JP3947332B2 - Warp measuring device for film carrier tape for mounting electronic parts and method for measuring warp of film carrier tape for mounting electronic parts - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品実装用フィルムキャリアテープ(TAB(Tape Automated Bonding)テープ、T-BGA(Tape Ball Grid Array)テープ、CSP(Chip Size Package)テープ、 ASIC(Application Specific Integrated Circuit)テープなど)(以下、単に「電子部品実装用フィルムキャリアテープ」と言う。)について、出荷前にサンプルを抽出して、そのサンプルの反りを測定するための電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り測定装置および電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り測定方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
エレクトロニクス産業の発達に伴い、IC(集積回路)、LSI(大規模集積回路)などの電子部品を実装するプリント配線板の需要が急激に増加しているが、電子機器の小型化、軽量化、高機能化が要望され、これら電子部品の実装方法として、最近ではTABテープ、T-BGAテープおよびASICテープなどの電子部品実装用フィルムキャリアテープを用いた実装方式が採用されている。特に、パーソナルコンピュータなどのように高精細化、薄型化、液晶画面の額縁面積の狭小化が要望されている液晶表示素子(LCD)を使用する電子産業においてその重要性が高まっている。
【0003】
このような電子部品実装用フィルムキャリアテープでは、反りが大きいと、ICなどのデバイスを実装する際に、ボンディング不良などを起こすことがあるので、出荷前に電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルを抽出して、そのサンプルの反りを測定する品質検査が行われている。
この場合、電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルの反りを測定する方法としては、金属顕微鏡を用いて、サンプルの最高位置を、焦点深度を用いて、最高位置を目視にて測定している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
このような測定方法では、検査員が金属顕微鏡で焦点深度を用いて目視で測定を行うため、正確な測定を行うことは難しく、また、手作業であるため、測定時間がかかり、大量のサンプルを短時間で処理するのは不可能であり、そのため、大量生産には不向きで、コストも高くなる原因となっている。
【0005】
本発明は、このような現状を考慮して、電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルの反りを、正確に精度良く、しかも短時間で大量のサンプルの反りを測定可能な電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り測定装置および電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り測定方法を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前述したような従来技術における課題及び目的を達成するために発明なされたものであって、電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り測定装置は、電子部品実装用フィルムキャリアテープを載置する載置テーブルと、
前記載置テーブルに対して、長手方向に沿って移動可能な反り測定部と、
前記反り測定部の載置テーブルの一側に配設されたレーザ光照射部と、
前記反り測定部の載置テーブルを挟んで他方側に配設されたレーザ光受光部とを備え、
前記載置テーブルに載置した電子部品実装用フィルムキャリアテープの最上部の高さ位置を、前記反り測定部を載置テーブルに対して長手方向に沿って移動させつつ、前記レーザ光照射部より水平方向に照射されたレーザ光が、電子部品実装用フィルムキャリアテープに遮光されて、前記レーザ光受光部に到達しない高さ位置によって測定し、
予め測定された前記載置テーブル表面の高さ位置との差によって、電子部品実装用フィルムキャリアテープの反りを測定するように構成したことを特徴とする。
【0007】
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り測定方法電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り測定方法であって、
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを載置テーブル上に載置し、
前記載置テーブルに対して、長手方向に沿って移動可能な反り測定部を載置テーブルに対して長手方向に沿って移動させつつ、
前記反り測定部の載置テーブルの一側に配設されたレーザ光照射部よりレーザ光を照射し、
前記レーザ光照射部より水平方向に照射されたレーザ光が、電子部品実装用フィルムキャリアテープに遮光されて、前記反り測定部の載置テーブルを挟んで他方側に配設されたレーザ光受光部に到達しない高さ位置によって前記載置テーブルに載置した電子部品実装用フィルムキャリアテープの最上部の高さ位置を測定し、
前記測定された電子部品実装用フィルムキャリアテープの最上部の高さ位置と、予め測定された前記載置テーブル表面の高さ位置との差によって、電子部品実装用フィルムキャリアテープの反りを測定するように構成したことを特徴とする。
【0008】
このように構成することによって、測定対象である電子部品実装用フィルムキャリアテープを載置テーブル上に載置した状態のままで、反り測定部を載置テーブルに対して長手方向に沿って移動させ、反り測定部の載置テーブルの一側に配設されたレーザ光照射部よりレーザ光を水平方向に照射するだけで、照射されたレーザ光が、電子部品実装用フィルムキャリアテープに遮光されて、前記反り測定部の載置テーブルを挟んで他方側に配設されたレーザ光受光部に到達しない高さ位置によって電子部品実装用フィルムキャリアテープの最上部の高さ位置を、測定対象である電子部品実装用フィルムキャリアテープ全体にわたって測定することができる。
【0009】
従って、電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルの反りを、正確に精度良く、しかも短時間で大量のサンプルの反りを測定可能となる。
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り測定装置は、前記載置テーブル上には、前記電子部品実装用フィルムキャリアテープの側端部を脱着自在に把持する把持具を備えることを特徴とする。
【0010】
これにより、測定対象である電子部品実装用フィルムキャリアテープを載置テーブル上に固定できるので、反りの測定の精度を向上することができる。
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り測定装置は、前記把持具が、前記載置テーブル上に取り外し可能に装着されていることを特徴とする。
【0011】
これによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープを予め、把持具に固定した後に、載置テーブル上に固定できるので、取り扱いが便利であり、正確に電子部品実装用フィルムキャリアテープを載置テーブル上に載置することができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態(実施例)について説明する。
図1は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り測定装置の上面図、図2は、図1のA方向の端面図、図3は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り測定装置を用いて、電子部品実装用フィルムキャリアテープの反りを測定する方法を模式的に示す図である。
【0013】
図1および図2に示したように、10は全体で本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り測定装置(以下、単に「反り測定装置」と言う。)を示している。
反り測定装置10は、ベース基台12上の中央部分に立設された4本の支持柱部材14a〜14dの上に固定された矩形板状の載置テーブル16を備えている。
【0014】
また、反り測定装置10は、載置テーブルに対して、長手方向に沿って移動可能な反り測定部11を備えている。
すなわち、ベース基台12の載置テーブル16を挟んで両側部には、載置テーブル16の長手方向に沿って案内レール部材18、20がそれぞれ形成されている。これらの案内レール部材18、20には、案内部材22、24が、これらの案内レール部材18、20上を摺動可能なようにそれぞれ装着されている。
【0015】
案内部材22、24は、支持柱部材14a、14bと支持柱部材14c、14dとの間で、載置テーブル16の下方を、載置テーブル16の横方向にわたって延設された、反り測定部支持部材26の下方に固定されている。
この反り測定部支持部材26の上方には、載置テーブル16の側方の一側に配設されたレーザ光照射部28と、このレーザ光照射部28に対峙するように、反り測定部の載置テーブル16を挟んで他方側に配設されたレーザ光受光部30が固定されている。
【0016】
また、反り測定部支持部材26の上方には、案内部材13が設けられ、この案内部材13が載置テーブル16の下方の中央に長手方向にわたって形成された案内レール部材15に摺動可能なように装着されている。
また、反り測定部支持部材26の一端には、反り測定部操作用の操作ハンドル32が固定されている。一方、ベース基台12の四隅には、略逆U字形状の反り測定部操作用の操作用フート部材34が固定されている。
【0017】
これによって、一方の手で操作用フート部材34を把持して、他方の手で操作ハンドル32を操作することによって、反り測定部11を載置テーブル16に対して、長手方向に沿って移動することができるようになっている。
なお、レーザ光照射部28としては、特に限定されるものではないが、一例を挙げれば、波長670μmの赤色光のレーザを用いるのが、電子部品実装用フィルムキャリアテープを損傷することがないので好ましい。
【0018】
また、このレーザ光照射部28は、図示しないが、水平方向にレーザ光を照射するものであり、そのレーザ光照射位置を自由に上下に変更することができるように構成されている。
このように構成される本発明の反り測定装置10を用いて、電子部品実装用フィルムキャリアテープの反りを測定する方法について説明する。
【0019】
図2および図3に示したように、例えば、CSP、BGAのようなタイプの電子部品実装用フィルムキャリアテープであって、その製造工程が全て終了した電子部品実装用フィルムキャリアテープから短冊状のサンプルSを抽出して、測定対象とする。
そして、このサンプルSを、その長手方向が、載置テーブル16の長手方向に合致するように載置する。
【0020】
この状態で、レーザ光照射部28のレーザ光の照射高さを、図3に示したように、予め設定したサンプルSの反りの最上部の位置よりも十分高い高さ位置で、レーザ光L0を水平方向に照射しつつ、一方の手で操作用フート部材34を把持して、他方の手で操作ハンドル32を操作することによって、反り測定部11を載置テーブル16に対して、長手方向に沿って移動させる。
【0021】
そして、レーザ光照射部28より照射されたレーザ光L0が、レーザ光受光部30に到達するか否かを判別する。
レーザ光照射部28より照射されたレーザ光L0が、反り測定部11の載置テーブル16を挟んで他方側に配設されたレーザ光受光部30に到達する場合には、レーザ光の照射高さを予め設定された目盛り間隔下方に下げて、操作ハンドル32を操作することによって、反り測定部11を載置テーブル16に対して、長手方向に沿って移動させる。
【0022】
このような操作を、レーザ光照射部28より照射されたレーザ光Lhが、サンプルSに遮光されて、反り測定部11の載置テーブル16を挟んで他方側に配設されたレーザ光受光部に到達しない高さ位置まで繰り返し行う。
そして、この高さ位置Xhを測定し、図2に示したように、予め測定しておいた載置テーブル16表面の高さ位置X0との差を、サンプルSの反りXとする。
【0023】
なお、この場合、サンプルSの載置テーブル16上への載置の仕方は、電子部品実装用フィルムキャリアテープの種類にもよるが、図2および図3に示したように中央の屈曲し突設した部分を上面とする他、図4に示したように、載置テーブル16上に、サンプルSの一端を、脱着自在に係止する把持具を構成するクリップ部材40で固定して、測定してもよい。
【0024】
なお、図5に示したように、この把持具を、載置テーブル16とは、別体の載置板部材42に、クリップ部材44を設けて、サンプルSの一端を、脱着自在に係止し、これを載置テーブル16上に載置するようにしてもよい。
また、上記実施例では、レーザ光照射部28を、レーザ光照射位置を上下に変更するように構成したが、予め設定した目盛り間隔で複数のレーザ光を照射して、反り測定部11を載置テーブル16に対して、長手方向に沿って移動する一回の操作によって、サンプルSの反りを一度に測定するようにすることも可能である。
【0025】
図6は、本発明の反り測定装置10を、自動的に反りを計測するようにした第2の実施例の概略構成図である。
上記の第1の実施例と、基本的には同様な構成であり、同じ構成部材には、同じ参照番号を付してその説明は省略する。
この実施例の反り測定装置10では、図示しないピストンシリンダ機構、モータなどの移動機構によって、反り測定部11を載置テーブル16に対して、制御装置50の制御によって、長手方向に沿って自動的に往復移動できるようになっている。
【0026】
また、反り測定部11の測定結果は、制御装置50内に入力され、演算処理されて反りの値が計算され、その結果が、別途設けた、バーコードリーダなどの入力装置60から入力された、サンプルSのロット番号、サンプル番号などの固有情報とともに、ホストコンピュータなどの管理装置70に出力されるようになっている。
【0027】
このようにすることによって、大量のサンプルについて、品質管理を集中的に管理して実施することができるようになっている。
以上、本発明の好ましい実施の態様を説明してきたが、本発明はこれに限定されることはなく、例えば、本発明では、電子部品実装用フィルムキャリアテープの反りを測定するために用いたが、これを電子部品実装用フィルムキャリアテープの厚さが、所定の範囲内にあるかどうかの厚さ測定にも用いることもできるなど本発明の目的を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【0028】
【発明の効果】
本発明によれば、測定対象である電子部品実装用フィルムキャリアテープを載置テーブル上に載置した状態のままで、反り測定部を載置テーブルに対して長手方向に沿って移動させ、反り測定部の載置テーブルの一側に配設されたレーザ光照射部よりレーザ光を水平方向に照射するだけで、照射されたレーザ光が、電子部品実装用フィルムキャリアテープに遮光されて、前記反り測定部の載置テーブルを挟んで他方側に配設されたレーザ光受光部に到達しない高さ位置によって電子部品実装用フィルムキャリアテープの最上部の高さ位置を、測定対象である電子部品実装用フィルムキャリアテープ全体にわたって測定することができる。
【0029】
従って、電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルの反りを、正確に精度良く、しかも短時間で大量のサンプルの反りを測定可能となるなどの幾多の作用効果を奏する極めて優れた発明である。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り測定装置の上面図である。
【図2】図2は、図1のA方向の端面図である。
【図3】図3は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り測定装置を用いて、電子部品実装用フィルムキャリアテープの反りを測定する方法を模式的に示す図である。
【図4】図4は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り測定装置で用いられる把持具を説明する部分拡大断面図である。
【図5】図5は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り測定装置で用いられる他の実施例の把持具を説明する部分拡大断面図である。
【図6】図6は、本発明の反り測定装置を、自動的に反りを計測するようにした第2の実施例の概略構成図である。
【符号の説明】
10 測定装置
11 測定部
12 ベース基台
14a 支持柱部材
14c 支持柱部材
16 載置テーブル
18 案内レール部材
22 案内部材
26 測定部支持部材
28 レーザ光照射部
30 レーザ光受光部
32 操作ハンドル
34 操作用フート部材
40 クリップ部材
42 載置板部材
44 クリップ部材
50 制御装置
60 入力装置
70 管理装置[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention is a film carrier tape for mounting electronic components (TAB (Tape Automated Bonding) tape, T-BGA (Tape Ball Grid Array) tape, CSP (Chip Size Package) tape, ASIC (Application Specific Integrated Circuit) tape, etc.)) Hereinafter, the film carrier tape for electronic component mounting, and the electronic component for extracting the sample before shipment and measuring the warp of the sample are simply referred to as “film carrier tape for electronic component mounting”. The present invention relates to a method for measuring warpage of a film carrier tape for mounting.
[0002]
[Prior art]
With the development of the electronics industry, the demand for printed wiring boards for mounting electronic components such as ICs (integrated circuits) and LSIs (large-scale integrated circuits) is increasing rapidly. High functionality is demanded, and as a method for mounting these electronic components, recently, a mounting method using a film carrier tape for mounting electronic components such as TAB tape, T-BGA tape, and ASIC tape has been adopted. In particular, the importance is increasing in the electronic industry using a liquid crystal display element (LCD) such as a personal computer, for which high definition, thinning, and narrowing of the frame area of a liquid crystal screen are desired.
[0003]
In such a film carrier tape for mounting electronic components, if the warp is large, bonding failure may occur when mounting a device such as an IC. Quality inspection is performed to extract and measure the warpage of the sample.
In this case, as a method of measuring the curvature of the sample of the film carrier tape for mounting an electronic component, the highest position of the sample is visually measured using a metal microscope, and the highest position is visually measured using the depth of focus.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
In such a measuring method, since an inspector performs a visual measurement using a depth of focus with a metal microscope, it is difficult to perform an accurate measurement, and since it is a manual operation, it takes a long time to measure a large amount of samples. Can not be processed in a short time, and is therefore unsuitable for mass production and causes high costs.
[0005]
In consideration of such a current situation, the present invention is an electronic component mounting film carrier capable of measuring the warpage of a sample of a film carrier tape for mounting an electronic component accurately, accurately and in a short time. An object of the present invention is to provide a tape warpage measuring apparatus and a method for measuring the warpage of a film carrier tape for mounting electronic components.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
The present invention has been made in order to achieve the above-described problems and objects in the prior art, and an electronic component mounting film carrier tape warpage measuring apparatus is provided with an electronic component mounting film carrier tape. A mounting table,
A warp measurement unit that is movable along the longitudinal direction with respect to the mounting table,
A laser beam irradiation unit disposed on one side of the mounting table of the warp measurement unit;
A laser beam receiving unit disposed on the other side across the mounting table of the warp measurement unit,
From the laser beam irradiation unit, the height position of the uppermost part of the electronic component mounting film carrier tape mounted on the mounting table is moved along the longitudinal direction with respect to the mounting table. The laser beam irradiated in the horizontal direction is shielded by the electronic component mounting film carrier tape, and measured by a height position that does not reach the laser beam receiver,
The warpage of the film carrier tape for mounting electronic parts is measured by the difference from the height position of the surface of the mounting table measured in advance.
[0007]
Moreover, the warp measuring method of the film carrier tape for mounting electronic components of the present invention is a warping measuring method of the film carrier tape for mounting electronic components,
Place the electronic component mounting film carrier tape on the mounting table,
While moving the warp measurement unit movable along the longitudinal direction with respect to the mounting table along the longitudinal direction with respect to the mounting table,
Irradiate the laser beam from the laser beam irradiation unit disposed on one side of the mounting table of the warp measurement unit,
The laser beam irradiated in the horizontal direction from the laser beam irradiation unit is shielded by the electronic component mounting film carrier tape, and is disposed on the other side across the mounting table of the warp measurement unit. Measure the height position of the uppermost part of the film carrier tape for mounting electronic components placed on the mounting table according to the height position that does not reach
The warp of the electronic component mounting film carrier tape is measured by the difference between the measured height position of the uppermost portion of the electronic component mounting film carrier tape and the previously measured height position of the mounting table surface. It is configured as described above.
[0008]
With this configuration, the warp measuring unit is moved along the longitudinal direction with respect to the mounting table while the electronic component mounting film carrier tape to be measured is mounted on the mounting table. By simply irradiating the laser beam horizontally from the laser beam irradiator disposed on one side of the mounting table of the warp measuring unit, the irradiated laser beam is shielded by the film carrier tape for mounting electronic components. The height position of the uppermost part of the electronic component mounting film carrier tape is measured by the height position that does not reach the laser light receiving unit disposed on the other side across the mounting table of the warp measuring unit. It can be measured over the entire film carrier tape for mounting electronic components.
[0009]
Accordingly, it is possible to accurately measure the warpage of a sample of a film carrier tape for mounting electronic components on a large amount of samples in a short time.
In addition, the warp measuring device for a film carrier tape for mounting electronic components of the present invention comprises a gripping tool for detachably gripping a side end portion of the film carrier tape for mounting electronic components on the mounting table. Features.
[0010]
Thereby, since the film carrier tape for electronic component mounting which is a measuring object can be fixed on a mounting table, the precision of the measurement of curvature can be improved.
In the electronic component mounting film carrier tape warpage measuring apparatus of the present invention, the gripping tool is detachably mounted on the mounting table.
[0011]
As a result, the film carrier tape for mounting electronic components can be fixed on the mounting table in advance after being fixed to the holding tool, so that the handling is convenient and the film carrier tape for mounting electronic components is accurately placed on the mounting table. Can be placed.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments (examples) of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a top view of a warp measuring device for a film carrier tape for mounting electronic components of the present invention, FIG. 2 is an end view in the direction A of FIG. 1, and FIG. 3 is a film carrier tape for mounting electronic components of the present invention. It is a figure which shows typically the method of measuring the curvature of the film carrier tape for electronic component mounting using a curvature measuring apparatus.
[0013]
As shown in FIG. 1 and FIG. 2,
The
[0014]
In addition, the
That is, the
[0015]
The
Above the warp measurement
[0016]
In addition, a
An operation handle 32 for operating the warp measurement unit is fixed to one end of the warp measurement
[0017]
Accordingly, the
The laser
[0018]
Although not shown, the laser
A method for measuring the warp of the film carrier tape for mounting an electronic component using the
[0019]
As shown in FIG. 2 and FIG. 3, for example, a film carrier tape for mounting electronic components of a type such as CSP or BGA, which has a strip-like shape from the film carrier tape for mounting electronic components that has been completely manufactured. Sample S is extracted and set as a measurement target.
And this sample S is mounted so that the longitudinal direction may correspond to the longitudinal direction of the mounting table 16.
[0020]
In this state, as shown in FIG. 3, the laser light irradiation height of the laser
[0021]
And it is discriminate | determined whether the laser beam L0 irradiated from the laser
When the laser beam L0 irradiated from the laser
[0022]
The laser beam Lh irradiated from the laser
Then, the height position Xh is measured, and as shown in FIG. 2, the difference from the height position X0 of the surface of the mounting table 16 measured in advance is set as the warp X of the sample S.
[0023]
In this case, the manner in which the sample S is placed on the placing table 16 depends on the type of the electronic component mounting film carrier tape, but as shown in FIGS. As shown in FIG. 4, in addition to using the provided portion as an upper surface, measurement is performed by fixing one end of the sample S on the mounting table 16 with a
[0024]
As shown in FIG. 5, this gripping tool is provided with a
Moreover, in the said Example, although the laser
[0025]
FIG. 6 is a schematic configuration diagram of a second embodiment in which the
The configuration is basically the same as that of the first embodiment described above, and the same components are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
In the
[0026]
Further, the measurement result of the
[0027]
In this way, quality control can be centrally managed and implemented for a large number of samples.
The preferred embodiment of the present invention has been described above, but the present invention is not limited to this. For example, in the present invention, the present invention is used to measure the warp of a film carrier tape for mounting electronic components. Various modifications can be made without departing from the object of the present invention, for example, the thickness of the electronic component mounting film carrier tape can also be used to measure whether the thickness is within a predetermined range. .
[0028]
【The invention's effect】
According to the present invention, the warp measuring unit is moved along the longitudinal direction with respect to the mounting table while the electronic component mounting film carrier tape to be measured is mounted on the mounting table. By simply irradiating the laser beam from the laser beam irradiation unit disposed on one side of the mounting table of the measurement unit in the horizontal direction, the irradiated laser beam is shielded by the electronic component mounting film carrier tape, The height of the uppermost part of the electronic component mounting film carrier tape is determined by the height not reaching the laser beam receiving unit disposed on the other side across the mounting table of the warp measuring unit. It can be measured over the entire mounting film carrier tape.
[0029]
Therefore, it is an extremely excellent invention that has many effects such as that the warp of the sample of the film carrier tape for mounting electronic components can be measured accurately and accurately, and the warp of a large amount of samples can be measured in a short time.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a top view of a warp measuring device for a film carrier tape for mounting electronic components according to the present invention.
FIG. 2 is an end view in the A direction of FIG. 1;
FIG. 3 is a diagram schematically showing a method for measuring the warpage of a film carrier tape for mounting electronic components using the warp measuring apparatus for film carrier tape for mounting electronic components according to the present invention.
FIG. 4 is a partially enlarged cross-sectional view illustrating a gripping tool used in a warp measuring device for a film carrier tape for mounting electronic components according to the present invention.
FIG. 5 is a partially enlarged cross-sectional view for explaining another embodiment of a gripping tool used in a warp measuring device for a film carrier tape for mounting electronic components according to the present invention.
FIG. 6 is a schematic configuration diagram of a second embodiment in which the warpage measuring apparatus of the present invention automatically measures warpage.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
Claims (4)
前記載置テーブルに対して、長手方向に沿って移動可能な反り測定部と、
前記反り測定部の載置テーブルの一側に配設されたレーザ光照射部と、
前記反り測定部の載置テーブルを挟んで他方側に配設されたレーザ光受光部とを備え、
前記載置テーブルに載置した電子部品実装用フィルムキャリアテープの最上部の高さ位置を、前記反り測定部を載置テーブルに対して長手方向に沿って移動させつつ、前記レーザ光照射部より水平方向に照射されたレーザ光が、電子部品実装用フィルムキャリアテープに遮光されて、前記レーザ光受光部に到達しない高さ位置によって測定し、
予め測定された前記載置テーブル表面の高さ位置との差によって、電子部品実装用フィルムキャリアテープの反りを測定するように構成したことを特徴とする電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り測定装置。A mounting table for mounting a film carrier tape for mounting electronic components;
A warp measurement unit that is movable along the longitudinal direction with respect to the mounting table,
A laser beam irradiation unit disposed on one side of the mounting table of the warp measurement unit;
A laser beam receiving unit disposed on the other side across the mounting table of the warp measurement unit,
From the laser beam irradiation unit, the height position of the uppermost part of the electronic component mounting film carrier tape mounted on the mounting table is moved along the longitudinal direction with respect to the mounting table. The laser beam irradiated in the horizontal direction is shielded by the electronic component mounting film carrier tape, and measured by a height position that does not reach the laser beam receiver,
An apparatus for measuring the warpage of a film carrier tape for mounting electronic parts, wherein the warp of the film carrier tape for mounting electronic parts is measured based on a difference from a height position of the surface of the mounting table previously measured. .
前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを載置テーブル上に載置し、
前記載置テーブルに対して、長手方向に沿って移動可能な反り測定部を載置テーブルに対して長手方向に沿って移動させつつ、
前記反り測定部の載置テーブルの一側に配設されたレーザ光照射部よりレーザ光を照射し、
前記レーザ光照射部より水平方向に照射されたレーザ光が、電子部品実装用フィルムキャリアテープに遮光されて、前記反り測定部の載置テーブルを挟んで他方側に配設されたレーザ光受光部に到達しない高さ位置によって前記載置テーブルに載置した電子部品実装用フィルムキャリアテープの最上部の高さ位置を測定し、
前記測定された電子部品実装用フィルムキャリアテープの最上部の高さ位置と、予め測定された前記載置テーブル表面の高さ位置との差によって、電子部品実装用フィルムキャリアテープの反りを測定するように構成したことを特徴とする電子部品実装用フィルムキャリアテープの反り測定方法。A method for measuring warpage of a film carrier tape for mounting electronic components,
Place the electronic component mounting film carrier tape on the mounting table,
While moving the warp measurement unit movable along the longitudinal direction with respect to the mounting table along the longitudinal direction with respect to the mounting table,
Irradiate the laser beam from the laser beam irradiation unit disposed on one side of the mounting table of the warp measurement unit,
The laser beam irradiated in the horizontal direction from the laser beam irradiation unit is shielded by the electronic component mounting film carrier tape, and is disposed on the other side across the mounting table of the warp measurement unit. Measure the height position of the uppermost part of the film carrier tape for mounting electronic components placed on the mounting table according to the height position that does not reach
The warp of the electronic component mounting film carrier tape is measured by the difference between the measured height position of the uppermost portion of the electronic component mounting film carrier tape and the previously measured height position of the mounting table surface. A method for measuring a warp of a film carrier tape for mounting an electronic component, wherein
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