JP3948287B2 - 積層セラミック電子部品の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、積層セラミック電子部品の製造方法に関し、特に、セラミックスラリーを作製する工程を含む積層セラミック電子部品の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
積層セラミック電子部品、例えば、積層セラミックコンデンサを製造するために、まず、セラミックスラリーが準備される。セラミックスラリーは、誘電体材料であるセラミック粉末、バインダーおよび可塑剤等を溶剤に溶解させることにより形成される。ここで、溶剤としては、特開平7−201636号のように、たとえばトルエンとエタノールとを1:1の混合比で混合したものが用いられる。
【0003】
得られたセラミックスラリーをドクターブレード法などにより成型して、セラミックグリーンシートが得られる。このセラミックグリーンシート上に、金属電極ペーストを印刷することにより、内部電極となる電極パターンが形成される。この電極パターンが形成されたセラミックグリーンシートを積層することにより、積層体が得られる。この積層体を圧着したのち、電極パターンが交互に反対面に露出するように積層体をカットすることにより、チップが得られる。このチップを脱バインダーし、焼成を行なうことによって、内部電極を有する焼結体が形成される。この焼結体の両端面に外部電極を形成し、内部電極と外部電極とを接続することによって、積層セラミックコンデンサが得られる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、セラミックスラリーを作製するときに、セラミック粉末やバインダーなどの塊が生じる場合がある。このような塊が生じると、全ての材料が均一に分散したセラミックスラリーが得られず、高品質なセラミックグリーンシートを得ることができない。そして、塊を含むセラミックグリーンシートを用いて積層セラミックコンデンサを製造すると、ボイドなどの欠陥を有するものとなり、耐圧不良などの不具合を招くことになる。
【0005】
特に、最近においては、積層セラミックコンデンサの小型・大容量化が進んでおり、内部の誘電体層の厚みも5μm以下へと薄層化されつつある。このような薄層化が進むにつれて、ボイドなどの欠陥の影響が大きくなるため、均質なセラミックグリーンシートが求められる。
【0006】
それゆえに、この発明の主たる目的は、全ての材料が均一に分散したセラミックスラリーを得ることができ、耐圧不良率の少ない積層セラミック電子部品を得ることができる、積層セラミック電子部品の製造方法を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
この発明は、OH基を含む溶剤の比率が総溶剤体積比で0.5より高い第1の混合溶剤にセラミック粉末を分散させて1次スラリーを形成する工程と、OH基を含まない溶剤の比率が総溶剤体積比で0.5〜0.8である第2の混合溶剤にバインダーおよび可塑剤を溶解させてバインダー・可塑剤混合液を形成する工程と、1次スラリーとバインダー・可塑剤混合液とを混合してセラミックスラリーを形成する工程とを含む、積層セラミック電子部品の製造方法である。
このような積層セラミック電子部品の製造方法において、セラミック粉末としては、たとえばペロブスカイト構造を有する高誘電率材料を主成分とするものが用いられる。
また、OH基を含む溶剤としてエタノールを用いることができ、OH基を含まない溶剤としてトルエンを用いることができる。
【0008】
OH基を含む溶剤の比率が総溶剤体積比で0.5より高い第1の混合溶剤を用いることにより、セラミック粉末が均一に分散した1次スラリーを得ることができる。また、OH基を含まない溶剤の比率が総溶剤体積比で0.5〜0.8である第2の混合溶剤を用いることにより、バインダーおよび可塑剤が均一に溶解したバインダー・可塑剤混合液を得ることができる。これらの1次スラリーおよびバインダー・可塑剤混合液を混合することにより、全ての材料が均一に分散したセラミックスラリーを得ることができる。
ここで用いられるセラミック粉末として、たとえばBaTiO3 やSrTiO3 に代表されるペロブスカイト構造を有する高誘電体材料を選択することができる。
また、第1の混合溶剤および第2の混合溶剤として、エタノールなどのOH基を含む溶剤と、トルエンなどのOH基を含まない溶剤とを混合したものが用いられる。
【0009】
この発明の上述の目的,その他の目的,特徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。
【0010】
【発明の実施の形態】
まず、誘電体材料として、たとえばBaTiO3 やSrTiO3 などに代表されるペロブスカイト構造を有するセラミック粉末が準備される。そして、ボールミルなどを用いて、セラミック粉末を第1の混合溶剤に分散させることにより、1次スラリーが形成される。第1の混合溶剤としては、たとえばエタノールなどのOH基を含む溶剤と、トルエンなどのOH基を含まない溶剤との混合溶剤が用いられる。この第1の混合溶剤としては、OH基を含む溶剤の比率が、総溶剤体積比で0.5より高いものが用いられる。このような第1の混合溶剤を用いることにより、セラミック粉末の塊が発生することなく、均一な1次スラリーを得ることができる。
【0011】
また、ポリビニルブチラールなどのバインダーと可塑剤とを第2の混合溶剤に分散させることにより、バインダー・可塑剤混合液が形成される。第2の混合溶剤としては、第1の混合溶剤と同様に、エタノールとトルエンとの混合溶剤などが用いられるが、OH基を含まない溶剤の比率が、総溶剤体積比で0.5〜0.8である混合溶剤が用いられる。このような第2の混合溶剤を用いることにより、バインダーおよび可塑剤の塊が発生することなく、均一なバインダー・可塑剤混合液を得ることができる。
【0012】
このようにして得られた1次スラリーとバインダー・可塑剤混合液とが混合され、セラミックスラリーが得られる。このセラミックスラリーをドクターブレード法などによって成型することにより、セラミックグリーンシートが形成される。このセラミックグリーンシート上に、金属電極ペーストを印刷することにより、積層セラミックコンデンサの内部電極となる電極パターンが形成される。
【0013】
電極パターンが形成されたセラミックグリーンシートが複数枚積層され、その上下に電極パターンの形成されていないセラミックグリーンシートが積層される。このようにして得られた積層体が圧着されたのち、電極パターンが交互に対向面に露出するようにカットされて、チップが形成される。このチップが焼成されることにより、内部電極を有する焼結体が形成される。この焼結体に外部電極が形成され、内部電極と外部電極とが電気的に接続されることにより、積層セラミックコンデンサが得られる。
【0014】
この積層セラミックコンデンサでは、セラミック粉末が第1の混合溶剤中に均一に分散した1次スラリーと、バインダーおよび可塑剤が第2の混合溶剤中に均一に溶解したバインダー・可塑剤混合液とを混合することにより、セラミックスラリーが形成される。そのため、得られたセラミックスラリーは、セラミック粉末、バインターおよび可塑剤が溶剤中に均一に分散したものとなる。
【0015】
このようなセラミックスラリーを用いることにより、ボイドのない焼結体を得ることができる。そのため、得られた積層セラミックコンデンサに耐圧不良などの欠陥が発生しにくい。
【0016】
【実施例】
ボールミルを用いて、BaTiO3 を主成分とする誘電体粉末1000gを表1に示す比率で調整したトルエンとエタノールの第1の混合溶剤に分散させ、1次スラリーを作製した。それとは別に、バインダー200gと可塑剤100gとを表1に示す比率で調整したトルエンとエタノールの第2の混合溶剤に溶解させ、バインダー・可塑剤混合液を作製した。そののち、1次スラリーとバインダー・可塑剤混合液とを混合し、セラミックスラリーを作製した。
【0017】
このセラミックスラリーを用いて、ドクターブレード成型機により、厚さ3μmのセラミックグリーンシートを作製した。セラミックグリーンシート上に、ニッケル電極ペーストを印刷して、電極パターンを形成した。電極パターンを形成したセラミックグリーンシートを300枚積層し、その上下に電極パターンのないセラミックグリーンシートを各20枚積層して、積層体を作製した。この積層体を温度70℃、圧力0.5Paで加熱圧着したのち、長さ×幅が3.2mm×1.6mmとなるようにカットして、チップを作製した。得られたチップを1300℃で2時間保持して焼成し、内部電極を有する焼結体を得た。この焼結体の両端面に外部電極を形成し、内部電極と外部電極とを電気的に接続して、積層セラミックコンデンサを作製した。
【0018】
第1の混合溶剤および第2の混合溶剤のトルエンとエタノールの体積比率、1次スラリーにおけるセラミック粉末の塊発生数、バインダー・可塑剤混合液におけるバインダーの塊発生数および積層セラミックコンデンサの耐圧不良率を表1に示した。ここで、セラミック粉末塊の発生評価については、1次スラリー2cc中に含まれる塊の発生数を数えたものであり、この塊は顕微鏡により観察された3μm以上の大きさのものである。また、バインダー塊の発生評価については、バインダー・可塑剤混合溶液2cc中に含まれる塊の発生数を数えたものであり、この塊は顕微鏡により観察された3μm以上の大きさのものである。また、積層セラミックコンデンサの耐圧不良率は、100個のサンプルを用いて評価した。
【0019】
【表1】
【0020】
表1からわかるように、第1の混合溶剤について、OH基を有するエタノールの比率が総溶剤体積比率で0.5より高い場合、1次スラリー中にセラミック粉末の塊が発生していない。また、第2の混合溶剤について、OH基を含まないトルエンの比率が総溶剤体積比率で0.5〜0.8である場合、バインダー・可塑剤混合液中にバインダーの塊が発生していない。そして、これらの塊が発生していない1次スラリーおよびバインダー・可塑剤混合液を混合したセラミックスラリーを用いた積層セラミックコンデンサでは、耐圧不良が認められなかった。
【0021】
それに対して、第1の混合溶剤について、OH基を有するエタノールの比率が総溶剤体積比率で0.5より低い場合、1次スラリー中にセラミック粉末の塊の発生数が多くなった。また、第2の混合溶剤について、OH基を含まないトルエンの比率が総溶剤体積比率で0.5より低い場合、または0.8より大きい場合、バインダー・可塑剤混合液中にバインダーの塊の発生数が多くなった。これらのセラミック粉末の塊のある1次スラリーおよびバインダーの塊のあるバインダー・可塑剤混合液の両方またはいずれかを用いた場合、積層セラミックコンデンサに耐圧不良のあるものが発生した。
【0022】
【発明の効果】
この発明によれば、1次スラリーとバインダー・可塑剤混合液とを別々に作製し、かつ1次スラリーを作製するための第1の混合溶剤およびバインダー・可塑剤混合液を作製するための第2の混合溶剤について、OH基を含む溶剤とOH基を含まない溶剤の混合比率を所定の割合とすることにより、セラミック粉末の塊やバインダーの塊を発生させないようにすることができる。このような塊のない1次スラリーおよびバインダー・可塑剤混合液を用いてセラミックスラリーを作製することにより、積層セラミック電子部品の耐圧不良率を低減することができる。
Claims (3)
- OH基を含む溶剤の比率が総溶剤体積比で0.5より高い第1の混合溶剤にセラミック粉末を分散させて1次スラリーを形成する工程、
OH基を含まない溶剤の比率が総溶剤体積比で0.5〜0.8である第2の混合溶剤にバインダーおよび可塑剤を溶解させてバインダー・可塑剤混合液を形成する工程、および
前記1次スラリーと前記バインダー・可塑剤混合液とを混合してセラミックスラリーを形成する工程を含む、積層セラミック電子部品の製造方法。 - 前記セラミック粉末は、ペロブスカイト構造を有する高誘電率材料を主成分とするものであることを特徴とする、請求項1に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
- 前記OH基を含む溶剤がエタノールであり、前記OH基を含まない溶剤がトルエンであることを特徴とする、請求項1または請求項2に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
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