JP3946232B2 - 混成集積回路装置の製造方法およびローラーを有したエッチング液残留装置。 - Google Patents
混成集積回路装置の製造方法およびローラーを有したエッチング液残留装置。 Download PDFInfo
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Description
第一に、表面に回路を構成する導電パターンが形成された基板上に、ローラーをころがすことで、前記基板にエッチング液を残留させる混成集積回路装置の製造方法であり、
前記ローラーは、山と谷が交互に配置され、前記基板と前記ローラーの谷の部分でエッチングを保持し、前記基板にエッチング液を残留させることで解決するものである。
前記ローラーをころがすことで、前記基板にエッチング液を残留させ、
前記ローラーは、山と谷が交互に配置され、前記基板と前記ローラーの谷の部分でエッチングを保持し、前記基板にエッチング液を残留させることで解決するものである。
ローラーを転がしながエッチング液を切ると、ローラーが基板に接触した際、ローラーのへこみ部分と基板の間の空間にエッチング液が取り込まれながら、エッチング液を切って行くため、基板表面にある程度のエッチング液を残留させることができる。またローラーの加圧具合、あるいはローラーに凹凸や突起を設け、この凹凸や突起のサイズによりエッチング液のコントロールが可能であるため、最適条件の選定により、Ni庇を選択的にエッチングすることができる。
続いて、ホトリソグラフィ技術により、導電路(21)を形成する領域にホトレジスト(30)を成膜し、被エッチング面に常時新しいエッチャントが供給されるようにしてウェットエッチングする。この新しいエッチャントを被エッチング面に供給すると同時に、反応物を取り除くためにエッチャントに流れを与える方式を、ここでは強制供給法と仮称する。この方法は、シャワー、液層内を循環させる方法等色々考えられ、ここでエッチャントは塩化第2鉄であり、強制循環方式としてシャワーを採用した。塩化第2鉄のエッチングレートRは、R(Cu)>R(Ni)であるため、図5にも示したような庇(7)がレジスト30の真下に符号31としてでき、この状態で第1の導電路(24)と第2の導電路(25)が形成される。(以上図2参照)
続いて、基板20の面にロール23を転がし、エッチング液を切ると同時に有る程度の量を残留させる工程がある。
21 導電路
24 Cuの導電路
25 Niの導電路
31 庇
32,33 ロール
Claims (6)
- 表面に回路を構成する導電パターンが形成された基板上に、ローラーをころがすことで、前記基板にエッチング液を残留させる混成集積回路装置の製造方法であり、
前記ローラーは、山と谷が交互に配置され、前記基板と前記ローラーの谷の部分でエッチング液を保持し、前記基板にエッチング液を残留させることを特徴とした混成集積回路装置の製造方法。 - 前記ローラーは、算盤玉を複数個並べて貼りあわされた形状で、前記ローラーの谷に沿って一回転すると元の位置に戻ることを特徴とした請求項1に記載の混成集積回路装置の製造方法。
- 前記ローラーの谷は、前記ローラーの谷に沿って一回転すると元に戻る形状、または前記ローラーの谷は、螺旋状になることを特徴とした請求項1に記載の混成集積回路装置の製造方法。
- 表面に回路を構成する導電パターンが形成された基板上にエッチング液を残留させるためのローラーを有したエッチング液残留装置であり、
前記ローラーをころがすことで、前記基板にエッチング液を残留させ、前記ローラーは、山と谷が交互に配置され、前記基板と前記ローラーの谷の部分でエッチング液を保持し、前記基板にエッチング液を残留させることを特徴としたローラーを有したエッチング液残留装置。 - 前記ローラーは、算盤玉を複数個並べて貼りあわされた形状で、前記ローラーの谷に沿って一回転すると元の位置に戻ることを特徴とした請求項4に記載のローラーを有したエッチング液残留装置。
- 前記ローラーの谷は、前記ローラーの谷に沿って一回転すると元に戻る形状、または前記ローラーの谷は、螺旋状になることを特徴とした請求項4に記載のローラーを有したエッチング液残留装置。
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