JP3922378B2 - 配線基板の製造方法 - Google Patents
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Description
(a)第1及び第2の領域を有する基板の前記第1の領域に残るように、界面活性剤をパターニングすること、
(b)アルカリによるウエットエッチングによって、前記界面活性剤のうち前記第2の領域に生じる残さを除去すること、
(c)前記基板の前記第2の領域又は前記界面活性剤のいずれかに残るように、触媒をパターニングすること、
(d)前記触媒に金属層を析出させることによって、配線を形成すること、
を含む。本発明によれば、界面活性剤のうち第2の領域に生じる残さを除去するので、より高精度に界面活性剤をパターニングすることができる。したがって、微細ピッチに対応した配線を形成することができる。
(2)この配線基板の製造方法において、
前記(c)工程で、前記触媒を前記界面活性剤に残るようにパターニングし、
前記(d)工程前に、酸によるウエットエッチングによって、前記触媒のうち前記第2の領域に生じる残さを除去することをさらに含んでもよい。これによれば、触媒のうち第2の領域に生じる残さを除去するので、より高精度に触媒をパターニングすることができる。
(3)この配線基板の製造方法において、
前記(c)工程で、前記触媒を前記基板の前記第2の領域に残るようにパターニングし、
前記(d)工程前に、酸によるウエットエッチングによって、前記触媒のうち前記界面活性剤に生じる残さを除去することをさらに含んでもよい。これによれば、触媒のうち界面活性剤に生じる残さを除去するので、より高精度に触媒をパターニングすることができる。
(4)この配線基板の製造方法において、
前記(a)工程は、
(a1)前記基板の前記第1及び第2の領域に前記界面活性剤を設けること、
(a2)前記基板の前記第2の領域に真空紫外放射を照射すること、
(a3)前記基板を洗浄することによって、前記第1の領域に残るように前記界面活性剤をパターニングすること、
を含んでもよい。これによれば、界面活性剤を真空紫外放射の照射によってパターニングする。これによって、所定のパターン形状に沿って必要な部分のみに、金属層を析出させることができる。そのため、例えばレジスト層などでマスクを形成する必要がない。
(5)この配線基板の製造方法において、
前記基板は、C−C、C=C、C−F、C−H、C−Cl、C−N、C−O、N−H、O−H結合の少なくともいずれか1つを有してもよい。
(6)この配線基板の製造方法において、
前記基板は、少なくともC=C結合を有し、
前記真空紫外放射は、少なくともC=C結合を分解できる性質を有してもよい。
(7)この配線基板の製造方法において、
前記真空紫外放射の光源は、Xeガスが封入されたエキシマランプであってもよい。
(8)この配線基板の製造方法において、
前記(a)工程で、液滴吐出方式を適用することによって、前記界面活性剤をパターニングする。これによれば、界面活性剤を液滴吐出方式によってパターニングする。これによって、所定のパターン形状に沿って必要な部分のみに、金属層を析出させることができる。そのため、例えばレジスト層などでマスクを形成する必要がない。
(9)この配線基板の製造方法において、
前記液滴吐出方式は、インクジェット方式であってもよい。
(10)本発明に係る配線基板の製造方法は、
(a)基板の所定領域に残るように触媒をパターニングすること、
(b)酸によるウエットエッチングによって、前記触媒のうち前記所定領域以外の領域に生じる残さを除去すること、
(c)前記触媒に金属層を析出させることによって、配線を前記所定領域に沿って形成すること、
を含む。本発明によれば、触媒のうち所定領域以外の領域に生じる残さを除去するので、より高精度に触媒をパターニングすることができる。したがって、微細ピッチに対応した配線を形成することができる。
(11)本発明に係る配線基板の製造方法は、
(a)基板の第1及び第2の領域に第1の界面活性剤を設けること、
(b)前記基板の前記第1の領域に第2の界面活性剤を設けること、
(c)前記第2の界面活性剤に触媒を設けること、
(d)酸によるウエットエッチングによって、前記触媒のうち前記第1の界面活性剤に生じる残さを除去すること、
(e)前記触媒に金属層を析出させることによって、配線を前記第1の領域に沿って形成すること、
を含む。本発明によれば、触媒のうち第1の界面活性剤に生じる残さを除去するので、より高精度に触媒をパターニングすることができる。したがって、微細ピッチに対応した配線を形成することができる。また、界面活性剤を2層構造にすることによって、触媒をいずれかの界面活性剤に選択的に設けるので、所定のパターン形状に沿って必要な部分のみに、金属層を析出させることができる。そのため、例えばレジスト層などでマスクを形成する必要がない。
(12)本発明に係る配線基板の製造方法は、
(a)基板の第1及び第2の領域に第1の界面活性剤を設けること、
(b)前記基板の前記第1の領域に第2の界面活性剤を設けること、
(c)前記第1の界面活性剤に触媒を設けること、
(d)酸によるウエットエッチングによって、前記触媒のうち前記第2の界面活性剤に生じる残さを除去すること、
(e)前記触媒に金属層を析出させることによって、配線を前記第2の領域に沿って形成すること、
を含む。本発明によれば、触媒のうち第2の界面活性剤に生じる残さを除去するので、より高精度に触媒をパターニングすることができる。したがって、微細ピッチに対応した配線を形成することができる。また、界面活性剤を2層構造にすることによって、触媒をいずれかの界面活性剤に選択的に設けるので、所定のパターン形状に沿って必要な部分のみに、金属層を析出させることができる。そのため、例えばレジスト層などでマスクを形成する必要がない。
(13)本発明に係る配線基板の製造方法は、
(a)第1及び第2の領域を有する基板の前記第2の領域に、真空紫外放射を照射することによって、前記基板における前記第2の領域の原子間結合を分解すること、
(b)前記基板の前記第1及び第2の領域に触媒を設けること、
(c)前記基板を洗浄することによって、前記第1の領域に残るように前記触媒をパターニングすること、
(d)酸によるウエットエッチングによって、前記触媒のうち前記第2の領域に生じる残さを除去すること、
(e)前記触媒に金属層を析出させることによって、配線を前記第1の領域に沿って形成すること、
を含む。本発明によれば、触媒のうち第2の領域に生じる残さを除去するので、より高精度に触媒をパターニングすることができる。したがって、微細ピッチに対応した配線を形成することができる。また、触媒を真空紫外放射の照射によってパターニングするので、所定のパターン形状に沿って必要な部分のみに、金属層を析出させることができる。そのため、例えばレジスト層などでマスクを形成する必要がない。
(14)本発明に係る電子デバイスの製造方法は、上記配線基板の製造方法を含み、
集積回路を有する半導体チップを前記配線基板に実装し、前記配線基板を回路基板に電気的に接続することをさらに含む。
図1(A)〜図7は、本発明の第1の実施の形態に係る配線基板の製造方法を示す図である。本実施の形態では、無電解めっきを適用して配線基板を製造する。
図1(A)〜図4(B)、図6及び図7は、本実施の形態の第1例を示す図である。図1(A)〜図2(B)は無電解めっきの各工程を説明する図であり、図3(A)〜図4(B)は無電解めっきの各工程における基板を模式的に示す図である。
図5(A)及び図5(B)は、本実施の形態の第2例を示す図である。本例では、図3(A)〜図3(D)に示すように界面活性剤18を第1の領域12に設けた後、触媒38を基板10の第2の領域14に設ける。すなわち、基板10の表面のうち、界面活性剤18から露出する第2の領域14に、触媒38を設ける。本例では、第2の領域14は金属層(配線)が形成される領域であり、所定のパターン形状をなしている。
図8(A)〜図12(B)は、本発明の第2の実施の形態に係る配線基板の製造方法を示す図である。本実施の形態では、液滴吐出方式を適用することによって、界面活性剤をパターニングする。
図8(A)〜図9(B)は無電解めっきの各工程を説明する図であり、図10(A)〜図11(B)は無電解めっきの各工程における基板を模式的に示す図である。
図12(A)及び図12(B)は、本実施の形態の第2例を示す図である。本例では、図10(A)〜図10(C)に示すように界面活性剤64を液滴吐出方式によって吐出させた後、界面活性剤64に触媒76を設ける。界面活性剤64は第1の領域12に設けられているので、触媒68も第1の領域12に設けられる。本例では、第1の領域12は金属層(配線)が形成される領域であり、所定のパターン形状をなしている。本例では、基板10の表面電位は、第1の領域12が(カチオン系)界面活性剤64によって中和状態又は正電位となり、第2の領域14が基板10の表面の露出によって負電位となる。触媒を得るために、基板10を錫−パラジウムを含む触媒液に浸漬させてもよい。具体的には、第1の実施の形態の第1例において説明した通りである。
図14(A)〜図19(B)は、本発明の第3の実施の形態に係る配線基板の製造方法を示す図である。本実施の形態では、無電解めっきを適用して配線基板を製造する。図14(A)〜図15(B)は無電解めっきの各工程を説明する図であり、図17(A)〜図18(B)は無電解めっきの各工程における基板を模式的に示す図である。
図20(A)〜図22(B)は、本発明の第4の実施の形態に係る配線基板の製造方法を示す図である。
図23(A)〜図28(C)は、本発明の第5の実施の形態に係る配線基板の製造方法を示す図である。本実施の形態では、無電解めっきを適用して配線基板を製造する。
22…真空紫外放射 30…触媒 34…金属層 38…触媒 40…金属層
64…界面活性剤 68…触媒 72…金属層 76…触媒 78…金属層
80…半導体チップ 82…回路基板 110…基板 112…第1の領域
114…第2の領域 118…第1の界面活性剤 122…第2の界面活性剤
130…触媒 134…金属層 138…触媒 140…金属層
150…第1の界面活性剤 152…第2の界面活性剤 154…触媒
156…金属層 158…触媒 160…金属層 210…基板 212…第1の領域
214…第2の領域 218…真空紫外放射 226…界面活性剤
230…触媒 236…金属層 240…改質層 242…加水分解層
Claims (7)
- (a)第1及び第2の領域を有する有機材料からなるフレキシブル基板の前記第1の領域に残るように、カチオン系界面活性剤をパターニングすること、
(b)アルカリによるウエットエッチングによって、前記カチオン系界面活性剤のうち前記第2の領域に生じる残さを除去すること、
(c)前記フレキシブル基板の前記カチオン系界面活性剤に負の電荷を有する触媒を吸着させて、触媒をパターニングすること、
(d)前記触媒に金属層を析出させることによって、配線を形成すること、
を含む配線基板の製造方法。 - 請求項1記載の配線基板の製造方法において、
前記(d)工程前に、酸によるウエットエッチングによって、前記触媒のうち前記第2の領域に生じる残さを除去することをさらに含む配線基板の製造方法。 - 請求項1または請求項2に記載の配線基板の製造方法において、
前記(a)工程は、
(a1)前記フレキシブル基板の前記第1及び第2の領域に前記カチオン系界面活性剤を設けること、
(a2)前記フレキシブル基板の前記第2の領域に真空紫外放射を照射すること、
(a3)前記フレキシブル基板を洗浄することによって、前記第1の領域に残るように前記カチオン系界面活性剤をパターニングすること、
を含む配線基板の製造方法。 - 請求項3記載の配線基板の製造方法において、
前記フレキシブル基板は、C−C、C=C、C−F、C−H、C−Cl、C−N、C−O、N−H、O−H結合の少なくともいずれか1つを有する配線基板の製造方法。 - 請求項3又は請求項4記載の配線基板の製造方法において、
前記フレキシブル基板は、少なくともC=C結合を有し、
前記真空紫外放射は、少なくともC=C結合を分解できる性質を有する配線基板の製造方法。 - 請求項1または請求項2に記載の配線基板の製造方法において、
前記(a)工程で、液滴吐出方式を適用することによって、前記カチオン系界面活性剤をパターニングする配線基板の製造方法。 - 請求項6記載の配線基板の製造方法において、
前記液滴吐出方式は、インクジェット方式である配線基板の製造方法。
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