパ装置である。また、前記第2の所定の半導体製造装置は、加熱炉を有する熱処理装置である。さらに、前記第3の所定の半導体製造装置は、ウェハ洗浄装置及びエッチング装置の少なくとも一方を含むものである。
【0017】
また、本発明の他の面によれば、複数の半導体製造装置を有する半導体製造設備の排熱利用方法であって、半導体製造装置に室温と実質的に等しい温度の低温冷却水を供給し、半導体製造装置から排出された室温より高い温度の中温冷却水を、第1の所定の半導体製造装置に供給し、第2の所定の半導体製造装置から排出された中温冷却水よりさらに高い温度の高温冷却水を、第3の所定の半導体製造装置に加熱源として供給する各工程を有する排熱利用方法が提供される。
【0018】
上述の本発明による排熱利用方法は、半導体製造装置から排出された中温冷却水を一時的に貯蔵し、貯蔵された中温冷却水の一部を、前記第1の所定の半導体製造装置に供給し、貯蔵された中温冷却水の残りの部分を水冷式冷却装置により冷却して半導体製造装置に供給する各工程を有することとしてもよい。また、本発明による排熱利用方法は、水冷式冷却装置により冷却された中温冷却水を熱交換器により更に冷却する工程を有することとしてもよい。
【0019】
また、本発明の更に他の面によれば、複数の半導体製造装置と、半導体製造装置に室温と実質的に等しい温度の低温冷却水を供給するための低温冷却水供給ラインと、半導体製造装置から排出された室温より高い温度の中温冷却水を、第1の所定の半導体製造装置に供給するための中温冷却水供給ラインと、第2の所定の半導体製造装置から排出された中温冷却水よりさらに高い温度の高温冷却水を、第3の所定の半導体製造装置に加熱源として供給するための高温冷却水供給ラインとを有する半導体製造設備が提供される。
【0020】
上述の本発明による半導体製造設備は、半導体製造装置から排出された中温冷却水を一時的に貯蔵する中温冷却水タンクと、前記中温冷却水タンクに貯蔵された中温冷却水を、前記中温冷却水供給ラインに供給するための中温冷却水循環ラインと、前記中温冷却水タンクに貯蔵された中温冷却水を、前記低温冷却水供給ラインに供給する低温冷却水循環ラインと、前記低温冷却水循環ラインに設けられ、前記中温冷却水タンクからの中温冷却水を冷却する水冷式冷却装置とを更に有することとしてもよい。
【0021】
また、本発明による半導体製造設備は、前記低温冷却水循環ラインに設けられ、前記水冷式冷却装置からの冷却水を更に冷却して低温冷却水とする熱交換器を更に有することとしてもよい。さらに、本発明による半導体製造設備は、半導体製造装置から排出された高温冷却水を一時的に貯蔵する高温冷却水タンクを更に有し、前記高温冷却水供給ラインは前記高温冷却水タンクに接続されることとしてもよい。
【0022】
上述の発明によれば、各半導体製造装置から排出される中温冷却水の一部を半導体製造装置の加熱処理が必要な部分にそのまま供給することができ、従来冷却水を介して廃棄されていた熱を再利用することができる。また、所定の半導体製造装置から排出される高温冷却水のみを回収して他の半導体装置の加熱源として利用することができ、中温冷却水より高い加熱温度を必要とする加熱処理にも冷却水の熱を再利用することができる。このように、従来は熱交換器を介して冷却装置により廃棄されていた半導体製造装置から排出される温冷却水の熱の一部を、他の半導体製造装置の加熱処理に再利用するため、半導体製造設備全体の省エネルギ化が達成できる。
【0023】
上述の発明によれば、熱源としてのエネルギ消費の大きい外調機の加熱源として、半導体製造装置から排出される温められた冷却水を再利用することができ、半導体製造工場全体でのエネルギ消費を大幅に低減することができる。
【0024】
本発明の他の目的、特徴及び利点は、添付の図面を参照しながら以下の詳細な説明を読むことにより、一層明瞭となるであろう。
【発明の実施の形態】
【0025】
次に、本発明の実施例について図面と共に説明する。
【0026】
図2は本発明の一実施例による排熱利用システムの構成を示す簡略図である。図2において、図1に示す構成部品と同等な部品には同じ符号を付し、その説明は省略する。
【0027】
まず、本発明の実施例による排熱利用システムの基本概念について説明する。本発明の排熱利用システムは、各半導体製造装置から排出される冷却水を、他の半導体製造装置で必要とされる加熱源又は冷却源として再利用するというものである。すなわち、半導体製造設備における半導体製造装置のうち、比較的高温に温められた冷却水を排出する装置からの冷却水を、その他の装置に必要である比較的低温の加熱源として利用する。また、冷却が必要な部分が比較的高温の装置には、各装置から排出されたままの温められた冷却水を再度供給して冷却を行う。以下、半導体製造装置から排出された温められた冷却水を温冷却水と称する。
【0028】
上述のような排熱利用を行うため、本実施例による排熱利用システムでは、冷却水の供給ラインを、低温(例えば23℃)、中温(例えば40℃)、高温(例えば80℃)という3系統に分けて準備する。そして、低温、中温、高温の冷却水を冷却源又は加熱源として各半導体製造装置に適宜供給する。中温及び高温の冷却水としては、半導体製造装置から排出された温冷却水をそのまま使用する。
【0029】
次に、図2に示す各半導体製造装置について、排熱利用の観点から説明する。
【0030】
縦型熱処理装置2,4は、半導体ウェハを熱処理する装置であり、1000℃程度の高温でウェハを処理する加熱炉2a,4aを有している。したがって、加熱炉の周囲を冷却するには、他の半導体製造装置から排出される中温(例えば40℃)の温冷却水でも十分である。中温の温冷却水は、加熱炉2aを冷却した後、高温(例えば80℃)の温冷却水として、装置から排出される。ただし、縦型熱処理装置2,4はウェハの搬送部2b,4bも有しており、搬送部2b,4bには通常の低温(23℃)の冷却水を供給する必要がある。
【0031】
ウェハ洗浄装置6は、半導体ウェハを温められた超純水(DI水)で洗浄する装置であり、洗浄部6aに隣接してDI水を温めるためのDI水加熱部6bを有している。洗浄部6aは温ためられたDI水を使用するので冷却する必要があり、この冷却には通常の低温(例えば23℃)の冷却水が用いられる。一方、DI水加熱部6bは室温(20〜25℃)のDI水を50℃〜60℃程度に加熱して洗浄部6aに供給する。したがって、DI水加熱部6bには加熱源が必要であり、従来は電気ヒータを加熱源として用いていた。ここで、DI水の加熱温度は上述のように50℃〜60℃程度であり、高温(例えば80℃)の温冷却水を用いて熱交換することにより十分加熱し得る温度範囲である。
【0032】
コータ・デベロッパ装置8は一般にコータ・デベロッパ部8aと空調部8bとを有している。コータ・デベロッパ部8aでは、フォトレジストをコータにより塗布し、デベロッパにより現像する処理が行われる。フォトレジストは、ウェハに塗布される前は溶媒が加えられて液体状になっており、溶媒を蒸発させることによりウェハ上にレジスト層が形成される。液体状のフォトレジストの粘度は周囲温度に大きく依存するため、コータ・デベロッパ部8a内の空気の温度は一定(例えば23℃)に維持されなければならない。したがって、コータ・デベロッパ部8aを低温(例えば23℃)の冷却水により常時冷却する必要がある。
【0033】
また、塗布されたフォトレジスト中の溶媒の蒸発速度は、雰囲気の湿度に影響されるので、コータ・デベロッパ部8a内の空気の湿度も一定に保つ必要がある。したがって、コータ・デベロッパ部8aに隣接して、温度及び湿度の調整された空気を供給するために空調部8bが設けられる。
【0034】
ここで、温度及び湿度を調節するには、まず室温の空気を冷却除湿して乾燥した空気(湿度の低い空気)とし、この乾燥した空気を温水に通すことにより加湿して、適度な湿度(例えば相対湿度45%)に設定する。この際、同時に空気も加熱して一定の温度(例えば23℃)とする。この際、冷却乾燥した空気を加温、加湿するには、中温(例えば40℃)の温冷却水を用いることができる。このように、コータ・デベロッパ装置8の空調部8bには、中温(例えば40℃)の温冷却水を使用する用途がある。
【0035】
エッチング装置10は、ウェハをドライエッチングにより処理する装置である。ドライエッチングとして、高周波(RF)を利用した反応性化学エッチングやプラズマエッチグが用いられる。このようなエッチングでは、ウェハが高温となるため、処理部10aにはウェハ(ウェハを載置する載置台)を冷却するための冷媒を冷却するためにチラー部が設けられる。通常、冷媒は冷却されて低温に維持されるものであるが、エッチング処理が終了した場合には冷媒の温度を上げて急速に室温に戻すことが必要となる。そこで、チラー部には冷媒を温めるために高温(例えば80℃)の温冷却水を使用する用途がある。一方、ドライエッチングを行うための高周波(RF)を発生するRF発生器10bは低温の冷却水(例えば23℃)により冷却する必要がある。
【0036】
以上のように、半導体製造設備に設けられる半導体製造装置は、様々な温度の冷却源及び加熱源を必要としており、各装置から排出される温冷却水を適切に他の装置に供給することにより、加熱源あるいは冷却源として再利用することができる。
【0037】
本実施例では、図2に示すように、従来と同様の通常の低温(例えば23℃)の冷却水を供給する冷却水供給ライン12と、各装置から排出される温冷却水を回収する冷却水回収ライン14とが設けられる。本実施例では、冷却水回収ライン14に排出される温冷却水の温度が約40℃となるように、各装置に供給する冷却水の流量を制御している。
【0038】
本実施例では、上述の冷却水供給ラインの他に、中温冷却水供給ライン30及び高温冷却水供給ライン32が設けられる。中温冷却水供給ライン30は、各半導体製造装置から排出された中温(例えば40℃)の温冷却水(以下、中温冷却水と称する)を冷却せずにそのまま半導体製造装置に供給するために設けられる。また、高温冷却水供給ライン32は、所定の半導体製造装置から排出された高温(例えば80℃)の温冷却水(以下、高温冷却水と称する)を所定の半導体製造装置に供給するために設けられる。なお、以下の説明では、低温(例えば23℃)の冷却水(以下、低温冷却水と称する)を供給する冷却水供給ライン12を低温冷却水供給ライン12と称する。
【0039】
各半導体製造装置から冷却水回収ライン14を介して回収された中温冷却水は、中温冷却水タンク16に一時的に貯蔵された後、その一部が中温冷却水循環ライン34を通って中温冷却水循環ポンプ36により中温冷却水供給ライン30に供給される。中温冷却水タンク16に一時的に貯蔵された中温冷却水の残りの部分は、低温冷却水循環ライン18を通じて熱交換器20に送られる。本実施例では、熱交換器20の手前にクーリングタワー38(水冷式冷却装置)が設けられ、低温冷却水循環ライン18を流れる約40℃の中温冷却水を30℃程度まで冷却する。クーリングタワー38で30℃に冷却されたれ中温冷却水は、熱交換器20により23℃に冷却されて低温冷却水とされた後、低温冷却水循環ポンプ22により低温冷却水供給ライン12に供給される。
【0040】
一方、半導体製造装置のうち、縦型熱処理装置2,4の加熱炉2a,4aから排出された約80℃の高温冷却水は、高温冷却水タンク40に送られ、一時的に貯蔵された後、高温冷却水循環ポンプ42により高温冷却水供給ライン32に供給される。そして、高温冷却水供給ライン32の高温冷却水は、ウェハ洗浄装置6のDI水加熱部6bに加熱源として供給される。また、高温冷却水供給ライン32の高温冷却水は、エッチング装置10の処理部10aのチラー部にも供給される。
【0041】
DI水加熱部6b及び処理部10aのチラー部に供給された高温冷却水は、DI水を加熱するために熱を放出して約40℃の中温冷却水となり、冷却水回収ライン14に排出される。したがって、縦型熱処理装置2,4から排出された高温冷却水の熱は、DI水加熱部6b及び処理部10aのチラー部の加熱に利用され、高温冷却水は中温冷却水となる。すなわち、従来では縦型熱処理装置2,4から製造設備外部に廃棄されていた熱を、ウェハ洗浄装置6及びエッチング装置10で再利用することとなる。
【0042】
また、上述のように、中温冷却水供給ライン30に供給された約40℃の中温冷却水は、コータ・デベロッパ装置8の空調部8bに供給される。そして、中温冷却水は、空調部8bにおいて空気を加熱及び加湿するために加熱源として利用され、冷却水回収ライン14に排出される。したがって、空調部8bにおいても、中温冷却水の熱を利用して加熱処理を行っており、中温冷却水の熱の再利用が行われる。
【0043】
なお、図2において、縦型熱処理装置2の加熱炉2aには中温冷却水供給ライン30から約40℃の中温冷却水が供給され、縦型熱処理装置4の加熱炉4aには低温冷却水供給ライン12から約23℃の低温冷却水が供給される。縦型熱処理装置2,4の加熱炉2a,4aは温度が非常に高いため、低温冷却水ではなく中温冷却水であっても十分冷却効果を得ることができる。したがって、排出される高温冷却水の流量及び温度に不都合が生じないのであれば、高温となる部分の冷却には中温冷却水をなるべく使用することが望ましい。
【0044】
以上のように、本実施例による排熱利用システムでは、熱交換器20を介して冷却装置24により廃棄されていた半導体製造装置から排出される温冷却水の熱の一部を、他の半導体製造装置の加熱処理に再利用するため、半導体製造設備全体の省エネルギ化が達成できる。
【0045】
ここで、本実施例では、低温冷却水循環ライン18にクーリングタワー38を設けて中温冷却水をある程度冷却し、クーリングタワー38からの冷却水を更に熱交換器20により冷却して低温冷却水を得ている。しかし、中温冷却水供給ライン30に供給する中温冷却水の量が多く、低温冷却水循環ライン18に送られる低温冷却水の量が少なくなれば、クーリングタワー38による冷却だけで約40℃の中温冷却水を約23℃の低温冷却水とすることができる。これにより、熱交換器20及び冷却装置24を使用しない排熱利用システムを構築することも可能である。
【0046】
上述の実施例において、冷却水の温度である、低温(例えば23℃)、中温(例えば40℃)及び高温(例えば80℃)は、具体的に示された温度に限ることなく、例えば、低温を20℃、中温を30℃、高温を60℃というように適宜変更してもよい。
【0047】
また、上述の実施例において、半導体製造設備に用いられる半導体製造装置は、図2に示す装置に限ることなく、他の半導体製造装置又は、半導体製造に係る周辺装置であってもよい。また、半導体製造装置及び周辺装置に限ることなく、半導体製造設備に隣接して設置される他の設備における装置であってもよい。例えば、半導体製造設備に付随する事務棟の空調設備の加熱源として、温冷却水を利用することもできる。
【0048】
次に、本発明の他の実施例による半導体製造工場の熱回収システムについて図3を参照しながら説明する。図3は本発明の他の実施例による半導体製造工場の熱回収システムの簡略図である。図3において、図2に示す構成部品と同等な部品には同じ符号を付し、その説明は省略する。
【0049】
本実施例における半導体製造設備(半導体製造工場)は、基本的に上述の実施例と同様の構成を有するが、中温冷却水を加熱源として使用する外調機50を有する点が異なる。外調機50は、半導体製造装置が設置されたクリーンルームに供給する清浄な空気を生成する空調機である。外調機50は、外気を取り入れて洗浄し、10℃程度の温度に冷却し、次いで室温まで加熱して相対湿度を40%前後にして、クリーンルーム内へ供給する設備を意味する。
【0050】
従来は、半導体製造装置(例えば縦型熱処理炉2,4)から排出される温冷却水を、冷凍機から冷水が供給されている熱交換器に戻し、温冷却水を室温に冷却して、再度冷却水として使用していた。本実施例においては、上述の実施例と同様に半導体製造装置の冷却によって出る温冷却水から熱回収するために、通常の冷却水供給系に対して、温冷却水を回収し再循環するための配管、水槽およびポンプとからなる温冷却水リサイクル系を追加して、2系統の冷却水配管系を有する設備とする。この温冷却水リサイクル系には、高温冷却水を排水するための配管、高温冷却水を貯蔵する高温冷却水タンク40、タンク40から高温冷却水を利用する半導体製造装置(例えばウェハ洗浄装置6及びエッチング装置10)および/または外調機50までの配管、及び高温冷却水を送水する高温冷却水循環ポンプ42が含まれる。
【0051】
図3に示す構成では、タンク40から外調機50まで配管の途中には、熱交換器52が配置される。熱交換器52は、外調機50の予熱コイル50aと再熱コイル50bとから排出された使用済みの温水と、高温冷却水タンク40から供給される高温冷却水との間で熱交換を行い、使用済みの温水の温度を上げて、温熱源としての温水タンク54に戻す。これにより、温水タンク54から供給されて外調機50で空気加熱用に使用された温水は、熱交換器52により加熱されて再び加熱用の温水として使用される。この際の温水の加熱源として、半導体製造装置からの高温冷却水が用いられる。
【0052】
本実施例において、半導体製造装置及び/又は外調機50での加熱に用いられた高温冷却水は、30℃未満に冷却されるので、再び半導体製造装置用の冷却水として使用することができる。このため、従来の冷却水系統のように、高価な冷凍機と熱交換器が不要となり、さらに、その運転動力を節減できるといった利点がある。
【0053】
本実施例による熱再利用システムは、温度制御が比較的ラフでも問題が生じないようなケースに適用できる。3系統の冷却水配管系の場合には、例えば、厳密に60℃に制御したい半導体製造装置の場合には、その温度系統の温冷却水を供給することにより、容易に必要な加熱を行う事ができるので、非常に好ましい。しかし、例えば外調機50の加熱の場合には、加熱すべき熱量が大きく、温冷却水だけでは不十分な場合がある。このため、従来から使用されているような加熱用のスチームヒータもしくは電熱ヒータを併用して、外調機50から排出された温水を室温まで戻すことができる。したがって、熱交換器52に供給する温冷却水は必ずしもある一定の温度とする必要はない。このような場合には、2系統の配管系にすることにより、3系統の配管系のうちの一つの温冷却水系統を節約できる。そして、その再利用する温冷却水の温度は、30℃〜50℃の中温系で使用することが好ましい。30℃以下では熱交換効率が悪くなり、また、50℃以上では配管に本格的な保温材を巻いて保温し、かつ使用するパッキン等に特殊な材料を使用する必要が生じるためである。
【0054】
上述の実施例において、再利用する温冷却水を排出する半導体製造装置としては、高温の温冷却水を多量に排出するようなシリコンウェハを熱酸化する縦型熱処理炉2,4が好適である。また、上述のように、高温冷却水の熱の利用先は、外調機50の空気加熱器(予熱コイル50a及び再熱コイル50b)であることが好ましい。このように、比較的高温で多量の温冷却水を排出する縦型熱処理炉からの温冷却水を、外調機50の空気加熱器用の加熱源としての温水の加熱に用いれば、効率よく、外気処理のためのエネルギを節約できる。この場合には、空気加熱器用の熱交換器52を配備する必要があるが、熱交換器52で室温に近い温度まで加熱できるので、例えばスチームヒータもしくは電熱ヒータを補助の加熱装置として併用したとしても、室温まで上げるためのスチーム量もしくは電気量を大幅に節約することができる。
【0055】
図3に示す熱再利用システムを用いた一例として、外調機50の処理風量が10000m3/hであり、その温熱負荷が年間約30万Mcalである場合を想定する。また、半導体製造装置からの生産冷却水排熱のうち利用可能回収熱量が年間10万Mcalであるとすると、一年間で必要な温熱負荷量の約1/3が、半導体製造装置から排出される温冷却水の利用により節約可能となる。また、生産冷却水の排熱利用に伴う冷熱源負荷の減少によって、冷凍機の熱源容量を約1割減少することができる。また、冷凍機の小型化が可能となり、冷凍機の運転に伴う電気代を低減することができる。これらの節約分を電気代に置き換えると、年間15万kWh(約200万円)の節約となり、半導体製造設備のランニングコストにおいて多大な節約効果を得ることができる。
【0056】
本発明は上述の具体的に開示された実施例に限定されるものでは無く、本発明の開示の範囲内で様々な変形例及び改良例がなされるであろう。
【図面の簡単な説明】
【図1】 従来の半導体製造設備の冷却システムの簡略図である。
【図2】 本発明の一実施例による半導体製造設備の排熱利用システムの簡略図である。
【図3】 本発明の他の実施例による半導体製造工場の熱回収システムの簡略図である。
Claims (14)
- 複数の半導体製造装置を有する半導体製造設備の排熱利用システムであって、
半導体製造装置に室温と実質的に等しい温度の低温冷却水を供給するための低温冷却水供給ラインと、
半導体製造装置から排出された室温より高い温度の中温冷却水を、第1の所定の半導体製造装置に供給するための中温冷却水供給ラインと、
第2の所定の半導体製造装置から排出された、中温冷却水よりさらに高い温度の高温冷却水を、第3の所定の半導体製造装置に加熱源として供給するための高温冷却水供給ラインと
を有することを特徴とする排熱利用システム。 - 請求項1記載の排熱利用システムであって、
半導体製造装置から排出された中温冷却水を一時的に貯蔵する中温冷却水タンクと、
前記中温冷却水タンクに貯蔵された中温冷却水を、前記中温冷却水供給ラインに供給するための中温冷却水循環ラインと、
前記中温冷却水タンクに貯蔵された中温冷却水を、前記低温冷却水供給ラインに供給する低温冷却水循環ラインと、
前記低温冷却水循環ラインに設けられ、前記中温冷却水タンクからの中温冷却水を冷却する水冷式冷却装置と
を更に有することを特徴とする排熱利用システム。 - 請求項2記載の排熱利用システムであって、
前記低温冷却水循環ラインに設けられ、前記水冷式冷却装置からの冷却水を更に冷却して低温冷却水とする熱交換器を更に有することを特徴とする排熱利用システム。 - 請求項1乃至3のうちいずれか一項記載の排熱利用システムであって、
半導体製造装置から排出された高温冷却水を一時的に貯蔵する高温冷却水タンクを更に有し、前記高温冷却水供給ラインは前記高温冷却水タンクに接続されることを特徴とする排熱利用システム。 - 請求項1乃至3のうちいずれか一項記載の排熱利用システムであって、
前記第1の所定の半導体製造装置は、コータ・デベロッパ装置であることを特徴とする排熱利用システム。 - 請求項1乃至3のうちいずれか一項記載の排熱利用システムであって、
前記第2の所定の半導体製造装置は、加熱炉を有する熱処理装置であることを特徴とする排熱利用システム。 - 請求項1乃至3のうちいずれか一項記載の排熱利用システムであって、
前記第3の所定の半導体製造装置は、ウェハ洗浄装置及びエッチング装置の少なくとも一方を含むことを特徴とする排熱利用システム。 - 複数の半導体製造装置を有する半導体製造設備の排熱利用方法であって、
半導体製造装置に室温と実質的に等しい温度の低温冷却水を供給し、
半導体製造装置から排出された室温より高い温度の中温冷却水を、第1の所定の半導体製造装置に供給し、
第2の所定の半導体製造装置から排出された、中温冷却水よりさらに高い温度の高温冷却水を、第3の所定の半導体製造装置に加熱源として供給する
各工程を有することを特徴とする排熱利用方法。 - 請求項8記載の排熱利用方法であって、
半導体製造装置から排出された中温冷却水を一時的に貯蔵し、
貯蔵された中温冷却水の一部を、前記第1の所定の半導体製造装置に供給し、
貯蔵された中温冷却水の残りの部分を水冷式冷却装置により冷却して半導体製造装置に供給する
各工程を有することを特徴とする排熱利用方法。 - 請求項9記載の排熱利用方法であって、
水冷式冷却装置により冷却された中温冷却水を熱交換器により更に冷却する工程を有することを特徴とする排熱利用方法。 - 複数の半導体製造装置と、
半導体製造装置に室温と実質的に等しい温度の低温冷却水を供給するための低温冷却水供給ラインと、
半導体製造装置から排出された室温より高い温度の中温冷却水を、第1の所定の半導体製造装置に供給するための中温冷却水供給ラインと、
第2の所定の半導体製造装置から排出された、中温冷却水よりさらに高い温度の高温冷却水を、第3の所定の半導体製造装置に加熱源として供給するための高温冷却水供給ラインと
を有することを特徴とする半導体製造設備。 - 請求項11記載の半導体製造設備であって、
半導体製造装置から排出された中温冷却水を一時的に貯蔵する中温冷却水タンクと、
前記中温冷却水タンクに貯蔵された中温冷却水を、前記中温冷却水供給ラインに供給するための中温冷却水循環ラインと、
前記中温冷却水タンクに貯蔵された中温冷却水を、前記低温冷却水供給ラインに供給する低温冷却水循環ラインと、
前記低温冷却水循環ラインに設けられ、前記中温冷却水タンクからの中温冷却水を冷却する水冷式冷却装置と
を更に有することを特徴とする半導体製造設備。 - 請求項12記載の半導体製造設備であって、
前記低温冷却水循環ラインに設けられ、前記水冷式冷却装置からの冷却水を更に冷却して低温冷却水とする熱交換器を更に有することを特徴とする半導体製造設備。 - 請求項11乃至13のうちいずれか一項記載の半導体製造設備であって、
半導体製造装置から排出された高温冷却水を一時的に貯蔵する高温冷却水タンクを更に有し、前記高温冷却水供給ラインは前記高温冷却水タンクに接続されることを特徴とする半導体製造設備。
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