JPH10253094A - 空調装置 - Google Patents

空調装置

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JPH10253094A
JPH10253094A JP6036497A JP6036497A JPH10253094A JP H10253094 A JPH10253094 A JP H10253094A JP 6036497 A JP6036497 A JP 6036497A JP 6036497 A JP6036497 A JP 6036497A JP H10253094 A JPH10253094 A JP H10253094A
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JP
Japan
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coil
air
cooling
cold water
dehumidifying
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JP6036497A
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Inventor
Tomosuke Ooizumi
智資 大泉
Hideki Kitamura
英樹 北村
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Sanki Engineering Co Ltd
Original Assignee
Sanki Engineering Co Ltd
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24FAIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/14Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by humidification; by dehumidification
    • F24F3/153Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by humidification; by dehumidification with subsequent heating, i.e. with the air, given the required humidity in the central station, passing a heating element to achieve the required temperature

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ランアラウンド式顕熱熱交換器を組み込みな
がら冬季、夏季においても運転すること。 【解決手段】 エアワッシャを備えたケーシング内に、
エアワッシャの上流側に予熱コイル、下流側に冷却減湿
コイルを配するとともに、予熱コイルと冷却減湿コイル
間に、熱源からの冷水を下流側の冷却減湿コイルの出口
から上流側の予熱コイルの入口へ供給する配管を設け
た。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルーム空
調の外気処理を行う空調装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、クリーンルームには、例えば、特
開平8−82432号公報等で開示されるように、クリ
ーンルーム空調の外気処理を行う空調装置(外調機)が
取り付けられている。また、ケミカルガス除去を目的と
してエアワッシャを組み込んだ空調装置が種々提案され
ている。エアワッシャは、空気塵埃の除去だけでなく、
ケミカルガス除去にも有効であることが認められ、積極
的にクリーンルームの外調機に採用されている。
【0003】図5には、従来のクリーンルーム空調の外
気処理を行う空調装置Aを示す。空気導入部1aと空気
導出部1bを備えたケーシング1内には、空気導入部1
aから空気導出部1bに向かって、プレフィルタ2、中
性能フィルタ3、予熱コイル4、エリミネータ5、水噴
霧器6、エリミネータ7、冷却減湿コイル8、ファン9
の順に配置されている。
【0004】そして、水噴霧器6の下部にはタンク10
が配され、このタンク10内の水(純水)をポンプ11
によって循環使用できるようになっている。また、ポン
プ11を備えた配管12には、熱交換器13が介装さ
れ、水に必要な熱エネルギを与えるようになっている。
ここで、水噴霧器6、タンク10、ポンプ11、配管1
2、熱交換器13によって、エアワッシャ14が形成さ
れている。
【0005】また、予熱コイル4には、温水を供給でき
るように配管15,16を介して加熱熱源に連絡してい
る。更に、冷却減湿コイル8には、冷水を供給できるよ
うに冷水導入管17および冷水導出管18を介して熱源
(冷凍機)に連絡している。この空調装置Aによれば、
夏季においては、予熱コイル4を停止した状態で、空気
導入部1aから外気が取り込まれると、プレフィルタ2
及び中性能フィルタ3で塵、埃などの夾雑物が取り除か
れた後、エリミネータ5を介しエアワッシャ14に送り
出され、取り込まれた外気に例えば20℃の温水が噴霧
される。例えば、図6に示すように、温度32℃、湿度
68%の外気が、温度28℃、湿度95%に加湿洗浄さ
れる。
【0006】その後、加湿洗浄された空気は、エリミネ
ータ7を介して冷却減湿コイル8へ流入する。冷却減湿
コイル8には、冷凍機から例えば7℃の冷水が供給され
ているので、冷却減湿コイル8において、空気は温度1
1℃、湿度95%に冷却除湿される。その後、ファン9
によって空気は温度11.5℃、湿度90%としてクリ
ーンルームへ供給される。
【0007】一方、中間季から冬季においては、予熱コ
イル4に温水を供給しておき、空気導入部1aから外気
が取り込まれると、プレフィルタ2及び中性能フィルタ
3で塵、埃などの夾雑物が取り除かれた後、予熱コイル
4にて暖められる。例えば、図7に示すように、温度−
4℃、湿度50%の外気は、温度33℃、湿度5%に加
熱される。その後、加熱された空気は、エリミネータ5
を介しエアワッシャ14に送り出され、取り込まれた外
気に例えば20℃の温水が噴霧され、温度15℃、湿度
80%に加湿洗浄される。
【0008】その後、加湿洗浄された空気は、エリミネ
ータ7を介して冷却減湿コイル8へ流入する。冷却減湿
コイル8には、冷凍機から例えば7℃の冷水が供給され
ているので、冷却減湿コイル8において、空気は温度1
1℃、湿度95%に冷却除湿される。その後、ファン9
によって空気は温度11.5℃、湿度90%としてクリ
ーンルームへ供給される。
【0009】以上のように、図5に示す従来の空調装置
Aでは、夏季において使用しない冬季用の機器である予
熱コイル4を組み込まなくてはならず、装置が大型化す
る。しかも、冬季においても冷却減湿コイル8により冷
却除湿するため、冬季においても冷凍機を運転する必要
があった。このような不具合を解決するために、図8に
示すランアラウンド式顕熱熱交換器23を組み込んだ空
調装置Bが提案されている。
【0010】この空調装置Bでは、図5に示す空調装置
Aにおける冷却減湿コイル8の上流側に冷却減湿コイル
19を設けるとともに冷却減湿コイル19と予熱コイル
4とを配管20,21で連絡し熱媒ポンプ22で冷媒を
循環させるようにしたものである。この空調装置Bによ
れば、夏季においては、ランアラウンド式顕熱熱交換器
23の運転を停止しておくので、図9に示されるよう
に、図5に示す空調装置Aと同様に処理される。
【0011】一方、中間季から冬季においては、冷却減
湿コイル8の運転を停止しておき、予熱コイル4に25
℃の温水を供給しておき、空気導入部1aから外気が取
り込まれると、プレフィルタ2及び中性能フィルタ3で
塵、埃などの夾雑物が取り除かれた後、予熱コイル4に
て暖められる。予熱コイル4には、ランアラウンド式顕
熱熱交換器23を構成している冷却減湿コイル19で回
収した熱が供給され、例えば、図10に示すように、温
度−4℃、湿度50%の外気は、温度5℃、湿度25%
に加熱除湿される。その後、加熱除湿された空気は、エ
リミネータ5を介しエアワッシャ14に送り出され、取
り込まれた外気に例えば25℃の温水が噴霧され、温度
15℃、湿度85%に加湿洗浄される。
【0012】その後、加湿洗浄された空気は、エリミネ
ータ7を介してランアラウンド式顕熱熱交換器23を構
成している冷却減湿コイル19へ流入する。冷却減湿コ
イル19では、空気は温度11℃、湿度95%に冷却除
湿される。その後、ファン9によって空気は温度11.
5℃、湿度90%としてクリーンルームへ供給される。
以上のように、空調装置Bによれば、冬季において、ラ
ンアラウンド式顕熱熱交換器23による外気冷熱利用の
冷却が可能となり、空調装置Aのように冷凍機を使用す
る必要がなくなり、しかも、予熱コイル4への熱源とし
てランアラウンド式顕熱熱交換器23を構成する冷却減
湿コイル19で回収した熱を利用することが可能とな
る。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、空調装
置Bにおいては、図5に示す従来の空調装置Aにランア
ラウンド式顕熱熱交換器23を組み込んだものであるか
ら、冷却減湿コイル8と冷却減湿コイル19とを必要と
し、しかも、夏季においては、ランアラウンド式顕熱熱
交換器23を停止しておくので、夏季において使用しな
い冬季用の機器であるランアラウンド式顕熱熱交換器2
3を組み込まなくてはならず、コストアップの要因とな
るという問題があった。
【0014】特に、外気温度が7℃〜15℃の場合、外
気冷房効果を利用することができない。本発明はかかる
従来の問題点を解決するためになされたもので、その目
的は、ランアラウンド式顕熱熱交換器を組み込みながら
冬季、夏季においても運転することが可能な空調装置を
提供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
エアワッシャを備えたケーシング内に、エアワッシャの
上流側に予熱コイル、下流側に冷却減湿コイルを配する
とともに、予熱コイルと冷却減湿コイル間に、熱源から
の冷水を下流側の冷却減湿コイルの出口から上流側の予
熱コイルの入口へ供給する配管を設けたことを特徴とす
る。
【0016】請求項2記載の発明は、空気導入部と空気
導出部を備えたケーシング内に、空気導入部から空気導
出部に向かって、予熱コイルと、エアワッシャと、冷却
減湿コイルとを配するとともに、両冷却減湿コイル間
に、熱源からの冷水を冷却減湿コイルの出口から予熱コ
イルの入口へ供給する配管を設け、かつ予熱コイルに冷
水を熱源へ戻す管路を設けるとともに冷却減湿コイルに
熱源からの冷水を導入する管路を設けたことを特徴とす
る。
【0017】請求項3記載の発明は、請求項1または請
求項2記載の空調装置において、予熱コイルの出口に連
絡する冷水導出管と、冷却減湿コイルの入口に連絡する
冷水導入管との間に、ポンプを備えたバイパス路を設け
たことを特徴とする。
【0018】(作用)請求項1および請求項2記載の発
明においては、夏季において、取り込まれた外気は、上
流側の予熱コイルで冷却された後に、エアワッシャで加
湿洗浄され、その後に、下流側の冷却減湿コイルにより
冷却除湿される。
【0019】一方、中間季から冬季においては、取り込
まれた外気は、下流側の冷却減湿コイルで回収した冷熱
で上流側の予熱コイルで予熱された後に、エアワッシャ
で加湿洗浄され、その後に、下流側の冷却減湿コイルに
より冷却除湿される。請求項3記載の発明においては、
停電時などにより熱源からの冷水の供給が停止すると、
バイパス路の設けたポンプが起動して、予熱コイルおよ
び冷却減湿コイルの凍結を防止する。
【0020】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に示す実施形
態に基づいて説明する。図1ないし図3は、請求項1お
よび請求項2記載の発明に係る空調装置の一実施形態を
示す。図1には、本実施形態に係るクリーンルーム空調
の外気処理を行う空調装置30が示されている。
【0021】空気導入部31aと空気導出部31bを備
えたケーシング31内には、空気導入部31aから空気
導出部31bに向かって、プレフィルタ32、中性能フ
ィルタ33、予熱コイル34、エリミネータ35、水噴
霧器36、エリミネータ37、冷却減湿コイル38、フ
ァン39の順に配置されている。そして、水噴霧器36
の下部にはタンク40が配され、このタンク40内の水
をポンプ41によって循環使用できるようになってい
る。また、ポンプ41を備えた配管42には、熱交換器
43が介装され、水に必要な熱エネルギを与えるように
なっている。熱交換器43には、温水を供給できるよう
に配管43を介して熱源に連絡している。
【0022】ここで、水噴霧器36、タンク40、ポン
プ41、配管42、熱交換器43によって、エアワッシ
ャ44が形成されている。また、予熱コイル34の冷水
の入口34aと冷却減湿コイル38の冷水の出口38b
は、配管45を介して連絡している。さらに、冷却減湿
コイル38の冷水の入口38aは、冷水を供給できるよ
うに冷水導入管47を介して熱源(冷凍機)に連絡して
いる。
【0023】また、予熱コイル34の冷水の出口34b
は、冷水を熱源(冷凍機)に戻せるように冷水導出管4
8を介して熱源(冷凍機)に連絡している。このように
して、予熱コイル34と冷却減湿コイル38は、ランア
ラウンド回路46を形成している。次に、本実施形態の
作用を説明する。
【0024】本実施形態に係る空調装置30によれば、
夏季においては、空気導入部31aから外気が取り込ま
れると、プレフィルタ32及び中性能フィルタ33で
塵、埃などの夾雑物が取り除かれた後、ランアラウンド
回路46の予熱コイル34によって冷却される。例え
ば、図2に示すように、温度32℃、湿度68%の外気
が、予熱コイル34の冷水(温度15℃)によって温度
16℃、湿度95%に冷却される。
【0025】ここで、ランアラウンド回路46により、
熱源から供給される冷水は、冷却減湿コイル38の冷水
の入口34aから冷却減湿コイル38内に導入され、エ
アワッシャ44から出てきた加湿洗浄された空気を冷却
減湿した後、冷却減湿コイル38の冷水の出口34bか
ら配管45を介して予熱コイル34の冷水の入口34a
から予熱コイル34内に導入され、プレフィルタ32及
び中性能フィルタ33で塵、埃などの夾雑物が取り除か
れた外気を冷却した後、予熱コイル34の冷水の出口3
4bから冷水導入管48を介して熱源(冷凍機)に戻さ
れる。
【0026】ランアラウンド回路46の予熱コイル34
によって冷却された外気は、エリミネータ35を介しエ
アワッシャ44に送り出され、取り込まれた外気に例え
ば20℃の温水が噴霧される。例えば、図2に示すよう
に、温度16℃、湿度95%の外気が、温度15℃、湿
度100%に冷却加湿される。その後、冷却加湿された
空気は、エリミネータ37を介して冷却減湿コイル38
へ流入する。冷却減湿コイル38には、冷凍機から例え
ば7℃の冷水が供給されているので、冷却減湿コイル3
8において、空気は温度11℃、湿度95%に冷却除湿
される。
【0027】その後、ファン39によって空気は温度1
1.5℃、湿度90%としてクリーンルームへ供給され
る。一方、中間季から冬季においては、空気導入部31
aから外気が取り込まれると、プレフィルタ32及び中
性能フィルタ33で塵、埃などの夾雑物が取り除かれた
後、予熱コイル34にて温度15℃の還水(冷却減湿コ
イル38から配管45を介して送られてきた冷水)によ
って暖められる。例えば、図3に示すように、温度−4
℃、湿度50%の外気は、温度5℃、湿度18%に加熱
される。
【0028】その後、加熱された空気は、エリミネータ
35を介しエアワッシャ44に送り出され、取り込まれ
た外気に例えば20℃の温水が噴霧され、温度15℃、
湿度85%に加湿洗浄される。その後、加湿洗浄された
空気は、エリミネータ37を介して冷却減湿コイル38
へ流入する。冷却減湿コイル38には、冷凍機から例え
ば7℃の冷水が供給されているので、冷却減湿コイル3
8において、空気は温度11℃、湿度95%に冷却除湿
される。
【0029】その後、ファン39によって空気は温度1
1.5℃、湿度90%としてクリーンルームへ供給され
る。以上のように、本実施形態に係る空調装置30で
は、夏季においては、予熱コイル34を外気の冷却装置
として使用するので、従来の予熱コイル4のように夏季
に運転を停止することがない。
【0030】また、冬季においては、予熱コイル34を
外気の予熱装置として使用するので、冷凍機の運転の割
合を少なくすることが可能となる。すなわち、予熱コイ
ル34は、従来の予熱コイル4と異なり、夏季において
は外気を冷却し、冬季においては外気を温めることが可
能となる。
【0031】さらに、冷却減湿コイル38は、従来のラ
ンアラウンド式顕熱熱交換器23を組み込んだ空調装置
Bにおける冷却減湿コイル8,19の機能を併せ持つこ
とができる。すなわち、従来必要とされた2つの冷却減
湿コイル8,19を1つの冷却減湿コイル38にするこ
とが可能となる。
【0032】このように、本実施形態によれば、従来の
空調装置のように、1年中を通して休止する機器がな
い。図4は、請求項3記載の発明に係る空調装置の一実
施形態を示す。本実施形態では、予熱コイル34の冷水
の出口34bに連絡する冷水導出管48と、冷却減湿コ
イル38の冷水の入口38aに連絡する冷水導入管47
との間に、ポンプ50を備えたバイパス路49を設け、
その他の構成は図1に示す空調装置30と同じである。
【0033】ポンプ50は、非常電源回路に連絡してお
り、停電時などにより起動するように構成されている。
また、冷水導入管47とバイパス路49には、チャッキ
弁51が設けてある。本実施形態においては、停電時な
どにより熱源からの冷水の供給が停止すると、バイパス
路49に設けたポンプ50が起動して、冷水を予熱コイ
ル34および冷却減湿コイル38との間で循環させ、予
熱コイル34および冷却減湿コイル38での凍結を防止
することができる。
【0034】
【発明の効果】以上のように、請求項1および請求項2
記載の発明によれば、エアワッシャを挟んで前後に設け
るとともに配管によって連絡する冷却減湿コイルの冷水
還水を外気と熱交換して冷却するので、従来のランアラ
ウンド式顕熱熱交換器を組み込んだ空調装置のように外
気温度に依存することがなく、かつ省エネルギ化を可能
とする。
【0035】また、冬季および中間期は外気冷房を行
い、冷凍機運転コストを最小にすることができる。請求
項3記載の発明によれば、上記効果に加えて、停電時な
どによる熱源からの冷水供給停止時に、バイパス路に設
けたポンプを起動して、冷水を予熱コイルおよび冷却減
湿コイルとの間で循環させ、予熱コイルおよび冷却減湿
コイルの凍結を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】請求項1および請求項2記載の発明に係る空調
装置の一実施形態を示す説明図である。
【図2】図1の空調装置の夏季運転状況を示す説明図で
ある。
【図3】図1の空調装置の冬季運転状況を示す説明図で
ある。
【図4】請求項3記載の発明に係る空調装置の一実施形
態を示す説明図である。
【図5】従来の空調装置を示す説明図である。
【図6】図5の空調装置の夏季運転状況を示す説明図で
ある。
【図7】図5の空調装置の冬季運転状況を示す説明図で
ある。
【図8】従来のランアラウンド式顕熱熱交換器を組み込
んだ空調装置を示す説明図である。
【図9】図8の空調装置の夏季運転状況を示す説明図で
ある。
【図10】図8の空調装置の冬季運転状況を示す説明図
である。
【符号の説明】
30 空調装置 31 ケーシング 31a 空気導入部 31b 空気導出部 34 予熱コイル 34a 予熱コイル34の冷水の入口 34b 予熱コイル34の冷水の出口 38 冷却減湿コイル 38a 冷却減湿コイル38の冷水の入口 38b 冷却減湿コイル38の冷水の出口 39 ファン 44 エアワッシャ 45 配管 46 ランアラウンド回路 47 冷水導入管 48 冷水導出管 49 パイパス路 50 ポンプ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 エアワッシャを備えたケーシング内に、
    エアワッシャの上流側に予熱コイル、下流側に冷却減湿
    コイルを配するとともに、予熱コイルと冷却減湿コイル
    間に、熱源からの冷水を下流側の冷却減湿コイルの出口
    から上流側の予熱コイルの入口へ供給する配管を設けた
    ことを特徴とする空調装置。
  2. 【請求項2】 空気導入部と空気導出部を備えたケーシ
    ング内に、空気導入部から空気導出部に向かって、予熱
    コイルと、エアワッシャと、冷却減湿コイルとを配する
    とともに、両冷却減湿コイル間に、熱源からの冷水を冷
    却減湿コイルの出口から予熱コイルの入口へ供給する配
    管を設け、かつ予熱コイルに冷水を熱源へ戻す管路を設
    けるとともに冷却減湿コイルに熱源からの冷水を導入す
    る管路を設けたことを特徴とする空調装置。
  3. 【請求項3】 請求項1または請求項2記載の空調装置
    において、 予熱コイルの出口に連絡する冷水導出管と、冷却減湿コ
    イルの入口に連絡する冷水導入管との間に、ポンプを備
    えたバイパス路を設けたことを特徴とする空調装置。
JP6036497A 1997-03-14 1997-03-14 空調装置 Pending JPH10253094A (ja)

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