JP3950725B2 - 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法、ならびに磁気記録装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、少なくとも記録用の誘導型磁気変換素子を備えた薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法、ならびにその薄膜磁気ヘッドを搭載した例えばハードディスクドライブなどの磁気記録装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、例えばハードディスクなどの磁気記録媒体(以下、単に「記録媒体」という)の面記録密度の向上に伴い、薄膜磁気ヘッドの性能向上が求められている。薄膜磁気ヘッドに適用される磁気記録方式としては、例えば、信号磁界の向きを記録媒体の面内方向(長手方向)にする長手記録方式と、記録媒体の面に対して直交する方向にする垂直記録方式とが知られている。現在のところ、長手記録方式が広く利用されているが、面記録密度の向上に伴う市場動向を考慮すれば、今後、長手記録方式に代わり垂直記録方式が有望視されるものと想定される。なぜなら、垂直記録方式では、高い線記録密度を確保可能な上、記録済みの記録媒体が熱揺らぎの影響を受けにくいという利点が得られるからである。
【0003】
垂直記録方式を利用した記録態様としては、例えば、(1)一端側においてギャップを挟んで互いに対向し、かつ他端側において互いに磁気的に連結されてなるヘッド(リング型ヘッド)と、単層構成の記録媒体とを用いる態様や、(2)記録媒体に対して垂直に配置されたヘッド(単磁極型ヘッド)と、2層構成の記録媒体とを用いる態様が提案されている。これらの態様のうち、単磁極型ヘッドと2層構成の記録媒体との組み合わせを用いる態様は、熱揺らぎに対する耐性が顕著に優れている点に基づき、薄膜磁気ヘッドの性能向上を実現し得るものとして注目されている。
【0004】
ところで、垂直記録方式の薄膜磁気ヘッドの記録性能を向上させるためには、例えば、単磁極型ヘッドのうち、主要な磁束の流路となる「主磁極層」を設計する際、主に、以下の2つの点が大きなポイントとなる。
【0005】
すなわち、第1に、記録密度を増加させるために、主磁極層のうち、記録媒体の記録トラック幅を規定することとなる極微小な一定幅を有する部分(以下、「一定幅部分」という)を高精度に形成する必要がある。従来より、主磁極層は、例えば、フォトリソグラフィ技術、成膜技術およびエッチング技術などを利用して、所定のパターン形状となるように磁性層をパターニングすることにより形成されている。主磁極層を形成する際には、一定幅部分を高精度に形成するために、高い加工精度が要求される。
【0006】
第2に、磁気飽和を抑制し、一定幅部分に十分な量の磁束を供給するために、主磁極のうち、一定幅部分よりも大きな幅を有する部分(以下、「拡幅部分」という)を、過剰な磁束放出を誘発しない程度に記録媒体対向面(エアベアリング面)に近づける必要がある。この拡幅部分の前端縁(エアベアリング面に近い側の端縁)の位置は、主磁極層の幅が一定幅部分から拡幅部分へと拡がる位置を規定しており、一般に「フレアポイント」と呼ばれている。このフレアポイントは、主磁極層内を拡幅部分から一定幅部分へ流れる磁束が集束されることとなる位置であり、一定幅部分への磁束供給の観点において、薄膜磁気ヘッドの記録性能を決定する因子のうちの1つである。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の薄膜磁気ヘッドの製造方法では、記録性能を向上させるために、一定幅部分の形成に係る高精度化ならびにフレアポイントの適正化が必要であるにもかかわらず、これらを両立させることが困難であるという問題があった。この理由は、以下の通りである。
【0008】
すなわち、例えば、フォトリソグラフィ技術を利用してフォトレジストを選択的に露光することにより、主磁極を形成するために必要なフォトレジストパターンを形成する際、その露光パターン中に、一定幅部分に対応する極狭幅の領域と、拡幅部分に対応する広幅の領域との双方が含まれていると、露光時に生じる反射光の影響により極狭幅領域の周辺部が余計に露光されてしまい、露光領域が拡張する場合がある。露光領域が拡張すると、フォトレジストパターンの形成精度が低下してしまうため、一定幅部分を高精度に形成することが困難となる。しかも、この一定幅部分の形成精度に係る問題は、フレアポイントがエアベアリング面に近づき、これにより極狭幅の領域に対する広幅の領域の割合が大きくなるほど顕著になる。したがって、従来は、一定幅部分の形成に係る高精度化とフレアポイントの適正化とが、互いにトレードオフの関係となっていた。垂直記録方式の実用性および将来性を証明し、この方式を利用した大容量のハードディスクドライブの普及を図るためには、上記問題を解決し、記録性能の向上を実現することが急務である。
【0009】
なお、本発明と同様に、例えば垂直記録方式を利用した薄膜磁気ヘッドの記録性能を向上させることを目的とする先行技術としては、例えば、高橋等により特開平6−274811号公報に開示されたものが挙げられる。高橋等は、垂直磁気ヘッドのヘッド材料を適正化することにより高密度記録を実現する手法を開示している。しかしながら、この先行技術は、本発明において指摘している主磁極層の形成に係る高精度化とフレアポイントの適正化との両立に係る観点について、何らの改善策も提示していない。
【0010】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その第1の目的は、記録性能を向上させることが可能な薄膜磁気ヘッドを提供することにある。
【0011】
また、本発明の第2の目的は、主磁極層の形成に係る高精度化とフレアポイントの適正化とを両立し、製造面から記録性能の向上に寄与可能な薄膜磁気ヘッドの製造方法を提供することにある。
【0012】
さらに、本発明の第3の目的は、記録性能を向上させることが可能な磁気記録装置を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明の第1の薄膜磁気ヘッドは、磁束を発生させる薄膜コイルと、薄膜コイルにおいて発生した磁束を記録媒体に向けて放出する磁極層とを備えたものであり、磁極層が、記録媒体に対向する記録媒体対向面に一端面が露出した主磁極層と、主磁極層の一部と対向して配設された補助磁極層と、主磁極層と補助磁極層とが互いに対向し合う領域にこれらの2つの層により挟まれるように配設された非磁性層とを含む積層構造を有すると共に、全体として、記録媒体の記録トラック幅を規定する一定幅を有する一定幅領域と、一定幅領域よりも大きな幅を有する拡幅領域とを含む平面形状を有し、主磁極層が、記録媒体対向面からこれより離れる方向に一定幅をもって延在する第1の主磁極層部分と、第1の主磁極層部分の後方に連結され、第1の主磁極層部分よりも大きな幅を有する第2の主磁極層部分とを含み、一定幅領域が主磁極層のうちの第1の主磁極層部分の平面形状によって規定され、磁極層の幅が一定幅領域から拡幅領域へと拡がる拡幅位置が主磁極層のうちの第2の主磁極層部分の前端縁によって規定されているようにしたものである。また、本発明の第2の薄膜磁気ヘッドは、磁束を発生させる薄膜コイルと、薄膜コイルにおいて発生した磁束を記録媒体に向けて放出する磁極層とを備えたものであり、磁極層が、記録媒体に対向する記録媒体対向面に一端面が露出した主磁極層と、主磁極層の一部と対向して配設された補助磁極層と、主磁極層と補助磁極層とが互いに対向し合う領域にこれらの2つの層により挟まれるように配設された非磁性層とを含む積層構造を有すると共に、全体として、記録媒体の記録トラック幅を規定する一定幅を有する一定幅領域と、一定幅領域よりも大きな幅を有する拡幅領域とを含む平面形状を有し、主磁極層が、記録媒体対向面からこれより離れる方向に一定幅をもって延在する第3の主磁極層部分と、拡幅領域において第3の主磁極層部分と同じ一定幅をもってこの第3の主磁極層部分の延在方向と同じ方向に延在する第4の主磁極層部分と、第4の主磁極層部分の後方に連結され、第4の主磁極層部分よりも大きい幅をもって延在する第5の主磁極層部分とを含み、補助磁極層が主磁極層のうちの第3の主磁極層部分よりも大きな幅を有し、一定幅領域が第3の主磁極層部分の平面形状によって規定され、磁極層の幅が一定幅領域から拡幅領域へと拡がる拡幅位置が補助磁極層の前端縁によって規定され、補助磁極層が拡幅位置において主磁極層に連結されているようにしたものである。なお、「平面形状」とは、主磁極層、非磁性層および補助磁極層よりなる積層構造体の平面構成のシルエット形状の意である。また、「媒体流出側」とは、媒体進行方向に向かう記録媒体の移動状態を1つの流れと見た場合にその流れの流出する側をいい、一方、「媒体流入側」とは、その流れの流入する側をいう。
【0014】
本発明の薄膜磁気ヘッドでは、薄膜コイルにおいて発生した磁束が主磁極層に収容されると共に、その磁束が非磁性層を通過して補助磁極層にも収容される。補助磁極層に収容された磁束は、先端近傍において再び非磁性層を通過することにより主磁極層に流入する。これにより、主磁極層および補助磁極層の双方の内部を流れた磁束が主磁極層のうちの媒体流出側(トレーリング側)部分に集中する。
【0015】
本発明の薄膜磁気ヘッドの製造方法は、磁束を発生させる薄膜コイルと、記録媒体の記録トラック幅を規定する一定幅を有する一定幅領域と、一定幅領域よりも大きな幅を有する拡幅領域とを含む平面形状を有すると共に、記録媒体に対向する記録媒体対向面に一端面が露出するように配設された主磁極層と、主磁極層の一部と対向するように配設された補助磁極層と、主磁極層と補助磁極層とが互いに対向し合う領域にこれらの2つの層により挟まれるように配設された非磁性層とを含む積層構造をなし、薄膜コイルにおいて発生した磁束を記録媒体に向けて放出する磁極層とを備えた薄膜磁気ヘッドを製造する方法であり、拡幅領域を画定するためのマスクとなる第1のマスク層と、一定幅領域を画定するためのマスクとなる第2のマスク層とを別々の工程によって作成し、第1のマスク層および第2のマスク層を用いた一連のエッチング工程により磁極層の形成を完了すると共に、第1のマスク層の形成工程を第2のマスク層の形成工程よりも前に行うようにしたものである。
【0016】
本発明の薄膜磁気ヘッドの製造方法では、別々の工程によって作成された第1および第2のマスク層を用いて一連のエッチング工程が行われることにより、磁極層が形成される。この場合には、第1のマスク層の形成工程が第2のマスク層によりも前に行われる。エッチング工程では、第1のマスク層をマスクとして磁極層の拡幅領域が画定されると共に、第2のマスク層をマスクとして一定幅領域が画定されることとなり、拡幅領域または一定幅領域の画定が、互いに異なる2種類のマスク層によりそれぞれ別個に行われる。
【0017】
本発明の第1の磁気記録装置は、記録媒体と、記録媒体に磁気的に情報を記録する薄膜磁気ヘッドとを備えたものであり、薄膜磁気ヘッドが、磁束を発生させる薄膜コイルと、薄膜コイルにおいて発生した磁束を記録媒体に向けて放出する磁極層とを備え、磁極層が、記録媒体に対向する記録媒体対向面に一端面が露出した主磁極層と、主磁極層の一部と対向して配設された補助磁極層と、主磁極層と補助磁極層とが互いに対向し合う領域にこれらの2つの層により挟まれるように配設された非磁性層とを含む積層構造を有すると共に、全体として、記録媒体の記録トラック幅を規定する一定幅を有する一定幅領域と、一定幅領域よりも大きな幅を有する拡幅領域とを含む平面形状を有し、主磁極層が、記録媒体対向面からこれより離れる方向に一定幅をもって延在する第1の主磁極層部分と、第1の主磁極層部分の後方に連結され、第1の主磁極層部分よりも大きな幅を有する第2の主磁極層部分とを含み、一定幅領域が主磁極層のうちの第1の主磁極層部分の平面形状によって規定され、磁極層の幅が一定幅領域から拡幅領域へと拡がる拡幅位置が主磁極層のうちの第2の主磁極層部分の前端縁によって規定されているようにしたものである。また、本発明の第2の磁気記録装置は、記録媒体と、記録媒体に磁気的に情報を記録する薄膜磁気ヘッドとを備えたものであり、薄膜磁気ヘッドが、磁束を発生させる薄膜コイルと、薄膜コイルにおいて発生した磁束を記録媒体に向けて放出する磁極層とを備え、磁極層が、記録媒体に対向する記録媒体対向面に一端面が露出した主磁極層と、主磁極層の一部と対向して配設された補助磁極層と、主磁極層と補助磁極層とが互いに対向し合う領域にこれらの2つの層により挟まれるように配設された非磁性層とを含む積層構造を有すると共に、全体として、記録媒体の記録トラック幅を規定する一定幅を有する一定幅領域と、一定幅領域よりも大きな幅を有する拡幅領域とを含む平面形状を有し、主磁極層が、記録媒体対向面からこれより離れる方向に一定幅をもって延在する第3の主磁極層部分と、拡幅領域において第3の主磁極層部分と同じ一定幅をもってこの第3の主磁極層部分の延在方向と同じ方向に延在する第4の主磁極層部分と、第4の主磁極層部分の後方に連結され、第4の主磁極層部分よりも大きい幅をもって延在する第5の主磁極層部分とを含み、補助磁極層が主磁極層のうちの第3の主磁極層部分よりも大きな幅を有し、一定幅領域が第3の主磁極層部分の平面形状によって規定され、磁極層の幅が一定幅領域から拡幅領域へと拡がる拡幅位置が補助磁極層の前端縁によって規定され、補助磁極層が拡幅位置において主磁極層に連結されているようにしたものである。
【0018】
本発明の磁気記録装置では、本発明の薄膜磁気ヘッドにより、記録媒体に磁気的に情報が記録される。
【0020】
また、本発明の第1の薄膜磁気ヘッドでは、磁極層の幅が一定幅領域から拡幅領域へと拡がる拡幅位置に、磁極層の厚さ方向の段差が形成されるようにしてもよい。この「段差」とは、主磁極層、非磁性層および補助磁極層よりなる積層構造体の断面構成のシルエット中に見られる段差の意である。
【0021】
また、本発明の第1の薄膜磁気ヘッドでは、記録媒体が所定の媒体進行方向に移動する場合において、補助磁極層のうちの第2の補助磁極層部分が媒体進行方向における媒体流出側に積層配置され、主磁極層が媒体進行方向における媒体流入側に積層配置されるようにしてもよい。本発明の第2の薄膜磁気ヘッドでは、主磁極層のうちの第5の主磁極層部分が媒体進行方向における媒体流出側に積層配置され、補助磁極層が媒体進行方向における媒体流入側に積層配置されるようにしてもよい。
【0022】
また、本発明の第1または第2の薄膜磁気ヘッドまたは磁気記録装置では、磁極層が、記録媒体をその表面と直交する方向に磁化させるための磁束を放出するように構成してもよい。すなわち、本発明の薄膜磁気ヘッドを垂直記録方式の単磁極ヘッドに適用すると共に、その薄膜磁気ヘッドを搭載した磁気記録装置を構成することが可能である。
【0023】
[第1の実施の形態]
<薄膜磁気ヘッドの構成>
まず、図1〜図3を参照して、本発明の第1の実施の形態に係る薄膜磁気ヘッドの構成について説明する。図1は薄膜磁気ヘッドの断面構成を表しており、(A)はエアベアリング面に平行な断面,(B)はエアベアリング面に垂直な断面ををそれぞれ示している。図2および図3は、図1に示した薄膜磁気ヘッドの要部の拡大斜視構成および拡大平面構成をそれぞれ表している。なお、図1に示した上向きの矢印Bは、薄膜磁気ヘッドに対して記録媒体(図示せず)が相対的に進行する方向、すなわち記録媒体の進行方向(媒体進行方向)を表している。
【0024】
以下の説明では、図1〜図3の各図中におけるX軸方向の距離を「幅」、Y軸方向の距離を「長さ」、Z軸方向の距離を「厚み」と表記する。また、Y軸方向のうちのエアベアリング面20に近い側を「前側または前方」、その反対側を「後側または後方」とそれぞれ表記するものとする。これらの表記内容は、後述する図4以降においても同様とする。
【0025】
この薄膜磁気ヘッドは、例えば、記録・再生の双方の機能を実行可能な複合型ヘッドであり、図1に示したように、例えばアルティック(Al2 O3 ・TiC)などのセラミック材料よりなる基板1上に、例えば酸化アルミニウム(Al2 O3 ;以下、単に「アルミナ」という)よりなる絶縁層2と、磁気抵抗効果(MR;Magneto-resistive )を利用して再生処理を実行する再生ヘッド100Aと、例えばアルミナよりなる非磁性層7と、垂直記録方式により記録処理を実行する単磁極型の記録ヘッド100Bと、例えばアルミナなどよりなるオーバーコート層15がこの順に積層された構成をなしている。
【0026】
《再生ヘッドの構成》
再生ヘッド100Aは、例えば、下部シールド層3と、シールドギャップ膜4と、上部シールド層5とがこの順に積層された構成をなしている。シールドギャップ膜4には、記録媒体に対向する記録媒体対向面(エアベアリング面)20に露出するように、再生素子としてのMR素子6が埋設されている。
【0027】
下部シールド層3および上部シールド層5は,例えば、いずれもニッケル鉄合金(NiFe;以下、単に「パーマロイ(商品名)」という;Ni:80重量%,Fe:20重量%)などの磁性材料により構成されており、それらの厚みはいずれも約1.0μm〜2.0μmである。シールドギャップ膜4は、MR素子6を周囲から電気的に分離するものであり、例えば、アルミナなどの非導電性非磁性材料により構成されている。MR素子6は、例えば、巨大磁気抵抗効果(GMR;Giant Magneto-resistive )またはトンネル磁気抵抗効果(TMR;Tunneling Magneto-resistive )などを利用したものである。
【0028】
《記録ヘッドの構成》
記録ヘッド100Bは、例えば、リターンヨーク8と、開口9Kを有するギャップ層9により埋設された磁束発生用の薄膜コイル10と、開口9Kにおいてリターンヨーク8と磁気的に連結されたヨーク11と、このヨーク11を介してリターンヨーク8と磁気的に連結された主磁極層12と、この主磁極層12と対向し合う領域に非磁性層13を挟む補助磁極層14と、非磁性層パターン32Pとがこの順に積層された構成をなしている。なお、図3では、非磁性層13および非磁性層パターン32Pの図示を省略していると共に、主磁極層12と補助磁極層14との区別を明確にするために、主磁極層12に濃い網掛けを施し、補助磁極層14に淡い網掛けを施している。ここで、主磁極層12、非磁性層13および補助磁極層14がこの順に積層された積層構造体が本発明における「磁極層」の一具体例に対応する。
【0029】
リターンヨーク8は、主に、主磁極層12から外部に放出された磁束を記録ヘッド100Bに取り込むためのものである。このリターンヨーク8は、例えばパーマロイ(Ni:80重量%,Fe:20重量%)などの磁性材料により構成されており、その厚みは約1.0μm〜5.0μmである。
【0030】
ギャップ層9は、リターンヨーク8上に配設され、開口9Kが設けられたギャップ層部分9Aと、このギャップ層部分9A上に配設され、薄膜コイル10の各巻線間よびその周辺領域を覆うギャップ層部分9Bと、ギャップ層部分9A,9Bを部分的に覆うギャップ層部分9Cとを含んで構成されている。ギャップ層部分9Aは、例えばアルミナなどの非導電性非磁性材料により構成されており、その厚みは約0.1μm〜1.0μmである。ギャップ層部分9Bは、例えば、加熱されることにより流動性を示すフォトレジスト(感光性樹脂)やスピンオングラス(SOG)などにより構成されている。ギャップ層部分9Cは、例えばアルミナやシリコン酸化物(SiO2 )などの非導電性非磁性材料により構成されており、その厚みはギャップ層部分9Bの厚みよりも大きくなっている。
【0031】
ヨーク11は、主に、リターンヨーク8と主磁極層12との間を磁気的に連結させるためのものであり、例えばパーマロイ(Ni:80重量%,Fe:20重量%)などの磁性材料により構成されている。このヨーク11は、例えば、その高さ方向における表面の位置がギャップ層部分9Cの同方向における表面の位置と一致しており、すなわちギャップ層部分9Cと共に平坦面Mを構成している。
【0032】
薄膜コイル10は、例えば、銅(Cu)などの高導電性材料により構成されており、リターンヨーク8とヨーク11との連結部分を中心としてスパイラル状に巻回する巻線構造をなしている。なお、図1および図3では、薄膜コイル10を構成する複数の巻線のうちの一部のみを示している。
【0033】
主磁極層12、非磁性層13および補助磁極層14がこの順に積層された構造体(以下、単に「積層構造体」ともいう)は、主に、薄膜コイル10において発生した磁束を収容し、その磁束を記録媒体(図示せず)に向けて放出するものである。この積層構造体は、例えば、図3に示したように、全体として、記録媒体の記録トラック幅を規定する一定幅W1を有する一定幅領域R1と、この一定幅領域R1よりも大きな幅W2を有する拡幅領域W2とを含む平面形状を有している。この「平面形状」とは、主磁極層12、非磁性層13および補助磁極層14よりなる積層構造体の平面構成のシルエット形状の意であり、具体的には、図3において太線で示した領域の形状のことである。積層構造体の幅が一定幅領域R1から拡幅領域R2へと拡がる位置は、薄膜磁気ヘッドの記録性能を決定する因子のうちの1つである「フレアポイント(拡幅位置)FP」に相当する。主磁極層12と補助磁極層14とは、例えば、互いに異なる平面形状を有している。
【0034】
積層構造体には、図1に示したように、フレアポイントFPにおいて、主磁極層12と補助磁極層14との間に厚さ方向の段差が形成されている。この「段差」とは、主磁極層12、非磁性層13および補助磁極層14よりなる積層構造体の断面構成のシルエット中に見られる段差の意であり、具体的には、図1において太線で示した領域中に見られる段差のことである。
【0035】
主磁極層12は、主要な磁束の流路となる部分である。この主磁極層12は、例えば、補助磁極層14の飽和磁束密度以上の飽和磁束密度を有する材料、例えばパーマロイ(Ni:80重量%,Fe:20重量%あるいはNi:45重量%,Fe:55重量%)、窒化鉄(FeN)または鉄コバルト系合金などにより構成されており、その厚みは約0.1μm〜0.5μmである。鉄コバルト系合金としては、例えば、鉄コバルト合金(FeCo),鉄コバルト合金窒化物(FeCoN),鉄コバルト合金酸化物(FeCoO),ニッケル鉄コバルト合金(CoFeNi)などが挙げられる。主磁極層12は、エアベアリング面20から後方に向かって延在しており、例えば、エアベアリング面20から順に、先端部12Aと、この先端部12Aの後方に連結された後端部12Bとを含んで構成されている。先端部12Aは、一端面がエアベアリング面20に露出しており、記録用の垂直磁界を発生させるために外部に磁束を放出する主要な磁束放出部分として機能するものである。この先端部12Aは、記録媒体の記録トラック幅を規定する一定幅W1を有している。この先端部12Aの平面形状により、一定幅領域R1が規定されている。後端部12Bは、薄膜コイル10において発生した磁束を収容するための主要な磁束収容部分として機能するものであり、先端部12Aよりも大きな幅W2(W2>W1)を有しており、この後端部12Bの前端縁によりフレアポイントFPが規定されている。なお、フレアポイントFPよりも前方において、ギャップ層部分9Cのうち、先端部12Aに対応する部分以外の領域は部分的に掘り下げられている。ここで、先端部12Aが本発明における「第1の主磁極層部分」の一具体例に対応し、後端部12Bが本発明における「第2の主磁極層部分」に対応する。
【0036】
非磁性層13は、主に、主磁極層12の形成時において、エッチング処理の進行度を抑制するためのストッパ層として機能するものである。なお、ストッパ層としての非磁性層13の機能に関する詳細については、後述する。この非磁性層13は、例えばアルミナなどにより構成されており、その厚みは約0.015μm〜0.65μmである。非磁性層13は、主磁極層12とほぼ同様の平面形状をなしている。
【0037】
補助磁極層14は、主に、主磁極層12の先端部12Aに磁束を供給する補助的な磁束の流路となる部分である。この補助磁極層14は、例えば、パーマロイ(Ni:80重量%,Fe:20重量%あるいはNi:45重量%,Fe:55重量%)やニッケル鉄コバルト合金などにより構成されており、その厚みは約0.1μm〜0.6μmである。補助磁極層14は、エアベアリング面20から所定の距離(リセス距離L=約0.2μm〜1.0μm)だけ後退して拡幅領域R2に配設されており、非磁性層13により主磁極層12から完全に分離されている。補助磁極層14は、フレアポイントFPから後方に向かって延在しており、例えば、フレアポイントFPから順に、先端部12Aと同様の一定幅W1を有する先端部14Aと、この先端部14Aの後方に連結され、先端部14Aよりも大きな幅を有する後端部14Bとを含んで構成されている。後端部14Bの幅は、例えば、その前方において徐々に大きくなり、かつ後方において一定(例えばW2)になっている。ここで、先端部14Aが本発明における「第1の補助磁極層部分」の一具体例に対応し、後端部14Bが本発明における「第2の補助磁極層部分」の一具体例に対応する。
【0038】
図1に示したように、主磁極層12、非磁性層13および補助磁極層14よりなる積層構造体は、エアベアリング面20に対して垂直な方向(図中のY軸方向)に延在している。すなわち、非磁性層13の配設位置を基準として主磁極層12と補助磁極層14との位置関係を見た場合、補助磁極層14のうちの後端部14Bが厚さ方向における媒体流出側に積層配置されており、一方、主磁極層12が厚さ方向における媒体流入側に積層配置されている。なお、「媒体流出側」とは、媒体進行方向Bに向かう記録媒体の移動状態を1つの流れと見た場合にその流れの流出する側をいい、一般に「トレーリング側」とも呼ばれている。一方、「媒体流入側」とは、流れの流入する側をいい、一般に「リーディング側」とも呼ばれている。ここでは、例えば、図中のZ軸方向において、ギャップ層9から遠い側(図中の上側)が「媒体流出側」,近い側(図中の下側)が「媒体流入側」にそれぞれ相当する。
【0039】
非磁性層パターン32Pは、主に、補助磁極層14の形成時において、エッチング処理の進行度を抑制するためのストッパ層として機能するものである。なお、ストッパ層としての非磁性層パターン32Pの機能に関する詳細については、後述する。この非磁性層パターン32Pは、例えばアルミナなどにより構成されており、補助磁極層14とほぼ同様の平面形状をなしている。
【0040】
<薄膜磁気ヘッドの動作>
次に、図1〜図3を参照して、薄膜磁気ヘッドの動作について説明する。
【0041】
この薄膜磁気ヘッドでは、情報の記録時において、図示しない外部回路を通じて記録ヘッド100Bの薄膜コイル10に電流が流れると、薄膜コイル10において磁束が発生する。このとき発生した磁束は、ヨーク11を通じて主に主磁極層12に収容されると共に、非磁性層13を通過して補助磁極層14にも収容される。主磁極層12に収容された磁束は後端部12Bから先端部12Aに流入し、一方、補助磁極層14に収容された磁束も同様に、後端部14Bから先端部14Aに流入する。このとき、主磁極層12内を後端部12Bから先端部12Aに流れる磁束は、主磁極層12の幅の減少(W2→W1)に伴い、フレアポイントFPにおいて絞り込まれて集束する。また、補助磁極層14内を後端部14Bから先端部14Aに流入した磁束は、先端部14Aのうちの前端近傍部に集中したのち、再び非磁性層13を通過して主磁極層12の先端部12Aに流入する。これにより、主に、先端部12Aのうちのトレーリング側部分に磁束が集中する。この磁束が先端部12Aから外部に放出されることにより、記録媒体の表面と直交する方向(垂直方向)に磁界(垂直磁界)が発生し、この垂直磁界によって記録媒体が垂直方向に磁化されることにより、記録媒体に情報が記録される。
【0042】
一方、再生時においては、再生ヘッド100AのMR素子6にセンス電流が流れると、MR素子6の抵抗値が、記録媒体からの再生用の信号磁界に応じて変化する。この抵抗変化をセンス電流の変化として検出することにより、記録媒体に記録されている情報が読み出される。
【0043】
<第1の実施の形態に係る薄膜磁気ヘッドの作用および効果>
以上説明したように、本実施の形態に係る薄膜磁気ヘッドでは、主磁極層12と、この主磁極層12と対向し合う領域に非磁性層13を挟んで配設された補助磁極層14とを含む積層構造体を備えるようにしたので、上記<薄膜磁気ヘッドの動作>の項において説明したように、薄膜コイル10において発生した磁束は、非磁性層13を通過して補助磁極層14に収容されたのち、再び非磁性層13を通過して主磁極層12の先端部12Aに流入する。すなわち、補助磁極層14は、非磁性層13により主磁極層12から完全に分離されているにもかかわらず、主要な磁束放出部分である先端部12Aに対して補助的に磁束を供給する役割を担うこととなる。これにより、主磁極層12内を後端部12Bから先端部12Aに流れる「主要な磁束の流入ルート」と共に、補助磁極層14から主磁極層12の先端部12Aに流れる「補助的な磁束の流入ルート」も得られるため、主磁極層12のみで補助磁極層14を備えない場合と比較して、先端部12Aのうち、主要な磁束の放出部分であるトレーリング側部分に供給される磁束量がより多くなる。したがって、より多くの磁束が先端部12Aのトレーリング側部分に供給されることにより磁束の放出量が増加し、これにより垂直磁界の発生強度および磁界勾配が確保されるため、記録性能を向上させることができる。
【0044】
また、本実施の形態では、主磁極層12のうちの広幅の後端部12Bが、エアベアリング面20から僅かなリセス距離L(=約0.2μm〜1.0μm)だけ後退して配置しているため、この後端部12Bの前端縁により規定されるフレアポイントFPがエアベアリング面20に近くなる。この場合には、主磁極層12内において、後端部12Bに収容された磁束がエアベアリング面20近傍まで導かれたのち、先端部12Aから外部に放出される直前において集束されることとなるため、フレアポイントFPがエアベアリング面20から遠い場合と比較して、磁束集束に係る効果がより顕著になる。したがって、フレアポイントFPの適正化に伴い、より多くの磁束が先端部12Aに集中するため、この観点においても垂直磁界の発生強度の確保に寄与することができる。
【0045】
また、本実施の形態では、主磁極層12の飽和磁束密度が補助磁極層14の飽和磁束密度以上となるようにしたので、補助磁極層14よりも、主要な磁束の放出部分である先端部12Aを含む主磁極層12において、磁束の収容量が増加する。したがって、磁束収容量の増加に係る観点においても、垂直磁界の強度の確保に寄与することができる。
【0046】
<第1の実施の形態に係る薄膜磁気ヘッドに関する変形例>
なお、本実施の形態では、補助磁極層14のうちの後端部14Bが、先端部14Aの幅W1よりも大きな幅をなすようにしたが、必ずしもこれに限られるものではなく、例えば、先端部14Aと同様に後端部14Bも幅W1をなし、図4に示したように、補助磁極層14全体が一定幅W1をなすようにしてもよい。この場合においても、補助磁極層14において「補助的な磁束の流入ルート」が確保されるため、上記実施の形態と同様の効果を得ることができる。なお、図4に示した薄膜磁気ヘッドの要部のうち、上記した特徴部分以外の構成は、上記実施の形態において図3に示した場合と同様である。
【0047】
また、本実施の形態では、非磁性層7により上部シールド層5とリターンヨーク8とを分離し、これらの上部シールド層5とリターンヨーク8とが互いに別体をなすようにしたが、必ずしもこれに限られるものではなく、例えば、非磁性層7を設けず、上部シールド層5とリターンヨーク8とを一体化させるようにしてもよい。この場合、上部シールド層5とリターンヨーク8との一体化層(上部シールド層兼リターンヨーク)の厚みは適宜設定可能である。
【0048】
<薄膜磁気ヘッドの製造方法>
次に、図1〜図3および図5〜図15を参照して、本実施の形態に係る薄膜磁気ヘッドの製造方法について説明する。図5〜図10は薄膜磁気ヘッドの製造工程における各工程の断面構成を表し、図11〜図15はそれぞれ図5〜図9に示した各工程に対応する斜視構成を表している。
【0049】
以下では、まず、薄膜磁気ヘッド全体の製造方法の概略について説明したのち、本発明の薄膜磁気ヘッドの製造方法が適用される要部、すなわち主磁極層12、非磁性層13および補助磁極層14よりなる積層構造体の形成方法について詳細に説明する。なお、薄膜磁気ヘッドの製造方法およびその要部の形成方法を説明する際には、各構成要素の形成材料、形成位置および構造的特徴等については上記<薄膜磁気ヘッドの構成>の項において既に詳述したので、その説明を随時省略するものとする。
【0050】
《薄膜磁気ヘッドの製造方法の概略》
この薄膜磁気ヘッドは、主に、めっき処理やスパッタリングなどの成膜技術、フォトリソグラフィ技術などのパターニング技術、ならびにドライエッチングなどのエッチング技術等を含む薄膜プロセスを利用して、各構成要素を順次形成して積層させることにより製造される。すなわち、まず、基板1上に絶縁層2を形成したのち、この絶縁層2上に、下部シールド層3と、MR素子6を埋設したシールドギャップ膜4と、上部シールド層5とをこの順に積層させることにより、再生ヘッド100Aを形成する。
【0051】
続いて、再生ヘッド100A上に非磁性層7を形成したのち、この非磁性層7上に、リターンヨーク8と、開口9Kを有し、薄膜コイル10を埋設するギャップ層9(9A,9B,9C)と、開口9Kにおいてリターンヨーク8と連結されたヨーク11と、ヨーク11を介してリターンヨーク8と磁気的に連結された主磁極層12と、非磁性層13と、補助磁極層14と、非磁性層パターン32Pとをこの順に積層させることにより、記録ヘッド100Bを形成する。
【0052】
最後に、記録ヘッド100B上にオーバーコート層15を形成したのち、機械加工や研磨加工を利用してエアベアリング面20を形成することにより、薄膜磁気ヘッドが完成する。
【0053】
《薄膜磁気ヘッドの要部の形成方法》
薄膜磁気ヘッドの要部は、主に、拡幅領域R2を確定するためのマスク層31と、一定幅領域R1を確定するためのマスク層33とを別々の工程によって作成したのち、これらの互いに異なる2種類のマスク層31,33を用いた一連のパターニング工程を経て形成される。
【0054】
すなわち、ヨーク11を形成し、このヨーク11とギャップ層部分9Cとにより平坦面Mを構成したのち、まず、図5および図11に示したように、平坦面M上に、例えばスパッタリングを利用して、高飽和磁束密度材料よりなる前駆主磁極層12Xと、例えばアルミナなどよりなる前駆非磁性層13Xと、高飽和磁束密度材料よりなる前駆補助磁極層14Xとをこの順に形成して積層させる。前駆主磁極層12Xは、後工程においてパターニングされることにより主磁極層12となる前準備層である。同様に、前駆非磁性層13Xおよび前駆補助磁極層14Xは、それぞれ非磁性層13および補助磁極層14となる前準備層である。前駆主磁極層12Xの形成材料としては、例えば、前駆補助磁極層14Xの形成材料の飽和磁束密度以上の飽和磁束密度を有するものを用いるようにする。より具体的には、例えば、前駆主磁極層12Xの形成材料として鉄コバルト系合金(例えばFeCo,FeCoN,FeCoO)などを用い、前駆補助磁極層14Xの形成材料としてパーマロイ(Ni:80重量%,Fe:20重量%あるいはNi:45重量%,Fe:55重量%)を用いるようにする。ここで、前駆主磁極層12Xが本発明における「前駆主磁極層(請求項13)」の一具体例に対応し、前駆非磁性層13Xが本発明における「前駆非磁性層(請求項13)」の一具体例に対応し、前駆補助磁極層14Xが本発明における「前駆補助磁極層(請求項13)」の一具体例に対応する。
【0055】
続いて、前駆補助磁極層14X上にフォトレジスト膜(図示せず)を形成したのち、フォトリソグラフィ処理を利用してフォトレジスト膜をパターニングすることにより、図5および図11に示したように、エッチング用のマスク層31を選択的に形成する。マスク層31を形成する際には、フォトリソグラフィ処理時におけるフォトレジスト膜中の露光範囲を調整することにより、前駆補助磁極層14Xのうち、最終的に形成されることとなる主磁極層12のフレアポイントFPよりも後方の領域、すなわち拡幅領域R2(図3参照)に対応する領域を覆うようにする。より具体的には、例えば、最終的にエアベアリング面20を形成した際、そのエアベアリング面20よりもリセス距離L(=約0.2μm〜1.0μm)だけ後退可能なように、マスク層31の前端縁を位置合わせする。ここで、マスク層31が本発明における「第1のマスク層(請求項13)」の一具体例に対応する。
【0056】
続いて、マスク層31を用い、例えばイオンミリングを利用して全体にエッチング処理を施すことにより、前駆補助磁極層14Xをパターニングする。このエッチング処理により、前駆補助磁極層14Xのうち、フレアポイントFPよりも前方の領域が選択的に除去され、図6および図12に示したように、前駆補助磁極層パターン14Yが形成される。なお、前駆補助磁極層パターン14Yを形成する際には、例えば、前駆補助磁極層14Xと共にマスク層31自体もエッチングされることを利用して、マスク層31が消失するまでエッチング処理を続けるようにする。この場合、マスク層31により覆われていなかった領域では、エッチングレートの遅いアルミナよりなる前駆非磁性層13Xがストッパ層として機能するため、フレアポイントFPよりも前方の領域では、前駆補助磁極層14Xが除去されたのち、前駆非磁性層13Xが僅かにエッチングされて掘り下げられる程度に留まる。これにより、エッチング処理の過剰進行が抑制されるため、エッチング対象でない前駆主磁極層12Xまでエッチング処理が達することが防止される。なお、上記では、前駆補助磁極層14Yの形成時においてマスク層31が除去するまでエッチング処理を続けるようにしたが、必ずしもこれに限られるものではなく、例えば、前駆補助磁極層14Yを形成した時点でエッチング処理を終了した際、マスク層31が残存している場合には、別途エッチング処理を施すことにより、残存しているマスク層31を選択的に除去するようにしてもよい。
【0057】
続いて、図7および図13に示したように、前駆非磁性層13Xの露出面および前駆補助磁極層パターン14Yの表面を覆うように、例えばスパッタリングを利用して、例えばアルミナよりなる非磁性層32を形成する。この非磁性層32は、主に、後工程において前駆補助磁極層パターン14Y、前駆非磁性層13Xおよび前駆主磁極層12Xをパターニングする際にマスクとして用いられるものであり、前駆非磁性層13Xおよび前駆補助磁極層パターン14Yにより構成された下地構造に対応して、段差部Dを含むように形成される。
【0058】
続いて、図7および図13に示したように、フォトリソグラフィ処理を利用して、非磁性層32の表面全体、すなわち一定幅領域R1および拡幅領域R2(図3参照)の双方に対応する領域を覆うように、フォトレジスト膜よりなるエッチング用のマスク層33を選択的に形成する。マスク層33を形成する際には、例えば、最終的に形成されることとなる補助磁極層14の平面形状にほぼ対応して、先端部14Aと同様の一定幅W1を有する前方部分33Aと、この前方部分33Aよりも大きな幅を有する後方部分33Bとを含むパターン形状をなすようにし、特に、後工程においてエアベアリング面20となる位置から段差部Dを経由して後方まで前方部分33Aが延在するようにする。
【0059】
続いて、マスク層33を用い、例えば反応性イオンエッチング(Reactive Ion
Etching;RIE)を利用して全体にエッチング処理を施す。このエッチング処理により、図8および図14に示したように、マスク層33とほぼ同様のパターン形状をなすように非磁性層32がパターニングされることにより、非磁性層パターン32Pが形成される。ここで、マスク層33および非磁性層パターン32Pの集合体が本発明における「第2のマスク層(請求項13)」の一具体例に対応する。
【0060】
続いて、マスク層33,非磁性層パターン32Pおよび前駆補助磁極層パターン14Yをマスクとして用いて、例えばRIEを利用して引き続き全体にエッチング処理を施すことにより、図8および図14に示したように、前駆非磁性層13Xをパターニングする。このエッチング処理により、フレアポイントFPよりも前方の領域において、前駆非磁性層13Xのうち、マスク33の前方部分33Aに対応する部分以外の領域が選択的に除去されることにより、非磁性層13が形成される。なお、エッチング処理により、マスク層33自体もエッチングされ、その厚みが目減りする。
【0061】
続いて、マスク層33、非磁性層パターン32P、前駆補助磁極層パターン14Yおよび非磁性層13をマスクとして用い、例えばイオンミリングを利用して引き続き全体にエッチング処理を施すことにより、前駆主磁極層12Xをパターニングする。このエッチング処理により、フレアポイントFPよりも前方の領域において、前駆主磁極層12Xのうち、前方部分33Aに対応する部分以外の領域が選択的に除去されることにより、図9および図15に示したように、フレアポイントFPにおいて互いに磁気的に連結された先端部12Aおよび後端部12Bを含むように主磁極層12が形成される。このとき、フレアポイントFPよりも後方の領域では、エッチング処理により、前駆補助磁極層パターン14Yのうち、マスク層33に対応する部分以外の領域が途中まで選択的に掘り下げられることとなる。図9および図15では、エッチング処理によりマスク層33が消失し、非磁性層パターン32Pが露出した状態を示している。
【0062】
最後に、非磁性層パターン32Pをマスクとして用いて、引き続き全体にエッチング処理を施すことにより、前駆補助磁極層パターン14Yをパターニングする。このエッチング処理により、フレアポイントFPよりも後方の領域において、前駆補助磁極層パターン14Yのうち、非磁性層パターン32Pに対応する部分以外の領域が選択的に除去されることにより、図10および図2に示したように、フレアポイントFPから順に先端部14Aおよび後端部14Bを含むように補助磁極層14が形成される。また、フレアポイントFPよりも後方の領域において、非磁性層13のうち、非磁性層パターン32Pに対応する部分以外の領域が途中まで選択的に掘り下げられる。なお、エッチング処理により、非磁性層パターン32Pがエッチングされて目減りすると共に、フレアポイントFPよりも前方の領域において先端部12A周辺のギャップ層部分9Cが選択的に掘り下げられることとなる。これにより、主磁極層12、非磁性層13および補助磁極層14よりなる積層構造体が完成する。
【0063】
なお、上記《薄膜磁気ヘッドの要部の形成方法》の項では、説明の便宜上、エッチングによるパターニング処理が完了した時点で主磁極層12、非磁性層13および補助磁極層14が完成する旨を記載しているが、これらの主磁極層12、非磁性層13および補助磁極層14は、実際には、前駆主磁極層12X、前駆非磁性層13Xおよび前駆補助磁極層パターン14Yのパターニング処理が完了したのち、エアベアリング面20の形成工程を経て最終的に完成することとなる。
【0064】
<第1の実施の形態に係る薄膜磁気ヘッドの製造方法に関する作用および効果>以上説明したように、本実施の形態に係る薄膜磁気ヘッドの製造方法では、主磁極層12、非磁性層13および補助磁極層14よりなる積層構造体を形成するために、互いに異なる2種類のマスク層31,33を用いて一連のパターニング工程を行うようにしたので、以下の理由により、主磁極層12の形成に係る高精度化とフレアポイントFPの適正化とを両立し、記録性能の向上に寄与することが可能な薄膜磁気ヘッドを製造することができる。
【0065】
すなわち、本実施の形態では、主磁極層12の形成工程において、前駆主磁極層12Xをパターニングする際、後端部12Bを形成するためのマスクとしてマスク層31を用いると共に、先端部12Aを形成するためのマスクとしてマスク層33を用いている。この場合には、主磁極層12が形成される際、マスク層31により拡幅領域R2が画定され、これによりフレアポイントFPが規定されると共に、マスク層33(前方部分33A)により一定幅領域R1が画定され、これにより先端部12Aの加工幅W1が規定されることとなり、すなわちフレアポイントFPの規定と先端部12Aの加工幅W1の規定とが、互いに異なる2つのマスク層31,33を利用して別個独立して行われる。これにより、マスク層31の配設位置を変更すれば、所望のリセス距離LとなるようにフレアポイントFPを自由に設定することが可能になる。また、マスク層33を形成する際、広幅の後方部分33BをフレアポイントFPから後退させることにより、露光領域の拡大を誘発することとなる反射光が到達し得る領域を、前方部分33Aのうちの後方領域のみに留め、前方領域に到達することを抑制することが可能になる。したがって、本実施の形態では、上記「発明が解決しようとする課題」において説明した従来の場合とは異なり、フォトリソグラフィ処理時における反射光の影響を抑制して先端部12Aの加工幅W1を高精度に制御すると共に、フレアポイントFPを調整して磁束の集束位置を制御することにより、これらの2つの点を両立化させることが可能となるため、薄膜磁気ヘッドの製造面から記録性能の向上に寄与することが可能となる。
【0066】
また、本実施の形態では、非磁性層32をパターニングして非磁性層パターン32Pを形成するためのエッチング手法としてRIEを用いるようにしたので、例えばイオンミリングなどの他のエッチング手法を用いる場合と比較して、非磁性層パターン32Pの形成に要する時間を短縮することができる。なぜなら、一般に、RIEは、イオンミリングよりもエッチングレートが大きく、かつ比較的硬い材料の加工に優れているため、例えばアルミナなどの硬い材料よりなる非磁性層32をエッチングする手法としてはイオンミリングよりもRIEが適しているからである。
【0067】
<第1の実施の形態に係る薄膜磁気ヘッドの製造方法に関する変形例>
なお、本実施の形態では、パターニング処理を行う際のエッチング手法としてイオンミリングやRIEを利用するようにしたが、必ずしもこれに限られるものではなく、例えば、イオンミリングに代えてRIEを用い、一方、RIEに代えてイオンミリングを用いるようにしてもよい。もちろん、全てのパターニング処理に、イオンミリングまたはRIEのいずれか一方のみを用いるようにしてもよい。
【0068】
また、本実施の形態では、前駆補助磁極層14Xを形成したのち、マスク層31,33を順次用いて前駆補助磁極層14Xをパターニングすることにより補助磁極層14を形成するようにしたが、必ずしもこれに限られるものではなく、例えば、上記形成手法に代えて、めっき処理を利用して補助磁極層14を形成するようにしてもよい。
【0069】
[第2の実施の形態]
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。
【0070】
<薄膜磁気ヘッドの構成>
図16は、本実施の形態に係る薄膜磁気ヘッドの断面構成を表しており、(A)はエアベアリング面に平行な断面,(B)はエアベアリング面に垂直な断面をそれぞれ示している。図17および図18は、図16に示した薄膜磁気ヘッドの要部の拡大斜視構成および拡大平面構成をそれぞれ表している。
【0071】
この薄膜磁気ヘッドは、上記第1の実施の形態において説明した主磁極層12、非磁性層13および補助磁極層14よりなる積層構造体に代えて補助磁極層42、非磁性層43および主磁極層44よりなる積層構造体を含むと共に、非磁性層パターン32Pに代えて非磁性層パターン52Pを含んで記録ヘッド100Bが構成されている点を除き、上記第1の実施の形態と同様の構成をなすものである。なお、図18では、非磁性層43および非磁性層パターン52Pの図示を省略していると共に、補助磁極層42と主磁極層44との区別を明確にするために、補助磁極層42に濃い網掛けを施し、主磁極層44に淡い網掛けを施している。ここで、補助磁極層42、非磁性層43および主磁極層44がこの順に積層されてなる積層構造体が本発明における「磁極層」の一具体例に対応する。
【0072】
補助磁極層42、非磁性層43および主磁極層44がこの順に積層された積層構造体は、上記第1の実施の形態において説明した積層構造体(主磁極層12,非磁性層13,補助磁極層14)と同様の平面構造を有している。すなわち、この積層構造体は、図18に示したように、一定幅W1を有する一定幅領域R1と、この一定幅領域R1よりも大きな幅W2を有する拡幅領域R2とを含む平面形状を有しており、特に、補助磁極層42と主磁極層44とは互いに異なる平面形状を有している。また、積層構造体には、図16に示したように、フレアポイントFPにおいて、主磁極層44により厚さ方向の段差が形成されている。
【0073】
補助磁極層42は、主に、上記第1の実施の形態における主磁極層12のうちの後端部12Bと同様の機能を担うものであり、すなわち薄膜コイル10において発生した磁束を収容する主要な磁束収容部分である。この補助磁極層42は、例えば、主磁極層44の飽和磁束密度よりも小さい飽和磁束密度を有する材料により構成されており、エアベアリング面20からリセス距離L(=約0.2μm〜1.0μm)だけ後退している。補助磁極層42は、主磁極層44を構成する後述する先端部44Aの幅W1よりも大きな幅W2(W2>W1)を有しており、この補助磁極層42の前端縁により、フレアポイントFPが規定されている。
【0074】
非磁性層43は、上記第1の実施の形態における非磁性層13と同様の材質および構造的特徴を有しており、非磁性層13と同様にエッチング時におけるストッパ層として機能するものである。
【0075】
主磁層極44は、エアベアリング面20から後方に向かって延在しており、例えば、エアベアリング面20から順に、互いに磁気的に連結された3つの構成部分、すなわち先端部44A、中間部44Bおよび後端部44Cを含んで構成されている。この主磁極層44は、補助磁極層42の飽和磁束密度よりも大きい飽和磁束密度を有する材料により構成されている。
【0076】
先端部44Aは、上記第1の実施の形態における主磁極層12のうちの先端部12Aと同様の機能を担うものであり、すなわち外部に磁束を放出する主要な磁束放出部分である。この先端部44Aは、記録媒体の記録トラック幅を規定する一定幅W1を有しており、この先端部44Aの平面形状により、一定幅領域R1が規定されている。中間部44Bおよび後端部44Cは、それぞれ上記第1の実施の形態における補助磁極層14のうちの先端部14Aおよび後端部14Bとそれぞれ同様の機能を担うものであり、すなわち補助的な磁束の流路となる部分である。中間部44Bは先端部44Aと同様の一定幅W1を有しており、後端部44Cは、例えば、その幅が前方において徐々に大きくなり、かつ後方において一定(例えばW2)になっている。
【0077】
図16に示したように、主磁極層44は、先端部44Aがギャップ層部分9C上に配設され、かつ中間部44Bおよび後端部44Cが補助磁極層42および非磁性層43上に乗り上げており、フレアポイントFP近傍において段差状をなしている。補助磁極層42は、フレアポイントFPにおいて主磁極層44と連結されている。すなわち、非磁性層43の配設位置を基準として補助磁極層42と主磁極層44との位置関係を見た場合、主磁極層44のうちの後端部44Cが厚さ方向における媒体流出側に積層配置されており、一方、補助磁極層42が厚さ方向における媒体流入側に積層配置されている。ここで、先端部44Aが本発明における「第3の主磁極層部分」の一具体例に対応し、中間部44Bが本発明における「第4の主磁極層部分」の一具体例に対応し、後端部44Cが本発明における「第5の主磁極層部分」の一具体例に対応する。
【0078】
非磁性層パターン52Pは、上記第1の実施の形態における非磁性層パターン32Pと同様の材質および構造的特徴を有しており、非磁性層パターン32Pと同様にエッチング時におけるストッパ層として機能するものである。
【0079】
<薄膜磁気ヘッドの動作>
次に、図16〜図18を参照して、薄膜磁気ヘッドの動作について説明する。
【0080】
この薄膜磁気ヘッドでは、薄膜コイル10において磁束が発生すると、この磁束が主に補助磁極層42に収容されると共に、非磁性層43を通過して主磁極層44にも収容される。補助磁極層42に収容された磁束は、主磁極層44との連結部を通じて先端部44Aに流入し、一方、主磁極層44に収容された磁束も同様に、後端部44Cから中間部44Bを経由して先端部44Aに流入する。このとき、広幅W2の補助磁極層42から狭幅W1(W1<W2)の先端部44Aに流入する磁束は、フレアポイントFPにおいて集束する。これにより、主に、先端部44Aのうちのトレーリング側部分に磁束が集中する。この磁束が先端部44Aから外部に放出されることにより垂直磁界が発生し、この垂直磁界により記録媒体が磁化されることにより、記録媒体に情報が記録される。
【0081】
<第2の実施の形態に係る薄膜磁気ヘッドの作用および効果>
本実施の形態に係る薄膜磁気ヘッドは、補助磁極層42と、この補助磁極層42と対向し合う領域に非磁性層43を挟んで配設された主磁極層44とを含む積層構造体を備え、特に、主磁極層44が補助磁極層42および非磁性層43の上に乗り上げて段差状をなすと共に、フレアポイントFPにおいて補助磁極層42が主磁極層42に連結されるようにしている。この場合には、主に、補助磁極層42および主磁極層44のうち、補助磁極層42、先端部44A、ならびに中間部44Bおよび後端部44Cの集合体が、上記第1の実施の形態における主磁極層12および補助磁極層14のうち、後端部12B、先端部12A、ならびに補助磁極層14とそれぞれ同様の機能を果たすこととなる。これにより、補助磁極層42から先端部44Aに流れる「主要な磁束の流入ルート」と共に、主磁極層44内を後端部44Cから中間部44Bを経由して先端部44Aにに流れる「補助的な磁束の流入ルート」が得られるため、先端部44Aのうちのトレーリング側部分に磁束が集中する。したがって、本実施の形態においても、上記第1の実施の形態の場合と同様の作用により、垂直磁界の発生強度の確保に基づいて記録性能を向上させることができる。
【0082】
<第2の実施の形態に係る薄膜磁気ヘッドに関する変形例>
なお、本実施の形態では、主磁極層44のうちの後端部44Cが、先端部44Aや中間部44Bの幅W1よりも大きな幅をなすようにしたが、必ずしもこれに限られるものではなく、例えば、先端部44Aよび中間部44Bと同様に後端部44Cも幅W1をなし、図19に示したように、主磁極層44全体が一定幅W1をなすようにしてもよい。この場合においても、中間部44Bおよび後端部44Cにおいて「補助的な磁束の流入ルート」が確保されるため、上記実施の形態と同様の効果を得ることができる。なお、図19に示した薄膜磁気ヘッドの要部のうち、上記特徴部分以外の構成は、上記実施の形態において図18に示した場合と同様である。
【0083】
<薄膜磁気ヘッドの製造方法>
次に、図16〜図18および図20〜図28を参照して、本実施の形態に係る薄膜磁気ヘッドの製造方法について説明する。図20〜図24は薄膜磁気ヘッドの製造工程における各工程の断面構成を表し、図25〜図28は図20〜図23に示した各工程に対応する斜視構成をそれぞれ表している。なお、以下では、本発明の薄膜磁気ヘッドの製造方法が適用される薄膜磁気ヘッドの要部、すなわち補助磁極層42、非磁性層43および主磁極層44よりなる積層構造体の形成方法についてのみ説明し、その説明では、各構成要素の形成材料、形成位置および構造的特徴等について随時省略するものとする。
【0084】
本実施の形態に係る薄膜磁気ヘッドの要部もまた、上記第1の実施の形態と同様に、互いに異なる2種類のマスク、すなわち拡幅領域R2を確定するためのマスク層51と、一定幅領域R1を確定するためのマスク層53とを用いて一連のパターニング処理を行うことにより形成される。
【0085】
すなわち、ヨーク11を形成し、このヨーク11とギャップ層部分9Cとにより平坦面Mを構成したのち、まず、図20および図25に示したように、平坦面M上に、例えばスパッタリングを利用して、高飽和磁束密度材料よりなる前駆補助磁極層42Xと、例えばアルミナなどよりなる前駆非磁性層43Xとをこの順に形成して積層させる。前駆補助磁極層42Xの形成材料としては、例えば、後工程において形成する前駆主磁極層44Xの形成材料の飽和磁束密度よりも小さい飽和磁束密度を有する材料を用いるようにし、具体的には、パーマロイ(Ni:80重量%,Fe:20重量%あるいはNi:45重量%,Fe:55重量%)やニッケル鉄クロム合金などを用いるようにする。この前駆補助磁極層42Xは、後工程においてパターニングされることにより補助磁極層42となる前準備層であり、前駆非磁性層43Xは、同様にパターニングされることにより非磁性層43となる前準備層である。ここで、前駆補助磁極層42Xが本発明における「前駆補助磁極層(請求項14)」の一具体例に対応し、前駆非磁性層43Xが本発明における「前駆非磁性層(請求項14)」の一具体例に対応する。
【0086】
続いて、前駆非磁性層43X上にフォトレジスト膜(図示せず)を形成したのち、フォトリソグラフィ処理を利用してフォトレジスト膜をパターニングすることにより、図20および図25に示したように、エッチング用のマスク層51を選択的に形成する。マスク層51を形成する際には、フォトリソグラフィ処理時におけるフォトレジスト膜中の露光範囲を調整することにより、フレアポイントFPにマスク層51の前端縁を位置合わせし、拡幅領域R2(図18参照)を覆うようにする。ここで、マスク層51が本発明における「第1のマスク層(請求項14)」の一具体例に対応する。
【0087】
続いて、マスク層51を用い、例えばRIEを利用して全体にエッチング処理を施すことにより、前駆非磁性層43Xをパターニングする。このエッチング処理により、前駆非磁性層43Xのうち、フレアポイントFPよりも前方の領域が選択的に除去され、図21および図26に示したように、非磁性層43が形成される。
【0088】
続いて、引き続きマスク層51を用い、例えばイオンミリングを利用して全体にエッチング処理を施すことにより、前駆補助磁極層42Xをパターニングする。このエッチング処理により、前駆非磁性層43Xのパターニング時と同様に、前駆補助磁極層42Xのうち、フレアポイントFPよりも前方の領域が選択的に除去され、図21および図26に示したように、補助磁極層42が形成される。補助磁極層42を形成する際には、例えば、前駆補助磁極層42Xと共にマスク層51自体もエッチングされることを利用して、マスク層51が消失するまでエッチング処理を続けるようにする。この場合、元々マスク層51により覆われていた領域では、エッチングレートの遅いアルミナよりなる非磁性層43がストッパ層として機能するため、マスク層51が消失したのち、エッチング処理の過剰進行が抑制される。これにより、前駆補助磁極層42Xのうちの非エッチング領域(補助磁極層42となる領域)までエッチング処理が達することが防止されるため、補助磁極層42の目減りが防止される。
【0089】
続いて、図22および図27に示したように、全体に、例えばスパッタリングを利用して、高飽和磁束密度材料よりなる前駆主磁極層44Xと、例えばアルミナよりなる非磁性層52とをこの順に形成して積層させる。前駆主磁極層44Xは、後工程においてパターニングされることにより主磁極層44となる前準備層である。前駆主磁極層44Xの形成材料としては、例えば、前駆補助磁極層42Xの形成材料の飽和磁束密度よりも大きい飽和磁束密度を有する材料を用いるようにし、具体的には、例えば鉄コバルト系合金を用いるようにする。非磁性層52は、主に、後工程において前駆主磁極層44Xをパターニングする際にマスクとして用いられるものである。前駆主磁極層44Xは、後方において補助磁極層42および非磁性層43に乗り上げることにより段差状をなすように形成され、フレアポイントFPにおいて補助磁極層42と連結される。非磁性層52は、段差状をなす前駆主磁極層44Xにより構成された下地構造に対応して、段差部Dを含むように形成される。ここで、前駆主磁極層44Xが本発明における「前駆主磁極層(請求項14)」の一具体例に対応する。
【0090】
続いて、図22および図27に示したように、フォトリソグラフィ処理を利用して、非磁性層52の表面全体、すなわち一定幅領域R1および拡幅領域R2の双方に対応する領域を覆うように、フォトレジスト膜よりなるエッチング用のマスク層53を選択的に形成する。マスク層53を形成する際には、例えば、最終的に形成されることとなる主磁極層44の平面形状にほぼ対応し、先端部44Aと同様の一定幅W1を有する前方部分53Aと、この前方部分53Aよりも大きな幅を有する後方部分53Bと含むパターン形状をなすようにし、特に、後工程においてエアベアリング面20となる位置から非磁性層52の段差部Dを経由して後方まで前方部分53Aが延在するようにする。
【0091】
続いて、マスク層53を用い、例えばRIEを利用して全体にエッチング処理を施す。このエッチング処理により、図23および図28に示したように、マスク層53とほぼ同様のパターン形状をなすように非磁性層52がパターニングされることにより、非磁性層パターン52Pが形成される。ここで、マスク層53および非磁性層パターン52Pの集合体が本発明における「第2のマスク層(請求項14)」の一具体例に対応する。
【0092】
続いて、マスク層53および非磁性層パターン52Pをマスクとして用い、例えばイオンミリングを利用して、引き続き全体にエッチング処理を施すことにより、前駆主磁極層44Xをパターニングする。このエッチング処理により、前駆主磁極層44Xのうち、マスク層53に対応する部分以外の領域が選択的に除去され、図23および図28に示したように、前方から順に、先端部44A、中間部44Bおよび後端部44Cを含むように主磁極層44が形成される。エッチング時には、マスク層53自体もエッチングされ、その厚みが目減りする。
【0093】
最後に、マスク層53および非磁性層パターン52Pをマスクとして用いて、引き続き全体にエッチング処理を施すことにより、図24および図17に示したように、フレアポイントFPよりも前方の領域において、先端部44A周辺のギャップ層部分9Cを選択的に掘り下げる。このエッチング処理により、非磁性層43のうち、非磁性層パターン52Pに対応する部分以外の領域が途中まで選択的に掘り下げられると共に、マスク層53がエッチングされて除去されたのち、非磁性層パターン52Pがエッチングされて目減りする。これにより、補助磁極層42、非磁性層43および主磁極層44よりなる積層構造体が完成する。
【0094】
<第2の実施の形態に係る薄膜磁気ヘッドの製造方法に関する作用および効果>以上説明したように、本実施の形態に係る薄膜磁気ヘッドの製造方法では、補助磁極層42、非磁性層43および主磁極層44よりなる積層構造体を形成するために、互いに異なる2種類のマスク層51,53を用いて一連のパターニング工程を行うようにしたので、マスク層51により拡幅領域R2が画定され、これによりフレアポイントFPが規定されると共に、マスク層53により一定幅領域R1が画定され、これにより先端部44Aの加工幅W1が規定される。したがって、上記第1の実施の形態と同様の作用により、先端部44Aの加工幅W1の高精度化とフレアポイントFPの適正化とを両立させることが可能になるため、記録性能の向上に寄与可能な薄膜磁気ヘッドを製造することができる。
【0095】
なお、本実施の形態に係る薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法に関する上記以外の工程、作用、効果、変形等は、上記第1の実施の形態と同様である。
【0096】
以上をもって、本発明の第1および第2の実施の形態に係る薄膜磁気ヘッドについての説明を終了する。
【0097】
次に、図29〜図31を参照して、上記第1および第2の実施の形態において説明した構成の薄膜磁気ヘッドを搭載した磁気記録装置の構成について説明する。図29は磁気記録装置の切り欠き概観構成を表し、図30は磁気記録装置の要部(ヘッドスライダ)の拡大外観構成を表し、図31は磁気記録層に搭載される磁気ディスク(記録媒体)の断面構成を表している。
【0098】
この磁気記録装置は、例えば、ハードディスクドライブとして利用されるものであり、筐体200の内部に、情報が記録されることとなる記録媒体としての複数の磁気ディスク201と、各磁気ディスク201に対応して配設され、先端にヘッドスライダ210が取り付けられた複数のアーム202とを備えている。磁気ディスク201は、筐体200に固定されたスピンドルモータ203を中心として回転可能になっている。アーム202は、動力源としての駆動部204に接続されており、筐体200に固定された固定軸205を中心として、ベアリング206を介して旋回可能になっている。なお、図29では、例えば、固定軸205を中心として複数のアーム202が一体として旋回するモデルを示している。
【0099】
ヘッドスライダ210は、アーム202の旋回時における空気抵抗を減少させるために溝部が設けられた略直方体状の基体211のうち、エアベアリング面220と直交する一側面(図30中、手前側の面)に、垂直記録方式の薄膜磁気ヘッド212が配設された構成をなしている。この薄膜磁気ヘッド212は、例えば、上記第1または第2の実施の形態において説明した構成をなすものである。なお、図30では、ヘッドスライダ210のうち、エアベアリング面220側の構造を見やすくするために、図29に示した状態とは上下を反転させた状態を示している。
【0100】
磁気ディスク201は、例えば2層構成をなす垂直記録用の記録媒体である。この磁気ディスク201は、例えば、円盤状の基体ディスク301上に、磁束帰還層302と、記録層303と、保護層304とがこの順に積層された構成をなしている。磁束帰還層302は、記録層303に情報を記録した磁束が薄膜磁気ヘッド212に帰還する経路をなすものであり、例えばパーマロイ,コバルトクロムジルコニウム合金(CoCrZr),鉄アルミニウム合金ケイ化物(FeAlSi)などにより構成されている。記録層303は、薄膜磁気ヘッド212から放出された磁束、すなわち垂直磁界により磁気的に情報が記録されるものであり、例えばコバルトクロム白金合金(CoCrPt)などにより構成されている。保護層304は、周囲から記録層303を保護するためのものである。
【0101】
なお、薄膜磁気ヘッド212の詳細な構成については、既に上記第1および第2の実施の形態において詳細に説明したので、その説明を省略する。
【0102】
この磁気記録装置では、情報の記録時においてアーム202が旋回することにより、磁気ディスク201のうちの所定の領域(記録領域)までヘッドスライダ210が移動する。そして、磁気ディスク201と対向した状態において薄膜磁気ヘッド212が通電されると、上記第1および第2の実施の形態中、<薄膜磁気ヘッドの動作>において説明したように動作することにより、薄膜磁気ヘッド212が磁気ディスク201に情報を記録する。
【0103】
この磁気記録装置では、本発明の薄膜磁気ヘッド212を備えるようにしたので、上記第1および第2の実施の形態において説明したように、主磁極層、非磁性層および補助磁極層よりなる積層構造をなす薄膜磁気ヘッド212の特徴的な構成に基づき、垂直磁界の発生強度および次回勾配が確保される。したがって、記録性能を向上させることができる。
【0104】
なお、この磁気記録装置に関する上記以外の作用、効果、変形等は、上記第1または第2の実施の形態と同様である。
【0105】
【実施例】
次に、本発明の薄膜磁気ヘッドの諸特性を調べた実験結果について説明する。
【0106】
本発明の薄膜磁気ヘッドの製造方法により形成された主磁極層、非磁性層および補助磁極層よりなる積層構造体を備えた薄膜磁気ヘッドを構成し、この薄膜磁気ヘッドについて諸特性を調べたところ、図32に示した結果が得られた。図32は、本発明の薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法に関する利点を説明するものであり、「横軸」はリセス距離L(μm),「縦軸」はオーバーライト(O.W.)特性(dB;「□」)ならびに先端部の加工幅W1の標準偏差σ(μm;「◆」)をそれぞれ示している。なお、本発明と比較するために、従来の薄膜磁気ヘッドの製造方法により形成された薄膜磁気ヘッドについても同様の諸特性を調べ、図33に示した。
【0107】
従来は(図33参照)、リセス距離Lを小さくし、すなわちフレアポイントFPをエアベアリング面に近づけると、オーバーライト特性が向上する一方、加工幅W1の標準偏差σが増加し、主磁極層(先端部)の加工精度が低下してしまう。これに対して、本発明では(図32参照)、リセス距離Lを小さくしても、加工幅W1の標準偏差σが増加することなく、ほぼ一定に維持される。このことから、本発明では、リセス距離Lを短縮することにより、主磁極層(先端部)の加工精度を劣化させることなくオーバーライト特性を向上させることが可能となる。したがって、本発明の薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法において、記録性能の向上に関して利点を有することが確認された。
【0108】
以上、いくつかの実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はこれらの実施の形態に限定されず、種々の変形が可能である。すなわち、上記各実施の形態で示した薄膜磁気ヘッドおよび磁気記録装置に関する構成や動作機構ならびに薄膜磁気ヘッドの製造方法に関する詳細は、必ずしも上記各実施の形態において説明したものに限られるものではなく、主磁極層、非磁性層および補助磁極層を含む積層構造体を形成する際に互いに異なる2種類のマスクを用い、一方のマスク層を利用して拡幅領域を画定することによりフレアポイントを規定すると共に、他方のマスク層を利用して一定幅領域を画定することにより主磁極層の先端部の加工幅を規定し、これにより先端部の加工幅の高精度化とフレアポイントの適正化との両立化を通じて記録性能を向上させることが可能な限り、自由に変更可能である。
【0109】
また、上記各実施の形態では、本発明を「単磁極型ヘッド」に適用する場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、例えば、「リング型ヘッド」に適用してもよい。
【0110】
また、上記各実施の形態では、本発明を複合型薄膜磁気ヘッドに適用する場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、例えば、書き込み用の誘導型磁気変換素子を有する記録専用の薄膜磁気ヘッドや、記録・再生兼用の誘導型磁気変換素子を有する薄膜磁気ヘッドにも適用可能である。また、本発明は、書き込み用の素子および読み出し用の素子の積層順序を逆転させた構造の薄膜磁気ヘッドについても適用可能である。さらに、本発明は、垂直記録方式の薄膜磁気ヘッドに限らず、長手記録方式の薄膜磁気ヘッドについても適用可能である。
【0111】
また、上記各実施の形態では、本発明の薄膜磁気ヘッドをハードディスクドライブに適用する場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、例えば、ハードディスクドライブと同様の記録処理を実行する他の機器に適用することも可能である。
【0112】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項1ないし請求項10のいずれか1項に記載の薄膜磁気ヘッドによれば、主磁極層と、主磁極層の一部と対向し合う領域に非磁性層を挟んで配設された補助磁極層とを含む積層構造をなすように磁極層を構成したので、薄膜コイルにおいて発生した磁束は、主磁極層に収容されると共に、非磁性層を通過して補助磁極層にも収容される。補助磁極層に収容された磁束は、その先端近傍に集中したのち、再び非磁性層を通過して主磁極層に流入する。これにより、主磁極層および補助磁極層の双方の内部を流れた磁束が、主要な磁束の放出部分である主磁極層のうちの媒体流出側部分に集中するため、磁極層が主磁極層のみを含んで補助磁極層を含まないように構成された場合と比較して、主磁極層のうちの媒体流出側部分に供給される磁束量がより多くなる。したがって、主磁極層から記録媒体に向けて放出される磁束量が増加し、これにより記録媒体に磁気的に情報を記録するための記録用磁界の発生強度および磁界勾配が確保されるため、記録性能を向上させることができる。
【0113】
また、請求項11ないし請求項14のいずれか1項に記載の薄膜磁気ヘッドの製造方法によれば、拡幅領域を画定するための第1のマスク層と、一定幅領域を画定するための第2のマスク層とを別々の工程によって作成したのち、これらの第1および第2のマスク層を用いて一連のエッチング工程を行うことにより磁極層の形成を完了すると共に、第1のマスク層の形成工程を第2のマスク層の形成工程よりも前に行うようにしたので、磁極層が形成される際、第1のマスク層を利用して拡幅領域が画定されることにより、磁極層の幅が一定幅領域から拡幅領域に拡がる位置(フレアポイント)が規定される。また、第2のマスク層を利用して一定幅領域が画定されることにより、磁極層のうち、記録トラック幅を規定する一定幅を有する要部の加工幅が規定される。したがって、磁極層の要部の形成に係る高精度化とフレアポイントの適正化とを両立させることが困難な従来の場合とは異なり、フォトリソグラフィ処理時における反射光の影響を抑制して磁極層の要部の加工幅を高精度に制御すると共に、フレアポイントを調整することが可能になるため、薄膜磁気ヘッドの製造面から記録性能の向上に寄与することが可能となる。
【0114】
また、請求項15ないし請求項18のいずれか1項に記載の磁気記録装置によれば、請求項1ないし請求項10のいずれか1項に記載した薄膜磁気ヘッドを備えるようにしたので、主磁極層、非磁性層および補助磁極層よりなる積層構造をなす薄膜磁気ヘッドの特徴的な構成に基づき、記録媒体に磁気的に情報を記録するための記録用磁界の発生強度および磁界勾配が確保される。したがって、記録性能を向上させることができる。
【0115】
また、上記の他、請求項9記載の薄膜磁気ヘッドでは、補助磁極層の飽和磁束密度以上の飽和磁束密度を有する材料により主磁極層を構成すれば、補助磁極層よりも、主要な磁束の放出部分を含む主磁極層において、磁束の収容量が増加する。したがって、磁束収容量の増加の観点においても、記録用磁界の強度の確保に寄与することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係る薄膜磁気ヘッドの断面構成を表す断面図である。
【図2】図1に示した薄膜磁気ヘッドの要部の斜視構成を拡大して表す斜視図である。
【図3】図1に示した薄膜磁気ヘッドの要部の平面構成を拡大して表す平面図である。
【図4】図3に示した薄膜磁気ヘッドの要部の構成に関する変形例を表す平面図である。
【図5】本発明の第1の実施の形態に係る薄膜磁気ヘッドの製造方法における一工程を説明するための断面図である。
【図6】図5に続く工程を説明するための断面図である。
【図7】図6に続く工程を説明するための断面図である。
【図8】図7に続く工程を説明するための断面図である。
【図9】図8に続く工程を説明するための断面図である。
【図10】図9に続く工程を説明するための断面図である。
【図11】図5に示した断面構成に対応する斜視図である。
【図12】図6に示した断面構成に対応する斜視図である。
【図13】図7に示した断面構成に対応する斜視図である。
【図14】図8に示した断面構成に対応する斜視図である。
【図15】図9に示した断面構成に対応する斜視図である。
【図16】本発明の第2の実施の形態に係る薄膜磁気ヘッドの断面構成を表す断面図である。
【図17】図16に示した薄膜磁気ヘッドの要部の斜視構成を拡大して表す斜視図である。
【図18】図16に示した薄膜磁気ヘッドの要部の平面構成を拡大して表す平面図である。
【図19】図18に示した薄膜磁気ヘッドの要部の構成に関する変形例を表す平面図である。
【図20】本発明の第2の実施の形態に係る薄膜磁気ヘッドの製造方法における一工程を説明するための断面図である。
【図21】図20に続く工程を説明するための断面図である。
【図22】図21に続く工程を説明するための断面図である。
【図23】図22に続く工程を説明するための断面図である。
【図24】図23に続く工程を説明するための断面図である。
【図25】図20に示した断面構成に対応する斜視図である。
【図26】図21に示した断面構成に対応する斜視図である。
【図27】図22に示した断面構成に対応する斜視図である。
【図28】図23に示した断面構成に対応する斜視図である。
【図29】本発明の薄膜磁気ヘッドを搭載した磁気記録装置の切り欠き外観構成を表す図である。
【図30】図29に示した磁気記録装置の要部の外観構成を拡大して表す図である。
【図31】磁気ディスクの断面構成を表す断面図である。
【図32】本発明の薄膜磁気ヘッドの製造方法に関する利点を説明するための図である。
【図33】従来の薄膜磁気ヘッドの製造方法に関する欠点を説明するための図である。
【符号の説明】
1…基板、2…絶縁層、3…下部シールド層、4…シールドギャップ膜、5…上部シールド層、6…MR素子、7,13,32,43,52…非磁性層、8…リターンヨーク、9…ギャップ層、9A,9B,9C…ギャップ層部分、10…薄膜コイル、11…ヨーク、12,44…主磁極層、12A,14A,44A…先端部、12X,44X…前駆主磁極層、13X,43X…前駆非磁性層、14A,14B,44C…後端部、14,42…補助磁極層、14X,42X…前駆補助磁極層、14Y…前駆補助磁極層パターン、15…オーバーコート層、20…,220エアベアリング面、31,33,51,53…マスク層、32P,52P…非磁性層パターン、44B…中間部、100A…再生ヘッド、100B…記録ヘッド、200…筐体、201…磁気ディスク、202…アーム、203…スピンドルモータ、204…駆動部、205…固定軸、206…ベアリング、210…ヘッドスライダ、211…基体、212…薄膜磁気ヘッド、301…基体ディスク、302…磁束帰還層、303…記録層、304…保護層、FP…フレアポイント、L…リセス距離、R1…一定幅領域、R2…拡幅領域。
Claims (18)
- 磁束を発生させる薄膜コイルと、前記薄膜コイルにおいて発生した磁束を記録媒体に向けて放出する磁極層とを備えた薄膜磁気ヘッドであって、
前記磁極層が、前記記録媒体に対向する記録媒体対向面に一端面が露出した主磁極層と、前記主磁極層の一部と対向して配設された補助磁極層と、前記主磁極層と前記補助磁極層とが互いに対向し合う領域に、これらの2つの層により挟まれるように配設された非磁性層とを含む積層構造を有すると共に、全体として、前記記録媒体の記録トラック幅を規定する一定幅を有する一定幅領域と、前記一定幅領域よりも大きな幅を有する拡幅領域とを含む平面形状を有し、
前記主磁極層が、前記記録媒体対向面からこれより離れる方向に一定幅をもって延在する第1の主磁極層部分と、前記第1の主磁極層部分の後方に連結され、前記第1の主磁極層部分よりも大きな幅を有する第2の主磁極層部分とを含み、
前記一定幅領域が、前記主磁極層のうちの前記第1の主磁極層部分の平面形状によって規定され、
前記磁極層の幅が前記一定幅領域から前記拡幅領域へと拡がる拡幅位置が、前記主磁極層のうちの前記第2の主磁極層部分の前端縁によって規定されている
ことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。 - 前記磁極層の幅が前記一定幅領域から前記拡幅領域へと拡がる拡幅位置に、前記磁極層の厚さ方向の段差が形成されている
ことを特徴とする請求項1記載の薄膜磁気ヘッド。 - 前記主磁極層と前記補助磁極層とは、互いに異なる平面形状を有する
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の薄膜磁気ヘッド。 - 前記補助磁極層が、
前記拡幅領域において、前記主磁極層のうちの前記第1の主磁極層部分と同じ一定幅をもってこの第1の主磁極層部分の延在方向と同じ方向に延在する第1の補助磁極層部分と、
前記第1の補助磁極層部分の後方に連結され、前記第1の補助磁極層部分よりも大きい幅をもって延在する第2の補助磁極層部分と
を含むことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の薄膜磁気ヘッド。 - 前記記録媒体が、所定の媒体進行方向に移動する場合において、
前記補助磁極層のうちの前記第2の補助磁極層部分が、前記媒体進行方向における媒体流出側に積層配置され、
前記主磁極層が、前記媒体進行方向における媒体流入側に積層配置されている
ことを特徴とする請求項4記載の薄膜磁気ヘッド。 - 前記補助磁極層が、前記非磁性層によって前記主磁極層から完全に分離されている
ことを特徴とする請求項4または請求項5に記載の薄膜磁気ヘッド。 - 磁束を発生させる薄膜コイルと、前記薄膜コイルにおいて発生した磁束を記録媒体に向けて放出する磁極層とを備えた薄膜磁気ヘッドであって、
前記磁極層が、前記記録媒体に対向する記録媒体対向面に一端面が露出した主磁極層と、前記主磁極層の一部と対向して配設された補助磁極層と、前記主磁極層と前記補助磁極層とが互いに対向し合う領域に、これらの2つの層により挟まれるように配設された非磁性層とを含む積層構造を有すると共に、全体として、前記記録媒体の記録トラック幅を規定する一定幅を有する一定幅領域と、前記一定幅領域よりも大きな幅を有する拡幅領域とを含む平面形状を有し、
前記主磁極層が、前記記録媒体対向面からこれより離れる方向に一定幅をもって延在する第3の主磁極層部分と、前記拡幅領域において、前記第3の主磁極層部分と同じ一定幅をもってこの第3の主磁極層部分の延在方向と同じ方向に延在する第4の主磁極層部分と、前記第4の主磁極層部分の後方に連結され、前記第4の主磁極層部分よりも大きい幅をもって延在する第5の主磁極層部分とを含み、
前記補助磁極層が、前記主磁極層のうちの前記第3の主磁極層部分よりも大きな幅を有し、前記一定幅領域が、前記第3の主磁極層部分の平面形状によって規定され、
前記磁極層の幅が前記一定幅領域から前記拡幅領域へと拡がる拡幅位置が、前記補助磁極層の前端縁によって規定され、前記補助磁極層が、前記拡幅位置において前記主磁極層に連結されている
ことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。 - 前記記録媒体が、所定の媒体進行方向に移動する場合において、
前記主磁極層のうちの前記第5の主磁極層部分が、前記媒体進行方向における媒体流出側に積層配置され、
前記補助磁極層が、前記媒体進行方向における媒体流入側に積層配置されている
ことを特徴とする請求項7記載の薄膜磁気ヘッド。 - 前記主磁極層が、前記補助磁極層の飽和磁束密度以上の飽和磁束密度を有する材料により構成されている
ことを特徴とする請求項1ないし請求項8のいずれか1項に記載の薄膜磁気ヘッド。 - 前記磁極層が、前記記録媒体をその表面と直交する方向に磁化させるための磁束を放出するように構成されている
ことを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれか1項に記載の薄膜磁気ヘッド。 - 磁束を発生させる薄膜コイルと、
記録媒体の記録トラック幅を規定する一定幅を有する一定幅領域と、前記一定幅領域よりも大きな幅を有する拡幅領域とを含む平面形状を有すると共に、前記記録媒体に対向する記録媒体対向面に一端面が露出するように配設された主磁極層と、前記主磁極層の一部と対向するように配設された補助磁極層と、前記主磁極層と前記補助磁極層とが互いに対向し合う領域にこれらの2つの層により挟まれるように配設された非磁性層とを含む積層構造をなし、前記薄膜コイルにおいて発生した磁束を前記記録媒体に向けて放出する磁極層と
を備えた薄膜磁気ヘッドの製造方法であって、
前記拡幅領域を画定するためのマスクとなる第1のマスク層と、前記一定幅領域を画定するためのマスクとなる第2のマスク層とを別々の工程によって作成し、
前記第1のマスク層および前記第2のマスク層を用いた一連のエッチング工程により、前記磁極層の形成を完了すると共に、
前記第1のマスク層の形成工程を、前記第2のマスク層の形成工程よりも前に行う
ことを特徴とする薄膜磁気ヘッドの製造方法。 - 前記非磁性層が前記補助磁極層よりも遅いエッチングレートを有するようにし、
前記非磁性層を、前記磁極層の形成工程においてエッチング処理の進行度を抑制するためのストッパ層として使用しながら形成する
ことを特徴とする請求項11記載の薄膜磁気ヘッドの製造方法。 - 前記磁極層を形成する工程が、
前記主磁極層の前準備層としての前駆主磁極層と、前記非磁性層の前準備層としての前駆非磁性層と、前記補助磁極層の前準備層としての前駆補助磁極層とをこの順に形成して積層させる工程と、
前記拡幅領域に対応する領域において、前記前駆補助磁極層上に、前記第1のマスク層を選択的に形成する工程と、
前記第1のマスク層をマスクとして用いて、前記前駆補助磁極層をエッチングしてパターニングすることにより、前駆補助磁極層パターンを形成する工程と、
前記一定幅領域および前記拡幅領域に対応する領域において、前記前駆補助磁極層パターンおよびその周辺領域上に、前記第2のマスク層を選択的に形成する工程と、
前記補助磁極層パターンおよび前記第2のマスク層をマスクとして用いて、前記前駆非磁性層をエッチングしてパターニングすることにより、前記非磁性層を形成する工程と、
前記第2のマスク層、前記前駆補助磁極層パターンおよび前記非磁性層をマスクとして用いて、前記前駆主磁極層をエッチングしてパターニングすることにより、前記主磁極層を形成する工程と、
前記第2のマスク層をマスクとして用いて、前記前駆補助磁極層パターンをエッチングしてパターニングすることにより、前記補助磁極層を形成する工程と
を含むことを特徴とする請求項11または請求項12に記載の薄膜磁気ヘッドの製造方法。 - 前記磁極層を形成する工程が、
前記補助磁極層の前準備層としての前駆補助磁極層と、前記非磁性層の前準備層としての前駆非磁性層とをこの順に形成して積層させる工程と、
前記拡幅領域に対応する領域において、前記前駆非磁性層上に、前記第1のマスク層を選択的に形成する工程と、
前記第1のマスク層をマスクとして用いて、前記前駆非磁性層をパターニングすることにより、前記非磁性層を形成する工程と、
前記第1のマスク層をマスクとして用いて、前記前駆補助磁極層をエッチングしてパターニングすることにより、前記補助磁極層を形成する工程と、
前記非磁性層およびその周辺領域上に、前記主磁極層の前準備層としての前駆主磁極層を形成する工程と、
前記一定幅領域および前記拡幅領域に対応する領域において、前記前駆主磁極層上に、前記第2のマスク層を選択的に形成する工程と、
前記第2のマスク層を用いて、前記前駆主磁極層をエッチングしてパターニングすることにより、前記主磁極層を形成する工程と
を含むことを特徴とする請求項11または請求項12に記載の薄膜磁気ヘッドの製造方法。 - 記録媒体と、前記記録媒体に磁気的に情報を記録する薄膜磁気ヘッドとを備えた磁気記録装置であって、
前記薄膜磁気ヘッドが、磁束を発生させる薄膜コイルと、前記薄膜コイルにおいて発生した磁束を前記記録媒体に向けて放出する磁極層と、を備え、
前記磁極層が、前記記録媒体に対向する記録媒体対向面に一端面が露出した主磁極層と、前記主磁極層の一部と対向して配設された補助磁極層と、前記主磁極層と前記補助磁極層とが互いに対向し合う領域に、これらの2つの層により挟まれるように配設された非磁性層とを含む積層構造を有すると共に、全体として、前記記録媒体の記録トラック幅を規定する一定幅を有する一定幅領域と、前記一定幅領域よりも大きな幅を有する拡幅領域とを含む平面形状を有し、
前記主磁極層が、前記記録媒体対向面からこれより離れる方向に一定幅をもって延在する第1の主磁極層部分と、前記第1の主磁極層部分の後方に連結され、前記第1の主磁極層部分よりも大きな幅を有する第2の主磁極層部分とを含み、
前記一定幅領域が、前記主磁極層のうちの前記第1の主磁極層部分の平面形状によって規定され、
前記磁極層の幅が前記一定幅領域から前記拡幅領域へと拡がる拡幅位置が、前記主磁極層のうちの前記第2の主磁極層部分の前端縁によって規定されている
ことを特徴とする磁気記録装置。 - 記録媒体と、前記記録媒体に磁気的に情報を記録する薄膜磁気ヘッドとを備えた磁気記録装置であって、
前記薄膜磁気ヘッドが、磁束を発生させる薄膜コイルと、前記薄膜コイルにおいて発生した磁束を前記記録媒体に向けて放出する磁極層と、を備え、
前記磁極層が、前記記録媒体に対向する記録媒体対向面に一端面が露出した主磁極層と、前記主磁極層の一部と対向して配設された補助磁極層と、前記主磁極層と前記補助磁極層とが互いに対向し合う領域に、これらの2つの層により挟まれるように配設された非磁性層とを含む積層構造を有すると共に、全体として、前記記録媒体の記録トラック幅を規定する一定幅を有する一定幅領域と、前記一定幅領域よりも大きな幅を有する拡幅領域とを含む平面形状を有し、
前記主磁極層が、前記記録媒体対向面からこれより離れる方向に一定幅をもって延在する第3の主磁極層部分と、前記拡幅領域において、前記第3の主磁極層部分と同じ一定幅をもってこの第3の主磁極層部分の延在方向と同じ方向に延在する第4の主磁極層部分と、前記第4の主磁極層部分の後方に連結され、前記第4の主磁極層部分よりも大きい幅をもって延在する第5の主磁極層部分とを含み、
前記補助磁極層が、前記主磁極層のうちの前記第3の主磁極層部分よりも大きな幅を有し、前記一定幅領域が、前記第3の主磁極層部分の平面形状によって規定され、
前記磁極層の幅が前記一定幅領域から前記拡幅領域へと拡がる拡幅位置が、前記補助磁極層の前端縁によって規定され、前記補助磁極層が、前記拡幅位置において前記主磁極層に連結されている
ことを特徴とする磁気記録装置。 - 前記磁極層が、前記記録媒体をその表面と直交する方向に磁化させるための磁束を放出するように構成されている
ことを特徴とする請求項15または請求項16に記載の磁気記録装置。 - 前記記録媒体は、
前記磁極層から放出された磁束により情報が記録される記録層と、
前記記録層に情報を記録した磁束が前記磁極層に帰還する経路として機能する磁束帰還層と
を含むことを特徴とする請求項17記載の磁気記録装置。
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