JP3944608B2

JP3944608B2 - 物品加圧処理装置及び方法

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Publication number: JP3944608B2
Application number: JP2003160583A
Authority: JP
Inventors: 勝河原
Original assignee: 株式会社協真エンジニアリング
Priority date: 2003-06-05
Filing date: 2003-06-05
Publication date: 2007-07-11
Anticipated expiration: 2023-06-05
Also published as: KR20040105526A; TW200428065A; JP2004358377A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、物品処理装置に関する。より詳細には、本発明は、物品を加圧処理する際に有用に使用される物品加圧処理装置に関する。更に詳細には、本発明は、例えば、液晶デイスプレー装置を構成する偏光板やガラス基板、更には配向膜や、カラーフィルター等の部材を組付けかつこれらを加圧脱泡処理する際に極めて有効に機能する装置に関する。本発明は、所望の物品、例えば偏光板をガラス基板に貼り付けた状態の被加工物を、枚葉式にて供給しながら、加圧脱泡処理する偏光板加圧脱泡処理装置として特に有用に使用され得る物品処理装置である。
【０００２】
【従来の技術】
これまで、例えば偏光板をガラス基板に貼り付けた状態の被加工物を加圧脱泡処理する際に使用される加圧脱泡処理装置は、一方の端部から被加工物を装置内へ導入し、内部で処理した後、他方の端部から送り出すような中空のトンネル形状を有していた。更に当該装置はその両端部が密封扉で封止されており、被加工物を装置へ出し入れする時だけそれらの密封扉を開閉する構成となっている。公知のように一般に、このような加圧脱泡処理は、例えば、内部圧力が約０．５ＭＰａ（５Ｋｇ／ｃｍ２）程度で、温度が約５０℃程度の恒温状態に保持された高温高圧の密封容器内に、当該被加工物を１５〜３０分間滞留させることにより行なわれている。このような公知のインライン方式の加圧脱泡装置を当業者は一般にトンネルタイプ装置と呼称している。また、同様に中空形状の加圧処理容器であって片側にだけ密封扉を有し他側を密閉壁にて覆い被加工物を当該片側の密封扉からのみ出し入れする形式のものもある（例えば、非特許文献１参照）。
【０００３】
しかして、公知のトンネルタイプの加圧脱泡処理装置においては、当該装置内における作業効率の向上を図るため、通常、偏光板をガラス基板に貼り付けて構成した被加工物を、当該装置の外部で予め例えば２０〜５０枚程所定の間隙をおいてカセット状に積載し、装置の入口からカセット単位でトンネル装置内へ供給し、トンネル内へ所定時間だけ滞留させて、例えば５０℃、０．５ＭＰａ圧力で加圧脱泡処理した後、当該装置の出口から処理済みの製品を取り出していた。
【０００４】
【非特許文献１】
株式会社協真エンジニアリング発行カタログ「加圧脱泡装置」
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような作業様式においては、被加工物を装置へ出し入れするため当該装置の入口及び出口の扉を開放するたびに、装置内の圧力と温度が大気中に放出され、当該装置内の温度及び圧力が容易に室温（常温）及び大気圧（常圧）まで下がる。このため、当該装置内において被加工物に加圧脱泡処理を施そうとするときには、装置内の圧力と温度とを常温及び常圧から所望の５０℃、０．５ＭＰａまで上げ直さねばならない。そして、カセット状に積載した被加工物の加圧脱泡処理が終了してそれらを装置から取り出すため装置の出口扉を開放し、次のカセットを装置内へ導入するため入口扉を開放すると、再び装置内の温度と圧力とが常温常圧まで下がる。そのため、加圧脱泡処理を施こそうとする度ごとに、装置内の圧力と温度とを常温常圧状態から所望の５０℃、０．５ＭＰａまで上げ直さねばならない。このため、これまでの装置では圧力及び熱エネルギー損失が非常に多いという課題があった。
【０００６】
更に、最近では、一度に大量の被加工物を加圧脱泡処理するために、カセット状に積載する仕掛り品の数量を更に多くしそれらを一度に供給出来るように、トンネル装置の容積を一層大きくしているものもある。しかしそのような装置では、扉の開放時間が長くなり、従って装置内からのエネルギー損失も一層大きくなり、そのため、容積が大きくなったトンネル装置内の温度及び圧力を所定値まで上昇させるための時間が長くなり、結果的に加圧脱泡処理に要する時間が全体として長くなるという課題があった。
【０００７】
また、扉の開放時間を短くするため、カセット状に積載した被加工物をバッチ方式にて供給する方法も試みられているが、エネルギー損失の全体量には殆ど変化はもたらされていないのが現状である。
【０００８】
更にまた、今日ではかなり大型のデイスプレー装置が要求されるようになっており、被加工物をこれまでと同様にカセット状に積載した場合には、２０〜５０枚またはそれ以上の被加工物により構成される一つ一つのカセットが非常に大型化し、トンネル装置を大型化しなければならず、温度及び圧力のエネルギー損失が一層過大となることに加え、一つのカセット自体の重量が過大となり、カセットを装置の入口扉からトンネル装置内へ移動したり、トンネル装置内部で入口側から出口側まで移動したり、トンネル装置から出口扉を介して外部へ移動したりする際の作業性が極めて劣化するという課題があった。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明においては、上記課題を解消するために、物品加圧処理装置を、所定の高温高圧状態に調節した物品処理室と、この物品処理室の入口側及び出口側に隣接して設置した第１室及び第２室と、により構成し、被加工物を直接物品処理室内へ供給することをせず、初めに被加工物を第１室即ち予備加圧室へ収容し、そこで第１室の雰囲気を処理室内の雰囲気と同様になるように調節し、その後、第１室から処理室内へ移送し、当該処理室内で所定の加圧処理を施す。排出時においては、初めに、処理室内の処理された被加工物を予め処理室の雰囲気と実質的に同一の雰囲気になるように調節した第２室即ち減圧室へ送り込み、次いで第２室内の雰囲気のみを常温常圧まで下げ、その状態で第２室の搬出扉を開けて処理済みの被加工物を取り出すようにしている。これにより、処理室内の圧力及び熱エネルギーの損失を最小限にしている。また、本発明においては、被加工物を一個づつ処理装置へ供給する形態とすることにより、被加工物の移送を容易にし、こうしてこれまでの種々の課題を解消している。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について述べる。本発明は種々の加圧処理装置に有効に使用出来るものであるが、ここでは、偏光板加圧脱泡装置に応用した具体例について述べる。図１において、符号１０は偏光板加圧脱泡装置として使用される物品加圧処理装置を示す。この偏光板加圧脱泡装置１０は、好ましくは、クリーンルーム内に配置され、概括的には、装置の中間部にあり密封構造を有している中空の物品加圧処理室即ち加圧脱泡室１２と、当該加圧脱泡室１２の一方側即ち入口側（図においては左側）にある中空の第１室即ち予備加圧室１４と、当該加圧脱泡室１２の他方側即ち出口側（図においては右側）にある中空の第２室即ち減圧室１６と、予備加圧室１４へ、偏光板をガラス基板に貼り付けた被加工物４６（以下「仕掛り品」という）を搭載したトレー４８（図２４参照）を導入するための導入手段１８と、減圧室１６から加圧脱泡処理済の被加工物（以下「仕掛り製品」という）を搬出する搬出手段２０と、を有している。
【００１１】
予備加圧室１４と減圧室１６は、共に密封構造を有しており、例えば加圧脱泡室１２の入口側出口側にそれぞれ直線状に連続して配置することが出来る。これらの予備加圧室１４及び減圧室１６は、それぞれ第１密封扉２２及び第２密封扉２４により加圧脱泡室１２から封止遮断されている。更に、導入手段１８に近接した予備加圧室１４の入口端部と、搬出手段２０に近接した減圧室１６の出口端部は、それぞれ導入扉２６と、搬出扉２８と、により大気中から封止遮断されている。更に、中央の加圧脱泡室１２と予備加圧室１４、更には加圧脱泡室１２と減圧室１６は、導管３０、３２にて互に連通されており、これらの導管３０、３２にはそれぞれ調圧弁３４、３６が設けてある。更に、予備加圧室１４と減圧室１６にはそれぞれ大気中へ開放している導管３８、４０が配置されており、これらの導管３８、４０には排気弁４２、４４が設けてある。ここで各扉２２、２４、２６、２８は電磁弁その他の公知の手段によって独立して開閉出来る構成となっている。
【００１２】
次に本件装置１０の作動に付いて述べる。図面において、図１〜図１０は仕掛り品を当該装置内へ取り込むための導入工程を、図１１〜図１８は所望の加圧脱泡処理を完了し仕掛り製品を装置から取り出すための搬出工程を示す。図１９〜図２３は導入工程と搬出工程を同時に行なう状態を示している。図２４は被加工物を搭載した搬送トレーの概略図を示している。なお、図には示していないが、当業者に明らかなように、加圧脱泡室１２、予備加圧室１４、及び減圧室１６の内部には、導入手段１８及び／又は搬出手段２０と同様に被加工物を各室内において移送するための手段が設けてあり、それによりこれらの室内において搬送トレーが適宜移動可能となっている。
【００１３】
作業開始時において、加圧脱泡室１２の内部は、図示していない公知の手段により予め所望の加圧処理加工に適した高温高圧（例えば、５０℃、０．５ＭＰａ）の雰囲気状態に維持されている。図１に示すように、導入手段１８により、トレー４８（図２４参照）が予備加圧室１４の直前まで、好ましくは寸動運動即ち断続運動によって搬送されて来る。トレー４８の上には例えば偏光板（図示なし）をガラス基板（図示なし）に貼り付けた単一の被加工物即ち仕掛り品４６が搭載されている。なお、導入手段１８としては例えば埃の出にくいそれ自体公知のウレタン製のローラーコンベア又はシャトルコンベア等が適切である。このとき密閉機能を有する各扉２２、２４、２６、２８は全て封止状態になっており、加圧脱泡室１２、予備加圧室１４、減圧室１６は全て密閉状態となり、かつ弁３４、３６、４２、４４は全て閉じた状態となっている。また、加圧脱泡室１２は、公知の加熱手段（図示なし）及び加圧手段（図示なし）により絶えず所望の値例えば５０℃、０．５ＭＰａの雰囲気を保持するように調整されている。一方、このとき予備加圧室１４及び減圧室１６は、例えば常温常圧の雰囲気を維持しているものとする。図からも分かるように、本件発明においては、被加工物は、複数個を同時に供給するカセット供給方式ではなく、一個づつ加圧脱泡室１２内へ供給するインライン方式を取っており、そこで被加工物は一個づつ加圧処理される方式を取っている。
【００１４】
図２において、内部が常温常圧状態にある予備加圧室１４の導入扉２６を開放して、当該予備加圧室１４内へ、仕掛り品を搭載したトレー４８ａを導入する。
【００１５】
図３において、予備加圧室１４の導入扉２６を閉鎖して、仕掛り品を搭載したトレー４８ａを内部に保持したまま、当該予備加圧室１４を密封状態とする。次いで、導管３０内の調圧弁３４を開放する。これにより加圧脱泡室１２内の雰囲気が予備加圧室１４内へ導入され、こうして、予備加圧室１４の雰囲気（特に圧力）を加圧脱泡室１２の雰囲気と実質的に同一になるようにする。
【００１６】
図４において、第１密封扉２２を開放し、仕掛り品を搭載したトレー４８ａを加圧脱泡室１２内へ供給する。導管３０内の調圧弁３４は第１密封扉２２の開放と同時又はその僅か前後に閉じる。なお、第１密封扉２２の開放は、加圧脱泡室１２の圧力と予備加圧室１４の圧力とが実質的に同一となっているので（図３参照）、当該扉の開放作業は容易である。
【００１７】
図５において、第１密封扉２２を閉鎖する。これによりトレー４８ａ内に搭載された仕掛り品の加圧脱泡室１２内における滞留が開始し、加圧脱泡処理が開始する。一方、第１密封扉２２を閉鎖後、導管３８の排気弁４２を開放する。これにより予備加圧室１４内の圧力を大気圧まで減少する。
【００１８】
図６において、今や大気圧状態となっている予備加圧室１４の導入扉２６を再び開放して、予備加圧室１４内へ、仕掛り品を搭載した次のトレー４８ｂを導入する。なお、導入扉２６の開放は、予備加圧室１４の圧力が大気圧まで減少しているので（図５参照）、当該扉の開放作業は容易である。
【００１９】
図７において、予備加圧室１４の導入扉２６を閉鎖して、仕掛り品を搭載したトレー４８ｂを内部に保持したまま、当該予備加圧室１４を密封状態とする。次いで、導管３０内の調圧弁３４を開放する。これにより加圧脱泡室１２内の雰囲気が再び予備加圧室１４内へ導入される。こうして、予備加圧室１４の雰囲気（特に圧力）は加圧脱泡室１２の雰囲気と実質的に同一となる。
【００２０】
図８において、第１密封扉２２を開放し、その後、仕掛り品を搭載したトレー４８ｂを加圧脱泡室１２内へ供給する。導管３０内の調圧弁３４は第１密封扉２２の開放と同時またはその前後に閉鎖する。なお、第１密封扉２２の開放は、加圧脱泡室１２の圧力と予備加圧室１４の圧力とが実質的に同一となっているので（図７参照）、当該扉の開放作業は容易である。また、先に加圧脱泡室１２内へ導入されそこに滞留しかつ所定の処理工程を継続している仕掛り品を搭載しているトレー４８ａは、例えば、第１密封扉２２を開放すると同時に、またはそれ以前に、当初の位置から別の位置（図示の例では上方）へ移動している。このため、先発のトレー４８ａと後続のトレー４８ｂとが衝突することはない。
【００２１】
図９において、第１密封扉２２を閉鎖する。これによりトレー４８ｂ内に搭載された仕掛り品が加圧脱泡室１２内への滞留が開始し、加圧脱泡処理が開始する。一方、第１密封扉２２を閉鎖後、導管３８の排気弁４２を開放する。これにより予備加圧室１４内の圧力を大気圧まで減少する。
【００２２】
以下、同様の工程を繰り返すことにより、導入手段１８により供給されるトレー４８は、順次予備加圧室１４を介して加圧脱泡室１２内へ提供される。こうしてトレーへ搭載された仕掛り品４６は、加圧脱泡室１２内にて所望の処理加工を施されるのである。
【００２３】
図１０は、加圧脱泡室１２内において、仕掛り品を搭載したトレーが移動する工程の一例を示している。前述のように被加工物（仕掛り品）は加圧脱泡室１２内において所定の処理を施されるために加圧脱泡室内１２において例えば１５〜３０分程度滞留即ち停滞する必要がある。もし、導入手段１８を介して仕掛り品が例えば１０秒毎に送られて来るとし、かつ処理時間を１５分とすると、少なくとも９０枚の仕掛り品が加圧脱泡室１２内に滞留する必要がある。このため、図示の例では、９０枚の仕掛り品が加圧脱泡室内に滞留出来るように、仕掛り品を公知の移送方式（例えばバケット方式又はエレベーター方式）により、当該室内へ仕掛り品が送り込まれる１工程毎に、順次、当該室内にて上昇―（上方）前進―下降―（下方）前進―上昇等の移動を断続的に繰返しながら当該加圧脱泡室１２内へ１５分間滞留し、所定の処理時間経過後に当該室から搬出されるように図っている。このため、当該加圧脱泡室１２の長さと高さとが、仕掛り品及びこれを搭載して搬送するトレーの寸法と処理時間とにより、相対的に確定して来る。一例として仕掛り品の寸法を１１００ｍｍ×９００ｍｍ、処理時間を１５分とした場合、加圧脱泡室１２の長さは３．６Ｍ、高さは２Ｍ程度が必要となる。然しながら、当業者に明らかなように、直線方向に長く（例えば１００Ｍ）伸ばした密封室を構成することも可能ではある。
【００２４】
次に、偏光板をガラス基板に貼り付けた後の仕掛り品に所定の加圧脱泡処理を施し、被加工物を仕掛り製品とした後に当該仕掛り製品を当該加圧脱泡装置から搬出する手順について述べる。図１１において、加圧脱泡装置１０内に所定時間滞留して所定の加圧処理加工が施された仕掛り製品を搭載したトレー４８ａが第２密封扉２４の直前位置へ到達したなら（又は好ましくはその１ステップ前の工程終了後において）、導管３２内の調圧弁３６を開放する。これによりそれまで常圧状態にあった減圧室１６の雰囲気（特に圧力）が加圧脱泡室１２の雰囲気と同じになる。
【００２５】
図１２において、第２密封扉２４を開放し、仕掛り製品を搭載したトレー４８ａを加圧脱泡室１２から減圧室１６へ搬出する。導管３２内の調圧弁３６は第２密封扉２４を開放すると同時又はその前後に閉じる。なお、第２密封扉２４の開放は、加圧脱泡室１２の圧力と減圧室１６の圧力とが予め実質的に同一となっているので（図１１参照）、当該扉の開放作業は容易である。
【００２６】
図１３において、第２密封扉２４を閉鎖する。その後、導管４０の排気弁４４を開放する。これにより減圧室１６内の圧力を大気圧まで減少する。
【００２７】
図１４において、減圧室１６の搬出扉２８を開放して、減圧室１６から仕掛り製品を搭載したトレー４８ａを搬出手段２０へ移送する。減圧室１６の圧力は予め大気圧まで減圧しているので、搬出扉２８の開放は容易に行なう事が出来る。減圧室１６からトレー４８ａを搬出手段２０へ移送した後、搬出扉２８を初期位置（閉鎖位置）へ戻す。このとき減圧室１６は大気圧まで下がっている。
【００２８】
図１５において、加圧脱泡装置１０内に所定時間滞留して所定の加圧脱泡処理が施された仕掛り製品を搭載したトレー４８ｂが第２密封扉２４の直前位置へ到達したなら（又は好ましくはその１ステップ前の工程終了後において）、導管３２内の調圧弁３６を開放する。これによりそれまで大気圧状態にあった減圧室１６の雰囲気（特に圧力）が加圧脱泡室１２の雰囲気と同じになる。
【００２９】
図１６において、第２密封扉２４を開放し、仕掛り製品を搭載したトレー４８ｂを加圧脱泡室１２から減圧室１６へ搬出する。導管３２内の調圧弁３６は第２密封扉２４を開放すると同時に又はその前後に閉鎖する。なお、第２密封扉２４の開放は、加圧脱泡室１２の圧力と減圧室１６の圧力とが予め実質的に同一となっているので（図１５参照）、当該扉の開放作業は容易である。
【００３０】
図１７において、第２密封扉２４を閉鎖する。その後、導管４０の排気弁４４を開放する。これにより減圧室１６内の圧力を大気圧まで減少する。
【００３１】
図１８において、減圧室１６の搬出扉２８を開放して、減圧室１６から仕掛り製品を搭載したトレー４８ｂを搬出手段２０へ移送する。減圧室１６の圧力は大気圧まで減圧しているので、搬出扉２８の開放は容易に行なう事が出来る。なお、トレー４８ｂを搬出手段２０へ移送すると同時にまたは移送する少なくとも１ステップ前には先のトレー４８ａを搬出手段２０の前方位置へ移動させておき、トレー４８ａとトレー４８ｂとが衝突することを防止する。
【００３２】
以下、同様の作業手順を繰り返すことにより、加圧脱泡室１２内にて所望の加圧処理が施された仕掛り製品を搭載したトレー４８は、順次減圧室１６を介して搬出手段２０へ提供され、次いで、後続の処理工程へ供給される。
【００３３】
図１９〜図２３においては、仕掛り品を搭載したトレーを、導入手段１８及び予備加圧室１４を介して加圧脱泡室１２へ導入する手順、及び加圧脱泡室１２内にて所定の処理を施された仕掛り製品を搭載したトレーを、加圧脱泡室１２から減圧室１６を介して搬出手段２０へ搬出する手順を同時に行なう方法について述べる。
【００３４】
図１９において、上記図１〜図１１において述べたと同様の手段にて、仕掛り品を搭載したトレー４８を、導入手段１８及び予備加圧室１４を介して加圧脱泡室１２へ導入し、更に当該加圧脱泡室１２内に所定時間滞留することにより所定の処理が施された仕掛り製品を搭載したトレー４８ａが第２密封扉２４の直前位置へ到達したなら（又は好ましくはその到達ステップの１ステップ前の工程終了後において）、導管３２内の調圧弁３６を開放して減圧室１６の圧力調整を行なう。これによりそれまで大気圧状態にあった減圧室１６の雰囲気（特に圧力）を加圧脱泡室１２の雰囲気と同じにする。一方、導管３０内の調整弁３４を開放することにより加圧脱泡室１２の圧力と同じ圧力状態になっている予備加圧室１４には、仕掛り品を搭載したトレー４８ｎが配置されている。
【００３５】
図２０において、第２密封扉２４を開放し、処理が施された仕掛り製品を搭載したトレー４８ａを減圧室１６へ搬出する。更に、第１密封扉２２を開放して、予備加圧室１４内にある、仕掛り品を搭載したトレー４８ｎを加圧脱泡室１２内へ供給する。次いで、これらの密封扉２２、２４を閉じ、更に導管３８、４０の排気弁４２、４４を開放して、予備加圧室１４及び減圧室１６内の圧力を大気圧まで戻す。その後、これらの排気弁４２、４４を閉じる。
【００３６】
図２１において、予備加圧室１４の導入扉２６を開放して仕掛り品を搭載した後続のトレー４８ｎ＋１を導入手段１８から予備加圧室１４内へ導入する。更に、減圧室１６の搬出扉２８を開放して処理済みの仕掛り製品を搭載したトレー４８ａを搬出手段２０へ搬出する。その後、予備加圧室１４の導入扉２６を閉じ、導管３０の調圧弁３４を開放して予備加圧室１４内の圧力を加圧脱泡室１２の圧力と同じになるように調整を行なう。一方、トレー４８ａを搬出手段２０へ搬出した後、減圧室１６の搬出扉２８を閉じ、同様に導管３２の調圧弁３６開放して減圧室１６の圧力を加圧脱泡室１２の圧力と同じになるように調整を行なう。
【００３７】
図２２において、第１密封扉２２を開放して予備加圧室１４内にあるトレー４８ｎ＋１を加圧脱泡室１２へ移送する。その後、第１密封扉２２を閉じ、更に導管３８の排気弁４２を開放して、予備加圧室１４内の圧力を大気圧まで下げる。一方、第２密封扉２４を開放して加圧脱泡室１２内の処理済み被加工物を搭載したトレー４８ａ＋１を減圧室１６へ移送する。その後、第２密封扉２４を閉じ、更に導管４０の排気弁４４を開放して、減圧室１６内の圧力を大気圧まで下げる。
【００３８】
図２３において、導入扉２６を開放して導入手段１８からの被加工物を搭載した新たなトレー４８ｎ＋２を予備加圧室１４内へ導入する。その後、該導入扉２６を閉じ、更に導管３０の調整弁３４を開放して予備加圧室１４内の雰囲気を加圧脱泡室１２内の雰囲気と同じになるように調整する。更に、搬出扉２８を開放して、減圧室１６内にある処理済みの加工物（仕掛り製品）を搭載しているトレー４８ａ＋１を当該減圧室１６から搬出手段２０へ送り出す。その後、搬出扉２８を閉じ、導管３２の調圧弁３６を開放して減圧室１６の圧力を加圧脱泡室１２の圧力と同じになるように調整する。
【００３９】
以下、同様の手順を繰り返すことにより、作業を継続する。これにより、被加工物を搭載したトレー４８を導入手段１８により予備加圧室１４まで供給し、次いで、該トレーを予備加圧室１４から加圧脱泡室１２まで供給し、当該加圧脱泡室１２内に所定の時間滞留して加圧脱泡処理を経て、次いで、加圧脱泡室１２から減圧室１６まで送り出し、その後、搬出手段２０によって後続の加工を行なうための装置へ搬出される。なお、本発明において、導管３８、４０及び排気弁４２、４４は導入扉２６、搬出扉２８の開放を容易に行なう助けをする機能を有するもので、この発明においては必ずしも必要ではないが、導管３０、３２及び調圧弁３４、３６は第１室１４及び第２室１６の室内圧力調整を行なう機能を有するもので、この発明において必要なものである。
【００４０】
【発明の効果】
この発明においては、物品処理室としての加圧脱泡室１２へ通じる第１密封扉２２及び第２密封扉２４を開放しようとするときには、物品処理室１２の後方位置及び前方位置に配設してある第１室即ち予備加圧室１４及び第２室即ち減圧室１６が該物品処置室１２の雰囲気とほぼ同様な雰囲気（特に圧力）となっている。このため、物品処置室１２の圧力及び温度等の雰囲気が系外へ殆ど漏出することがない。従って、物品処理室１２の圧力及び温度を一旦、例えば、５０℃及び０．５ＭＰａに設定すると、作業終了時までその状態が継続的に維持される。そのため、これまでのように、被加工物を物品処理室へ供給するたびごとに物品処理室内の温度と圧力が常温常圧まで低下するということがないので、温度及び圧力を物品処理作業のたびごとに常温常圧から所定の処理温度及び処理圧力まで上昇させる必要がない。このため、温度及び圧力を上昇させるために使用するエネルギー量が大幅に省略出来るという効果がある。
【００４１】
更に、物品処理作業のたびごとに処理温度及び圧力を上昇させる必要がないので、物品処理時間が大幅に節約出来るという効果がある。また、被加工物がカセット状に積載されておらず、全て一枚ずつ枚様式にて供給されるので、物品処理室の作業位置の違いによる品質の不平等が発生せず、加圧脱泡処理等の処理品質が常に一定するという効果がある。また、枚様式のため、被加工物の搬送作業が容易であり、搬送装置が簡略化及び軽量化が出来るという効果がある。また、物品処理室内の構造を例えばバケット式、エレベーター式、インライン式等にすることが出来るので、被加工物に対する加圧脱泡等の処理に要する時間や被加工物の寸法に多様性を持たせることが出来るという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の全体図を示している図であり、特に被加工物が導入手段により導入される直前の状態を示す。
【図２】第１室の導入扉が開放し被加工物が第１室へ導入された時の状態を示す。
【図３】被加工物が第１室へ導入されて導入扉が閉じた時の状態を示す。
【図４】被加工物が第１室から物品処理室へ導入されるため第１密封扉が開放した時の状態を示す。
【図５】被加工物が第１室から物品処理室へ導入されて第１密封扉が閉じた時の状態を示す。
【図６】第１室の導入扉が開放し、後続の被加工物が第１室へ導入された時の状態を示す。
【図７】後続の被加工物が第１室へ導入されて導入扉が閉じた時の状態を示す。
【図８】第１扉が開放し、後続の被加工物が第１室から物品処理室へ導入され、かつ先行する被加工物が物品処理室内にて所定の位置へ移送された時の状態を示す。
【図９】後続の被加工物が第１室から物品処理室へ導入され、かつ先行する被加工物が物品処理室内にて所定の位置へ移送され、第１扉が閉じた時の状態を示す。
【図１０】所定の処置を受けるため物品処理室内にて被加工物が所定時間だけ滞留するための移送経路の一例を示す。
【図１１】所定の処理を完了した被加工物が物品処理室の最終位置まで到達した状態を示す。
【図１２】第２密封扉が開放して、所定の処理を完了した被加工物が物品処理室から第２室へ移送された状態を示す。
【図１３】所定の処理を完了した被加工物が物品処理室から第２室へ移送され第２密封扉が閉じた状態を示す。
【図１４】搬出扉が開放し、所定の処理を完了した被加工物が第２室から搬出手段へ移送された状態を示す。
【図１５】所定の処理を完了した被加工物が第２室から搬出手段へ移送され搬出扉が閉じた状態を示す。
【図１６】第２密封扉が開放して所定の処理を完了した後続の被加工物が物品処理室から第２室へ移送された状態を示す。
【図１７】所定の処理を完了した後続の被加工物が物品処理室から第２室へ移送され第２密封扉が閉じた状態を示す。
【図１８】搬出扉が開放し、所定の処理を完了した後続の被加工物が第２室から搬出手段へ移送された状態を示す。
【図１９】導入手段により導入された被加工物が第１室及び物品処理室を介して前進し、先行する被加工物が物品処理室の最終位置まで到達した状態を示す。
【図２０】導入手段により導入された被加工物が第１室及び物品処理室を介して前進し、かつ第２密封扉が開放して、先行する被加工物が物品処理室から第２室へ移送された状態を示す。
【図２１】導入手段により被加工物が続々第１室及び物品処理室を介して供給されると共に、搬出扉が開放して、先行する被加工物が第２室から搬出手段へ移送された状態を示す。
【図２２】導入手段により被加工物が続々第１室及び物品処理室を介して供給されると共に、第２密封扉が開放して、先行する被加工物に続く被加工物が第２室へ移送された状態を示す。
【図２３】導入手段により被加工物が続々第１室及び物品処理室を介して供給されると共に、搬出扉が開放して、先行する被加工物に続く被加工物が搬出手段へ移送された状態を示す。
【図２４】被加工物が搭載されたトレーの一例を示す。
【符号の説明】
１０：物品加圧処理装置１２：物品処理室
１４：第１室１６：第２室
１８：導入手段２０：搬出手段
２２：第１密封扉２４：第２密封扉
２６：導入扉２８：搬出扉
３０、３２：導管３４、３６：調圧弁
３８、４０：導管４２、４４：排気弁
４６：被加工物４８：トレー

Claims

物品加圧処理装置（１０）であって、装置（１０）の中間部にあり密封構造を有している物品加圧処理室（１２）と、当該処理室（１２）の入口側に設置してある第１室（１４）と、当該処理室（１２）の出口側に設置してある第２室（１６）と、第１室（１４）へ被加工物を導入するための導入手段（１８）と、第２室（１６）から所定の処理が施された被加工物を搬出する搬出手段（２０）と、を有しており、これらの第１室（１４）及び第２室（１６）は、それぞれ第１密封扉（２２）及び第２密封扉（２４）により処理室（１２）から開閉自在に封止遮断されており、
導入手段（１８）に近接した第１室（１４）の入口端部と搬出手段（２０）に近接した第２室（１６）の出口端部は、それぞれ導入扉（２６）と搬出扉（２８）により大気中から封止遮断されており、処理室（１２）と第１室（１４）、更には処理室（１２）と第２室（１６）は、導管（３０、３２）にて互に連通されており、これらの導管（３０、３２）にはそれぞれ調圧弁（３４、３６）が設けてある、
物品加圧処理装置。
請求項１に記載の装置において、第１室（１４）及び第２室（１６）にはそれぞれ導管（３８、４０）が設けてあり、これらの導管（３８、４４）にはそれぞれ排気弁（４２、４４）が設けてあり、第１密封扉（２２）が開放されているときには排気弁（４２）が常に閉じており、第２密封扉（２４）が開放されているときには排気弁（４４）が常に閉じている、請求項１に記載の物品加圧処理装置。
請求項１又は請求項２に記載の装置において、導入扉（２６）が開放されているときには常に第１密封扉（２２）が閉じられており、また搬出扉（２８）が開放されているときには常に第２密封扉（２４）が閉じられており、これにより導入扉（２６）又は搬出扉（２８）の何れかが開放されても処理室（１２）内部の温度及び圧力が常に一定の値に保持されている、請求項１又は請求項２に記載の物品加圧処理装置。
物品加圧処理装置が偏光板加圧脱泡装置（１０）であり、処理室が加圧脱泡室（１２）であり、第１室が予備加圧室（１４）であり、第２室が減圧室（１６）である、請求項１〜３の何れか１に記載の物品加圧処理装置。
偏光板加圧脱泡装置（１０）が、クリーンルーム内に配置されている請求項４に記載の物品加圧処理装置。