JP3920541B2 - Icテスタ、及びその接続機構の接続位置制御方法 - Google Patents
Icテスタ、及びその接続機構の接続位置制御方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3920541B2 JP3920541B2 JP2000216234A JP2000216234A JP3920541B2 JP 3920541 B2 JP3920541 B2 JP 3920541B2 JP 2000216234 A JP2000216234 A JP 2000216234A JP 2000216234 A JP2000216234 A JP 2000216234A JP 3920541 B2 JP3920541 B2 JP 3920541B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test head
- distance
- wafer prober
- test
- stop position
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、被測定デバイス(以下、DUTという)を試験するICテスタ、そのテストヘッド用基準位置設定器具、及びその接続機構の接続位置制御方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
DUTを試験するときは、ICテスタのテストヘッドをウェハプローバに接続し、テストヘッドのポゴピンをウェハプローバのプローブカードに接触させてDUTに種々のテストパタン信号を印加する。
【0003】
図5は、従来のICテスタにおけるテストヘッドとウェハプローバの接続機構を示す図である。図5において、ICテスタの接続機構は、ICテスタのテストパタン信号入力等を行うテストヘッド110、ポゴピン130を備える。ポゴリング120は、テストヘッド110に設けられる。複数のポゴピン130は、テストヘッド110からの電気信号を伝える。ウェハプローバ140は、プローブカード150を備え、試験時にプローブカード150はポゴピン130と接触する。モータ駆動機構の回転軸160は、アングル170の回転軸となる。アングル170は、テストヘッド110を保持する。クランプ180は、テストヘッド110を固定する。
【0004】
従来のICテスタにおいて、試験を実行するため、テストヘッド110とウェハプローバ140を接続する際に、まず不図示のモータ駆動機構の回転軸160に連結されたアングル170が、所定位置から回転軸160を中心に回動し、アングル170に保持されたテストヘッド110をウェハプローバ140上方の目的位置付近に移動・停止する。次に、不図示の上下機構によりアングル170がテストヘッド110を垂直に降下させてプローブカード150の接続面から所定距離の位置に移動する。そして、ポゴピン130がプローブカード150に接触して、テストヘッド110とウェハプローバ140が接続される。
【0005】
このとき、テストヘッド110とプローブカード150との間隔は、テストヘッド110をウェハプローバ140に接続する毎に、また、プローブカード150の厚さ誤差により、ばらつきが生じる。また、テストヘッド110とウェハプローバ140の距離に偏りがある状態(平行でない状態)で接続されることにより、間隔が不均一となる場合もある。そのため、ポゴピン130の先端部は、ばね等の弾性体により伸縮可能な機構(図3参照)を備え、一定の圧力でテストヘッド110がウェハプローバ140に押し付けられることにより、プローブカード150に接触した各ポゴピン130が適宜伸縮し、全てのポゴピン130がプローブカード150と接触される。そして、テストヘッド110がクランプ180により固定された状態で、試験が開始される。
【0006】
一方、DUTの高集積化に伴い、プローブカード150と接触されるポゴピン130の数は増大しており、全てのポゴピン130を確実にプローブカード150と接触させる必要が生じている。また、各ポゴピン130を正確にプローブカード150の所定位置に接触させる必要がある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のICテスタにおいて、テストヘッド110とウェハプローバ140が接続される際、プローブカード150の厚さ誤差等によりテストヘッド110とウェハプローバ140の間隔のばらつきが生じた場合にも、テストヘッド110を適当な圧力でウェハプローバ140に押し付けることのみによって、ポゴピン130をプローブカード150に接触させていた。
また、テストヘッド110とウェハプローバ140が平行でない状態で接続され、テストヘッド110の一部がプローブカード150と適切な距離に接続されない場合にも、これを検出できなかった。
そのため、ポゴピン130の全てがプローブカード150に接触されない場合やポゴピン130がプローブカード150に接触する位置が不正確になる場合が生じた。
【0008】
本発明の課題は、ICテスタのテストヘッドとウェハプローバを接続する際の間隔を一定にし、ポゴピンをプローブカードに確実かつ正確に接触させることである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の発明は、
テストヘッドを移動させて固定されたウェハプローバと接続する駆動機構を備えたICテスタにおいて、
前記テストヘッドの移動時に該テストヘッドの接続面と前記ウェハプローバの接続面との距離を測定する距離測定手段(例えば、図1の距離センサ21およびテストヘッド位置制御回路90)と、
前記距離測定手段により測定された距離に基づいて、前記駆動機構により移動される前記テストヘッドの停止位置を制御する制御手段(例えば、図4のテストヘッド位置制御回路90)と、
を備え、
前記制御手段は、
比較手段(例えば、図4のメモリ93および比較部96)を更に備え、
前記比較手段の比較結果に基づいて、前記テストヘッドの停止位置を制御する停止位置制御信号を前記駆動機構に出力し、
前記比較手段は、前記距離測定手段により測定された距離と、前記テストヘッドの目標停止位置(例えば、段落番号50の目標位置)より手前の当該テストヘッドの惰性移動距離を考慮して予め設定された基準位置(例えば、段落番号52の停止指示位置)を示す距離とを比較することを特徴とする。
【0010】
また、請求項2記載の接続位置制御方法は、
テストヘッドを移動させて固定されたウェハプローバと接続する駆動機構を備えたICテスタにおける接続機構の接続位置制御方法であって、
前記テストヘッドの移動時に該テストヘッドの接続面と前記ウェハプローバの接続面との距離を測定する測定工程と、
前記測定された距離に基づいて、前記駆動機構により移動される前記テストヘッドの停止位置を制御する制御工程と、
を含み、
前記制御工程は、
比較工程を更に含み、
前記比較工程による比較結果に基づいて、前記テストヘッドの停止位置を制御する停止位置制御信号を前記駆動機構に出力し、
前記比較工程は、
前記測定された距離と、前記テストヘッドの目標停止位置より手前の当該テストヘッドの惰性移動距離を考慮して予め設定された基準位置を示す距離とを比較する工程を含む。
【0011】
この請求項1および請求項2記載の発明によれば、測定されたテストヘッドの接続面とウェハプローバの接続面との距離に基づいて、テストヘッドの停止位置を制御するため、テストヘッドおよびウェハプローバの接続面の距離を一定にできる。その際、テストヘッドが惰性で移動する距離を考慮した位置で、テストヘッドの駆動機構に停止位置制御信号が入力されるため、テストヘッドをより正確に目標停止位置に停止できる。
【0027】
また、請求項3記載の発明は、
請求項2記載の接続位置制御方法において、
前記テストヘッドの移動時に所定距離位置で該テストヘッドに停止位置制御信号を出力し、該テストヘッドが停止した場合の該所定距離位置と前記テストヘッドの停止位置との距離および前記テストヘッドとウェハプローバを接続した場合の距離との和に基づいて、前記テストヘッドと前記ウェハプローバの接続時における基準位置を決定する。
【0028】
この請求項3記載の発明によれば、テストヘッドの移動中に停止位置制御信号が入力された場合の、実際の惰性移動距離を測定して基準位置を決定するため、基準位置を正確に設定できる。
【0029】
【発明の実施の形態】
以下、図を参照して、本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図1〜図4は、本発明を適用したICテスタ1の実施の形態を示す図である。
【0030】
ICテスタ1は、試験を実行するためにテストヘッド10とウェハプローバ40を接続する際、ポゴリング20に備えられた距離センサ21によってテストヘッド10とウェハプローバ40内のプローブカード50の距離を測定し、当該距離が所定範囲内となるように停止位置を調整する。したがって、テストヘッド10とプローブカード50を接続する毎の両者の間隔を一定に保つことができ、ポゴピン30をプローブカード50の所定位置に正確かつ確実に接触させることができる。
【0031】
まず、構成を説明する。
図1は、本発明を適用したICテスタ1の接続機構の構成を示す概略図である。図1において、ICテスタ1の接続機構は、テストヘッド10と、ポゴリング20と、距離センサ21と、ポゴピン30と、ウェハプローバ40と、プローブカード50と、回転軸60と、アングル70と、クランプ80とを備える。また、不図示のICテスタ本体には、テストヘッド10の位置を制御するテストヘッド位置制御回路90(図4参照)を備える。
【0032】
テストヘッド10は、回転軸60を中心に回動するアングル70に固着されている。また、テストヘッド10は、一方の面にポゴリング20を備えており、ICテスト時にポゴリング20を備えた面(接続面)が、ウェハプローバ40内のプローブカード50と接続される。
【0033】
また、テストヘッド10は、テスト信号入出力回路(不図示)を備えており、ICテスタ本体から入力される制御信号に基づいて、テストパタン信号をポゴリング20に備えられた各ポゴピン30に出力すると共に、各ポゴピン30から入力されるテスト結果信号を処理する。さらに、テストヘッド10は、吸引機構11を備え、試験時にプローブカード50にテストヘッド10を吸着させる。
【0034】
ポゴリング20は、一方の面においてテストヘッド10に固着され、他の面に複数のポゴピン30を備える。また、ポゴリング20は、ポゴリング20の一方の面から他の面に貫通する細孔を複数備え、ICテストの際、テストヘッド10に備えられた吸引機構11によってこの細孔から空気を吸引し、プローブカード50にテストヘッド10を吸着させる。
さらに、ポゴリング20は、テストヘッド10がウェハプローバ40と接続される際に、プローブカード50の接続面との距離を測定する距離センサ21を備える。距離センサ21の検出信号は、ICテスタ本体のテストヘッド位置制御回路90(後述)に入力される。
【0035】
図2は、テストヘッド10の接続面を示す概略図である。図2において、テストヘッド10の接続面にポゴリング20が固着されており、このポゴリング20には、円周上に3つの距離センサ21が設けられる。
【0036】
ポゴピン30は、ポゴリング20の一の面に複数備えられた接触子であり、試験時に、プローブカード50の所定の電極にそれぞれ接触される。ポゴピン30は、プローブカード50にテストヘッド10から入力されたテストパタン信号を出力すると共に、テストパタン信号が入力されたDUTからのテスト結果信号がプローブカード50を介して入力される。
【0037】
図3はポゴピン30の内部構成を示す図である。図3において、ポゴピン30は、接触部31と、接続球32と、ばね33と、支持部34とを備える。
接触部31は、導体により構成され、試験時にプローブカード50の所定の電極と接触する。そして、接触部31は、テストヘッド10から入力されたテストパタン信号をプローブカード50の電極に出力すると共に、テストパタン信号が入力された被試験体ICからのテスト結果信号がプローブカード50の電極を介して入力される。
接続球32は、接触部31とばね33の間に組み込まれた球体であり、ばね33の弾性力を接触部31に伝達すると共に接触部31を支持部34に接触させる。
ばね33は、接触部31がプローブカード50と接触した場合に、接触部31がプローブカード50から受ける押圧によって伸縮し、接触部31の押し込み量を調整する。
支持部34は、ポゴリング20に対して接触部31、接続球32、ばね33を支持すると共に、DUTの入出力信号を伝達する。
【0038】
ウェハプローバ40は、上面にプローブカード50が固着され、プローブカード50の下方にDUTとなるウェハが載置される。また、ウェハプローバ40は、試験を実行するときはテストヘッド10と接続され、テストヘッド10を固定するためのクランプ80を備える。
【0039】
プローブカード50は、上面に、ポゴピン30と接触する複数の電極を備え、下面にDUTとなるウェハに形成された電極に接触する複数組のプローブを備える。また、プローブカード50は、ウェハプローバ40に固着される。
【0040】
アングル70は、不図示のモータ駆動機構の回転軸60に連結されており、回転軸60を中心に回動し、アングル70に固定されたテストヘッド10が、ウェハプローバ40の上方でウェハプローバ40と対向する所定位置範囲にある場合、不図示の上下機構によって垂直方向に上下動する。このモータ駆動の上下機構によるアングル70の動作制御は、ICテスタ本体に備えられたテストヘッド位置制御回路90による指示信号に基づいて行われる。
【0041】
次に、テストヘッド位置制御回路90の構成について説明する。
図4は、テストヘッド位置制御回路90の構成を示すブロック図である。
図4において、テストヘッド位置制御回路90は、A−Dコンバータ91と、デコーダ92と、メモリ93と、エラー検出部94と、OR回路95・97と、比較部96と、LED(Light Emitting Diode)98と、ICテスタの制御CPUと接続されたアドレスバスおよびデータバスとから構成される。
【0042】
A−Dコンバータ91は、距離センサ21から入力される検出信号(テストヘッド10の現在位置を示す信号)をディジタル信号に変換し、メモリ93およびデータバスに出力する。
なお、A−Dコンバータ91は、各距離センサ21に対応して設けられており、各A−Dコンバータ91の出力は、メモリ93の所定アドレスに記憶される。
【0043】
デコーダ92は、ICテスタ本体の制御CPUからアドレスバスを介して入力された読み出し指示や書き込み指示に係るアドレスを復号化し、メモリ93に出力する。
【0044】
メモリ93は、ICテストに先立って行われるキャリブレーション(基準合わせ)によって得られたテストヘッド10の停止指示位置と、ICテストに適合するテストヘッド10の停止適合位置および現在のテストヘッド10の位置(現在位置)に関するデータを記憶する。
このテストヘッド10の停止指示位置および現在位置の各データは、距離センサ21の検出信号として、A−Dコンバータ91を介して入力され、停止適合位置は、予め制御CPUから入力される。
また、メモリ93は、アドレスバスおよびデータバスと接続されている。そして、ICテスタ本体の制御CPUによって指定されたアドレスに、テストヘッド10の停止指示位置、停止適合位置および現在位置の各データを書き込む。さらに、メモリ93は、制御CPUによって指定されたアドレスに記憶しているデータをデータバスに出力する。
【0045】
エラー検出部94は、A−Dコンバータ91から入力された各距離センサ21の検出信号が距離センサ21の測定可能範囲内にあるか否かを判定し、所定レベル範囲内でない場合、エラー検出信号をOR回路95に出力する。
なお、エラー検出部94は、各距離センサ21に対応して設けられており、各エラー検出部94のエラー検出信号が、各エラー検出部94に対応して設けられたOR回路95に入力される。
OR回路95は、各エラー検出部94に対応して設けられており、エラー検出部94からエラー検出信号が入力された場合、測定不能信号を制御CPUおよび各OR回路95に対応するLED98に出力する。
【0046】
比較部96は、テストヘッド10をウェハプローバ40に接続する動作時には、A−Dコンバータ91から入力されたセンサ部21の検出信号(現在位置)とメモリ93から入力された停止指示位置(後述するキャリブレーション値)を比較し、現在位置が停止指示位置となった場合、識別信号をOR回路97に出力する。
また、比較部96は、テストヘッド10が停止した後には、A−Dコンバータ91から入力されたセンサ部21の検出信号(現在位置)とメモリ93から入力された停止適合位置を比較し、現在位置が停止適合位置の範囲内であるか否かについての識別信号をLED98に出力する。
なお、比較部96は、各センサ21に対応して設けられており、各比較部96の識別信号は各比較部96に対応して設けられたLED98に入力されると共に、全ての比較部96の識別信号が1つのOR回路97に入力される。
【0047】
OR回路97は、何れかの比較部96から、現在位置が停止指示位置となった旨の識別信号が入力された場合、テストヘッド10を移動させるモータに停止信号を出力する。
【0048】
LED98は、各センサ21に対応して設けられており、対応するOR回路95から測定不能信号が入力された場合、測定不能である旨の識別表示を行う。また、LED98は、対応する比較部96から現在位置が停止適合位置の範囲内であるか否かの識別信号が入力された場合、この識別信号に基づいて、テストヘッド10の現在位置を識別表示する。
【0049】
次に、動作を説明する。
初めに、テストヘッド10のキャリブレーション(基準合わせ)について説明する。キャリブレーションは試験に先立って行われる。
【0050】
テストヘッド10は、ウェハプローバ40との接続動作時に、テストヘッド位置制御回路90により停止信号が入力された後、慣性によって停止するまでに更に一定距離だけ降下する。そのため、テストヘッド位置制御回路90は、テストヘッド10を停止させる目標位置(ウェハプローバ40と接続された場合のテストヘッド10の位置)から、予め一定距離だけ上方でテストヘッド10に停止信号を出力する。したがって、試験に先立ち、テストヘッド10に停止信号を入力する位置を決定するためにキャリブレーションは行われる。
【0051】
キャリブレーションを行う際、テストヘッド位置制御回路90は、テストヘッド10を回動し、ウェハプローバ40の上方の所定位置からテストヘッド10を垂直に下降させる。そして、テストヘッド10とウェハプローバ40が所定距離(例えば、5mm)となった時点で、テストヘッド位置制御回路90は停止信号を出力し、テストヘッド10が停止される。
【0052】
次に、停止した位置におけるテストヘッド10とウェハプローバ40の距離を距離センサ21により測定する。そして、制御CPUが、停止信号を出力した所定距離(例えば、5mm)から実際の停止位置の距離を減じ、テストヘッド10の停止に要する距離を算出する。制御CPUは、この距離にプローブカード50から目標位置までの距離を加えた値をキャリブレーション値として、メモリ93に記憶する。そして、実際のICテストにおいて、テストヘッド10をウェハプローバ40に接続する際、テストヘッド10がウェハプローバ40からキャリブレーション値の距離(停止指示位置)に到達した場合、テストヘッド位置制御回路90は停止信号を出力する。
【0053】
なお、以下のようにキャリブレーションを行うこととしてもよい。
まず、テストヘッド10は、停止信号が入力された後、約4mm下降して停止するため、この値をオフセット値とする。
【0054】
そして、プローブカード50と同形状のボードの所定位置に約4mmの距離測定用溝を刻んだキャリブレーション用ボードを用意し、テストヘッド10がウェハプローバ40と接続されていない状態において、キャリブレーション用ボードをテストヘッド10に接続・吸着させる。このとき、距離測定用溝が距離センサ21によって距離測定可能な位置となるように、キャリブレーション用ボードを設置する。
次に、距離センサ21によって、距離測定用溝までの距離を測定し、この距離をキャリブレーション値としてメモリ93に記憶する。
以下、試験時におけるテストヘッド10の停止に関する動作は、上述の場合と同様である。
なお、距離測定用溝の深さは、最適なキャリブレーション値が得られるよう、適宜調整される。
【0055】
次に、テストヘッド10がウェハプローバ40に接続される際の動作を説明する。
初期状態において、テストヘッド10は、回転軸60に対しウェハプローバ40と対象となる側に移動されている。
【0056】
試験のため、制御CPUがテストヘッド10をウェハプローバ40に接続するよう指示すると、モータによりアングル70が回動され、テストヘッド10がウェハプローバ40の上方に移動する。
そして、テストヘッド10がウェハプローバ40の上方、所定位置範囲に達した場合、アングル70は、上下機構により垂直に下降される。この際、距離センサ21によって、テストヘッド10とウェハプローバ40の距離が常時測定され、この距離がテストヘッド位置制御回路90に出力される。
【0057】
次に、テストヘッド10がウェハプローバ40に接近し、距離センサ21により測定された現在位置が停止指示位置となった場合、テストヘッド位置制御回路90が停止信号を出力し、テストヘッド10の移動制御が停止される。
すると、テストヘッド10は、キャリブレーション値だけ更に降下して停止する。即ち、テストヘッド10は、目標位置に停止する。
【0058】
次に、テストヘッド10の吸引機構11によりテストヘッド10がウェハプローバ40に吸着され、各ポゴピン30がプローブカード50の所定の電極に接触する。
なお、このときテストヘッド10が目標位置に停止され、ポゴリング20とプローブカード50の距離が一定に保たれるため、テストヘッド10をウェハプローバ40に接続する毎に、各ポゴピン30がプローブカード50の所定の電極に正確かつ確実に接触される。
【0059】
そして、ICテスタ本体からテストパタン信号が入力され、各ポゴピン30からプローブカード50にテストパタン信号が入力されることにより、試験が実行される。
【0060】
次に、テストヘッド10をウェハプローバ40に接続する際のテストヘッド位置制御回路90の動作を説明する。
【0061】
テストヘッド10をウェハプローバ40に接続する際、ウェハプローバ40の上方で所定位置範囲内に達した場合、テストヘッド10は垂直に下降され、距離センサ21によって、テストヘッド10とウェハプローバ40の距離が測定される。そして、距離センサ21の検出信号がテストヘッド位置制御回路90に常時入力される。
【0062】
すると、距離センサ21の検出信号が、A−Dコンバータ91によりデジタル信号に変換され、比較部96に入力される。
次いで、制御CPUの指示に基づいて、メモリ93に記憶された各距離センサ21のキャリブレーション値がそれぞれ対応する比較部96に入力される。
【0063】
次に、比較部96によって、入力された現在位置とキャリブレーション値の位置(停止指示位置)が比較され、現在位置が停止指示位置に達した場合、OR回路97に識別信号が出力される。そして、OR回路97によって、テストヘッド10を移動するモータに停止信号が出力され、テストヘッド10の移動制御が停止される。
この後、テストヘッド10は、更に一定距離降下し目標位置で停止する。
【0064】
次に、制御CPUの指示に基づいて、メモリ93に記憶されたテストヘッド10の停止適合位置及びA−Dコンバータ91の出力が、比較部96に入力される。
そして、比較部96によって、テストヘッド10の停止位置が停止適合位置と比較され、停止適合位置の範囲内であるか否かがLED98に識別表示される。
【0065】
また、A−Dコンバータ91によりデジタル化された距離センサ21の検出信号は、常時、エラー検出部94に入力され、距離センサ21の測定可能範囲内であるか否かが判定される。そして、検出信号が所定レベル範囲内でないと判定された場合、エラー検出部94によって、対応するOR回路95にエラー検出信号が出力される。すると、OR回路95によって、制御CPUに測定不能信号が出力されると共に、LED98に測定不能である旨が識別表示される。
【0066】
以上のように、本実施の形態におけるICテスタ1は、テストヘッド10とウェハプローバ40を接続する際に、テストヘッド10のポゴリング20に備えられた距離センサ21によって、ポゴリング20とプローブカード50の距離を測定し、ポゴリング20がプローブカード50と一定の距離で停止される。
【0067】
したがって、ポゴリング20に備えられた各ポゴピン30が、プローブカード50の所定電極に正確かつ確実に接触される。そのため、試験を適切に実行できる。
【0068】
また、本実施の形態におけるICテスタ1は、テストヘッド10の移動制御が停止された場合、更に降下する一定距離(キャリブレーション値)を予め加味した位置で、テストヘッド10の移動制御を停止する。
【0069】
したがって、ポゴリング20とプローブカード50をより正確に一定距離で接続でき、各ポゴピン30を正確かつ確実にプローブカード50の所定電極に接続できる。
【0070】
なお、ICテスタ1は、複数の距離センサ21により測定された距離に基づいて、テストヘッド10とウェハプローバ40が接続された際の平行度を調整することも可能である。この場合、平行度を高精度で調整できるため、テストヘッド10とウェハプローバ40を接続した際に、ポゴリング20とプローブカード50の距離の偏りが減少し、さらに正確にポゴピン30を所定電極に接触できる。
【0071】
また、テストヘッド10とウェハプローバ40を接続する度に距離センサ21により測定される距離をICテスタ本体の記憶装置等に記憶することとしてもよい。この場合、接続回数に伴うテストヘッド10の停止位置の変化を分析し、分析結果を加味した停止指示位置を参照して、停止指示位置を適宜調整することで、テストヘッド10を接続する毎の、接続距離のばらつきを軽減できる。
【0072】
【発明の効果】
請求項1および請求項2記載の発明によれば、測定されたテストヘッドの接続面とウェハプローバの接続面との距離に基づいて、テストヘッドの停止位置を制御するため、テストヘッドおよびウェハプローバの接続面の距離を一定にできる。その際、テストヘッドが惰性で移動する距離を考慮した位置で、テストヘッドの駆動機構に停止位置制御信号が入力されるため、テストヘッドをより正確に目標停止位置に停止できる。
【0078】
請求項3記載の発明によれば、テストヘッドの移動中に停止位置制御信号が入力された場合の、実際の惰性移動距離を測定して基準位置を決定するため、基準位置を正確に設定できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用したICテスタ1の接続機構の構成を示す概略図である。
【図2】テストヘッド10の接続面を示す概略図である。
【図3】ポゴピン30の内部構成を示す図である。
【図4】テストヘッド位置制御回路90の構成を示すブロック図である。
【図5】従来のICテスタ100におけるテストヘッドとウェハプローバの接続機構を示す図である。
【符号の説明】
1,100 ICテスタ
10,110 テストヘッド
20,120 ポゴリング
21 距離センサ
30,130 ポゴピン
40,140 ウェハプローバ
50,150 プローブカード
60,160 回転軸
70,170 アングル
80,180 クランプ
90 テストヘッド位置制御回路
91 A−Dコンバータ
92 デコーダ
93 メモリ
94 エラー検出部
95,97 OR回路
96 比較部
98 LED
Claims (3)
- テストヘッドを移動させて固定されたウェハプローバと接続する駆動機構を備えたICテスタにおいて、
前記テストヘッドの移動時に該テストヘッドの接続面と前記ウェハプローバの接続面との距離を測定する距離測定手段と、
前記距離測定手段により測定された距離に基づいて、前記駆動機構により移動される前記テストヘッドの停止位置を制御する制御手段と、
を備え、
前記制御手段は、
比較手段を更に備え、
前記比較手段の比較結果に基づいて、前記テストヘッドの停止位置を制御する停止位置制御信号を前記駆動機構に出力し、
前記比較手段は、前記距離測定手段により測定された距離と、前記テストヘッドの目標停止位置より手前の当該テストヘッドの惰性移動距離を考慮して予め設定された基準位置を示す距離とを比較することを特徴とするICテスタ。 - テストヘッドを移動させて固定されたウェハプローバと接続する駆動機構を備えたICテスタにおける接続機構の接続位置制御方法であって、
前記テストヘッドの移動時に該テストヘッドの接続面と前記ウェハプローバの接続面との距離を測定する測定工程と、
前記測定された距離に基づいて、前記駆動機構により移動される前記テストヘッドの停止位置を制御する制御工程と、
を含み、
前記制御工程は、
比較工程を更に含み、
前記比較工程による比較結果に基づいて、前記テストヘッドの停止位置を制御する停止位置制御信号を前記駆動機構に出力し、
前記比較工程は、
前記測定された距離と、前記テストヘッドの目標停止位置より手前の当該テストヘッドの惰性移動距離を考慮して予め設定された基準位置を示す距離とを比較する工程を含むことを特徴とする接続位置制御方法。 - 請求項2記載の接続位置制御方法において、
前記テストヘッドの移動時に所定距離位置で該テストヘッドに停止位置制御信号を出力し、該テストヘッドが停止した場合の該所定距離位置と前記テストヘッドの停止位置との距離および前記テストヘッドとウェハプローバを接続した場合の距離との和に基づいて、前記テストヘッドと前記ウェハプローバの接続時における基準位置を決定することを特徴とする接続位置制御方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000216234A JP3920541B2 (ja) | 2000-07-17 | 2000-07-17 | Icテスタ、及びその接続機構の接続位置制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000216234A JP3920541B2 (ja) | 2000-07-17 | 2000-07-17 | Icテスタ、及びその接続機構の接続位置制御方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002033359A JP2002033359A (ja) | 2002-01-31 |
JP3920541B2 true JP3920541B2 (ja) | 2007-05-30 |
Family
ID=18711529
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000216234A Expired - Fee Related JP3920541B2 (ja) | 2000-07-17 | 2000-07-17 | Icテスタ、及びその接続機構の接続位置制御方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3920541B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6794889B2 (en) * | 2002-04-26 | 2004-09-21 | Agilent Technologies, Inc. | Unified apparatus and method to assure probe card-to-wafer parallelism in semiconductor automatic wafer test, probe card measurement systems, and probe card manufacturing |
JP5343278B2 (ja) * | 2007-05-15 | 2013-11-13 | 日本電子材料株式会社 | 半導体試験装置 |
JP5499303B2 (ja) * | 2011-02-04 | 2014-05-21 | 株式会社日本マイクロニクス | プローブカードの配線基板調整治具及び配線基板修正方法並びに配線基板調整治具を用いて調整されたプローブカードを用いた検査方法及び検査システム |
CN104793118B (zh) * | 2014-01-17 | 2017-11-03 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 设定测试针压的方法 |
-
2000
- 2000-07-17 JP JP2000216234A patent/JP3920541B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002033359A (ja) | 2002-01-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7504844B2 (en) | Inspection apparatus and method | |
TWI431705B (zh) | Method for detecting the position of the needle end of the probe, the alignment method, the needle end position detecting device, and the probe device | |
US8130004B2 (en) | Probe apparatus and method for correcting contact position by adjusting overdriving amount | |
US6794889B2 (en) | Unified apparatus and method to assure probe card-to-wafer parallelism in semiconductor automatic wafer test, probe card measurement systems, and probe card manufacturing | |
US7009415B2 (en) | Probing method and probing apparatus | |
US6043668A (en) | Planarity verification system for integrated circuit test probes | |
KR100657105B1 (ko) | 프로브 방법 및 장치 | |
KR950015701A (ko) | 프로우빙 방법 및 프로우브 장치 | |
TW201003813A (en) | Alignment method, tip position detecting device and probe apparatus | |
KR100968131B1 (ko) | 프로브 장치 및 피검사체와 프로브의 접촉압 조정 방법 | |
US4607525A (en) | Height measuring system | |
TW200301823A (en) | Wafer probing test apparatus and method of docking the test head and probe card thereof | |
JP2003050271A (ja) | プローブカード特性測定装置、プローブ装置及びプローブ方法 | |
JP2003168707A (ja) | プローブ装置 | |
JP3920541B2 (ja) | Icテスタ、及びその接続機構の接続位置制御方法 | |
JP2939657B2 (ja) | プローブ検査装置 | |
KR100568513B1 (ko) | 반도체 검사 장치 | |
JPH06140479A (ja) | 半導体集積回路テスト装置 | |
KR100301060B1 (ko) | 웨이퍼 프로빙 장비 및 이를 이용한 웨이퍼 검사용 니들 교정방법 | |
JP4130101B2 (ja) | プローバ装置およびプローバ装置を備えた検査装置 | |
CN215909811U (zh) | 一种探针卡固定治具及检测台 | |
JPH0729946A (ja) | ウェハープローバー | |
JP2006170960A (ja) | 端子の平坦度測定方法 | |
KR20030091092A (ko) | 변위인식센서 성능시험장치 | |
TWI604204B (zh) | 用於電測探針頭的電測裝置及其電測方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20041027 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20041027 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20041027 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050331 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061017 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061024 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061220 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070130 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070215 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110223 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |