JP3918063B2 - 単結晶酸化亜鉛ナノシートの製造方法 - Google Patents
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- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 47
- 239000002135 nanosheet Substances 0.000 title claims description 38
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 title claims description 22
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 26
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims description 19
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 claims description 10
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000005083 Zinc sulfide Substances 0.000 claims description 5
- DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N zinc;sulfide Chemical compound [S-2].[Zn+2] DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 8
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 6
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 6
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 6
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 6
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 5
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011941 photocatalyst Substances 0.000 description 4
- 239000000047 product Substances 0.000 description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005136 cathodoluminescence Methods 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000002073 nanorod Substances 0.000 description 2
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- HQWPLXHWEZZGKY-UHFFFAOYSA-N diethylzinc Chemical compound CC[Zn]CC HQWPLXHWEZZGKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000005424 photoluminescence Methods 0.000 description 1
- 238000000103 photoluminescence spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000001308 synthesis method Methods 0.000 description 1
- RNWHGQJWIACOKP-UHFFFAOYSA-N zinc;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Zn+2] RNWHGQJWIACOKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Description
本発明は、発光ダイオードやダイオードレーザー等の光学デバイス、光触媒、センサー等への応用に際して有用である単結晶の酸化亜鉛ナノシートの製造方法に関する。
II-VI族の化合物半導体である酸化亜鉛は、3.3eVのバンドギャップエネルギーを有し、青色や紫外光領域での光学デバイスへの応用が期待されている。一次元の酸化亜鉛ナノワイヤーやナノロッドは、酸化亜鉛とグラファイト粉末を不活性気体中で加熱する方法（たとえば、非特許文献１参照。）やジエチル亜鉛と酸素を反応させる方法（例えば、非特許文献２）等によって製造されている。
H.T.Ng,ほか、アプライド・フィジックス・レターズ(Appl.Phys.Lett.)82巻、2023頁、2003年 W.I.Park,ほか、アプライド・フィジックス・レターズ（Appl.Phys.Lett.)82巻、964頁、2003年
H.T.Ng,ほか、アプライド・フィジックス・レターズ(Appl.Phys.Lett.)82巻、2023頁、2003年 W.I.Park,ほか、アプライド・フィジックス・レターズ（Appl.Phys.Lett.)82巻、964頁、2003年
一次元の酸化亜鉛ナノワイヤーやナノロッドに対して、二次元の酸化亜鉛ナノシートは一般的な合成方法が知られていないので、その詳細な物性を評価できない状況にある。このような状況に鑑み、本発明は、二次元の単結晶酸化亜鉛ナノシートの製造方法を提供することを解決すべき課題としている。また、発光ダイオードやダイオードレーザー等の光学デバイス、光触媒、センサー等への応用に際して有用である単結晶の酸化亜鉛ナノシートの製造方法を提供することを解決すべき課題としている。
硫化亜鉛粉末をグラファイト製るつぼに入れ、このるつぼを断熱材の炭素繊維で覆われた
グラファイト誘導加熱円筒管を有する縦型高周波誘導加熱炉中の中央部に設置する。加熱
炉を減圧にした後、窒素ガスを流しながら、るつぼの内容物を1450〜1600℃に、1〜2時間
加熱する。この操作により、銀灰色の亜鉛ナノシートが断熱材である炭素繊維の表面に堆
積する。次に、上記で生成した亜鉛ナノシートをアルミナ製のボートに入れ、このボート
を抵抗加熱炉の中に設置し、空気中で、330〜390℃に3〜5時間加熱する。この加熱処理に
より、ボート内に白色のウルツ鉱型六方晶系の単結晶酸化亜鉛ナノシートが生成する。
グラファイト誘導加熱円筒管を有する縦型高周波誘導加熱炉中の中央部に設置する。加熱
炉を減圧にした後、窒素ガスを流しながら、るつぼの内容物を1450〜1600℃に、1〜2時間
加熱する。この操作により、銀灰色の亜鉛ナノシートが断熱材である炭素繊維の表面に堆
積する。次に、上記で生成した亜鉛ナノシートをアルミナ製のボートに入れ、このボート
を抵抗加熱炉の中に設置し、空気中で、330〜390℃に3〜5時間加熱する。この加熱処理に
より、ボート内に白色のウルツ鉱型六方晶系の単結晶酸化亜鉛ナノシートが生成する。
本発明により、二次元の酸化亜鉛ナノシートが製造可能となったので、その物理的性質等の詳細な測定や評価が出来るようになった。また、発光ダイオードやダイオードレーザー等の光学デバイス、光触媒、センサー等への応用に際して有用である単結晶の酸化亜鉛ナノシートの製造方法を提供出来るようになった。
硫化亜鉛粉末をグラファイト製るつぼに入れ、このるつぼを断熱材である炭素繊維で覆われたグラファイト誘導加熱円筒管を有する縦型高周波誘導加熱炉中の中央部に取り付ける。加熱炉を減圧にした後、窒素ガスを流量150〜400sccmで流しながら、るつぼ内を1450〜1600℃に1〜2時間加熱する。加熱終了後、加熱炉を室温に冷却すると、断熱材である炭素繊維の表面に亜鉛ナノシートが堆積する。
この際、窒素ガスの流量は上記の範囲が好ましく、400sccmで十分にキャリアガスとしての役割を果たすのでこれ以上流す必要はない。150sccmよりも流量が少ないと亜鉛ナノシートの収量が低下するので好ましくない。加熱温度は1450〜1600℃が好ましく、1600℃よりも高いと亜鉛ナノシート中に亜鉛の粒子が混入する。1450℃よりも低いと亜鉛ナノシート中に硫化亜鉛のナノ構造物が混入する。加熱時間は上記の1〜2時間が好ましく、2時間で十分に反応が完結するのでこれ以上の時間をかける必要はない。1時間よりも短いと亜鉛ナノシートの収量が低下する。
次に、上記で生成した亜鉛ナノシートをアルミナ製のボートに入れ、このボートを抵抗加熱炉の中に設置する。ボートの内容物を空気中で、330〜390℃に3〜5時間加熱する。この加熱操作を施すことにより、亜鉛ナノシートが酸化を受け、酸化亜鉛ナノシートに変換される。
このとき、加熱温度は、330〜390℃の範囲が好ましく、390℃よりも高いとナノシートの
形態が破壊される。330℃よりも低いと酸化が不十分となる。加熱時間は3〜5時間が好ま
しく、5時間で酸化が十分に行われるので、これ以上の時間をかける必要はない。3時間よ
りも短いと亜鉛ナノシートの酸化が不十分となるので好ましくない。最終生成物を分析す
ることにより、幅が数十〜数百マイクロメートルで、厚さが30〜70ナノメートルの範囲の
白色のウルツ鉱型六方晶系の単結晶酸化亜鉛ナノシートであることが確認できる。
形態が破壊される。330℃よりも低いと酸化が不十分となる。加熱時間は3〜5時間が好ま
しく、5時間で酸化が十分に行われるので、これ以上の時間をかける必要はない。3時間よ
りも短いと亜鉛ナノシートの酸化が不十分となるので好ましくない。最終生成物を分析す
ることにより、幅が数十〜数百マイクロメートルで、厚さが30〜70ナノメートルの範囲の
白色のウルツ鉱型六方晶系の単結晶酸化亜鉛ナノシートであることが確認できる。
次に、実施例を示して、さらに具体的に説明する。
（実施例）シグマアルドリッチ社製の硫化亜鉛粉末（純度99.99%）2.5gをグラファイト製るつぼに入れ、このるつぼを断熱材の炭素繊維で覆われたグラファイト誘導加熱円筒管を有する縦型高周波誘導加熱炉中の中央部に取り付けた。加熱炉を2x10-1Torrの減圧にした後、窒素ガスを流量200sccmで流しながら、るつぼの内容物を1500℃に1.5時間加熱した。加熱炉を室温に冷却すると、断熱材の炭素繊維の表面に銀灰色の生成物が約100mg堆積した。
（実施例）シグマアルドリッチ社製の硫化亜鉛粉末（純度99.99%）2.5gをグラファイト製るつぼに入れ、このるつぼを断熱材の炭素繊維で覆われたグラファイト誘導加熱円筒管を有する縦型高周波誘導加熱炉中の中央部に取り付けた。加熱炉を2x10-1Torrの減圧にした後、窒素ガスを流量200sccmで流しながら、るつぼの内容物を1500℃に1.5時間加熱した。加熱炉を室温に冷却すると、断熱材の炭素繊維の表面に銀灰色の生成物が約100mg堆積した。
図１Aに、銀灰色の生成物の走査型電子顕微鏡像の写真を示した。幅が数百マイクロメートルのシート状物質であることが分かった。図１Bの(a)に、このナノシートのX線回折のパターンを示し、図１Bの(b)に、標準の亜鉛粉末のX線回折のパターンを示した。この結果から、格子定数a=2.662Å、c=4.943Åを有するウルツ鉱型の六方晶系の亜鉛であることが確認された。
次に、上記の操作によって生成した亜鉛ナノシート約100mgをアルミナ製ボートに入れ、このボートを抵抗加熱炉中に設置した。ボートの中の亜鉛ナノシートを空気中で、350℃に4時間加熱した。加熱終了後、抵抗加熱炉を室温に冷却すると、ボートの中に約50mgの白色の物質が生成した。
図２Aに、白色生成物の走査型電子顕微鏡像の写真を示した。幅が数十〜数百マイクロメートルで、厚さが30〜70ナノメートルのシート状物質であることが確認された。図２Bの(a)に、このナノシートのX線回折のパターンを、図２Bの(b)に標準の酸化亜鉛粉末のX線回折のパターンを示した。格子定数a=3.244Å、c=5.201Åを有するウルツ鉱型六方晶系の単結晶酸化亜鉛であることが分かった。
図３に、白色生成物のX線エネルギー拡散スペクトルを示したが、亜鉛と酸素のピークが現れており、その原子比は1:0.86で、化学量論組成よりもやや酸素が少なかった。なお、この図に現れている銅のピークは試料を取り付ける際に用いた銅グリッドに由来するものである。
図４Aに、室温における酸化亜鉛ナノシートのカソードルミネッセンスのスペクトルを示した。520nmと680nmに発光バンドを有することが分かった。図４Bに、室温におけるフォトルミネッセンスのスペクトルを示したが、545nmと635nmに非対称の発光バンドを有することが分かった。
本発明により、得られた単結晶酸化亜鉛ナノシートの発光現象が確認されたので、光学デバイスへの応用が期待されるとともに、光触媒、センサー等への応用も期待される。
Claims (1)
- 硫化亜鉛粉末を窒素気流中で、1450〜1600℃に1〜2時間加熱して、幅100〜500マイクロメ
ートルの亜鉛ナノシートを製造した後、この亜鉛ナノシートを空気中で、330〜390℃に3
〜5時間加熱して、白色のウルツ鉱型六方晶系の単結晶酸化亜鉛ナノシートを生成させる
ことを特徴とする単結晶酸化亜鉛ナノシートの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003390842A JP3918063B2 (ja) | 2003-11-20 | 2003-11-20 | 単結晶酸化亜鉛ナノシートの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003390842A JP3918063B2 (ja) | 2003-11-20 | 2003-11-20 | 単結晶酸化亜鉛ナノシートの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2005154157A JP2005154157A (ja) | 2005-06-16 |
| JP3918063B2 true JP3918063B2 (ja) | 2007-05-23 |
Family
ID=34718089
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003390842A Expired - Lifetime JP3918063B2 (ja) | 2003-11-20 | 2003-11-20 | 単結晶酸化亜鉛ナノシートの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3918063B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100746743B1 (ko) | 2006-01-06 | 2007-08-06 | 삼성전자주식회사 | 2ｄ 나노 구조물 제작 방법 및 그 방법으로 제작된 2ｄ나노 구조물 |
| JP4897603B2 (ja) | 2007-07-26 | 2012-03-14 | ソニー株式会社 | 情報提供システム、情報受信端末、情報提供装置、情報提供方法およびプログラム |
| KR101337481B1 (ko) | 2011-10-04 | 2013-12-06 | 동의대학교 산학협력단 | 나노 구조체 제조 방법 |
| KR101337482B1 (ko) | 2011-10-04 | 2013-12-06 | 동의대학교 산학협력단 | 나노 구조체 합성 방법 |
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2003
- 2003-11-20 JP JP2003390842A patent/JP3918063B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| JP2005154157A (ja) | 2005-06-16 |
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