JP3917578B2 - 半導体装置の製造方法及び製造装置 - Google Patents
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Description
回転可能なターンテーブルと、
前記ターンテーブルの表面上に配設されるパッドと、
前記パッドの中央領域に、純水又は純水を溶媒とする液体を供給する純水又は液体供給手段と、
被研磨対象物又は被洗浄対象物を、前記パッドに対して対接させ保持する保持手段とを備え、
前記パッドは前記中央領域に、供給された前記純水又は純水を溶媒とする液体をろ過する、極性結晶体を含むろ過部を有し、
前記ろ過部によってろ過された前記純水又は前記純水を溶媒とする液体が、前記被研磨対象物又は被洗浄対象物の表面に供給されることを特徴とする。
極性結晶体を含み、純水又は純水を溶媒とする液体を与えられてろ過するろ過部と、
前記ろ過部に圧力を加える圧力機構を有し、ろ過された前記純水又は前記純水を溶媒とする液体を、被研磨対象物又は被洗浄対象物の表面に供給して研磨処理又は洗浄処理を行う処理部とを備えることを特徴とする。
スラリを供給されてその表面側に排出する配管機構を有する、回転可能なターンテーブルと、
前記ターンテーブルの表面上に配設される研磨布と、
被研磨対象物を前記研磨布の表面上に対接させた状態で保持する保持手段とを備え、
前記研磨布は、
極性結晶体を含むろ過部を有し、前記ターンテーブルの表面から排出された前記スラリをろ過して前記被研磨対象物の表面に供給することを特徴とする。
被洗浄対象物を支持する支持機構と、
前記被洗浄対象物の両面にそれぞれ配置され、それぞれ異なる回転方向に回転する円筒形状の第1及び第2のロールとを備え、
前記第1及び第2のロールはそれぞれ、
その中央部分に配置され、純水又は洗浄水を供給されて放射状に排出する配管機構と、
前記配管機構の外周を囲むように配置され、排出された前記純水又は洗浄水を与えられてろ過する、極性結晶体を含むろ過部と、
前記ろ過部の外周を囲むように配置され、ろ過された前記純水又は洗浄水を前記被洗浄対象物の表面に排出する弾性部材とを有することを特徴とする。
ターンテーブルの表面上に配設されたパッドに対して被研磨対象物又は被洗浄対象物を対接させる工程と、
前記ターンテーブルを回転させるとともに、前記パッドの中央領域に、純水又は純水を溶媒とする液体を供給し、前記被研磨対象物又は被洗浄対象物の研磨又は洗浄を行う工程とを備え、
前記パッドは前記中央領域に供給された前記純水又は純水を溶媒とする液体をろ過する、極性結晶体を含むろ過部を有しており、
前記ろ過部によってろ過された前記純水又は前記純水を溶媒とする液体が、前記被研磨対象物又は被洗浄対象物の表面に供給されることを特徴とする。
極性結晶体を含むろ過部に圧力を加えながら、純水又は純水を溶媒とする液体を与えてろ過する工程と、
ろ過された前記純水又は前記純水を溶媒とする液体を、被研磨対象物又は被洗浄対象物の表面に供給して、研磨処理又は洗浄処理を行う工程とを備えたことを特徴とする。
本発明の実施の形態1による半導体装置の製造装置及び製造方法について述べる。
研磨荷重:300gf/cm2、キャリア(トップリングヘッド)回転数:102rpm、ターンテーブル回転数:100rpm、スラリ流量:200cc/min、
スラリ:コロイダルシリカ分散液(粒子径25nm、分散濃度3wt%、pH7)、
研磨時間:80秒。
研磨荷重:300gf/cm2、キャリア(トップリングヘッド)回転数:102rpm、ターンテーブル回転数:100rpm、純水流量:500cc/min、
処理時間:30秒。
極性結晶体無し × ×
0.05μm ○ ○
0.1μm ○ ○
0.5μm ○ ○
1.0μm ○ ○
5.0μm ○ ○
10μm ○ ○
50μm ○ ×
100μm × ×
但し、分散濃度は50wt%とした。
極性結晶体無し × ×
1wt% ○ ×
5wt% ○ ○
10wt% ○ ○
25wt% ○ ○
50wt% ○ ○
75wt% ○ ○
90wt% ○ ○
99wt% ○ ○
以上より、良品が得られる極性結晶体の分散濃度は、1wt%以上、好ましくは5〜99wt%以上であることが判明した。
本発明の実施の形態2について、図面を参照して説明する。
研磨荷重:300gf/cm2、キャリア(トップリングヘッド)回転数:102rpm、ターンテーブル回転数:100rpm、純水流量:500cc/min、
処理時間:30秒。
本発明の実施の形態3による半導体製造装置及び製造方法として、洗浄装置及洗浄方法について述べる。
研磨荷重:300gf/cm2、キャリア(トップリングヘッド)回転数:102rpm、ターンテーブル回転数:100rpm、スラリ流量:200cc/min、
スラリ:CMS7401+CMS7452(JSR社製)、
研磨布:IC1000(ロデール社製)、
研磨時間:60秒。
研磨荷重:300gf/cm2、ロール回転数:150rpm、半導体基板回転数:30rpm、純水流量:1000cc/min、
処理時間:30秒。
(実施例5)黒トルマリン(平均粒子径:0.5μm、分散濃度35wt%)+赤トルマリン(平均粒子径:0.5μm、分散濃度15wt%)、
(実施例6)黒トルマリン(平均粒子径:0.5μm、分散濃度25wt%)+赤トルマリン(平均粒子径:0.5μm、分散濃度25wt%)、
(実施例7)黒トルマリン(平均粒子径:0.5μm、分散濃度15wt%)+赤トルマリン(平均粒子径:0.5μm、分散濃度35wt%)、
(実施例8)赤トルマリン(平均粒子径:0.5μm、分散濃度50wt%)。
本発明の実施の形態4について、図面を用いて説明する。
具体的な洗浄に関する処理条件は以下のようである。
研磨荷重:300gf/cm2、ロール回転数:150rpm、半導体基板回転数:30rpm、純水流量:500cc/min、
0.6wt%クエン酸水溶液流量:500cc/min、
処理時間:30秒。
11、12 配管
13 ろ過部
41、72 半導体ウェーハ
42、43 ロール
55 ころ
61 弾性部材
62 ろ過部
64 配管
65 空洞
70、101 ターンテーブル
71 パッド
72 半導体ウェーハ
73a〜73c 液体供給管
81、121 トップリングヘッド
82、123 ドレッシングヘッド
103 研磨布
104 被研磨対象物
200、300 半導体基板
201、301 絶縁膜
202 TiN膜
203 AlCu膜
302 Ta膜
303 Cu膜
Claims (10)
- 回転可能なターンテーブルと、
前記ターンテーブルの表面上に配設されるパッドと、
前記パッドの中央領域に、純水又は純水を溶媒とする液体を供給する純水又は液体供給手段と、
被研磨対象物又は被洗浄対象物を、前記パッドに対して対接させ保持する保持手段と、
を備え、
前記パッドは前記中央領域に供給された前記純水又は純水を溶媒とする液体をろ過する、極性結晶体を含むろ過部を有し、
前記ろ過部によってろ過された前記純水又は前記純水を溶媒とする液体が、前記被研磨対象物又は被洗浄対象物の表面に供給されることを特徴とする半導体装置の製造装置。 - 極性結晶体を含み、純水又は純水を溶媒とする液体を与えられてろ過するろ過部と、
前記ろ過部に圧力を加える圧力機構を有し、ろ過された前記純水又は前記純水を溶媒とする液体を、被研磨対象物又は被洗浄対象物の表面に供給して研磨処理又は洗浄処理を行う処理部と、
を備えることを特徴とする半導体装置の製造装置。 - スラリを供給されてその表面側に排出する配管機構を有する、回転可能なターンテーブルと、
前記ターンテーブルの表面上に配設される研磨布と、
被研磨対象物を前記研磨布の表面上に対接させた状態で保持する保持手段とを備え、
前記研磨布は、
極性結晶体を含むろ過部を有し、前記ターンテーブルの表面から排出された前記スラリをろ過して前記被研磨対象物の表面に供給することを特徴とする半導体装置の製造装置。 - 被洗浄対象物を支持する支持機構と、
前記被洗浄対象物の両面にそれぞれ配置され、それぞれ異なる回転方向に回転する円筒形状の第1及び第2のロールと、
を備え、
前記第1及び第2のロールはそれぞれ、
その中央部分に配置され、純水又は洗浄水を供給されて放射状に排出する配管機構と、
前記配管機構の外周を囲むように配置され、排出された前記純水又は洗浄水を与えられてろ過する、極性結晶体を含むろ過部と、
前記ろ過部の外周を囲むように配置され、ろ過された前記純水又は洗浄水を前記被洗浄対象物の表面に排出する弾性部材と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造装置。 - 前記極性結晶体は、ショールトルマリン、リチウムトルマリン、ドラバイトトルマリン、インデコライトの少なくとも1種類、あるいはこれらの混合物であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の半導体装置の製造装置。
- 前記極性結晶体は粒子状であり、平均粒子径が50μm以下であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の半導体装置の製造装置。
- 前記極性結晶体は粒子状であり、前記ろ過部に含まれる樹脂中への分散濃度は1wt%以上であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の半導体装置の製造装置。
- 半導体基板上に絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜に凹部を形成する工程と、
前記凹部の内部および前記絶縁膜の上に導電性材料を堆積して、導電性を有する層を形成する工程と、
前記絶縁膜の上に堆積された前記導電性材料を除去して前記絶縁膜の表面を露出させることにより、前記導電性材料を前記凹部内部に残置する工程とを具備し、
前記絶縁膜上に堆積された前記導電性材料の除去は、請求項1乃至3のいずれかに記載の前記製造装置により行なわれることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - ターンテーブルの表面上に配設されたパッドに対して被研磨対象物又は被洗浄対象物を対接させる工程と、
前記ターンテーブルを回転させるとともに、前記パッドの中央領域に、純水又は純水を溶媒とする液体を供給し、前記被研磨対象物又は被洗浄対象物の研磨又は洗浄を行う工程と、
を備え、
前記パッドは前記中央領域に供給された前記純水又は純水を溶媒とする液体をろ過する、極性結晶体を含むろ過部を有しており、
前記ろ過部によってろ過された前記純水又は前記純水を溶媒とする液体が、前記被研磨対象物又は被洗浄対象物の表面に供給されることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 極性結晶体を含むろ過部に圧力を加えながら、純水又は純水を溶媒とする液体を与えてろ過する工程と、
ろ過された前記純水又は前記純水を溶媒とする液体を、被研磨対象物又は被洗浄対象物の表面に供給して、研磨処理又は洗浄処理を行う工程とを備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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